莱宝真空检漏仪Phoenix L300 中文操作说明书.pdf

cerlikonleybold vacuumPhoeniXL300氮质谱检漏仪操作说明书产品号：250000250001250002251000251001251100251101pHOENlXL 300目 录1.一般介绍.1.1 本手册使用中的注释.1.1.1 安全符号.1.1.2 表示法.1.1.3 真空工艺符号.1.1.4 术语定义.1.2 引言.1.2.1 用途.1.2.2 技术数据.1.2.2.1 P hoeniXL300 物理数据.1.2.2.2 电气数据.1.2.2.3 其它数据.1.2.2.4 环境.1.2.2.5 P hoeniXL300 dry 物理数据.1.2.2.6 电气数据.1.22.7其 它数据.1.2.2.8 环境.1.2.2.9 P hoeniXL300 Modul 物理数据.1.2.2.10 电气数据.1.2.2.11 其它数据.1.2.2.12 环境.1.3拆箱 1.3.1 提供的设备.1.3.2 附件和选用件.1.3.2.1 吸枪 SL300.1.3.2.2 遥控单元.2.安装.2.1 工作场所.2.2 电气连接.2.2.1 系统供电.2.2.2 数据采集系统的连接.2.2.2.1 选项（附件）.222.2数字输出.2.2.2.3数字输入.2.224记录器.2.2.2.5 RS232.2.2.2.6遥控单元.22.3真空连接.2.3.1 吸入口.2.3.2 排气口.2.3.3 放气.2.3.4 气镇连接.2.4缺省设置.3.首次运行检查.3.1 必须的设备.3.2 初次运行概述.3.2.1 启动和测量.3.2.2 内部校准.3.2.3 检验.4.工作原理.4.1 弓I言.4.1.1 P hoeniXL300 真空系统.4.1.1.1 P hoeniXL300 dry 真空系统.4.1.1.2 P hoeniXL300 Modul 真空系统.4.1.2 控制面板.4.1.2.1 液晶显示器.4.1.2.2 START（启动）按钮.4.1.2.3 STOP（停止）按钮.4.1.2.4 ZERO（调零）按钮.4.1.2.5 MENU（莱单）按钮.4.1.2.6 软键.4.1.2.7 数字输入.4.1.3 真空法.4.1.4 分流法.4.1.5 吸枪模式.4.1.6 遥控单元控制.4.1.7 遥控单元触摸屏.5.P hoenix 的使用.5.1 显示器.5.2 起动模式下屏幕.5.3 待机模式卜显示器.5.3.1 气镇.5.4 测量模式下屏幕.5.4.1 调出校准.5.4.2 扬声器音量.5.4.3 显示器上状态行.5.4.4 数字显示模式.5.4.5 趋势模式.6.莱单简介.36.1 主菜单.6.2 视图.6.2.1 标尺线性/对数.6.2.2 显示范围自动/手动.6.2.3 时间轴.6.2.4 对比度.6.2.5 待机模式下本底.6.2.6 显示下限.6.3 模式.6.4 触发器和报警.6.4.1 触发电平1.6.4.2 触发电平2.6.4.3 触发电平3.6.4.4 单位.6.4.5 音量.6.4.6 报警延迟.6.4.7 音频报警类型.6.4.7.1 定点.647.2漏率比.6.4.7.3设置点.6.4.7.4触发报警.6.5 校准.6.6 设置.6.6.1 真空设置.6.6.1.1 放气延迟.6.6.1.2 真空范围.6.6.1.3 分流设备.6.6.1.4 吸枪因子.6.6.1.5 机器因子.6.6.1.6 内部测试漏孔漏率.6.6.2 过滤器和本底.6.6.2.1 计算吸入口区段本底.6.6.2.2 本底抑制.6.6.2.3 漏率过滤器.6.6.3 质量.6.6.4 接口.6.6.4.1 控制的位置.6.6.4.2 确定记录器输出.6.6.4.3 RS232 协议.6.6.4.4 确定P LC输出.6.6.4.5 确定P LC输入.6.6.4.6 记录器输出定标.46.6.5 杂项.6.6.5.1 时间和日期.6.6.5.2 语言.6.6.5.3 校准请求.6.6.5.4 前级泵检修周期.6.6.5.5 油过滤器检修周期.6.6.5.6 油过滤器检修信息.6.6.6 参数保存/装入.6.6.6.1 装入参数组.6.6.6.2 保存参数组1.6.6.7 监视功能.6.6.7.1 真空模式压力限制.6.6.7.2 吸枪模式压力极限.6.6.7.3 最大抽空时间.6.7 信息.6.7.1 维护.6.8 访问控制.6.8.1 访问校准功能.682修改菜单一P IN.6.8.3 调零.7.