CV量测基本要求.doc

CV量测基本要求1.0 总纲1.1 Fab2 CV 量测步骤1.2 内容文本记录外延生产过程中电阻率量测步骤，注意事项。1.3 范围本CV量测步骤，注意事项仅限于Fab21.4 参考资料 资料编号资料名称MES 使用净化间纪律6S SSM495CV SYSEM作业指导书三级安全教育培训2.0 设备SSM495CV SSM490i 3.0 安全 3.1 个人防护设备 3.1.1个人防护设备STEPTASK潜在危害个人防护设备16.0酸腐蚀防HF级别手套 （暗红、黑色）26.0汞带净化手套，用完换手套36.0酸灼伤安全眼镜3.2 培训/上岗证 资料编号资料名称MES 使用CV量测考核净化间纪律三级安全教育培训3.3 紧急处理 根据工作情况，找最近的安全设备1. 洗眼器2. 冲淋器3. 灭火器4. 紧急电话及号码 5. 逃生门及逃生路线 3.4 一般 EHS 伤害伤害可能性 .控制 .割伤破碎的衬底小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取3.5 特殊液、气体伤害化学品名称特性状态伤害IPA易燃液体呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤Ar毒性液体呼吸剌激，眼睛伤害，剧毒HF酸性液体呼吸剌激，眼睛伤害，腐蚀H2O2易燃液体呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤3.6 化学品安全技术说明书(MSDS)3.7 废弃物处置 废弃物处置6% IPA 挥发性处置化学品沾染手套对应化学品收集桶破碎衬底交给质检人员3.8 设备清洁 用6% IPA 洁净布进行擦拭4.0 测量前准备工作4.1 交接班任务交接产品有特殊要求的看交接本交接班遗留产品书面交接4.2 点检交班后正常测试前，对1.13、7.0、18.70、62ohm.cm 四种点检片进行点检。点检不合格，立即通知CV工程师。4.3 配液配液名称测试规范确认备注氢氟酸配液H2O 350ml/ HF 50ml每日早班按比例要求换液戴好相应的防护措施双氧水配液H2O 450ml/ H2O2 150ml每日早班按比例要求换液戴好相应的防护措施5.0 测量过程5.1 测试规范确认产品测试规范确认备注样品APQP有疑点，通知班长王盛工艺 量产产品U8有疑点，通知班长王盛工艺5.1.1生产样品时测试规范确认 样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。确认样品后查看Y:3.营销部3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。点开Control Plan-* 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。注意:特别是量测点位及距边宽度如有问题，马上反应。班长王盛工艺 并通知生产。5.1.2生产量产时测试规范确认 量产产品是指生产安排内非黄色标示的。打开U8,供应链质量菅理初始设置基础档案质量检验方案列表 按照(对应产品)来查询.PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找查看规范.6.0 测量过程如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果测试正常确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求输入MES时核对操作员拿过来的CV片背面没有写清楚日期机台炉号等必要信息退回给相关人员不进行测试，直到测试片有明确信息测试片表面无问题，测试不出泡酸处理，然后O3处理，N2吹干，继续测试注意测量手法，不能碰到探头测量时不能使机器晃动测试片表面有较多凹坑换一片测试片凹点多会导致漏汞测试处有凹坑单点测凹坑过多，换一片测测试片表面异常粘或者脏用布擦测试数据偏高或偏低先拿前一炉片子复测，若不正常再进行点检确认测试机台问题通知设备工程师测量阻值小于1ohm.cm先点检，后测试阻值太小，测不准，建议用4PP测量产品的面积、电压有特殊要求面积有特殊要求的先点检好相对应的点检片，确认好要更改的面积测试时漏汞用吸汞笔立即把汞吸干净立即通知设备人员7.0 CV测试数据录入如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果正常测量完成后输入MES 确保数据真实有效MES CV量测未找到当前CV lot 