基于广义胡克定律与压痕实验...铟晶圆力学特性各向异性计算_蒋金鑫.pdf

第4 1卷 第3期V o l.4 1 N o.3材 料 科 学 与 工 程 学 报J o u r n a l o fM a t e r i a l sS c i e n c e&E n g i n e e r i n g总第2 0 3期J u n.2 0 2 3文章编号:1 6 7 3-2 8 1 2(2 0 2 3)0 3-0 3 5 9-0 8基于广义胡克定律与压痕实验的磷化铟晶圆力学特性各向异性计算蒋金鑫1,姜 晨1,郎小虎2,高 睿1,黄鹏辉1(1.上海理工大学 机械工程学院,上海2 0 0 0 9 3;2.上海微高精密机械工程有限公司,上海2 0 1 2 0 3)【摘 要】本研究从原子结构角度计算磷化铟主要晶面的结构参数;利用广义胡克定律计算磷化铟杨氏模量、泊松比和剪切模量,以及通过维氏压痕实验计算磷化铟硬度和断裂韧性,研究了相力学特性参数在三维空间中的分布及在(1 0 0)晶面上沿不同晶向的变化。结果表明:杨氏模量、剪切模量和泊松比在 空 间 中 的 分 布 具 有 高 度 对 称 性,其 最 大 值 和 最 小 值 分 别 为1 1 3.9 G P a、4 6 G P a、0.5 5和6 0.7G P a、2 2.3G P a、0.2 4;在(1 0 0)晶面上,磷化铟剪切模量表现出各向同性,硬度各向异性表现不明显,杨氏模量、泊松比和断裂韧性均具有优越的各向异性并呈现出周期性变化,且断裂韧性在1 1 0 晶向有最小值,因而径向裂纹最易沿1 1 0 扩展。【关键词】磷化铟;力学特性;各向异性;压痕实验中图分类号:O 7 3 3 文献标志码:AD O I:1 0.1 4 1 3 6/j.c n k i.i s s n 1 6 7 3-2 8 1 2.2 0 2 3.0 3.0 0 3收稿日期:2 0 2 1-1 1-0 5;修订日期:2 0 2 2-0 3-3 1基金项目:国家自然科学基金面上资助项目(5 1 4 7 5 3 1 0)作者简介:蒋金鑫(1 9 9 5),硕士研究生,研究方向:超精密制造解理加工。E-m a i l:j j x 1 8 7 0 1 9 1 5 7 2 71 6 3.c o m。通信作者:姜 晨(1 9 7 8),教授,博士,研究方向:超精密加工。E-m a i l:j c_b a t i 1 6 3.c o m。A n i s o t r o p i cC a l c u l a t i o no fM e c h a n i c a lP r o p e r t i e so f I n PW a f e r sB a s e do nG e n e r a l i z e dH o o k esL a wa n dI n d e n t a t i o nE x p e r i m e n tJ I A N GJ i n x i n1,J I A N GC h e n1,L A N GX i a o h u2,G A OR u i1,H U A N GP e n g h u i1(1.C o l l e g eo fM e c h a n i c a lE n g i n e e r i n g,U n i v e r s i t yo fS h a n g h a i f o rS c i e n c ea n dT e c h n o l o g y,S h a n g h a i 2 0 0 0 9 3,C h i n a;2.S h a n g h a iN a n p r eM e c h a n i c sC o.,L t d.,S h a n g h a i 2 0 1 2 0 3,C h i n a)【A b s t r a c t】I n o r d e rt of u r t h e rp r o m o t et h ec l e a v a g ep r o c e s s i n gt e c h n o l o g y o fI n P m a t e r i a l s,t h ea n i s o t r o p i cc a l c u l a t i o no fm e c h a n i c a l p r o p e r t i e so f I n Pw a f e r sw a s c a r r i e do u t.T h e s t r u c t u r a l p a r a m e t e r so fm a i nc r y s t a l p l a n e so f I n Pa r ec a l c u l a t e df r o mt h ep e r s p e c t i v eo f a t o m i cs t r u c t u r e.T h eY o u n gsm o d u l u s,P o i s s o nsr a t i oa n ds h e a rm o d u l u so fI n Pa r ec