XX公司12英寸集成电路生产线技改项目环境影响报告表(含环境风险专项评价).pdf

一、建设项目基本情况建设项目名称12英寸集成电路生产线技改项目项目代码建设单位联系人联系方式建设地点地理坐标国民经济 行业类别C39 73集成电路 制造建设项目 行业类别三十六、计算机、通信和其他电 子设备制造业，80电子器件制造,显示器件；集成电路制造；使用 有机溶剂的；有酸洗的以上均不 含仅分割、焊接、组装的建设性质新建（迁建）J改建J扩建技术改造建设项目 申报情形J首次申报项目口不予批准后再次申报项目 口超五年重新审核项目 口重大变动重新报批项目项目审批（核准/备案）部门（选填）项目审批（核准/备案）文号（选填）总投资（万元）220350环保投资（万元）2250环保投资占比（%）1.13%施工工期6个月是否开工建设J否是：用地（用海）面积（m2）140069专项评价设置情 况设置环境风险评价专题：有毒有害和易燃易爆危险物质存储量超过 临界量的建设项目规划情况中新广州知识城新能源新材料及智能芯片园（AG0621-AG0623 管理单元）控制性详细规划；审批单位：广州市人民政府；批准 文号：穗开内收（2020）52号。规划环境影响 评价情况中新广州知识城新能源新材料及智能芯片园（AG0621-AG0623 管理单元）控制性详细规划环境影响报告书审查情况的复函；审 查单位：广州市生态环境局；审查文号：穗环函（2019）2169号。规划及规划环境 影响评价符合性 分析中新广州知识城新能源新材料及智能芯片园（AG0621-AG0623管理单元）控制性详细规划和环评报告书提到：知识城新能源新材料及智能芯片园总体发展定位是将规划区打造 和建设成为一个创“芯”智能园，即新能源、新材料、智能芯片三1、产业政策相符性分析规划及规划环境 影响评价符合性 分析业并举的世界级创新智造高地；科创研发与高端制造为主的船型 创意街区；环山绕水的特色产业集团集群。现状用地分布、已批用地情况，以及未来片区内土地开发利用 的潜力，规划形成“一带，双芯，双廊四组团”的空间结构。其中：“一带”：新材料研发与中试生产带。本项目的位置属于规划园区 中的“一带”，是集成电路芯片生产企业，符合规划要求。其他符合性分析根据国民经济行业分类与代码（GB/T4754-2017,按第1号修改单修订）的 划分，本项目从事的行业属于C39 73集成电路制造，产品及工艺属于产业结构调 整指导目录（2019年本）（国家发展和改革委员会令第29号）中第一类“鼓励类”中第二十八条“信息产业”中第十九款“集成电路设计，线宽0.8微米以下集成电路 制造，及球栅阵列封装（BGA）、插针网络阵列封装（CSP）、多芯片封装（MCM）等先进封装与测试”。根据国家发展改革委商务部关于印发市场准入负面清单（2022年版）的通知（发改体改规2022397号），本项目属于集成电路生产项 目，不属于负面清单中禁止准入事项，亦不属于许可准入事项，属于市场准入负面 清单以外的行业，且不涉及与市场准入相关的禁止性规定。因此，本项目可依法进 行建设和投产。2、与土地利用规划相符性分析本项目在粤芯公司现有厂区内进行改扩建，粤芯公司的土地使用证（粤（2018）广州市不动产权第06860199号）显示的用地性质为工业用地。因此，本项目用地具 备合法性。根据中新广州知识城新能源新材料及智能芯片园（AG0621-AG0623管理单 元）控制性详细规划（穗开内收（2020）52号），本项目所在地属于Ml类工业用 地，详见下图：中新广川、邮只螭能藏材料及智能芯片园控制性灌醐划(AG0621-AG0623规划管理单元)通告附图审批印位广州市人民政府 fttWfil：20旃2 月 10 日批准文号：财内收(2020)52号 用地位工:中新广械识的哪主要批准内容：1.mom五路(SM).西开开 fittfi、(5tt).MtH 是四总WS翻必6.6呼方公里2.规朗定位.&幻ftt定位为世界 TW隼的生卷里高科技园区.包合 介值的电式产业复用.6XK 产业图雁动的前4投肆合应区.SffiA 才集聚的知识51共享It区三个方血3.0fflS*：WWB35OV 力公.4设用地3 19平方公图：常住 人口 130万人；规划区总U丽R60351 万平方米,平均电容枳车090.B3Wthnp/Mwwhp90*aVzw9k/EbMdex html图1中新广州知识城新能源新材料及智能芯片园(AG0621-AG0623管理单元)通告附图(编号：穗开内收202052号)参照城市用地分类与规划建设用地标准(GB50137-2011)修订说明“表3 工业用地的分类标准”，一类工业企业废水排放应达到污水综合排放标准(GB8 9 78-19 9 6)一级标准，废气排放应低于大气污染物综合排放标准(GB1629 7 19 9 6)二级标准，噪声排放应低于工业企业厂界环境噪声排放标准(GB123482008)1类声环境功能区标准。