号督促机台操作人员完成上一步MES操作CV操作员应当保证先系统后操作报废片转测试片MES中离线数据收集 正片转测试片特殊报废代码不影响良率MES未建此产品或MES不能用输入ERP旧系统MES恢复后补入数据CV数据超标，被Hold通知班长及机台人员 CV单点数据超标 通知班长及机台人员通知工艺8.0 CV测试后工作如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果6S 9.0 历史记录Rev No.: 0Author of Change: mlfugateChanges to Section: All SectionsReason/Change: New SpecFTIR量测基本要求1.0 总纲1.1 Fab2 FTIR 量测步骤1.2 内容文本记录外延生产过程中外延厚度量测步骤，注意事项。1.3 范围本FTIR量测步骤，注意事项仅限于Fab21.4 参考资料 资料编号资料名称MES 使用净化间纪律6S QS200、QS2000作业指导书三级安全教育培训2.0 设备QS200 QS2000 3.0 安全 3.1 个人防护设备 3.2 培训/上岗证 资料编号资料名称MES 使用FTIR量测考核净化间纪律三级安全教育培训3.3 设备清洁 用6% IPA 洁净布进行擦拭4.0 测量前准备工作4.1 交接班任务交接产品有特殊要求的看交接本交接班遗留产品书面交接4.2 点检接班后按要求对机台进行点检，点检片按工程师指定的点检片，如果异常停止使用FTIR，报告班长及设备工程师。点检4种recipe：N-normal、N-normal-5、N-normal-70、N-normal-100。所有可工作机台必须点检，即使本班可能不用这台机台点检不合格，立即通知CV工程师。5.0 测量过程5.1 测试规范确认产品测试规范确认备注样品APQP有疑点，通知班长王盛工艺 量产产品U8有疑点，通知班长王盛工艺5.1.1生产样品时测试规范确认 样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。确认样品后查看Y:3.营销部3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。点开Control Plan-* 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。注意:特别是量测点位及距边宽度如有问题，马上反应。班长王盛工艺 并通知生产。5.1.2生产量产时测试规范确认 量产产品是指生产安排内非黄色标示的。打开U8,供应链质量菅理初始设置基础档案质量检验方案列表 按照(对应产品)来查询.PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找查看规范.6.0 测量过程6.1在线产品操作如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果机台正常生产，正常测量完成后每炉需测一片，输入MES 确保数据真实有效，均匀性必须在规范内，对照均匀性范围对照表为准MES FTIR量测未找到当前CV lot 号督促机台操作人员完成上一步MES操作FTIR操作员应当保证先系统后操作样片试炉、保养后第一炉厚度全测 记录均匀性GII BPE2061机台接班后第一炉需测炉内均匀性记录均匀性MES未建此产品或MES不能用输入ERP旧系统MES恢复后补入数据FTIR 数据超标，被Hold通知班长及机台人员不得私自篡改数据6.2产品量测特性如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果样片、6、8寸外延片量测需量测去边6mm 9点数据数据不理想，不得私自篡改数据，通知班长4、5寸外延片量测去边10mm 5点数据数据不理想，不得私自篡改数据，通知班长客户扬州吉利，海湾，台湾vishay需测量每片中心点厚度海湾产品超规范测5点数据分档用桑德士产品需测量9点厚度数据SB衬底10um以下量测厚度不准确7.0 CV测试后工作如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果6S 8.0 历史记录Rev No.: 0Author of Change: mlfugateChanges to Section: All SectionsReason/Change: New Spec清洗基本要求1.0 总纲1.1 Fab2 清洗步骤1.2 内容文本记录外延生产过程中衬底、外延产品清洗步骤，注意事项。