校准.7.1 引言.7.2 校准程序.7.2.1 内部校准.7.2.2 外部校准.7.3 校准系数一数值范围.8.错误和警告信息.8.1 提示.8.2 错误和警告清单.9.维修.9.1 欧瑞康莱宝真空的服务.9.1.1 维护计划.9.1.2 拆开 P hoenix.9.1.3 更换过滤网.9.1.4 换油.9.1.5 清洁.9.1.6 更换熔断器.9.1.7 油过滤器.9.2 涡轮分子泵.符合EC声明.51.一般介绍我们建议您认真阅读本技术手册，确保从启动开始就一直保持最佳工作状态。本技术手册包含P hoeniX检漏仪的功能，安装，启动和操作等重要内容。本手册所有内容基于P hoeniXL?00检漏仪。我们保留修改设计和给定数据的权利，插图也不受限制。1.1 本手册使用中的注释1.1.1 安全符号有关操作安全与防护的主要标记有：正确操作或使用的有关规程，否则会造成设备事故或轻微损坏。注意防止危及各种人身伤害的有关规程。当心1.1.2 表示法参阅图的标法是依次由各号和项号组成的。例如，图2/7表示图2中项目7。1.1.3 真空工艺符号下面给出的是本手册中使用的一些重要真空符号：Q/)普通真空泵 涡轮分子泵(V；测量仪表X-阀61.1.4术语定义自动量程修正自动选择前置放大器量程和真空范围。P hoeniX自动量程修正依据选择的运行模式覆盖整个范围或漏率。为了达到控制目的不仅使用漏率信号，而且使用试样内（入口压力 P 1）压力和前级压力（P 2）,通过阀门进行主量程间量程切换。主 量程内精细量程转换靠切换前置放大器增益系数实现。质量定位自动调谐这个功能自动调整质谱室使显示最大漏率。控制处理器改变产生选 定质量范围离子的电压直到离子探测器探测到最大离子流为止。在 每次校准过程中自动进行质量定位。自动调零氨本底测定和自动修正。通过这个功能，确定仪器内部零电平，然后从当前漏率信号中扣除。在校准过程中或如果P hoeniX在待机或放气模式下已预先运行至少 20秒，当再次操作启动按钮时进行自动调零。如果预先抑制的氨本 底下降，使在调零期间仅显示下限显示值，则自动修正零电平。菜单菜单可使用户按他的要求编程P hoeniXo菜单为树状结构。缺省工厂供货时P hoeniX的状态。GROSS（粗检）GROSS是允许高入口压力（0.215mbar）的测量模式。最小可检测 漏率为 lX10-8mbarl/soFINE（精检）HNE是允许入口压力V0.2 mbar的测量模式。最小可检测漏率为 IXIO_10 mbarl/s0PRECISION（精细检）P recision是P hoeniX dry仅允许入口压力V0.01 mbar的测量模式。在这种模式下P hoeniX灵敏度最高，最小可检测漏率W2X W11 mbar1/So前级管道压力涡轮分子泵和旋片泵之间前级管道内压力。最小可检测漏率在真空模式下P hoeniX能检测的最小漏率（W5E-12 mbar 1/s）。内部筑本底测量系统内存在的氮分压。在待机模式下测量的内部氢本底电平，要从测量信号中扣除掉。测量模式P hoeniX测量试样漏率。71.3引言1.3.1 用途P hoeniX是氢检漏仪。该仪器可以两种不同方法检测试件漏孔位置和漏 孔大小：,试件首先抽空，用氨气喷试件外表面。它要求在P hoeniX与试件之 间进行真空连接（真空模式）。或者在试件内充入超压氢，用连接到吸入口吸枪从外表面检测试件。（吸 枪模式）。当心P hoeniX仅用来检漏。不得用作抽空系统（尤其是抽腐蚀性或含水气体）。抽可冷凝气体和蒸汽：当抽空试件时，试件内水蒸汽会到达前级泵。对 于空气中水蒸汽一尤其在潮湿场所或使用含水试件时一有时可超过允 许水蒸汽含量。当水蒸汽增加超过允许值时，泵油中水汽冷凝。因而油特性改变，泵有 被腐蚀的危险。在可冷凝气体和水汽环境下使用检漏仪时，必须定期检查前级泵汕质 量。因此你必须判断泵内是否有水蒸汽冷凝。通常油是浅颜色透明的。当汕内有水蒸汽时，工作温度下油呈昏暗乳状物。当停泵时，水蒸汽冷凝，汕中水分增加。当心检漏工作（在这过程中冷凝气体或水汽被抽出）结束后，不得立即停检 漏仪。必须打开气镇阀（见第5.3.1节）继续运行（至少20分钟）直到 泵油中不含水汽为止。如果忽视本说明造成泵内腐蚀，则不在我们担保之列。必须经常控制泵油高度。必须按正常换油周期换厂商提供的汕。