本项目与一类工业用地相符性分析详见下表：表1”项目与一类工业用地环保标准相符性分析内容环保要求相符性分析水达到污水综合排放标 准(GB8978-1996)一 级标准项目员工办公生活污水经厂区现有三级化粪池处理 后排入市政污水管网；生产废水经厂内现有的废水处 理设施达标处理后经市政污水管网接入九龙水质净 化三厂处理，尾水排放标准(CODcrW30mg/L、BOD5W6mg/L、SSW10mg/L、氨氮W1.5mg/L)低于 污水综合排放标准(GB8978 1996)一级标准(CODcrW60mg/L、BOD5 20mg/L SSW20mg/L、氨氮W15mg/L),符合标准要求。大气低于大气污染物综合排 放标准(GB16297项目生产过程中产生的工艺废气(氟化物、氯化氢、硫酸雾、NO,、磷酸、氯气、硅烷、磷烷、碑烷、磷 酸雾)经净化装置后再经9套(现有的8套和新增11996）二级标准套）碱液喷淋吸收塔处理后废气经10个37m排气筒 排放，排气 口编号（DA003-DA005、DA009-DA013、DA020-DA021）；碱性废气（氨）依托现有的生产厂房 楼顶已设置的3套酸液喷淋吸收塔处理后废气经3个 37m排气筒排放，排气口编号（DA002、DA007、DA008）；有机废气（TV 0C、二氧化硫、氮氧化物、烟尘）依托 在生产厂房楼顶已设置的2套沸石浓缩转轮焚烧系统 处理后废气经2个44m排气筒排放，排气口编号（DA00K DA006）；本项目新增的含碑废气依托现有 二期的P0U处理、并依托现有二期的单独1个排放口 排放，排气口编号（DA014）；废水处理站废气（硫化 氢、氨气）依托现有的喷淋洗涤塔和新增一套喷淋洗 涤塔处理后通过2个25米排气筒排放，排气口编号（DA015、DA022）。本项目废气排放的标准限值为（氟 化物W9.0mg/m 氯气 W65mg/m3、氯化氢W100mg/m3、硫酸雾W35mg/m3、氮氧化物Wl ZOmg/n?、碑及其化合 物Wl.5mg/m3 二氧化硫WSOOmg/n?、颗粒物 120mg/m 磷烷 WO.3mg/m3、硅烷W5.Omg/n?、磷 酸雾W5.Omg/m:总 V 0Cs 80/100mg/m3）,均低于或 等于大气污染物综合排放标准（GB162971996）二级标准（氟化物W9.Omg/m氯气W65mg/m3、硫酸 雾W45mg/m3、氮氧化物WZMmg/n?、二氧化硫 550mg/m颗粒物Wl ZOmg/n?；该标准没有碑及其 化合物、总V OCs、氯化氢、磷烷、硅烷、磷酸雾等标 准限值），符合标准要求。噪声低于工业企业厂界环境 噪声排放标准（GB12348-2008）1类声环境功能 区标准根据噪声环境影响分析预测结果，本项目24小时连 续生产，新增设备昼间和夜间最大贡献值均为36.5 dB（A）（预测结果见表4.3-3）,即本项目昼夜噪声贡 献值均低于工业企业厂界环境噪声排放标准（GB12348-2008）1类声环境功能区标准（昼间W55dB（A）,夜间W45dB（A）。综上所发3、与根据广 总体规划中（1）L 单、广外 址位置不属 120（2）；区和增量严L本项目与土地利用规划1 广州市城市环境总体方 州市人民政府印发的/划定了生态环境空间管:主态环境空间管控区：关 市生态环境保护红线规 于生态保护红线区，不力大气环境空间管控区：关 控区设计的工业园区/村一目符。R划（2014-2030年）的相符性分析,州市城市环境总体规划（2014-2030年）文件，控区、大气环境空间管控区和水环境空间管控区。1照文件发布的附表1广州市生态保护红线区清 划图和广州市生态环境空间管控区图，本项目选 国于生态保护空间管控区，对照图见附图7和附图1照文件发布的附表4广州市大气污染存量减排/社区统计表、广州市大气环境空间管控区图，本项目选址位置不属于空气质量功能区一类区、不属于大气污染物存量重点减 排区、不属于大气污染物增量严控区，对照图见附图8。