CV量测基本要求.doc

CV量测基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 CV 量测步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中电阻率量测步骤，注意事项。

1.3 范围

本CV量测步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

SSM495CV SYSEM作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备
SSM495CV
SSM490i

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.1.1 个人防护设备

STEP
TASK
潜在危害
个人防护设备 
1
6.0
酸腐蚀
防HF级别手套 （暗红、黑色）
2
6.0
汞
带净化手套，用完换手套
3
6.0
酸灼伤
安全眼镜

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

CV量测考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3  紧急处理 

根据工作情况，找最近的安全设备

1. 洗眼器
2. 冲淋器
3. 灭火器
4. 紧急电话及号码
5. 逃生门及逃生路线

3.4 一般 EHS 伤害

伤害
可能性 ...
控制 ...
割伤
破碎的衬底
小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取

3.5  特殊液、气体伤害

化学品名称
 特性
 状态
 伤害
IPA
易燃
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤
Ar
毒性
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，剧毒
HF
酸性
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，腐蚀
H2O2
易燃
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤

3.6  化学品安全技术说明书(MSDS)

3.7 废弃物处置 

废弃物
处置
6% IPA
挥发性处置
化学品沾染手套
对应化学品收集桶
破碎衬底
交给质检人员

3.8 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 测量前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

4.2 点检

交班后正常测试前，对1.13、7.0、18.70、62ohm.cm 四种点检片进行点检。点检不合格，立即通知CV工程师。

4.3 配液

配液名称
测试规范确认
备注
氢氟酸配液
H2O 350ml/ HF 50ml
每日早班按比例要求换液
戴好相应的防护措施
双氧水配液
H2O 450ml/ H2O2 150ml
每日早班按比例要求换液
戴好相应的防护措施

5.0 测量过程

5.1 测试规范确认

产品
测试规范确认
备注
样品
APQP
有疑点，通知班长—王盛—工艺
量产产品
U8
有疑点，通知班长—王盛—工艺

5.1.1生产样品时测试规范确认

样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。
确认样品后查看Y:\3.营销部\3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。

点开Control Plan-*** 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。

注意:特别是量测点位及距边宽度

如有问题，马上反应。班长—王盛—工艺 并通知生产。

5.1.2生产量产时测试规范确认

量产产品是指生产安排内非黄色标示的。
打开U8,供应链—质量菅理—初始设置—基础档案—质量检验方案列表
按照(对应产品)来查询.

PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找

查看规范.

6.0 测量过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
测试正常
确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求
输入MES时核对
操作员拿过来的CV片背面没有写清楚日期机台炉号等必要信息
退回给相关人员
不进行测试，直到测试片有明确信息
测试片表面无问题，测试不出
泡酸处理，然后O3处理，N2吹干，继续测试
 注意测量手法，不能碰到探头
测量时不能使机器晃动
测试片表面有较多凹坑
换一片测试片
凹点多会导致漏汞
测试处有凹坑
单点测
凹坑过多，换一片测
测试片表面异常粘或者脏
用布擦

测试数据偏高或偏低
先拿前一炉片子复测，若不正常再进行点检
确认测试机台问题通知设备工程师
测量阻值小于1ohm.cm
先点检，后测试
阻值太小，测不准，建议用4PP测量
产品的面积、电压有特殊要求
面积有特殊要求的先点检好相对应的点检片，确认好要更改的面积

测试时漏汞
用吸汞笔立即把汞吸干净
立即通知设备人员

7.0 CV测试数据录入

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
正常测量完成后
输入MES
确保数据真实有效
MES CV量测未找到当前CV lot 号
督促机台操作人员完成上一步MES操作
 CV操作员应当保证先系统后操作
报废片转测试片
MES中离线数据收集

正片转测试片

特殊报废代码不影响良率
MES未建此产品或MES不能用
输入ERP旧系统
MES恢复后补入数据
CV数据超标，被Hold
通知班长及机台人员

CV单点数据超标
通知班长及机台人员
通知工艺

8.0 CV测试后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

9.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec

FTIR量测基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 FTIR 量测步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中外延厚度量测步骤，注意事项。

1.3 范围

本FTIR量测步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

QS200、QS2000作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备
QS200
QS2000

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

FTIR量测考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 测量前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