见旋片 泵说明书。如果P hoeniX用于有毒物质场所，请与Oerlikon Leybold Vacuum公司联 系以提供消毒规程。如果检漏仪与危险气体接触，必须填写污染声明。81.3.2技术数据1.3.2.1 PhoeniXL 300 物理数据最大入口15 mbar最小可检测氢漏率在真空模式下W5xio mbar 1/s在吸枪模式下V1 X 10：mbar 1/s能显示的最大氢漏率0.1 mbar 1/s测量范围12数量级漏率信号时间常数（封闭，终值的63%）2.5 1/s可检测质量2,3,4质谱室180扇形磁场离子源2灯丝，钺/氧化钮吸入口DN 25 KF起动时间（启动后）W2 min为了降到最小可检测漏率范围，必须满足一些条件。P hoeniX已完全预热。环境状况必须稳定（温度，无振动/加速度）试件抽空足够长（本底不再下降）ZERO必须激活。1.3.2.2电气数据电源230V,+1-5%,50Hz功率消耗420 VA保护类型IP 40电源线(EU,USA,UK)2.5 m1.3.2.3其它数据阀门电磁尺寸（长，宽，高）mm490X430X315重量kg40.0噪声水平dB（A）54音频报警dB（A）95污染水平（按IEC 60664-1）2过电压等级（按1EC 60664-1）II1.3.2.4 环境用于室内允许环境温度（运行期间）+10.+40允许贮存温度0.+60最高相对湿度80%(最高 31)在40。线性下降到50%最大允许海拔高度（运行期间）2000 m91.3.2.5 PhoeniXL300 dry 物理数据最大入口压力最小可检测氢漏率真空模式,吸枪模式能显小的最大氢漏率测量范围漏率信号时间常数（封闭，终值的63%）入口抽速（氢）GROSS模式 P RECISION 模式 FINE模式可检测质量质谱室离子源吸入口起动时间（启动后）15 mbarW2xl0/mbar 1/s 1X1O7 mbar 1/s 0.1 mbar 1/s 12数量级 2.5 1/s2,3 和 4 180扇形磁场2灯丝，钺/氧化铝DN 25 KF W2 min1.3.2.6电气数据 电源230V,50Hz115V,60Hz功率消耗保护类型电源线（EU,USA,UK）350 IP 402.5 m1.3.2.7其它数据阀门尺寸（长，宽，高）mm重量kg噪声水平dB（A）音频报警dB（A）污染等级（按IEC 60664-1）过电压类别（按IEC 60664-1）电磁490X430X31535.554952II1.3.2.8 环境用于室内允许环境温度（运行期间）允许贮存温度最大相对湿度+10.+400.+6080%（最大 31）在40线性下降到50%最大允许海拔高度（运行期间）2000 m1.3.2.9 PhoeniXL300 Modul 物理数据最大入口压力最小可检测氮漏率在真空模式下-用涡旋泵15 mbarW8X IO_12 mbar 1/s10用油封泵在吸枪模式下能显ZK的最大氢漏率测量范围漏率信号时间常数（封闭，终值的63%）入口抽速（氢）GROSS模式一 FINE模式可检测质量质谱室离子源吸入口起动时间（启动后）1.3.2.10 电气数据电源功率消耗保护类型电源线（EU,USA,UK）1.3.2.11 其它数据阀门尺寸（长，宽,高）mm重量kg噪声水平dB（A）音频报警dB（A）污染等级（按IEC 60664-1）过电压类别（按IEC 60664-1）1.3.2.12 环境用于室内允许环境温度（运行期间）允许贮存温度最大相对湿度最大允许海拔高度（运行期间）5xl012mbarl/s 1X1O 7 mbar 1/s 0.1 mbar 1/s 12数量级 2.5 1/s2,3 和 4 180扇形磁场2灯丝，钺/氧化钮DN 25 KFW2 min100 V.230V,50/60 Hz350 VAIP 402.5 m电磁490X430X31529.513V（约7mA）低的含义：U 视图时间轴趋势模式时间轴的长度可以按已给定的16960秒之间时间间隔修改。软键3：箭头下缩短时间轴长度。最小值为16秒软键5：?帮助功能软键7：箭头上增加时间轴长度。最大可调整值是960秒。6.2.4 对比度主菜单视图对比度显示的对比度可以改变。常规条件下推荐值约为50。如果无意中将显示设置的太亮或太暗，以致于不能正常读数，可按下述方法调整:38先关掉P hoeniX,然后再启动它，在起动阶段，按下键3或7直到能再次正常读出显示值 时再将手抬起。