（3）水环境空间管控区：对照文件发布的附表5广州市水环境空间管控区划 定方案、广州市水环境空间管控区图，本项目选址位置不属于饮用水源保护区、水源涵养区、珍稀水生生物生境保护区或环境超载相对严重的管控区范围内，对照 见附图9。综上所述，本项目选址总体符合广州市城市环境总体规划（2014-2030年）的要求。4、广州市人民政府办公厅关于印发广州市工业和信息化发展“十四五”规划 的通知（粤府办202210号）的相符性分析根据广州市人民政府办公厅关于印发广州市工业和信息化发展“十四五”规划 的通知（粤府办2022 10号）文件中，“十四五”期间，面对世界百年未有之大变 局和国内外经济形势的复杂变化，作为国家中心城市和华南地区经济中心，广州应 立足粤港澳大湾区，基于超大规模市场优势和应用场景，充分发挥数字对产业发展 的赋能作用，全力促进数字产业化、产业数字化，推动数字经济与实体经济深度融 合，实现“数产融合的全球标杆城市”总体战略定位。“黄埔区重点开发中新广州知识城、广州科学城、生物岛、黄埔港等四区四中 心，提升永和、云埔、西区等先进制造业组团，加快建设中国新材料CID（中央创 新区）、集成电路产业园、广州人工智能与数字经济试验区（鱼珠片区）等重要载 体平台，打造新一代信息技术、生物医药与健康两大世界级创新型产业集群，培育 壮大新材料、绿色能源、高端装备三大战略新兴产业集群，巩固提升汽车制造、健 康食品、高端日化三大传统产业集群，培育发展量子通信、脑科学与类脑、太赫兹 等未来产业。”本项目位于中心广州知识城，是12英寸集成电路芯片制造项目，符 合该规划通知的要求。5、与广东省2021年大气污染防治工作方案相符性分析根据广东省2021年大气污染防治工作方案文件的相关要求：“实施低VOCs 含量产品源头替代工程。严格落实国家产品VOCs含量限值标准要求，除现阶段确无 法实施替代的工序外，禁止新建生产和使用高VOCs含量原辅材料项目。将全面使用 符合国家、省要求的低VOCs含量原辅材料企业纳入正面清单和政府绿色采购清 单”。本项目使用的含VOC原料主要有7种，包括光刻胶、EBR（KS7303稀释剂）、HMDS（六甲基二硅胺）、EKC（蚀刻后残留物去除液）、IPA（异丙醇）、国产SY9 070（清洗液）、ACT（含羟胺有机溶液）。其中EKC（蚀刻后残留物去除液）、IPA（异丙醇）、国产SY9 070（清洗液）、ACT（含羟胺有机溶液）这4种属于清洗剂，根据清洗剂挥发性有机化合物含量限值（GB38 508-2020）对这4种物料进一步明确对应限值标准中的产品分类限值要求摘录 比对情况如下表。高V0C含量物料的计算参考清洗剂挥发性有机化合物含量限值（GB38 508-2020）6.3.3关于清洗剂VOC含量的计算公式如下:序号物料名称V OCs含量(g/L)GB38508-2020中表1和表2摘录的V OC 含量限值（g/L）判定情 况水基清 洗剂低V OC 含量半 水基清 洗剂半水基 清洗剂有机溶 剂清洗 剂1国产SY9070（清洗液）6750100300900低V OC 含量半 水基清 洗剂2ACT（含羟胺 有机溶液）53.550100300900低V OC 含量半 水基清 洗剂3EKC（蚀刻后 残留物去除 液）64650100300900高V OC 含量4I PA（异丙 醇）786.350100300900高V OC 含量pvoc=（3 挥-水-3i）XpXO.Ol式中：pvoc清洗剂VOC含量，单位为克每升（g/L）；挥样品测试液中挥发性物质的质量分数，%；其中异丙醇为纯物质，取值 100%；EKC（蚀刻后残留物去除液）取值60%（含挥发性有机物的占比）；co水样品测试液中水分的质量分数，%;物料中不含水，取值0。（OiOop样品测试液的密度，单位为克每升（g/L）；异丙醇密度：78 6.3；EKC密 度：1077 o0.01换算系数则两个物质的VOCs含量计算如下：异丙醇的 VOCs 含量（g/L）=（100-0-0）x78 6.3x0.01=78 6.3EKC（蚀刻后残留物去除液）的 VOCs 含量（g/L）=（60-0-0）x 1077x0.01=646o光刻胶、EBR（KS7303稀释剂）、HMDS（六甲基二硅胺）属于电子专用材料,暂无相关的国家产品VOCs含量标准，物料的VOC含量较高，其中光刻胶含可挥发样品测试液中可扣减物质i的质量分数，%;物料中不含i类物质，取值性物质80%,其余两种含量100%为纯物质，属于高VOCs物料。