4.2 点检

接班后按要求对机台进行点检，点检片按工程师指定的点检片，如果异常停止使用FTIR，报告班长及设备工程师。点检4种recipe：N-normal、N-normal-5、N-normal-70、N-normal-100。所有可工作机台必须点检，即使本班可能不用这台机台点检不合格，立即通知CV工程师。

5.0 测量过程

5.1 测试规范确认

产品
测试规范确认
备注
样品
APQP
有疑点，通知班长—王盛—工艺
量产产品
U8
有疑点，通知班长—王盛—工艺

5.1.1生产样品时测试规范确认

样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。
确认样品后查看Y:\3.营销部\3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。

点开Control Plan-*** 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。

注意:特别是量测点位及距边宽度

如有问题，马上反应。班长—王盛—工艺 并通知生产。

5.1.2生产量产时测试规范确认

量产产品是指生产安排内非黄色标示的。
打开U8,供应链—质量菅理—初始设置—基础档案—质量检验方案列表
按照(对应产品)来查询.

PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找

查看规范.

6.0 测量过程

6.1在线产品操作
如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
机台正常生产，正常测量完成后
每炉需测一片，输入MES
确保数据真实有效，均匀性必须在规范内，对照均匀性范围对照表为准
MES FTIR量测未找到当前CV lot 号
督促机台操作人员完成上一步MES操作
FTIR操作员应当保证先系统后操作
样片试炉、保养后第一炉
厚度全测
记录均匀性
GII BPE2061机台接班后第一炉
需测炉内均匀性
记录均匀性
MES未建此产品或MES不能用
输入ERP旧系统
MES恢复后补入数据
FTIR 数据超标，被Hold
通知班长及机台人员
不得私自篡改数据

6.2产品量测特性
如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
样片、6、8寸外延片量测
需量测去边6mm 9点数据
数据不理想，不得私自篡改数据，通知班长
4、5寸外延片量测
去边10mm 5点数据
数据不理想，不得私自篡改数据，通知班长
客户扬州吉利，海湾，台湾vishay
需测量每片中心点厚度

海湾产品超规范
测5点数据
分档用
桑德士产品
需测量9点厚度数据

SB衬底10um以下量测
厚度不准确

7.0 CV测试后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

8.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec

清洗基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 清洗步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中衬底、外延产品清洗步骤，注意事项。

1.3 范围

本清洗步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

清洗作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.1.1 个人防护设备

STEP
TASK
潜在危害
个人防护设备 
1
6.0
酸腐蚀
防HF级别手套 （暗红、黑色）
2
6.0
酸灼伤
安全眼镜

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

清洗考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3  紧急处理 

根据工作情况，找最近的安全设备

1. 洗眼器
2. 冲淋器
3. 灭火器
4. 紧急电话及号码
5. 逃生门及逃生路线

3.4 一般 EHS 伤害

伤害
可能性 ...
控制 ...
割伤
破碎的衬底
小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取

3.5  特殊液、气体伤害

化学品名称
 特性
 状态
 伤害
IPA
易燃
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤
HCL
酸性
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，腐蚀
H2O2
易燃
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤
NH3·H2O
弱碱性
液体
有强烈的刺激性臭味

3.6  化学品安全技术说明书(MSDS)

3.7 废弃物处置 

废弃物
处置
IPA
挥发性处置
化学品沾染手套
对应化学品收集桶
破碎衬底
交给质检人员

3.8 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 清洗前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

4.2 配液

配液名称
测试规范确认
备注
一号液
H2O2：NH3·H2O =1:2
每8小时换液
二号液
H2O2：HCL = 1:1
每8小时换液

4.0 清洗过程

5.1 清洗规范确认

产品
测试规范确认
备注
衬底
抄写lot号
有疑点，通知班长
量产产品
抄写品名卡号
有疑点，通知班长

6.0 清洗过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
清洗产品
不同尺寸产品一起洗
相同品名产品一起洗
容易混片
8寸清洗机

7.0清洗数据录入

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
正常清洗产品钱
抄写品名卡号时间日期
确保数据真实有效

8.0 清洗后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

9.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec

包装基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 包装步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中衬底、外延产品包装步骤，注意事项。

1.3 范围

本包装步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

包装作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备
4、5、6寸人民包装机厂包装机
8寸真空充氮包装机