只有经过对比度菜单确认后才能把该设置存入EP ROM。如果不确认该设置，当再次打开仪器之后仍使用以前的设置。软键3：箭头下将对比度渐渐变暗，最小值为0软键4：颠倒显示把屏幕对比度颠倒。软键5：?帮助功能软键7：箭头上将对比度渐渐变亮。最大值为99。6.2.5 待机模式下本底主菜单 视图待机模式下本底在待机模式下可以显示，也可不显示内部本底漏率。缺省设置是关。软键3：关不显示本底漏率软键5：帮助功能软键7：开显示本底漏率没有抽出的残余气体（如氢）产生内部本底。残余气体源是空气或从检漏仪内表面放出 的吸附气体。内部本底决不会完全消失。长期抽空的很洁净系统本底约为lOimbarl/s。在常 规条件下，本底水平为IO-10 mbar 1/s或低于10-9 mbar 1/s范围。当按START时一，当前内部本底会从以后测量信号中自动扣除。因此能保证测量试件的漏 率仅为净漏率。当再次转换到待机/放气时，25秒后计算新内部本底。更新值加有下划线。这就意味着当 该值有下划线时一，如果按START,则实际本底信号将被扣除。当该值没有下划线时，如果按 START,最后一次待机老本底信号将被扣除。6.2.6 显示下限主菜单,视图显示下限这种模式限制测量漏率范围（检测极限）。这仅对真空模式有效。软键3,7：在1X10和lx1。-%之间改变检测下限P hoeniXL300 dry 的下限范围在 1 X 10$和1 x 1011 mbar 1/s 之间软键5：?帮助6.3 模式主菜单 模式模式菜单图19使子菜单能选择不同工作模式。39图19模式菜单键号 名称1 取消3 吸枪457 真空8 OK6.4触发器和报警主菜单 触发器和报警在这个菜单图20可以设置触发电平,说明返回主菜单而不改变现有设置将使用吸枪模式在这菜单中不用在这菜单中不用将使用真空模式保存设置返回到先前菜单扬声器音量和漏率及压力单位。图20触发器和报警菜单键号名称说明1返回返回主菜单2触发电平1确定触发电平1,第641节3触发电平2确定触发电平2,第6.4.2节4触发电平3确定触发电平3,第643节5单位选择漏率和压力单位，见第644节6音量见第6.4.5节7报警延迟见第6.4.6节8音频报警类型选择不同报警类型，见第647节406.4.1 触发电平1主菜单 触发器和报警触发电平1能设置第1触发电平值。有关输入说明见第4.1.2.7节数值输入。触发1,2和3是可编程开关阈。当大于这些阈值时，P hoenix有如下反应：显示 如果漏率大于（即高于）程控值，在显示器状态行，反相显示符号Trigger 1,2 和 Trigger 3。继电器输出 数字输出中继触发器换向。详见第2.222节数字输出。报警/扬声器 此外给触发电平1规定的不同报警类型起作用，（见第647节音频报警类型）。6.4.2 触发电平2主菜单,触发器和报警触发电平2能设置第2触发电平值。有关输入说明，见第4.127节数值输入。如果超过触发2,相应继电器将切换。显示器也会指示（见上）。6.4.3 触发电平3主菜单触发器和报警触发电平3能设置第3触发电平值，有关输入说明，见第4.127数值输入。如果大于触发3,相应继电器将切换，显示器也会指示（见上）。6.4.4 单位主菜单 触发器和报警,单位能选择喜欢的漏率单位。有4个压力单位（mbar,P a,Torr,atm）和5个漏率单位（mbar 1/s,P a m3/s-l,Torr 1/s atm cc/s s ft3/yr）可供选择。对于吸枪模式有以下可供选择测量单位（见第6.3节）ppm g/a eq（氮漏率等效于漏率 R134a）oz/yr eq（氮漏率等效于漏率R134a）。软键2：箭头上向上卷，选择压力单位。软键3：箭头下向下卷，选择压力单位软键6：箭头上向上卷，选择漏率单位软键7：箭头下向下卷选择漏率单位6.4.5 音量主菜单 触发器和报警,音量能将扬声器调整到最小响度和正常音量。最小响度是不能超过的，为最小值的扬声器最小音量。因此不要将实际音量偶然地调整 到低于环境噪声水平值。41实际音量可在15（最大）和按最小响度确定的值之间调整。软键2：箭头下降低最小响度。最小值为0。软键3：箭头下降低实际音量。最小值由最小音量限定。软键4：高频音关/高频音开软键5：帮助功能软键6：箭头上提Wj最小音量。最大值为15软键7：箭头上提高正常音量。最大值为156.4.6 报警延迟主菜单,触发器和报警 报警延迟在某些应用中（例如在“室测试系统”中抽空时），按START之后必须阻报警若干时间。