一序号物料使用 的工 序工作机理对保障产品 质量方面发 挥的作用国内外同行 业是否使用 该物料现阶段是否有 可替代的物料1光刻胶刻涂段 光的胶需要使用光刻胶在晶 圆表面涂上一层光刻 胶，光刻胶主要由对光 与能量非常敏感的高 分子聚合物和有机溶 齐卜包括稀释剂EBR和 HMDS）组成，为使光刻 胶牢固附着在Wa fer 表面，涂匀胶后要进行 烘干，由于烘干温度较 低，光刻胶中的有机溶 剂挥发成为有机废气，而光刻胶中的高分子 聚合物和光敏剂等作 为涂层牢固地附着在 基质表面该组合配方 为集成电路 芯片行业为 了完成芯片 工艺中图形 转移功能必 须使用到的 原料，因制 程和生产需 要的特殊性，所用化 学品目前暂 无法替代是否2EBR（KS7303 稀释剂）是否3HMDS（六 甲基二硅 胺）是否4异丙醇湿法 亥（J蚀、去胶、化学 机械 研磨 等工 段后 的干采用异丙醇对水洗后 的硅片表面清洗，从而 使异丙醇带走硅片上 残留的水分。EKC具有良 好的亲油基 和亲水基，在完成清洗 工序的同时 自身又很容 易溶于水，被水最终带 走；使用高 纯度的异丙 醇能提高工是否燥洗 工序5EKC（蚀刻 后残留物 去除液）法蚀的洗序 湿刻后清工采用EKC270进行清洗 蚀刻后残留液艺的稳定 性，有效避 免工艺中杂 质的引入，对纳米工艺影响较小是否综上所述，本项目使用的光刻胶、EBR（KS7303稀释剂）、HMDS（六甲基二 硅氨）进行光刻、涂胶工序；以上物料均不属于油墨、涂料，属于电子专用材料,暂无相关的国家产品VOCs含量标准，物料的VOC含量较高，目前行业中无水性配 方，因此该部分物料是目前集成电路芯片行业为了完成芯片工艺中图形转移功能必 须使用到的原料，属于现阶段确无法实施替代的工艺。建设单位已针对产生的有机废气做有效的收集与配套高效的环保设施进行处 理，可最大程度减少VOCs的排放。待日后行业内研发生产出低VOC清洗剂可用来替代本项目现有使用的高VOC 原辅料时，建设单位应及时响应政策要求，落实低VOC含量原辅材料的替代。综上所述，本项目的建设符合广东省2021年大气污染防治工作方案的相关 要求，“实施低VOCs含量产品源头替代工程。严格落实国家产品VOCs含量限值标 准要求，除现阶段确无法实施替代的工序外，禁止新建生产和使用高VOCs含量原辅 材料项目。将全面使用符合国家、省要求的低VOCs含量原辅材料企业纳入正面清单 和政府绿色采购清单。6、与“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案相符性分析根据“十三五”挥发性有机物污染防治工作方案总体要求，以改善环境空 气质量为核心，以重点地区为主要着力点，以重点行业和重点污染物为主要控制对 象，推进VOCs与NOx协同减排，其中，重点地区为京津冀及周边、长三角、珠三 角、成渝、武汉及其周边、辽宁中部、陕西关中、长株潭等区域，重点行业主要为 石化、化工、包装印刷、工业涂装等重点行业以及机动车、油品储运销等交通源VOCs 污染防治。本项目位于广州市，属于重点地区之一。根据工作方案第四条第5点要求“因地制宜推进其他工业行业VOCs综合治理。各地应结合本地产业结构特征和VOCs治理重点，因地制宜选择其他工业行业开展VOCs治理。电子行业应重点加强溶剂清洗、光刻、涂胶、涂装等工序VOCs排放控制”，本项目为12英寸集成电路 芯片制造项目，项目产生的VOCs溶剂清洗、光刻、涂胶、去胶等工序的生产设备内 密闭且负压收集至配套的沸石转轮TO装置处理后高空排放（排放高度44米），基本 消除无组织排放，有机废气处理设施的综合处理效率达95%,可有效控制工序VOCs 的收集处理和达标排放，本项目有机废气VOCs经处理后满足执行固定污染源挥发 性有机物综合排放标准（DB44/2367-2022）表1中的TVOC浓度限值lOOmg/n?,但由 于TVOC需待国家污染物监测方法发布后实施，因此在监测方法发布前先参照执行 NMHC的浓度限值：80 mg/n?的要求。因此本项目建设符合该方案的相关要求。6、与2020年挥发性有机物治理攻坚方案（环大气（2020）33号）的相符 性分析根据2020年挥发性有机物治理攻坚方案（环大气（2020）33号）的总体要 求：把挥发性有机物（VOCs）治理攻坚作为打赢蓝天保卫战收官的重要任务，统筹 疫情防控、经济社会平稳健康发展，扎实做好“六稳”工作，落实“六保”任务，坚 持精准治污、科学治污、依法治污，切实做到问题精准、时间精准、区位精准、对 象精准、措施精准，抓好方案各项任务措施落实。