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基于LTCC工艺的设计规范总结.doc

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基于LTCC工艺的设计规范总结 1.材料特性 特性 相关参数值 1.相对介电常数Er: 5.9±0。2@(1~100GH) 2.介质损耗角正切: 〈0.002 @(1~100GHz) 3.电阻率: 〉at 100DVCΩ 5.层数: 最多30层 6.每层层厚: 0.1mm 7.导体厚度: 0.01mm 8.孔径: 最小直径0.1mm可选6mil 8mil 10mil 12mil 9.密度:Density 3。2 10.镀金属: 铜(Cu)顶层:嵌入其中,中间层:上下各嵌入50% 过孔镀银(Ag) 11.基板尺寸(最大) 105mm×105mm 12.生瓷片精度 横向平面精度:±5um 众向生瓷精度:±10um 2。导体线宽和间距 建议尺寸 最小尺寸 A B C 顶层 45um 45um 45um 内层 100um 100um 100um Note: 可能的情况下推荐更大的间距,密度过大或者焊盘过近将造成潜在的短路问题 相关参数: 网印最小线宽/间距 100um/100um直描最小线宽/间距 50um/75um 蚀刻最小线宽/间距 45um/45um 3.导体到基板边缘的间距/和腔体间隙 推荐尺寸 最小尺寸 4.电气过孔 214 的可选通孔直径为:6mils、8mils、10mils、12mils 互连通孔最小直径:0.1mm 5。同层通孔间距 A一般取3倍于孔径尺寸 注意:散热和RF通孔排除在此标准外 相关参数:互连通孔最小节距:0.3mm 6。过孔托盘 在通孔上面和下面的托盘必须以一定的距离与通孔的所有边都重叠,除非密集布线情况时不允许使用此方法(通孔直接与导线相连) 7.基板边缘电气通孔 A值推荐3~4倍于通孔直径,最小为18~25mil 8.器件安装处通孔分布 当设计的密度需要长的通孔串时,通孔必须交错分布以防发生突然折断的裂缝. 层与层直接的电气通孔之间的交错连接:通孔采取垂直方向的交错(Z字型),以使传送通道(routing channels)的封闭(blockage)降到最小,并减小通孔的“加速效应”(posting effect)。以下是交错通孔技术的示例: 可接受的Z字形 推荐的阶梯型 堆叠通孔 通孔堆栈:说明:电连接建议使用交错通孔,在特别情况下,在同一通孔处最多可以通孔15 层. 9.地和电源面板 大面积的裸露导体区域,比如面板,必须是实心的.烧结板在所有可能的地方应该网格化。铺地的区域必须是实心的,以此在需要时提供对传输线或其他关键信号线的保护.所有铺地板的边缘(在基板的周围和腔体附近)都必须造成城形,来提升生瓷带层与层之间的迭片结构的粘合性。相邻层之间的面板的栅格形状必须是可以相互抵消(offset)的,使基板顶层和地层表面较为平整 注意:接地板的网格应尽可能的大来减小多余增量和损耗,对于大面积地面/电源面,建议使用栅格形式,对于特别情况,局部可以使用面地面/面电源面。 10.空腔 空腔底部导体与空腔壁之间的间隙 如果有必要,底部导体的电气连接可以穿过空腔壁,但是不能超过壁长的25%,最大50%,城形的金属化设计可以用来满足该设计。 裸露/烧结导体到腔体壁之间的间隙 11.通孔与腔体的间隙 通孔和腔体壁之间的间隙 连接架 注意:在设计确认前应该检查连接架上的空腔壁高度 12.空腔与空腔的间隔: 最小尺寸 注意: 1. 烧结腔体壁长度不应超过500mils 2. 烧结前的经机械加工的腔体壁长度不能超过2inches 3. 最少腔体深度是一层生瓷片,连接架是经过考虑的腔体构成的. 4. 需要检查
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