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

包装考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3  紧急处理 

根据工作情况，找最近的安全设备

6. 洗眼器
7. 冲淋器
8. 灭火器
9. 紧急电话及号码
10. 逃生门及逃生路线

3.4 一般 EHS 伤害

3.8 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 包装前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

5.0 包装过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
包装产品
核对产品标签数量品名
容易混片
8寸包装机

6.0 CV包装数据录入

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
及时入库
MES包装、入库
MES入库半小时后才能出COC数据

7.0 CV包装后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

8.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec

外延生产基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2外延生产步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中外延生产步骤，注意事项。

1.3 范围

本外延生产步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

外延作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备
机台类型
资料
ASM2000 plus
单片炉
LEP2061
桶式炉
LPE3061
平板炉
Gemini II
平板炉

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.1.1 个人防护设备

STEP
TASK
潜在危害
个人防护设备 
1
6.0
热灼伤
安全眼镜

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

外延机台理论操作考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3  紧急处理 

根据工作情况，找最近的安全设备

6. 洗眼器
7. 冲淋器
8. 灭火器
9. 紧急电话及号码
10. 逃生门及逃生路线

3.4 一般 EHS 伤害

伤害
可能性 ...
控制 ...
割伤
破碎的衬底
小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取

3.5 废弃物处置 

废弃物
处置
6% IPA
挥发性处置
破碎衬底
交给质检人员

3.6 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 外延前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

4.2 点检

机台类型
点检
ASM2000 plus
白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师
LEP2061
白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师
LPE3061
白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师
Gemini II
白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师

5.0 外延生产过程

5.1 外延生产规范确认

产品
测试规范确认
备注
样品
APQP
有疑点，通知班长—王盛—工艺
量产产品
U8
有疑点，通知班长—王盛—工艺

5.1.1生产样品时测试规范确认

样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。
确认样品后查看Y:\3.营销部\3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。

点开Control Plan-*** 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。

注意:特别是有无拉偏要求

如有问题，马上反应。班长—王盛—工艺 并通知生产。

5.1.2生产量产时测试规范确认

量产产品是指生产安排内非黄色标示的。
打开U8,供应链—质量菅理—初始设置—基础档案—质量检验方案列表
按照(对应产品)来查询.

PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找

查看规范.

6.0 外延生产过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
填写《外延炉作业表》
随工单
确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求
输入MES时核对
记录测试片片料号在对应Pocket位置，填写《外延炉作业表》相应Recipe设定参数
按生产排程到物料存放区按照标示取相应衬底片和测试片
记录衬底（SUB）的生产批号在《外延炉作业表》相应的位置
核对产品及衬底信息，
MES入栈
先系统后操作
机台、品名、数量，不能输错
系统里出炉号再填写作业本
登录机台
操作权限：选择操作者，输入密码后，按enter键进入权限操作

手动上片流程
见各机台作业指导书
GII、LPE2061手动上片怀疑有颗粒，取下清洗
Recipe选择
按照生产规范上要求的Recipe选择相对应的Recipe 核对recipe有误错误
GII N-As-L
ASM 工艺程序
2061 产品名
3061 Recipe Group
手动下片流程
见各机台作业指导书

在记录单上填写下片时间，
、将硅片转换入片盒，连同随工单一起送到下一站

MES出栈
调整机台状态

7.0 《外延炉作业表》填写过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
生产前
确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求
输入MES时核对
记录测试片片料号在对应Pocket位置，填写《外延炉作业表》相应Recipe设定参数
生产中
根据操作界面显示把H2、Source、Dope、Temp、Power、Dep time、Scrubber负压等项填写在《外延炉作业表》上位置

生产结束
产品测试厚度，阻值量测结束后，Operator需要在《外延炉作业表》计算累积厚度。
根据SPC数据判断是否需要自行调整生长时间

8.0 外延生产注意事项

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
生产过程中有报警
通知设备值班技术员和工艺技术员
做记录，备注
确认Recipe运行错误
点击Process→Abort中止运行

防止混料
非同一工单料号产品片不得同时存放在同一工作台上方，不得撕下任何尚有衬底之片盒标签

选择Etch Recipe的原则
保证能蚀刻掉上次蚀刻后产品生长厚度
例如，1Run 1Etch,产品厚度为45 um, 选择ETCH50
修改完recipe
需确认是否正确修改及是否保存查看屏幕下方有没有保存提示