要加强组织实施，监测、执 法、人员、资金保障等重点向VOCs治理攻坚行动倾斜，加强与相关部门、行业协会 等协调配合，形成工作合力。京津冀及周边地区、长三角地区、汾渭平原、苏皖鲁 豫交界地区及其他03污染防治任务重的地区相关省（市）生态环境厅（局）要督促 相关城市加大工作力度，力争实现6-9月优良天数提高目标，为完成“十三五”优良 天数比率约束性指标打下坚实基础。方案提出：一、大力推进源头替代，有效减少 VOCs产生：严格落实国家和地方产品VOCs含量限值标准。大力推进低（无）VOCs 含量原辅材料替代；二、全面落实标准要求，强化无组织排放控制：2020年7月1日 起，全面执行挥发性有机物无组织排放控制标准，重点区域应落实无组织排放 特别控制要求；三、聚焦治污设施“三率”，提升综合治理效率：按照“应收尽收”的原则提升废气收集率；四、深化园区和集群整治，促进产业绿色发展。本项目位于广州，不属于方案中的重点区域范围，本项目为12英寸集成电路芯 片制造项目，项目产生的VOCs在生产设备内密闭收集至依托的现有沸石转轮TO装 置处理后高空排放（排放高度44米），基本消除无组织排放，处理效率95%,符合 方案提出的要求。7、与重点行业挥发性有机物综合治理方案的通知（环大气（2019）53号）的相符性分析该方案提出重点区域范围为京津冀及周边地区、长三角地区、汾渭平原，本项 目位于广州，不属于方案中的重点区域范围。根据重点行业挥发性有机物综合治理方案摘录的控制思路与要求内容有：（一）大力推进源头替代，企业应大力推广使用低VOCs含量木器涂料、车辆涂料、机械设备涂料、集装箱涂料以及建筑物和构筑物防护涂料等，在技术成熟的行业，推广使用低VOCs含量油墨和胶粘剂，重点区域到2020年年底前基本完成。鼓励加快 低VOCs含量涂料、油墨、胶粘剂等研发和生产。（二）全面加强无组织排放控制。重点对含VOCs物料（包括含VOCs原辅材料、含VOCs产品、含VOCs废料以及有机 聚合物材料等）储存、转移和输送、设备与管线组件泄漏、敞开液面逸散以及工艺 过程等五类排放源实施管控，通过采取设备与场所密闭、工艺改进、废气有效收集 等措施，削减VOCs无组织排放。推进使用先进生产工艺。通过采用全密闭、连续化、自动化等生产技术，以及高效工艺与设备等，减少工艺过程无组织排放。（三）推 进建设适宜高效的治污设施。低浓度、大风量废气，宜采用沸石转轮吸附、活性炭 吸附、减风增浓等浓缩技术，提高VOCs浓度后净化处理。（四）深入实施精细化管 控。加强企业运行管理。企业应系统梳理VOCs排放主要环节和工序，包括启停机、检维修作业等，制定具体操作规程，落实到具体责任人。健全内部考核制度。加强 人员能力培训和技术交流。建立管理台账，记录企业生产和治污设施运行的关键参 数，在线监控参数要确保能够实时调取，相关台账记录至少保存三年。对照上文中提到的该方案的控制思路与要求摘录内容，（1）本项目VOCs主要 来自光刻、涂胶、去胶、湿法蚀刻和化学机械研磨配套的干燥洗工序使用的原辅料。其中光刻胶、EBR（KS7303稀释剂）、HMDS（六甲基二硅氨）进行光刻、涂胶工 序，物料的VOC含量较高，但该原料是目前集成电路芯片行业为了完成芯片工艺中 图形转移功能必须使用到的原料，属于现阶段确无法实施替代的工序。本项目使用 EKC（蚀刻后残留物去除液）针对湿法蚀刻工艺后的清洗，使用IPA（异丙醇）对湿 法蚀刻和研磨后的工序进行干燥洗，物料的VOC含量较高，但由于集成电路芯片工 艺的特殊性，这些清洗工序不能用水清洁或者特定有机物用水无法清洁彻底，干燥 洗属于目前该行业必须的工序步骤，属于现阶段确无法实施替代的工序。待日后行 业内研发生产出低VOC清洗剂可用来替代本项目现有使用的高VOC原辅料时，建设单 位应及时响应政策要求，落实低VOC含量原辅材料的替代。符合大力推进源头替代的 要求；（2）项目VOCs物料均储存于密闭的容器内，储存容器密封性良好，并均按 照VOCs原料的性质分类储存在生产厂房一层有机原料化学品供应间和危险化学品 仓库内，供应间的物料采用密闭管道输送到生产车间使用，产生有机废气的工段均 设置密闭收集措施，将有机废气收集到配套的沸石转轮TO装置处理，消除了这些过 程中的无组织排放。