a l c u l a t e db yg e n e r a l i z e d H o o k esl a w,a n dt h eh a r d n e s sa n df r a c t u r et o u g h n e s so f I n Pa r ec a l c u l a t e db yV i c k e r s i n d e n t a t i o ne x p e r i m e n t.T h er e s u l t ss h o wt h a tt h ed i s t r i b u t i o n so fY o u n gsm o d u l u s,s h e a rm o d u l u s a n dP o i s s o ns r a t i o i ns p a c e a r eh i g h l ys y mm e t r i c a l,a n d t h e i rm a x i m u ma n dm i n i m u mv a l u e sa r e 1 1 3.9G P a,4 6G P a,0.5 5a n d6 0.7G P a,2 2.3G P a,0.2 4,r e s p e c t i v e l y.O n t h e(1 0 0)c r y s t a l p l a n e,t h es h e a rm o d u l u so fI n Ps h o wi s o t r o p y,a n dt h ea n i s o t r o p yo fh a r d n e s si sn o to b v i o u s.T h eY o u n gsm o d u l u s,P o i s s o ns r a t i oa n d f r a c t u r e t o u g h n e s sh a v e s u p e r i o r a n i s o t r o p ya n ds h o wp e r i o d i c c h a n g e s,a n dt h e f r a c t u r e t o u g h n e s s r e a c h e s t h em i n i m u mv a l u e i nt h e1 1 0c r y s t a l d i r e c t i o n,t h a t i s,t h e r a d i a l c r a c k i sm o s t l i k e l yt oe x p a n da l o n gt h e1 1 0c r y s t a l d i r e c t i o n.【K e yw o r d s】I n P;M e c h a n i c a l p r o p e r t i e s;A n i s o t r o p y;I n d e n t a t i o nt e s t1 引 言 磷化铟(I n P)因其禁带宽度较宽、光电转换效率较高和抗辐射能力较强等优点,被视为优异的半导体激光器芯片谐振腔面材料,在航空国防、工业加工、激光传感、集成电路、高速高频器件等领域具有巨大应用潜力1-2。目前主要采用机械解理加工方法实现半导体激光器芯片谐振腔面的制造3。解理加工通过施加载荷使材料沿一定晶向开裂成平整面,是一种获取光滑平面的新兴加工技术。对I n P解理加工技术而言,掌握全面、完整的I n P各向异性力学特性,选择最佳解理晶面是解决加工工艺难题的关键,对推动半导体激光器制造技术的进步具有重要价值4-5。近些年来,针对I n P力学特性开展了一系列相关研究。S y l w i a等6从纳米尺度研究发现I n P/Z n S量子点的荧光各向异性与晶面的不同取向密切相关。C h i u c等7通过V i c k e r s压痕实验,得出I n P(1 0 0)晶面同一晶向的断裂韧性和断裂能分别在1.2MP a/m2和1 4.1J/m2左右。N a v a m a t h a v a n等8-9对I n P进行V i c k e r微压 痕 实 验,发 现I n P(1 1 1)晶 面 的 硬 度 在3.5 4.0G P a之间,且随加载载荷的增加而增加。此外,利用显微硬度值测定了单一晶向的断裂韧性、断裂面能、脆性指数等力学性能。孙世孔等1 0通过纳米压痕实验探究I n P的力学性能,确定I n P晶向的硬度为7.2 6G P a,弹性模量为7 9.1 5G P a,晶 向 的 脆 塑 性 转 变 临 界 载 荷 高 于晶 向。K a b i t a等1 1基于密度泛函理论,通过第一性原理计算不同压力下闪锌矿I n P单一晶向的弹性模量与各向同性剪切模量。已有研究鲜见对I n P的杨氏模量、剪切模量、泊松比、硬度和断裂韧性等影响材料性能的力学特性进行全面、系统的计算。本研究通过计算I n P主要晶面间距,夹角和原子排列密度,将I n P各晶向的力学性能差异定量化。