常用真空单位换算表.doc

常用真空单位换算表帕Pa托Torr微米汞柱mHg毫巴mbar大气压atm工程大气压am1 Pa17.51037.51029。869231061。01971051 Torr133.3211031。33321。3157910-31。35951031 mHg0.1333210-311。333210-31。315791061。35951061 mbar1027.510-17。510219.869231041。01971031标准大气压=760毫米汞柱=76厘米汞柱=1。013105帕斯卡=10。336米水柱公斤不是单位，一般我们通常说的,事实上是一种非标准单位,名称叫：公斤力/平方厘米Kgf/cm21标准大气压=0.1MPa兆帕=101KPa=千帕左右=1bar巴=760mmHg(毫米汞柱）=14。696磅/英寸2（psi）1工程大气压1Kgf/cm2千克力/平方厘米 千克:是质量单位， 千克力:是作用在单位体积上一千克的力 一个标准大气压一般约等于101千帕即0。1兆帕,约等于一工程大气压约等于一千克力每平方厘米 工程大气压是比标准大气压小一点的 1物理大气压1标准大气压（atm) 为什么会多一个工程大气压我也不清楚 但是工程大气压通常按千克力等，用一种质量作用力对单位面积获得的压强。 而标准大气压(atm）则为标准的大气压强,比工程大气压精确，但他们是约等于的。没必要那么精确,除非你是在某些特定领域使用饱和水蒸汽的压力与温度的关系 ( 摘自 范仲元: 水和水蒸气热力性质图表 p410 ）温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa220。002640。09869240。002980。09835260。003360.09797280.003780.09755300。004240。09709320.004750.09658340。005320.09601360.005940。09539380.006620。09471400.007380。09395温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa420。008200。09313440。009100.09223460。010090.09124480.011160。09017500。012340.08899520。013610。08772540。015000.08633560。016510。08482580.018150.08318600。019920。08141温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa620。021840.07949640。023910.07742660.026150.07518680。028560。07277700。031160。07017720。033960。06737740。036960.06437760。040190。06114780.043650.05768800。047360.05397温度水蒸气压力 MPa相应真空度 MPa820。051330.05000840。055570.04576860。060110。04122880.064950.03638900.070110。03122920.075610。02572940。081460。0198796 0.08769 0。01364 980。094300.007031000。101330温度水蒸气压力 MPa1020.108781040。116681060。125041080.133901100。143271120。153161140。163621160.174651180.186281200。19854温度水蒸气压力 MPa1220。211451240。225041260。239331280.254351300.270131320。278311340.304071360。322291380.341381400.36138真空计算常用公式1、玻义尔定律 体积V，压强P，PV常数（一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2V2/V1)2、盖吕萨克定律 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：(V1/V2T1/T2常数） 当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高（或P降低)1，则它的体积比原来增加（或缩小)1/273.3、查理定律 当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度T成正比，即：P1/P2T1/T2 在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高（或降低）1,它的压强比原来增加(或减少）1/273。4、平均自由程： (510-3）/P (cm)5、抽速: Sdv/dt （升/秒）或 SQ/P Q流量(托升/秒) P压强(托）V体积（升) t时间(秒）6、通导: CQ/(P2-P1) （升/秒)7、真空抽气时间： 对于从大气压到1托抽气时间计算式： t8V/S （经验公式) （V为体积，S为抽气速率，通常t在510分钟内选择。）8、维持泵选择: S维S前/109、扩散泵抽速估算: S3D2 (D直径cm)10、罗茨泵的前级抽速： S（0。10.2)S罗 （l/s)11、漏率： Q漏V(P2P1）/（t2-t1） Q漏系统漏率（mmHgl/s) V系统容积（l) P1真空泵停止时系统中压强(mmHg) P2真空室经过时间t后达到的压强(mmHg） t压强从P1升到P2经过的时间(s）12、粗抽泵的抽速选择: SQ1/P预 (l/s) S=2。3Vlg（Pa/P预)/t S机械泵有效抽速 Q1真空系统漏气率(托升/秒) P预需要达到的预真空度（托） V真空系统容积（升) t达到P预时所需要的时间 Pa大气压值(托）13、前级泵抽速选择： 排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中,各截面流量恒等的原则有： PnSgPgS 或 SgPgs/Pn Sg前级泵的有效抽速（l/s) Pn主泵临界前级压强（最大排气压强）（l/s） Pg真空室最高工作压强（托） S主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)14、扩散泵抽速计算公式: SQ/P(Kn）/（Pt）（升/秒)式中：S被试泵的抽气速率（l/s) n滴管内油柱上升格数（格）t油柱上升n格所需要的时间（秒） P在泵口附近测得的压强(托）K滴管系数（托升/秒) KV0(L/n）（0/m）+PaVt 其中V0滴管和真空胶管的原始容积（升） L滴管刻度部分的长度（mm) n滴管刻度部分的格数（格） 0油的比重（克/厘米3） m汞的比重(克/厘米3） Pa当地大气压强（托） Vt滴管的刻度上的一格的对应的容积（升/格）15、旋片真空泵的几何抽速计算公式: SZnLKv（D2-d2）/（24104) (l/s) 式中：Z为旋片数，n为转速(转/分)，L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径(cm），Kv为容积利用系数（一般取95).16、O型橡胶槽深B0。7D D为橡胶直径,槽宽C1。6B17、方形橡胶槽深B0。8A A为方形橡胶边长，槽宽C1.67B 选用真空泵时，需要注意下列事项： 1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1105mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5106mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级. 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如:扩散泵为10-3107mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4510-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在108mmHg下长期工作.又如钛升华泵可以在102mmHg下工作,但其工作压强应小于1105mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速,两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用. 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等.如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵.如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外. 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响.若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用.水环式真空泵的选择一、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定.泵工作时，需要注意以下两个方面：尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。 应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行.在此区域内运行,不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音.对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行,往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动.汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏,以致泵无法工作。 根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵.如果真空度要求在710mmHg以上，可选用水环大气泵或水环罗茨真空机组作为抽真空装置。如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单,容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适.因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡,轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页。面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型代号主要特点极限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速范围m3/min密封形式sk 国内设计单级水环真空泵,结构简单、维修方便.目前国内主流的低真空水环式真空泵.700-3006500.15120 盘根、机械密封2sk国内设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用,比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点.目前国内主流水环式真空泵。735-300-7001。530盘根、机械密封2BV采用西门子先进技术,机泵同轴,结构紧凑，效率高，真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列0。46m3/min抽速的水环真空泵。7353007000.458.33机械密封2BE1采用西门子先进技术，效率高,真空度高，性能稳定，将逐渐替代SK、2SK系列6120m3/min抽速的水环真空泵.735640-300-7003006005400盘根、机械密封SZ50年代苏联技术，效率低，能耗大,80年代初已被淘汰,主要应用于老用户。640-7003006501。527盘根SZB50年代苏联技术,效率低,能耗大，80年代初已被淘汰，主要应用于水泵引水,目前已被SK系列水环泵替代。600300-5500.330。66盘根2SY主要应用于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa630机械密封2YK结构基本与2SK系列相同，可以用被抽介质作为工作液,极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限真空度。755-3007201。530机械密封