符合全面加强无组织排放控制的要求；（3）本项目新增的有机 废气依托现有的沸石转轮TO炉处理，处理效率可达到95%,属于方案认为适宜使用 的处理措施，符合推进建设适宜高效的治污设施的要求；（4）粤芯公司设置有专门 安环部门和人员负责企业的环保管理工作，各工作岗位有具体的操作流程，每个岗 位均配置有责任人，有日常培训计划和完善的台账记录管理工作。因此本项目符合 文件要求的加强企业运行管理工作要求。8、与挥发性有机物无组织排放控制标准的相符性分析根据挥发性有机物无组织排放控制标准（GB378 22-2019）中的相关要求:“VOCs物料储存无组织排放控制要求：VOCs物料应储存于密闭的容器、包装袋、储罐、储库、料仓中。盛装VOCs物料的容器或包装袋应存放于室内，或存放于设置 有雨棚、遮阳和防渗设施的专用场地。盛装VOCs物料的容器或包装袋在非取用状态 时应加盖、封口，保持密闭。VOCs物料转移和输送无组织排放控制要求：粉状、粒状VOCs物料应采用气力输送设备、管状带式输送机、螺旋输送机等密闭输送方式,或者采用密闭的包装袋、容器或罐车进行物料转移。工艺过程VOCs无组织排放控 制要求：粉状、粒状VOCs物料应采用气力输送方式或采用密闭固体投料器等给料方 式密闭投加。无法密闭投加的，应在密闭空间内操作，或进行局部气体收集，废气 应排至除尘设施、VOCs废气收集处理系统。设备与管线组件VOCs泄露控制要求:企业中载有气态VOCs物料、液态VOCs物料的设备与管线组件的密封点N2000个，应开展泄露检测与修复工作。敞开液面VOCs无组织排放控制要求：对废水集输系 统、废水储存、处理设施提出要求。VOCs无组织排放废气收集处理系统要求：VOCs废气收集处理系统应与生产工艺设备同步运行。VOCs废气收集处理系统 发生故障或检修时，对应的生产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止运行的，应设置废气应急处理设施或采 取其他替代措施。”本项目VOCs物料均储存于密闭的容器内，储存容器密封性良好,并均按照VOCs 原料的性质分类储存在现有的生产厂房一层有机原料化学品供应间和危险化学品仓 库内，供应间的物料采用密闭管道输送到生产车间使用，产生有机废气的工段均设 置密闭收集措施，将有机废气收集依托使用的沸石转轮TO装置处理，消除了这些过 程中的无组织排放。符合挥发性有机物无组织排放控制标准的相关要求。9、与广东省“三线一单”生态环境分区管控方案的相符性分析广东省“三线一单”生态环境分区管控方案通过区域布局管控、能源资源 利用、污染物排放管控、环境风险防控四个方面明确准入要求，在全省构建1+3+N 三级生态环境准入清单体系，划分了环境管控单元，针对不同环境管控单元特征，实行差异环境准入，将生态保护红线、环境质量底线、资源利用上线落实到区域空 间。1）与生态保护红线符合性分析环境管控单元分为优先保护、重点管控和一般管 控单元三类，根据广东省环境管控单元图，本项目位于广州市黄埔区凤凰五路28号，属于珠三角核心区，实施更为严格的生态环境保护要求。项目所在地不属于生态优 先保护区、水环境优先保护区、大气环境优先保护区等优先保护单元，不涉及生态 保护红线。因此，与生态保护红线规划相符合。2）、区域布局防控符合性分析本项目所在区域属于1+3+N体系中的珠三角核心区，该区域在布局管控方面要 求：筑牢珠三角绿色生态屏障，加强区域生态绿核、珠江流域水生态系统、入海河 口等生态保护，大力保护生物多样性。积极推动深圳前海、广州南沙、珠海横琴等 区域重大战略平台发展；引导电子信息、汽车制造、先进材料等战略性支柱产业绿 色转型升级发展，已有石化工业区控制规模，实现绿色化、智能化、集约化发展；加快发展半导体与集成电路、高端装备制造、前沿新材料、区块链与量子信息等战 略性新兴产业。禁止新建、扩建燃煤燃油火电机组和企业自备电站，推进现有服役 期满及落后老旧的燃煤火电机组有序退出；原则上不再新建燃煤锅炉，逐步淘汰生 物质锅炉、集中供热管网覆盖区域内的分散供热锅炉，逐步推动高污染燃料禁燃区 全覆盖；禁止新建、扩建水泥、平板玻璃、化学制浆、生皮制革以及国家规划外的 钢铁、原油加工等项目。推广应用低挥发性有机物原辅材料，严格限制新建生产和 使用高挥发性有机物原辅材料的项目，鼓励建设挥发性有机物共性工厂。除金、银 等贵金属，地热、矿泉水，以及建筑用石矿可适度开发外，限制其他矿种开采。本项目是集成电路生产行业，属于该区域布局管控方面需明确加快发展的新兴 产业。由于粤芯公司的蒸汽是用于冬天极端天气厂房的供暖，根据所在地的气候情 况，可能会用上的时间非常少，不符合区域集中供热单位恒运公司的最低蒸汽量的 布管要求。