1.3 范围本清洗步骤，注意事项仅限于Fab21.4 参考资料 资料编号资料名称MES 使用净化间纪律6S 清洗作业指导书三级安全教育培训2.0 设备 3.0 安全 3.1 个人防护设备 3.1.1个人防护设备STEPTASK潜在危害个人防护设备16.0酸腐蚀防HF级别手套 （暗红、黑色）26.0酸灼伤安全眼镜3.2 培训/上岗证 资料编号资料名称MES 使用清洗考核净化间纪律三级安全教育培训3.3 紧急处理 根据工作情况，找最近的安全设备1. 洗眼器2. 冲淋器3. 灭火器4. 紧急电话及号码 5. 逃生门及逃生路线 3.4 一般 EHS 伤害伤害可能性 .控制 .割伤破碎的衬底小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取3.5 特殊液、气体伤害化学品名称特性状态伤害IPA易燃液体呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤HCL酸性液体呼吸剌激，眼睛伤害，腐蚀H2O2易燃液体呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤NH3H2O弱碱性液体有强烈的刺激性臭味3.6 化学品安全技术说明书(MSDS)3.7 废弃物处置 废弃物处置IPA 挥发性处置化学品沾染手套对应化学品收集桶破碎衬底交给质检人员3.8 设备清洁 用6% IPA 洁净布进行擦拭4.0 清洗前准备工作4.1 交接班任务交接产品有特殊要求的看交接本交接班遗留产品书面交接4.2 配液配液名称测试规范确认备注一号液H2O2：NH3H2O =1:2每8小时换液二号液H2O2：HCL = 1:1每8小时换液4.0 清洗过程5.1 清洗规范确认产品测试规范确认备注衬底 抄写lot号有疑点，通知班长 量产产品抄写品名卡号有疑点，通知班长 6.0 清洗过程如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果清洗产品不同尺寸产品一起洗相同品名产品一起洗容易混片8寸清洗机7.0清洗数据录入如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果正常清洗产品钱抄写品名卡号时间日期 确保数据真实有效8.0 清洗后工作如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果6S 9.0 历史记录Rev No.: 0Author of Change: mlfugateChanges to Section: All SectionsReason/Change: New Spec包装基本要求1.0 总纲1.1 Fab2 包装步骤1.2 内容文本记录外延生产过程中衬底、外延产品包装步骤，注意事项。1.3 范围本包装步骤，注意事项仅限于Fab21.4 参考资料 资料编号资料名称MES 使用净化间纪律6S 包装作业指导书三级安全教育培训2.0 设备 4、5、6寸人民包装机厂包装机 8寸真空充氮包装机3.0 安全 3.1 个人防护设备 3.2 培训/上岗证 资料编号资料名称MES 使用包装考核净化间纪律三级安全教育培训3.3 紧急处理 根据工作情况，找最近的安全设备6. 洗眼器7. 冲淋器8. 灭火器9. 紧急电话及号码 10. 逃生门及逃生路线 3.4 一般 EHS 伤害3.8 设备清洁 用6% IPA 洁净布进行擦拭4.0 包装前准备工作4.1 交接班任务交接产品有特殊要求的看交接本交接班遗留产品书面交接5.0 包装过程如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果包装产品核对产品标签数量品名容易混片8寸包装机6.0 CV包装数据录入如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果及时入库MES包装、入库 MES入库半小时后才能出COC数据7.0 CV包装后工作如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果6S 8.0 历史记录Rev No.: 0Author of Change: mlfugateChanges to Section: All SectionsReason/Change: New Spec外延生产基本要求1.0 总纲1.1 Fab2外延生产步骤1.2 内容文本记录外延生产过程中外延生产步骤，注意事项。