一方面利用广义胡克定律,通过MA T L A B对I n P进行建模,计算I n P的杨氏模量、泊松比和剪切模量;另一方面对I n P(1 0 0)晶面进行维氏压痕实验,通过压痕裂纹尺寸计算I n P的硬度与断裂韧性,掌握I n P力学特性沿不同晶向的变化规律。从理论和实验角度完善I n P各向异性的力学特性研究,掌握解理工艺裂纹最易拓展晶向,进而为I n P解理加工工艺提供理论指导。2 I n P的结构特点2.1 I n P的晶胞结构 作为第三族和第四族半导体化合物,I n P晶体结构与第四族半导体有诸多相似之处。I n P晶体结构是由两个面心立方子晶格沿着晶向措开1?4对角线而套构起来。一个面心立方子晶格完全由I n原子组成,另外一个完全由P原子组成,空间晶胞结构及主要晶面示意见图1。图1 I n P晶体结构图和主要晶面(a)闪锌矿结构;(b)(1 0 0)晶面;(c)(1 1 0)晶面、(d)(1 1 1)晶面F i g.1 C r y s t a l s t r u c t u r ed i a g r a ma n dm a i nc r y s t a l p l a n e so f I n P(a)s p h a l e r i t es t r u c t u r e;(b)(1 0 0)c r y s t a l p l a n;(c)(1 1 0)c r y s t a lp l a n;(1 1 1)c r y s t a l p l a n2.2 I n P主要晶面的结构参数 在空间直角坐标系中,(1 0 0)、(1 1 0)、(1 1 1)晶面的面间距分别是a、2/2 a和2/3 a,通过面方程确定晶面的法向量,并计算得到晶面夹角,其中相临(1 1 1)的面方程如式(1)和式(2)所示,(1 0 0)和(1 1 0)晶面的面方程如式(3)与式(4)所示。(1 0 0)、(1 1 0)、(1 1 1)晶面的法向量分别为(1,0,0)、(1,-1,0)、(1,1,1),且(1 0 0)与(1 1 0)、(1 1 1)晶面的夹角分别为4 5、5 4.7 4,(1 1 0)与(1 1 1)晶面的夹角为9 0。a x+a y+a z-a=0(1)a x+a y+az-2a=0(2)a x-a=0(3)a x-a y=0(4)如图2所示,(1 1 0)晶面的原子密度最大,(1 0 0)晶063材料科学与工程学报2 0 2 3年6月 图2 I n P主要晶面原子分布图:(a)(1 0 0)晶面、(b)(1 1 0)晶面、(c)(1 1 1)晶面F i g.2 A t o m i c d i s t r i b u t i o nd i a g r a mo f l o wT a y l o ri n d e xc r y s t a l p l a n eo f I n P:(a)(1 0 0)c r y s t a l p l a n,(b)(1 1 0)c r y s t a l p l a n,(c)(1 1 1)c r y s t a l p l a n面的原子密度最小。原子在不同晶面排列顺序的不同导致晶体力学性能与空间取向相关,因此晶体力学特性呈现各向异性的主要原因是主要晶面间的间距、夹角、原子密度的不同。3 I n P的力学特性计算3.1 I n P的杨氏模量 根据广义胡克定律可知1 2:=C(5)=S(6)式中:为应力,S为柔度矩阵,C与S互为可逆矩阵是刚度矩阵。探究I n P力学性能各向异性时,晶体结构的对称性是主要考虑的因素。S1 1、S1 2、S4 4为柔度系数,其材料属性见表1。将胡克定律运用到晶格动力学中,应变-应力矩阵转换形式见式(7):123456=S1 1S1 2S1 2000S1 2S1 1S1 2000S1 2S1 2S1 1000000S4 4000000S4 4000000S4 4123456(7)表1 I n P柔度系数1 3T a b l e1 F l e x i b i l i t yc o e f f i c i e n t o f I n P1 3F l e x i b i l i t yc o e f f i c i e n t S1 1/1 0-1 2P a S1 2/1 0-1 2P aS4 4/1 0-1 2P aV a l u e1 6.6 55.92 1.7 图3为空间向量取向示意图,向量m沿着张力轴,而向量n垂直于m,表征横向变形方向1 4。角度、和分别代表围绕在Z、Y 1和Z 2轴的旋转角度,3个角称为欧拉角。相互正交的单位向量m和n用欧拉角表示如式(8)和式(9)所示1 5:m=s i ns i n-c o ss i nc o s(8)图3 空间向量取向示意图F i g.3 S c h e m a t i cd i a g r a mo f s p a c ev e c t o ro r i e n t a t i o nn=-s i nc o sc o s-c o ss i nc o sc o sc o s-s i ns i ns i nc o s(9)式中:正交向量m与n需满足式1 5-1 8。