因此保留现有的天然气锅炉。3）与环境质量底线符合性分析根据广东省“三线一单”生态环境分区管控方案，环境质量底线目标为：全省水环境质量持续改善，国考、省考断面优良水质比例稳步提升，全面消除劣V 类水体。大气环境质量继续领跑先行，PM2.5年均浓度率先达到世界卫生组织过渡期 二阶段目标值（25微克/立方米），臭氧污染得到有效遏制。土壤环境质量稳中向好，土壤环境风险得到管控。近岸海域水体质量稳步提升。项目所在区域2021年环境空气常规监测因子除了NO2超标外，其他评价指标均 达到环境空气质量标准（GB309 5-2012）及其修改单中的二级标准，即本项目所在 评价区域属于不达标区。针对环境空气质量未达标的情况，广州市人民政府印发的 广州市环境空气质量达标规划（2016-2025年）（穗府（2017）25号）已明确空气 质量限期达标战略路线：”到2025年，不断巩固和深化“十三五”综合整治的成效，全面推进清洁原料替代及清洁能源利用，通过优化工艺流程大力提高各行业清洁化 生产水平，提升大气环境精细化管理能力，建立城市空气质量联合会商和联动执法 机制，臭氧污染得到进一步控制，空气质量持续改善。”根据该规划，广州市区域 NO2年平均质量浓度预期可低于3g/m3（2025年），满足环境空气质量标准（GB309 5-2012）及其修改单中的二级标准要求。特征因子的补充监测均达到质量要 求；地表水凤凰河2021年水质有不同程度的超标现象，超标因子主要为氨氮、总氮，随着截污工作的加强、污水处理率的提升以及区域削减计划的实施，九龙水质净化 三厂CODcr、氨氮等指标按照IV类水质要求设计和实施，在采取一系列有效措施的 前提下，凤凰河水质将得到改善，逐步实现达到地表水环境质量标准（GB38 38-2002）IV类标准；项目所在区域补充监测的地下水、土壤、噪声均达到 标准要求。项目产生的废水、废气、固体废物均得到良好的处理处置，本项目运营 期在正常工况下不会对地表水、大气、土壤等环境造成明显影响，环境质量可以保 持现有水平，符合环境质量底线要求。4）资源利用上线符合性分析根据广东省“三线一单”生态环境分区管控方案，资源利用上线目标为：强化节约集约利用，持续提升资源能源利用效率，水资源、土地资源、岸线资源、能源消耗等达到或优于国家下达的总量和强度控制目标。本项目所在区域属于1+3+N体系中的珠三角核心区，本项目建设过程利用到水 资源、土地资源等，本项目合理利用土地资源，依托使用的现有厂区布局满足生产 工艺、运输、消防、美观、卫生等要求，水资源回用率高，因此本项目建设符合该 区域对资源利用管控的要求。项目产生的废水、废气、固体废物均得到良好的处理处置，配套有完善的事故 应急管理体系，满足环境风险管控要求，总体上来说与广东省”三线一单”生态 环境分区管控方案的要求相符。11、与广州流溪河流域保护条例相符性分析根据广州市人民代表大会常务委员会2021年6月15日发布的关于修改广州市 流溪河流域保护条例的决定（第80号），第三十五条要求：流溪河干流河道岸 线和岸线两侧各五千米范围内、支流河道岸线和岸线两侧各一千米范围内非饮用水 水源保护区的区域，禁止新建、扩建下列设施、项目：危险化学品的贮存、输送设 施和垃圾填埋、焚烧项目，但经法定程序批准的国家与省重点基础设施除外；本项 目无新建或扩建危险化学品贮存仓库，符合广州流溪河流域保护条例的要求。12、与广东省打赢蓝天保卫战实施方案（20182020年）的通知相符性分析广东省打赢蓝天保卫战实施方案（2018-2020年）提到：“珠三角地区禁止 新建生产和使用高VOCs含量溶剂型涂料、油墨、胶粘剂、清洗剂等项目（共性工厂 除外）。本项目不使用涂料、油墨和胶粘剂，使用的光刻胶和稀释剂属于电子专用 材料；项目工艺过程使用到的ACT（含羟胺有机溶液）和国产SY9 070（清洗液）为半 水基清洗剂，符合清洗剂挥发性有机化合物含量限值（GB38 508-2020）表2要求,可归为低VOC含量清洗剂。由于集成电路芯片工艺的特殊性，使用EKC（蚀刻后残留物去除液）针对湿法蚀 刻工艺后的清洗，使用IPA（异丙醇）对湿法蚀刻和研磨后的工序进行干燥洗，这两 种物料的VOC含量较高，这些清洗工序不能用水清洁或者特定有机物用水无法清洁彻 底，干燥洗属于目前该行业必须的工序步骤，是芯片行业内现阶段确无法实施替代 的工序和没有可以借鉴的替代品，故项目使用异丙醇、EKC270T（蚀刻后残留物去除 液）进行干燥洗和清洗工序具有不可替代性，待日后行业内研发生产出低V0C清洗剂 可用来替代本项目现有使用的清洗剂时，建设单位应及时响应政策要求，落实低V0C 含量原辅材料的替代。