1.3 范围本外延生产步骤，注意事项仅限于Fab21.4 参考资料 资料编号资料名称MES 使用净化间纪律6S 外延作业指导书三级安全教育培训2.0 设备机台类型资料 ASM2000 plus单片炉LEP2061桶式炉LPE3061平板炉Gemini II平板炉3.0 安全 3.1 个人防护设备 3.1.1个人防护设备STEPTASK潜在危害个人防护设备16.0热灼伤安全眼镜3.2 培训/上岗证 资料编号资料名称MES 使用外延机台理论操作考核净化间纪律三级安全教育培训3.3 紧急处理 根据工作情况，找最近的安全设备6. 洗眼器7. 冲淋器8. 灭火器9. 紧急电话及号码 10. 逃生门及逃生路线 3.4 一般 EHS 伤害伤害可能性 .控制 .割伤破碎的衬底小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取3.5 废弃物处置 废弃物处置6% IPA 挥发性处置破碎衬底交给质检人员3.6 设备清洁 用6% IPA 洁净布进行擦拭4.0 外延前准备工作4.1 交接班任务交接产品有特殊要求的看交接本交接班遗留产品书面交接4.2 点检机台类型点检ASM2000 plus白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师LEP2061白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师LPE3061白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师Gemini II白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师5.0 外延生产过程5.1 外延生产规范确认产品测试规范确认备注样品APQP有疑点，通知班长王盛工艺 量产产品U8有疑点，通知班长王盛工艺5.1.1生产样品时测试规范确认 样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。确认样品后查看Y:3.营销部3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。点开Control Plan-* 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。注意:特别是有无拉偏要求如有问题，马上反应。班长王盛工艺 并通知生产。5.1.2生产量产时测试规范确认 量产产品是指生产安排内非黄色标示的。打开U8,供应链质量菅理初始设置基础档案质量检验方案列表 按照(对应产品)来查询.PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找查看规范.6.0 外延生产过程如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果填写外延炉作业表随工单确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求输入MES时核对记录测试片片料号在对应Pocket位置，填写外延炉作业表相应Recipe设定参数按生产排程到物料存放区按照标示取相应衬底片和测试片记录衬底（SUB）的生产批号在外延炉作业表相应的位置核对产品及衬底信息， MES入栈先系统后操作机台、品名、数量，不能输错系统里出炉号再填写作业本登录机台操作权限：选择操作者，输入密码后，按enter键进入权限操作手动上片流程见各机台作业指导书GII、LPE2061手动上片怀疑有颗粒，取下清洗Recipe选择按照生产规范上要求的Recipe选择相对应的Recipe 核对recipe有误错误GII N-As-LASM 工艺程序2061 产品名3061 Recipe Group手动下片流程见各机台作业指导书在记录单上填写下片时间， 、将硅片转换入片盒，连同随工单一起送到下一站MES出栈调整机台状态7.0 外延炉作业表填写过程如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果生产前确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求输入MES时核对记录测试片片料号在对应Pocket位置，填写外延炉作业表相应Recipe设定参数生产中根据操作界面显示把H2、Source、Dope、Temp、Power、Dep time、Scrubber负压等项填写在外延炉作业表上位置生产结束产品测试厚度，阻值量测结束后，Operator需要在外延炉作业表计算累积厚度。