机台停机半小时或者有当机
确认机台里有无衬底，确认腔体环境
ASM恢复时一定要跑二个生产程序的PCRC
PM后
首炉产品需全测厚度

9.0 试炉转满炉
机台
如果 (情况) ...
那么 合格后转满炉
备注、结果
ASM
试炉1片
上半炉看后续结果
工艺条件不变
LPE2061
试炉3片，ABC三个位置
工艺条件不变

GII
试炉2片，4寸内外圈 试炉1片，5寸6寸单圈
工艺条件不变

LPE3061
试炉1片
要更改生长温度，具体看当时生产产品情况

10.0 试炉
机台
如果 (情况) ...
那么 合格后转满炉
备注、结果
ASM
试炉1片
上半炉看后续结果
工艺条件不变
LPE2061
试炉3片，ABC三个位置
工艺条件不变

GII
试炉2片，4寸内外圈 试炉1片，5寸6寸单圈
工艺条件不变

LPE3061
试炉1片
要更改生长温度，具体看当时生产产品情况

11.0 Intrinsic的测试片选择以及阻值要求

机台
测试片选择
阻值要求
备注
ASM
N型 掺 SB <100>衬底 晶向<100>为优先，其次为<111>
阻值须≥300ohm-cm
EP-ST-013-05
Gemini II
N型 掺 SB <100>衬底 晶向<100>为优先，其次为<111>
阻值须≥100ohm-cm
EP-ST-013-01
EP-ST-025-03
LPE2061
N型 掺 SB <100>衬底 晶向<100>为优先，其次为<111>
阻值须≥100ohm-cm
EP-ST-013-01
EP-ST-025-03
LPE3061
N型 掺 SB <100>衬底 晶向<100>
阻值须≥200ohm-cm
EP-ST-401-04
EP-ST-013-05

10.0 外延生产后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

11.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec
1. 合同管理制度

1 范围
本标准规定了龙腾公司合同管理工作的管理机构、职责、合同的授权委托、洽谈、承办、会签、订阅、履行和变更、终止及争议处理和合同管理的处罚、奖励；
本标准适用于龙腾公司项目建设期间的各类合同管理工作，厂内各类合同的管理，厂内所属各具法人资格的部门，参照本标准执行。
2 规范性引用
《中华人民共和国合同法》
《龙腾公司合同管理办法》
3 定义、符号、缩略语
无
4 职责
4.1 总经理：龙腾公司经营管理的法定代表人。负责对厂内各类合同管理工作实行统一领导。以法人代表名义或授权委托他人签订各类合法合同，并对电厂负责。
4.2 工程部：是发电厂建设施工安装等工程合同签订管理部门；负责签订管理基建、安装、人工技术的工程合同。
4.3 经营部：是合同签订管理部门，负责管理设备、材料、物资的订购合同。
4.5 合同管理部门履行以下职责：
4.5.1 建立健全合同管理办法并逐步完善规范；
4.5.2 参与合同的洽谈、起草、审查、签约、变更、解除以及合同的签证、公证、调解、诉讼等活动，全程跟踪和检查合同的履行质量；
4.5.3 审查、登记合同对方单位代表资格及单位资质，包括营业执照、经营范围、技术装备、信誉、越区域经营许可等证件及履约能力（必要时要求对方提供担保），检查合同的履行情况；
4.5.4 保管法人代表授权委托书、合同专用章，并按编号归口使用；
4.5.5 建立合同管理台帐，对合同文本资料进行编号统计管理；
4.5.6 组织对法规、制度的学习和贯彻执行，定期向有关领导和部门报告工作；
4.5.7 在总经理领导下，做好合同管理的其他工作，
4.6 工程技术部：专职合同管理员及材料、燃料供应部兼职合同管理员履行以下职责：
4.6.1 在主任领导下，做好本部门负责的各项合同的管理工作，负责保管“法人授权委托书”；
4.6.2 签订合同时，检查对方的有关证件，对合同文本内容依照法规进行检查，检查合同标的数量、金额、日期、地点、质量要求、安全责任、违约责任是否明确，并提出补充及修改意见。重大问题应及时向有关领导报告，提出解决方案；
4.6.3 对专业对口的合同统一编号、登记、建立台帐，分类整理归档。对合同承办部门提供相关法规咨询和日常协作服务工作；
4.6.4 工程技术部专职合同管理员负责收集整理各类合同，建立合同统计台帐，并负责