这个报警延迟时间可以修改。软键3：箭头下减小延迟时间。最小值是0秒软键5：帮助功能软键7：箭头上增加延迟时间。最大值是10分直到无限大在按START之后，漏率下降一旦低于触发电平1或者输入的报警延迟时间一旦用完时扬 声器开启。这个设置仅对音频报警类型SETP OINT（设置点）和TRIGGER ALARM（触发报 警）有效（见第647节）。6.4.7 音频报警型主菜单 触发器和报警音频报警类型音频报警触发器能打开或关闭软键2：定点软键3：漏率正比音响正比于漏率信号软键5：帮助功能软键6：设置点当大于触发1时发出声音报警6.4.7.1设定点声音信号音调只有在漏率窗口图21低于触发电平1 一个数量级到高于触发电平1 一个数 量级的范围内改变它的频率。小于该窗口音调恒定低，大于该窗口音调恒定高。例如：触发电平1是4x101 mbar 1/s。因此音调变化的窗口为4X 10*mbar 1/s到4X IO_6 mbar 1/So42图21定点6.4.7.2漏率正比声音输出频率与条形图显示器读数正比。频率范围300Hz至3300Hz。有关数量级数目的 确定请见第6.2.1节标尺线性/对数。6.4.73设定点只要漏率低于触发电平1,音调关。大于触发电平1,音调随漏率正比变化，图22。图22设置点6.4.7.4触发报警漏率增加一旦大于触发电平1,产生多音调信号。音调不随漏率变化。6.5 校准主菜单 校准有关校准详细介绍见第7章校准。43图23校准菜单6.6 设置主菜单 设置这个菜单图24允许观看和修改内部机器设置配置。图24设置菜单主菜单 设置真空设置这个菜单可观看和修改属于真空系统的设置软键3：放气延迟请参看第6.6.1.1节键号名称说明1返回返回主菜单2真空设置与功能有关的真空系统设置，见第661节3过滤器和本底见第6.6.2节4质量在氢和氢之间转换，见第663节5接口电气通信设置和控制位置选择，见第664节6杂项象FI期和时间的设置，见第665节7参数保存/装入保存和装入参数设置。见第666节8监视功能用这种模式选择P hoeniX的保护功能，见第6.6.7节6.6.1真空设置44软键4：真空范围请参看第6.6.1.2节软键5：分流设备请参看第6.6.1.3节软键6：吸枪因子请参看第6.6.1.4节软键7：机器因子请参看第6.6.1.5节软键8：内部测试漏孔漏率请参看第6.6.1.6节P hoeniXL300 dry型检漏仪菜单有如下真空设置与P hoeniXL300稍有不同。软键2：自动吹洗请参看第6.6.1.1节软键3：放气延迟请参看第6.6.1.1节软键4：真空范围请参看第6.6.1.2节软键6：吸枪因子请参看第6.6.1.4节软键7：机器因子请参看第6.6.1.5节软键8：内部测试漏孔漏率请参看第6.6.1.6节P hoeniXL300 Modul型检漏仪有与P hoeniXL300不同的如下真空设置：软键2：自动吹洗见第章软键3：放气延迟见第661.1节软键4：真空范围见第661.2节软键5：前级泵装置见第节软键6：吸枪因子见第节软键7：机器因子见第661.5节软键8：内部测试漏孔漏率见第661.6节6.6.1.1 放气延迟定义45用这个菜单项，能确定按下STOP按钮后直到吸入口被破空的延迟时间。当按下STOP 按钮持续时间比规定的延迟时间短时，P hoeniX恰好转到待机模式。当按下STOP按钮持续时间比规定延迟时间长时，P hoeniX将破空放气吸入口。软键2：立即按STOP按钮后，吸入口立即破空。软键3：1秒后时间延迟1秒，吸入口破空软键4：1.5秒后时间延迟1.5秒后，吸入口破空软键5：?帮助软键6：2秒后时间延迟2秒，吸入口破空软键7：不破空放气按STOP按钮后，吸入口不破空6.6.1.2 真空范围主菜单 设置真空设置真空范围用这个菜单可调整与检漏工作有关的不同模式，这个设置仅在真空模式下有效（见第6.3 节）。软键2：仅GROSS在这个模式下P hoeniX吸入口法兰压力下降后维持低于15 mbar。当压力上升超过15 mbar 时，P hoeniX自动转到抽空模式。最小可检漏率为1X 10力mbar小。软键3：仅FINE在这个模式下，压力下降后P hoeniX维持吸入口法兰低于0.2 mbar。阀门Via关闭。当 吸入口法兰压力上升0.2 mbar时，P hoeniX立即转换到抽空模式。仅FINE的优点是在这模式 运行时，阀门不开关，检漏仪抽速大。