根据SPC数据判断是否需要自行调整生长时间8.0 外延生产注意事项如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果生产过程中有报警通知设备值班技术员和工艺技术员做记录，备注确认Recipe运行错误点击ProcessAbort中止运行防止混料非同一工单料号产品片不得同时存放在同一工作台上方，不得撕下任何尚有衬底之片盒标签选择Etch Recipe的原则保证能蚀刻掉上次蚀刻后产品生长厚度例如，1Run 1Etch,产品厚度为45 um, 选择ETCH50修改完recipe需确认是否正确修改及是否保存查看屏幕下方有没有保存提示机台停机半小时或者有当机确认机台里有无衬底，确认腔体环境ASM恢复时一定要跑二个生产程序的PCRCPM后首炉产品需全测厚度9.0 试炉转满炉机台如果 (情况) .那么 合格后转满炉 备注、结果ASM试炉1片上半炉看后续结果工艺条件不变LPE2061试炉3片，ABC三个位置工艺条件不变GII试炉2片，4寸内外圈 试炉1片，5寸6寸单圈工艺条件不变 LPE3061试炉1片要更改生长温度，具体看当时生产产品情况10.0 试炉机台如果 (情况) .那么 合格后转满炉 备注、结果ASM试炉1片上半炉看后续结果工艺条件不变LPE2061试炉3片，ABC三个位置工艺条件不变GII试炉2片，4寸内外圈 试炉1片，5寸6寸单圈工艺条件不变 LPE3061试炉1片要更改生长温度，具体看当时生产产品情况11.0 Intrinsic的测试片选择以及阻值要求机台测试片选择阻值要求备注ASMN型 掺 SB 衬底 晶向为优先，其次为阻值须300ohm-cmEP-ST-013-05Gemini IIN型 掺 SB 衬底 晶向为优先，其次为阻值须100ohm-cmEP-ST-013-01EP-ST-025-03LPE2061N型 掺 SB 衬底 晶向为优先，其次为阻值须100ohm-cmEP-ST-013-01EP-ST-025-03LPE3061N型 掺 SB 衬底 晶向阻值须200ohm-cmEP-ST-401-04EP-ST-013-0510.0 外延生产后工作如果 (情况) .那么 (动作) .备注、结果6S 11.0 历史记录Rev No.: 0Author of Change: mlfugateChanges to Section: All SectionsReason/Change: New Spec1. 合同管理制度1 范围本标准规定了龙腾公司合同管理工作的管理机构、职责、合同的授权委托、洽谈、承办、会签、订阅、履行和变更、终止及争议处理和合同管理的处罚、奖励；本标准适用于龙腾公司项目建设期间的各类合同管理工作，厂内各类合同的管理，厂内所属各具法人资格的部门，参照本标准执行。2 规范性引用中华人民共和国合同法龙腾公司合同管理办法3 定义、符号、缩略语无4 职责4.1 总经理：龙腾公司经营管理的法定代表人。负责对厂内各类合同管理工作实行统一领导。以法人代表名义或授权委托他人签订各类合法合同，并对电厂负责。4.2 工程部：是发电厂建设施工安装等工程合同签订管理部门；负责签订管理基建、安装、人工技术的工程合同。4.3 经营部：是合同签订管理部门，负责管理设备、材料、物资的订购合同。4.5 合同管理部门履行以下职责：4.5.1 建立健全合同管理办法并逐步完善规范；4.5.2 参与合同的洽谈、起草、审查、签约、变更、解除以及合同的签证、公证、调解、诉讼等活动，全程跟踪和检查合同的履行质量；4.5.3 审查、登记合同对方单位代表资格及单位资质，包括营业执照、经营范围、技术装备、信誉、越区域经营许可等证件及履约能力（必要时要求对方提供担保），检查合同的履行情况；4.5.4 保管法人代表授权委托书、合同专用章，并按编号归口使用；4.5.5 建立合同管理台帐，对合同文本资料进行编号统计管理；4.5.6 组织对法规、制度的学习和贯彻执行，定期向有关领导和部门报告工作；4.5.7 在总经理领导下，做好合同管理的其他工作，4.6 工程技术部：专职合同管理员及材料、燃料供应部兼职合同管理员履行以下职责：4.6.1 在主任领导下，做好本部门负责的各项合同的管理工作，负责保管“法人授权委托书”；4.6.2 签订合同时，检查对方的有关证件，对合同文本内容依照法规进行检查，检查合同标的数量、金额、日期、地点、质量要求、安全责任、违约责任是否明确，并提出补充及修改意见。重大问题应及时向有关领导报告，提出解决方案；4.6.3 对专业对口的合同统一编号、登记、建立台帐，分类整理归档。对合同承办部门提供相关法规咨询和日常协作服务工作；4.6.4 工程技术部专职合同管理员负责收集整理各类合同，建立合同统计台帐，并负责