n21+n22+n23=1 n1,n2,n3-1,1(1 0)m21+m22+m23=1 m1,m2,m3-1,1(1 1)空间中I n P杨氏模量的表达式如式(1 2)所示1 5-1 8:1E(m)=s1 1-2d(m21m22+m22m23+m21m23)(1 2)式中:参数d通过柔性系数计算,如式(1 3)所示:d=s1 1-s1 2-0.5s4 4(1 3)式(1 4)为(1 0 0)晶面上I n P的杨氏模量1 5-1 8:1E(1 0 0)=s1 1-2d m22m23(1 4)如图4 a所示,杨氏模量沿1 0 0、0 1 0 和0 0 1 晶向均为最小值6 0.7G P a,最大杨氏模量1 1 3.9G P a位于晶向处。在(1 0 0)晶面上I n P杨氏模量具有明显的各向异性,如图4 b所示:杨氏模量呈周期性变化,并在单个周期内具有高度对称性。选取1 0 0 晶向到0 1 0 晶向作为单个周期,杨氏模量先减小至最小值163第4 1卷第3期蒋金鑫,等.基于广义胡克定律与压痕实验的磷化铟晶圆力学特性各向异性计算 图4 单晶I n P的杨氏模量图(a)杨氏模量的三维分布;(b)杨氏模量(1 0 0)晶面取向F i g.4 E l a s t i cm o d u l u so f i n d i u mp h o s p h i d e(a)t h r e e-d i m e n s i o n a l d i s t r i b u t i o no fY o u n gsm o d u l u s;(b)Y o u n gsm o d u l u s(1 0 0)c r y s t a l p l a n eo r i e n t a t i o n6 0.7G P a,随后又恢复到最大值1 1 3.9G P a。3.2 I n P的剪切模量 在线弹性力学中,剪切模量由单位向量n和m定义,其中向量n是滑移面的单位向量,向量m是垂直于滑移面的单位向量。空间中I n P剪切模量表达如式(1 5)所示1 9:G(m,n)=1s4 4+4d(n21m21+n22m22+n23m23)(1 5)(1 0 0)晶面上I n P剪切模量如式(1 6)所示1 9:1G(1 0 0)=1S4 4(1 6)如图5 a所示,沿1 0 0 晶面族法线方向的剪切模量均为最大值4 6G P a,最小剪切模量2 2.3G P a位于晶向族。图5 b显示在1 0 0 晶面上沿不同晶向I n P剪切模量衡为4 6G P a。在(1 0 0)晶面上I n P剪切模量表现为各向同性。图5 单晶磷化的铟剪切模量图(a)剪切模量的三维分布;(b)剪切模量(1 0 0)晶面取向F i g.5 S h e a rm o d u l u so f i n d i u mp h o s p h i d e:(a)t h r e e-d i m e n s i o n a l d i s t r i b u t i o no f s h e a rm o d u l u s;(b)s h e a rm o d u l u s(1 0 0)c r y s t a l p l a n eo r i e n t a t i o n3.3 I n P的泊松比 与剪切模量类似,在空间内任一方向上,I n P泊松比由单位向量m,n定义。空间中I n P泊松比由式(1 7)计算得到2 0:(m,n)=-s1 2+d(m21n21+m22n22+m23n23)s1 1-2d(m21m22+m22m23+m21m23)(1 7)(1 0 0)晶面上I n P泊松比由式(1 8)计算得到2 0:(1 0 0)=-s1 2-2d m2m3n2n3s1 1-2d m22m23(1 8)图6 a显示沿3个主轴方向的泊松比存在最大值为0.5 5,最小值0.2 4位于晶向。图6 b为I n P泊松比在(1 0 0)晶面上随晶向角度变化的取向分布,在单个周期内泊松比从1 0 0 到1 1 0 晶向逐递增,并在1 1 0 晶向处取得最大值0.3 1,从1 1 0 到0 1 0 晶向逐渐递减至最小值0.0 2。4 I n P压痕实验263材料科学与工程学报2 0 2 3年6月图6 单晶磷化的泊松比(a)泊松比的三维分布;(b)泊松比(1 0 0)晶面取向F i g.6 P o i s s o ns r a t i oo f i n d i u mp h o s p h i d e (a)t h r e e-d i m e n s i o n a l d i s t r i b u t i o no fP o i s s o ns r a t i o;(b)P o i s s o ns r a t i o(1 0 0)c r y s t a l p l a n eo r i e n t a t i o n4.1 维氏压痕试验 压痕实验通过在I n P晶圆上施加载荷,引入压痕裂纹并测量特征尺寸,能准确地计算维氏硬度和断裂韧性。在HX S-1 0 0 0 AK维氏压头显微硬度计上进行压痕实验,压头使用标准维氏金刚石压头。