软键5：?帮助软键6：分流与样本号14020分流系统联合使用的模式软键7：额定（缺省设置）这是缺省设置。工作范围如第4.1.5节所述。P hoeniXL300 dry允许的真空范围如下：软键2：仅GROSS（仅粗检）在这个模式下，吸入口法兰压力下降后，P hoeniX维持吸入口法兰低于15 mbar。当压力 上升高于15 mbar时，P hoeniX自动切换到抽空模式。最小可检漏率为1 X 10用mbar 1/s。软键3：仅FINE（仅精检）在这个模式下，吸入口法兰压力下降低于0.2 mbar后维持该压力。阀门Via关闭。当入 口法兰压力上升0.2 mbar时P hoeniX立即转到抽空模式。仅FINE的优点是在这模式运行时，阀门不开关，检漏仪抽速大。46软键5：?帮助软键6：P RECISION（精细检）在这模式下P hoeniX dry可获得最高灵敏度。软键7：额定（缺省设置）这是缺省设置。它的工作范围从GROSS到FINE。6.6.1.3 分流设备主菜单 设置真空设置分流设备通过这个菜单项，能设定使用的分流系统（样本号14020）设置。在分流模式下，试样由 一个辅助泵辅助抽空，这有如下优点：响应快，在入口压力为1000 mbar即进入测量模式，大试件破空快。该设置不能用于P hoeniXL300 dry型检漏仪P hoeniXL300 Modul型检漏仪另有前级泵（油封或干泵）设置和前级泵选择抽速设置。软键2：减小分流抽速减小分流泵额定抽速输入。最小抽速为4m3/h软键3：缩短快速抽空时间快速抽空时间指阻止分流的V10阀是否打开或多长时间打开。（详细说明请见分流系统 使用说明书“GA10.277）。若Tq=0秒，阀门V10暂时不打开。对大容积和脏的试件推荐该选择。若T（3=无限时，当按START时阀门10将打开。在入口压力P l 设置真空设置吸枪因子吸枪因子是在内部校准后要考虑的外部分流比，例如带吸枪线的Quicktest（快速吸枪）或辅助泵用三通连接到检漏仪。在内部校准期间，校准P hoenix的内部灵敏度。校准值乘以吸枪因子其结果为该情况下实 际漏率。软键4：设定缺省值设置吸枪SL300缺省值1或设置使用Quicktest时校正系数（1000）。6.6.1.5 机器因子主菜单 设置真空设置机器因子机器因子是在内部校准后要考虑的检漏仪与测量模式以及使用的测量模式（GROSS/FINE）下抽空系统中泵的有效氢抽速之比，基于仅内部校准，所有测量漏率都太小。因此显示的是测量漏率与机器因子的乘积。这个因子仅用于真空测量模式（不用于吸枪模式）有关输入介绍见第4.1.2.7节数值输入。由于真空连接管线有流导，通常有效抽速是未知的，所以我们推荐下述间接测量法：1.将P hoenix投入运行。2.首先必须在机器因子=1下进行内部校准（见第7章）。3.将外部校准漏孔（例如）Z.OXlo mbarlJ连接到测试室。4.测量外部测试漏孔漏率，例如5.0X10-8 mbarls5.机器因子等于所需值与实际值之比：2.0X IO_6 mbarl s /5.0X 10-8 mbarl 5=机器因子406.在菜单中设定获得值7.再做一次内部校准，以便采用该机器因子。8.以后运行中所有测量信号都乘以因子40,然后在显示器上显示。6.6.1.6 内部测试漏孔漏率主菜单 设置,真空设置内部测试漏孔漏率能设定内部测试漏孔值。有关输入介绍见第4.127节数值输入，除了重新校准内部测试 漏孔外通常没有理山删改内部测试漏孔漏率。错误的内部测试漏孔漏率将导致错误漏率读数!6.6.2过滤器和本底主菜单设置过滤器和本底能选择漏率过滤器和本底状态提示。漏率过滤器缺省设置是自动。软键2：计算入口区段本底这个功能是为选定入口区段本底。软键3：本底抑制本底内部状态的设置6.6.2.1计算吸入口区段本底主菜单 设置,过滤器和本底 计算入口区段本底48这个子菜单用处是计算入口区段本底。P hoeniX必须处于下述状态。1.真空模式2.待机模式（最小25秒）3.吸入口封闭4.通电至少20分钟在启用这个子菜单之后，检漏仪开始抽空吸入口区段。把启动后最初2分钟测量值看作“入口区段本底”。将保存这个值。应该用检漏循环时间确认接受本底前的时间。6.6.2.2本底抑制主菜单,设置,过滤器和本底,本底抑制软键3：关取消偏移功能。在某些情况下，能显示可靠漏率。只有有经验的用户才能使用本设置，因为很可能测量漏率是错误的。