故项目与广东省打赢蓝天保卫战实施方案（2018-2020年）相符。13、与广州市三线一单”生态环境分区管控方案的相符性分析根据广州市“三线一单”生态环境分区管控方案的文件内容，本项目位于“黄埔区九佛街重点管控单元”，管控单元分类为重点管单元，要素分类：水环境 城镇生活污染重点管控区、大气环境布局敏感重点管控区、大气高排放重点管控区、大气一般管控区、建设用地污染风险重点管控区、土地资源重点管控区、江河湖库 一般重点管控岸线。具体相符性分析如下：表卜2广州市三线一单生态环境分区管控方案相符性分析表序号管控要求本项目相符性 分析1区域布局管控1-1.【产业/鼓励引导类】单元内 产业组团主要承接生命科学、生物 医药、新材料新能源及集成电路产 业。本项目行业类别为C3973集成电 路制造符合1-2.【产业/限制类】建立健全新 增产业的禁止和限制目录。本项目不属于禁止和限制目录 的新增产业符合1-3.【产业/综合类】根据气候、风向、地理等客观因素，科学合理 布局生产、居住、学校、医疗等项 目。本项目为生产型项目，选址周边 500米范围内无居住、学校等项 目。符合1-4.【产业/禁止类】单元内处于 流溪河干流河道岸线和岸线两侧 各五千米范围内，支流河道岸线和 岸线两侧各一千米范围内，应严格本项目选址处于流溪河支流河 道岸线和岸线量测各一千米范 围内，已按照广州市流溪河流 域保护条例进行项目准入，本符合按照广州市流溪河流域保护条 例进行项目准入。次项目不新增或扩建危险化学 品暂存仓库1-5.【大气/鼓励引导类】大气环 境高排放重点管控区内，应强化达 标监管，引导工业项目落地集聚发 展，有序推进区域内行业企业提标 改造。本项目废气经处理后均可达标 排放符合1-6.【大气/限制类】大气环境布 局敏感重点管控区内，应严格限制 新建使用高挥发性有机物原辅材 料项目，大力推进低V OCs含量原 辅材料替代，全面加强无组织排放 控制，实施V OCs重点企业分级管 控。本项目使用的光刻胶、EBR（KS7303稀释剂）、HMDS（六甲 基二硅氨）进行光刻、涂胶工序，物料的V OC含量较高，但该原料 是目前集成电路芯片行业为了 完成芯片工艺中图形转移功能 必须使用到的原料，属于现阶段 确无法实施替代的工序。本项目 V OCs物料均储存于密闭的容器 内，储存容器密封性良好，并均 按照V OCs原料的性质分类储存 在现有生产厂房一层有机原料 化学品供应间和现有危险化学 品仓库内，供应间的物料采用密 闭管道输送到生产车间使用，产 生有机废气的工段均设置密闭 收集措施,将有机废气收集到配 套的沸石转轮TO装置处理,消除 了这些过程中的无组织排放。符合2能源资源利用2-1.【水资源/综合类】合理配置、高效利用、有效保护水资源，建设 节水型社会。本项目水重复利用率96%,水重 复利用率高符合2-2【能源/综合类】构建绿色能 源体系。大力发展清洁能源，科学 布局天然气分布式能源站，推广光 伏发电，加快充电桩、充电站、加 氢站等新能源汽车基础设施建设，加强绿色能源技术交流合作，加快 节能环保产业与新一代信息技术、先进制造技术的深度融合，全面提 升能源使用效率。本项目依托使用现有的天然气 锅炉，属于清洁能源符合2-3.【其他/综合类】有效控制和 减少温室气体排放，推动绿色低碳 发展。本项目废气均依设置或依托已 设置的处理设施处理后高空排 放,可有效控制和减少温室气体 的排放符合2 4.【岸线/综合类】严格水域岸 线用途管制，土地开发利用应按照 有关法律法规和技术标准要求，留足河道、湖泊的管理和保护范围，非法挤占 的应限期本项目所在位置属于工业用地，已取得土地使用证符合14、与广东省生态环境保护“十四五”规划(粤环(2021)10号)相符性退出。3污染物排放管控3-1.【水/综合类】推进单元内九 龙水质净化厂二期污水处理设施 建设；强化广州科学城水务投资集团有限公 司九龙水质净化一厂和三厂处理 系统中城中村和城乡结合部污水截流、收集，合流制排水系统要加快实施雨污 分流改造，难以改造的，应采取截流、调蓄和 治理等措施。本项目各类废水均通过厂内废 水处理系统处理后，经市政污水 管网引入九龙水质净化三厂处 理后达标排放符合3-3.【水/综合类】单元内工业企 业排放含