实验选取(1 0 0)晶 圆 作 为 研 究 材 料,面 积5 0.8 mm,厚 度0.3 5mm,表面没有任何损伤。在压痕实验前应先对I n P样品进行预处理,使用金刚石刀将I n P晶圆沿1 0 0 起始晶向每隔1 5 进行定向切割直到取值0 1 0晶向处,获得7个晶圆裂片。随后使用酒精棉球单向擦拭晶圆抛光面来去除表面灰尘。由于径向裂纹更倾向于沿着压头边缘扩展,故调整I n P测量晶向与压头对角线平行可确定特定晶向裂纹位置。在I n P裂片相同位置上进行峰值载荷为2 5 0m F的压痕试验,加载时间为1 5s。图7展示了I n P(1 0 0)晶面上在7组不同晶向下对应的压痕形貌图。图7 单晶I n P压痕裂纹形貌图(a)-4 5;(b)-3 0;(c)-1 5;(d)0;(e)1 5;(f)3 0;(g)4 5;(h)1 0 0c r y s t a lF i g.7 S i n g l e c r y s t a l I n P i n d e n t a t i o nc r a c km o r p h o l o g y (a)-4 5;(b)-3 0;(c)-1 5;(d)0;(e)1 5;(f)3 0;(g)4 5;(h)1 0 0c r y s t a l4.2 实验结果分析 相同载荷下沿不同晶向裂纹的拓展长度不同。以为起始晶向,取值于不同晶向的拓展裂纹参数见表2。表2(1 0 0)晶面维氏压痕参数表T a b l e2 V i c k e r s i n d e n t a t i o np a r a m e t e r so f(1 0 0)c r y s t a l p l a n eA n g l e/()H a l f i n d e n t a t i o nd i a g o n a l/mV i c k e r sh a r d n e s s/G P aC r a c k l e n g t h/mF r a c t u r e t o u g h n e s s/MP a-4 5 1 4.7 84.1 55 0.9 00.6 3-3 0 1 4.9 54.0 64 5.8 60.5 9-1 5 1 4.9 54.0 64 6.8 70.5 20 1 4.4 54.3 65 8.4 60.3 51 5 1 4.7 84.1 55 3.9 30.4 23 0 1 5.1 23.9 75 0.2 30.5 24 5 1 4.9 53.9 74 6.2 00.6 1363第4 1卷第3期蒋金鑫,等.基于广义胡克定律与压痕实验的磷化铟晶圆力学特性各向异性计算 在(1 0 0)上I n P维氏硬度HV由式(1 9)得到2 1-2 2:HV=1.8 5 4F(2a)2(1 9)式中:F为峰值载荷,a为压痕半对角尺寸。在(1 0 0)上I n P断裂韧性KI C可以通过压痕裂纹长度计算得出2 3-2 4,其数学表达见式(2 0)。KI C=0.0 1 8EHV1/2Fc2/3(2 0)式中:系数0.0 1 8为无量纲常数,E为杨氏模量,HV为维氏硬度,C为裂纹尺寸。如图8 a所 示:维 氏 硬 度 最 大 值 与 最 小 值 相 差9.8%,幅值波动不大,平均值为4.1 2G P a。维氏硬度在1 1 0 处取得最大值(4.3 6G P a),在0 1 0 处取得最小值(3.9 7G P a)。从图8 b可知断裂韧性最大值在1 0 0 和0 1 0 处获得,随着晶向由1 0 0 转变到1 1 0,断裂韧性减小至最小值0.3 5 MP am1/2,当晶向从1 1 0 变化到0 1 0 时,断裂韧性均匀恢复至最大值0.6 3MP am1/2。断裂韧性作为衡量材料抵抗变形断裂能力的参数,也可以判断裂纹拓展能力,其数值越小,说明该晶向上裂纹扩展比其他晶向裂纹扩展需要更少的能量。I n P在1 1 0 晶向上具有更小的抗断裂能力。因此,裂纹在(1 0 0)晶面上沿1 1 0 晶向最易扩展。图8(1 0 0)内沿不同晶向维氏硬度和断裂韧性变化规律(a)维氏硬度;(b)断裂韧性F i g.8 V a r i a t i o no fV i c k e r sh a r d n e s sa n df r a c t u r e t o u g h n e s s i n(1 0 0)c r y s t a l p l a n ea l o n gd i f f e r e n t c r y s t a l d i r e c t i o n s(a)v i c k e r sh a r d n e s s;(b)f r a c t u r e t o u g h n e s s5 结 论 根据I n P为闪锌矿结构,计算I n P结构参数,将I n P各晶向的力学性能差异定量化。结合胡克定律和压痕实验计算关键力学性能参数,研究力学特性随晶向的变化规律和裂纹最易拓展晶向。可以得到以下结论:1.三维空间中I n P杨氏模量、剪切模量、泊松比对晶向表现出强烈依赖特性。