软键6：入口区段另外对内偏移，要扣除入口区段偏移。这个入口区段功能仅能用在待机模式，因此这个 值必须用菜单项“计算入口区段本底”确定。软键7：仅内部随着仪器启动，P hoeniX确定内偏移（本底）并从漏率信号中扣除这个值，从而在显示器 显示漏率。这个设置用作P hoeniX的标准设置。6.623漏率过滤器主菜单,设置,过滤器和本底漏率过滤器软键3：固定的使用具有固定时间常数的漏率。软键6：自动自动指的是根据漏率强度其信号是最佳时间间隔的平均值。自动还消除与漏率信号无关 的噪声峰值，并对小漏率信号提供极短反应时间。对P hoeniX应该使用这个设置。6.6.3 质量主菜单 设置质量能选择被测气体所需质量。P hoenix必须在待机模式修改到其它质量。软键2：H2（2原子质量单位）将检测质量为2原子质量单位的氢软键3：He（3原子质量单位）将检测质量为3原子质量单位的氢同位素软键7：“He（4原子质量单位）将检测质量为4原子质量单位的氮6.6.4 接口主菜单 设置,接口能设定接口参数49软键2：控制位置软键3：确定记录器输出软键4：RS232协议软键5：确定P LC输出软键6：确定P LC输入软键7：确定记录器输出标尺软键8：P LC采样速率6.6.4.1 控制的位置主菜单 设置接口,控制位置软键2：P LC通过“数字输入”插头控制P hoenix(见第6.6.4.1节)。控制面板上START,STOP和ZERO 按钮和远程控制器被锁定。软键 3：RS232用外部计算机通过RS232接口控制P hoenixo在这种模式下，P hoenix不能用键盘控制。机器上START,STOP和ZERO按钮无效。软键5：本地和P LCP hoenix可由“数字输入”插头控制，也可山控制面板和远程控制器上START,STOP和 ZERO按钮控制。软键6：本地和RS232P hoenix可山“数字输入”插头控制。也可山控制面板和远程控制器上的START,STOP 和ZERO按钮控制。软键7：本地P hoenix山控制面板或远程控制器的START,STOP和ZERO按钮控制。6.6.4.2 确定记录器输出主菜单,设置 接口确定记录器输出在这个子菜单上能选择待记录的信号。用左键选择插针，用右键向选择的插针分配某个 功用。0 1 2 3 4 5 C 7 8 0 1D V10*W*10*KT4 W5 100 104*通道 1：漏率图25漏率范围能选择下述信号：关 记录器输出关。P l(L200)入口压力设置与L200设置相同。用户能调换用于P hoenix的L200而 不改变插针功用。50P l（P irani）P hoenix入口压力P l将按对数显示。P 2（L200）前级真空压力设置与L200设置相同，用户能更换用于P hoenix的L200,而不改变插针功用。P 2（P irani）P hoenix前级真空压力P 2将按对数显示。LR Lin 基础输出电压为线性标度。基础电压为0-10V,选择的刻度为每数量（漏率线性）级跃升0.5-10V不等。有关标尺信息见第664.6节。LR log 基本输出电压按对数标度。电压输出范围1-10V选择的刻度为每数量（漏率对数）级跃升0.5-10V之间不等。0123456769 10 VWT3：0*2图26漏率范围例，对数，0.5V/数量级有关标尺调整见第6.646节。漏率LR数值部分 从1到10V线性记录漏率数值部分。漏率（指数）按阶跃函数记录指数：U=1.10V,从1V=1 0近开始每个数量级跃升0.5Vo6.643 RS232 协,议主菜单设置接口,RS232协议软键2：波特率和结束符号在1200和19200之间选择的波特率设置以及CR+LF,CR或LF之间选择的结束符号设 置。软键3：数据，奇偶，停止比特能选择数据（7或8）,奇偶（偶数,奇数，无）和停止.比特（1或2）的设置。软键7：RS232协议能在以下各项之间选择RS232协议：L200规格，诊断，L200漏孔制品和ASCII代码。漏孔制品校准功能P hoenix不适用。6.6.4.4 确定PLC输出以下继电器输出用于进一步信号处理。继电器触点最大标称值为60VAC/lAo 触点由下向上编号。51插针功用1P LC可自山选择的2P LC可自由选择的3P LC可自由选择的4地5-7 8-10 11-1314-16可自由选择的数字输出，5中央触点，6常开触点，7常闭触点数字输出自由选择的数字输出自由选择的数字输出自由选择的数字输出工作模式使用说明。