多晶硅氢还原炉.doc

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（10）申请公布号 CN201105990Y（43）申请公布日 2008.08.27
（21）申请号 CN200720081578.X
（22）申请日 2007.10.23
（71）申请人 四川永祥多晶硅有限公司
地址 614800 四川省乐山市五通桥竹根镇新华村
（72）发明人 刘汉元;戴自忠
（74）专利代理机构 成都天嘉专利事务所
代理人 方强
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
多晶硅氢还原炉
（57）摘要
本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壁，炉壁上安装有视镜，炉壁安装在底盘上；底盘上布有进、出气装置，底盘设有加热电极，电极上一一对应安装有硅芯棒，硅芯棒和电极为各18对，即各36个，且在底盘上沿三个同心圆周均布设置，从内圆周向外圆周分别设置为3对、5对、10对；内圆周的3对硅芯棒为低电阻率硅芯棒，其余两圆周上为常规电阻率硅芯棒；底盘上设有喷口，喷口为四组，每组喷口为多个，其中两组喷口形成的圆为同心圆，且均布在底盘每两个硅芯棒圈之间的圆周上，另外两组设置在内圈硅芯棒圆周之内。本实用新型不仅可以实现大直径、多对棒生产，提高了多晶硅产量，有效节约了生产成本。

法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-08-27
授权
授权
2008-08-27
授权
授权
2017-11-24
专利权的终止
专利权的终止

权利要求说明书
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说明书
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