在(1 0 0)晶面上杨氏模量和泊松比具有周期性和对称性,在单个周期内两者对晶面呈现相反的依赖特性,剪切模量呈现各向同性;2.在(1 0 0)晶面上I n P硬度表现为弱各向异性,I n P断裂韧性具有优越的各向异性,裂纹最易沿1 1 0晶向拓展,(1 1 0)晶面最易获得光滑解理面。参考文献1 陈良惠,杨国文,刘育衔.半导体激光器的发展J.中国激光,2 0 2 0,4 7(5):1 3-3 1.2 胡雪莹,董海亮,贾志刚,等.G a A s基9 8 0 n m高功率半导体激光器的研究进展J.人工晶体学报,2 0 2 1,5 0(2):3 8 1-3 9 0.3 GAOR,J I AN GC,D ON G KJ,e ta l.A n i s o t r o p ym e c h a n i c a lb e h a v i o r o f c r y s t a l s b a s e d o n g a l l i u m a r s e n i d e c l e a v a g ep r o c e s s i n gJ.C e r a m i c sI n t e r n a t i o n a l,2 0 2 1,4 7(1 5):2 2 1 3 8-2 2 1 4 6.4 D ON G H W,Z HAOY W,J I AOJH,e ta l.S e l e c t i v e l yg r o w nI I I-Vl a s e r sf o ri n t e g r a t e dS i-p h o t o n i c sJ.C h i n e s eJ o u r n a lo fS e m i c o n d u c t o r s,2 0 2 1,2 3(1):5 3-6.5 RUN G EP,B E C K E RWE R TH T,T R O P P E N ZU,e ta l.I n P-c o m p o n e n t sf o r1 0 0G B a u do p t i c a ld a t ac e n t e rc o mm u n i c a t i o nJ.P h o t o n i c s,2 0 2 1,8(1):1 8-1 8.6 S Y LW I A P,D AM I AN P,MA R I AWO L S KA J,e t a l.T h e r m o m e c h a n i c a l l yc o n t r o l l e df l u o r e s c e n c ea n i s o t r o p yi nt h i nf i l m so f I n P/Z n Sq u a n t u md o t sJ.N a n o s c a l eA d v a n c e s.2 0 2 1,3:5 3 8 7-5 3 9 2.7 C H I U YJ,J I ANSR,L I U TJ,e ta l.L o c a l i z e dd e f o r m a t i o na n df r a c t u r eb e h a v i o r s i nI n Ps i n g l ec r y s t a l sb yi n d e n t a t i o nJ.M i c r o m a c h i n e s,2 0 1 8,9(1 2):6 1 1.8 NAVAMA THAVANR,GAN E S ANV,A R I VUO L ID,e ta l.C h a r a c t e r i z a t i o n o f s u r f a c e d e f o r m a t i o n a r o u n d v i c k e r si n d e n t a t i o n s i nI n G a A s Pe p i l a y e r so nI n Ps u b s t r a t eJ.A p p l i e dS u r f a c eS c i e n c e,2 0 0 6,2 5 3(5):2 9 7 3-2 9 7 7.9 NAVAMA THAVANR,A R I VUO L ID,A T T O L I N IG,e ta l.M e c h a n i c a lp r o p e r t i e so fI n A s/I n Ps e m i c o n d u c t o ra l l o y sJ.A p p l i e dS u r f a c eS c i e n c e,2 0 0 6,2 5 3(5):2 6 5 7-2 6 6 1.1 0 孙世孔,路家斌,阎秋生.磷化铟的化学机械抛光技术研究进展J.