8至16触点插针功用与插针5至7顺序相同。下述数字输出信号是可选用的。触发器1:当大于触发电平1或机器不在测量状态时，触发器1打开。触发器2：当大于触发电平2或机器不在测量状态时，触发器2打开。触发器3：与触发器1和触发器2相同。零开启：当调零功能运行时它闭合。准备：当机器准备测量(发射打开，无故障)时它闭合。CAL开启当机器处于校准程序时它闭合。CAL请求当请求校准时它打开。在外部校准期间，输出开路表明外部校准漏孔必须关闭。故障当显示故障时它打开警告当显示警告时，它打开。气镇当开启气镇时它闭合打开所有时间它都打开闭合所有时间都闭合。记录器闸门当不用记录器输出时一，它关闭。只有当记录器输出设置在“漏率”时才使用。6.6.4.5 确定PLC输入可以使用这些输入控制装有程序逻辑控制器(P LC)的P hoenix。52插针 功用1 P LC自由选择的2 P LC自由选择的3 P LC自由选择的4 P LC 地数字输入工作模式使用说明。调零：由低调到高：开启“调零”由高调到低：撤消调整启动由低调到高：开启START停止由低调到高：开启STOP当入口比anounced高的多时一，然后将入口破空。吹洗由低调到高：开启吹洗由高调到低：取消吹洗消除由低调到高：确认故障信息校准由低调到高：当机器处于待机模式：启动内部校准。如果机器处于测量模式：启动外部校准。（前提条 件：必须打开外部校准测试漏孔，漏率信号稳定）。由高调到低：外部校准：确认外部测试漏孔关闭，漏率信号稳定。高的含义：U13V（约7mA）低的含义：U 设置接口,记录器输出定标在这里能调整记录器输出定标。只有当选择LR lin（“线性漏率”）或LR log（“对数漏率”）时才能进行调整。软键2：减小数量级53能减小漏率上限数量级。软键3：缩小标尺以0.5,1,2,2.5,5,10伏/数量级的各标尺将原来调整值缩小标尺，完整的序列要包括10Vo软键5：?帮助软键6：增加数量级能增加漏率上限数量级软键7：扩大标尺以0.5,1,2,2.5,5,10V/数量级的各标尺将原来调整值扩大标尺，完整序列要包括10Vo 例如把上限值调整到105(=10V)定标为5V/数量级因此下限值为IO,(=0V)6.6.5杂项主菜单设置杂项在这个子菜单可以设置实际日期和时间，喜欢的语言和电源频率。软键2：时间和日期软键3：语言软键4：校准请求软键5：前级泵检修周期软键7：油过滤器检修周期软键8：油过滤器检修信息6.6.5.1 时间和日期主菜单 设置,杂项时间和日期在相连两个页上能修改日期和时间，有关输入说明，见第4.127节数值输入。6.6.5.2 语言主菜单设置杂项语言能选择喜欢的语言，可以选成中文，缺省设置为英语。6.653校准请求主菜单 设置,杂项校准请求根据操作者要求是否必须校准可以选择该项。缺省值为关。软键3：关将关闭校准请求软键5：?帮助软键7：开将打开校准请求54如果打开校准请求，通电30分钟后将出现相应信息。或者由于最后一次校准使P hoenix 温度变化高于5时出出现相应信息。6.654前级泵检修周期主菜单,设置杂项,前级泵检修周期前级泵检修周期设置。这个设置取决于P hoenix使用时间长短，但最迟4000运行小时或 一年后应控制泵内汕。还要看D2,5E使用手册。这个设置仅用于P hoeniXL300软键3：减小检修周期时间可以500小时为一阶梯减小。软键7：增加检修周期时间能以500小时为一阶梯增加到上限4000小时。6.655油过滤器检修周期在这里你可以输入油过滤器检修周期。这个设置仅适用于P hoeniXL300该设置取决于使用时间长短和检漏仪使用场所。没有推荐值。软键3：向下以500小时为一阶梯减小维修周期软键5：?帮助软键7：向上以500小时为一阶梯增加维修周期。上限4000小时。665.6油过滤器检修信息油过滤器必须定期维护，以确保P hoenix正常功能。如果开启检修信息，P hoenix提示你 需要检修汕过滤器。该设置仅适用于P hoeniXL300o如果忽视检修信息不更换排气口，泵电机有过热危险。注意软键3：缩短时间油过滤器检修信息可减少到1000小时软键7：增加时间油过滤器检修信息可提高到4000小时。6.6.6参数保存/装入主菜单 设置,参数保存/装入装入使能保存和装入各设置或重新装入缺省设置。软键2至4：在自由选择名称下，可保存当前值名称。能保存3个不同参数组。软键5：装入缺省值再次装入工厂设置软键6至8：能装入3个保存