半导体技术,2 0 1 8,4 3(3):2 0 1-2 1 0.463材料科学与工程学报2 0 2 3年6月1 1 KA B I TAK,MA I B AMJ,S HA RMABI,e ta l.F i r s tp r i n c i p l es t u d y o n p r e s s u r e-i n d u c e d e l e c t r o n i c s t r u c t u r e a n d e l a s t i cp r o p e r t i e so fi n d i u m p h o s p h i d e(I n P)J.I n d i a nJ o u r n a lo fP h y s i c s,2 0 1 5,8 9(1 2):1 2 6 5-1 2 7 1.1 2 H J O R T K,S O D E R KV I S T J,S C HWE I T Z J A.G a l l i u ma r s e n i d e a s am e c h a n i c a lm a t e r i a lJ.J o u r n a l o fM i c r o m e c h a n i c sa n dM i c r o e n g i n e e r i n g,1 9 9 4,4(1):1-1 3.1 3 J ANOV S K M,S E D L K P,K RU I S OV A,e ta l.E l a s t i cc o n s t a n t so fn a n o p o r o u sI I I-Vs e m i c o n d u c t o r sJ.J o u r n a lo fP h y s i c sD:A p p l i e dP h y s i c s,2 0 1 5,4 8(2 4):2 4 5 1 0 2-9.1 4 NOV I KOVA N E,L I S OV E NKO D S,S I Z OVA N L.P e c u l i a r i t i e so ft h es t r u c t u r e,m o d u l io fe l a s t i c i t y,a n dk n o o pi n d e n t a t i o n p a t t e r n s o f d e f o r m a t i o n a n d f r a c t u r e o f s i n g l ec r y s t a l s o f p o t a s s i u m,r u b i d i u m,c e s i u m,a n d a mm o n i u mh y d r o p h t h a l a t e sJ.C r y s r a l l o g r.R e p,2 0 1 8,6 3(3):4 3 8-4 5 0.1 5 R Y S A E VAL K,B A I MOVAJA,L I S OV E NKO DS,e ta l.E l a s t i cp r o p e r t i e so ff u l l e r i t e sa n d d i a m o n d-l i k ep h a s e sJ.P h y s i c as t a t u sS o l i d i,2 0 1 8,2 5 6:1 8 0 0 0 4 9.1 6 T I N GT.O na n i s o t r o p i ce l a s t i c m a t e r i a l sf o rw h i c h Y o u n gsm o d u l u sE(n)i s i n d e p e n d e n t o f no r t h e s h e a rm o d u l u sG(n,m)i s i n d e p e n d e n to fna n dmJ.J o u r n a lo fE l a s t i c i t y,2 0 0 5,8 1(3):2 7 1-2 9 2.1 7 C A Z Z AN IA,R OVA T IM.E x t r e m ao fY o u n gsm o d u l u sf o rc u b i ca n dt r a n s v e r s e l y i s o t r o p i cs o l i d sJ.I n t e r n a t i o n a l J o u r n a lo fS o l i d sa n dS t r u c t u r e s,2 0 0 3,4 0(7):1 7 1 3-1 7 4 4.1 8 L UAN X H,Q I N H B,L I U F M,e ta l.T h e m e c h a n i c a lp r o p e r t i e sa n de l a s t i ca n i s o t r o p i e so fc u b i c N i3A lf r o m f i r s tp r i n c i p l e sc a l c u l a t i o n sJ.C r y s t a l s,2 0 1 8,8(8):3 0 7-3 0 9.1 9 GO L D S T E I N R V,GO RO D T S OV V A,L I S OV E NKO DS.S h e a rm