ACS自动镀膜控制装置使用说明书.pdf

自动镀膜控制装置 使用说明书 ACS(G ener)O ptorun Co.,Ltd.Japan350-080110-1 Takeno Kawagoe Saitama-KenO ptorun Co.,Ltd.Date 2005.08V er.1.0目录开始.1术语.2姬履历.3第1章基本操作.41.1.计 WL及系统的起动.41.1.1.计算机的起动.41.1.2.系统的起动.41.2.系统ACS及计算机的关闭.41.2.1.系统的关闭.41.2.2.计算机的关闭.41.3.主操作画面.51.3.1.文件选择部分.61.3.2.设定部分.71.3.3.命令项目部分.81.3.4.电子枪控制部分.81.3.5.维护部分.91.3.6.确认部分.101.4.ACS文件夹构造.11第2章工艺文件.122.1.预溶工艺文件.122.1.1.文件部分.122.1.2.参数部分动作条件.132.1.3.参数EB放射电流控制.142.1.4.参数 Beam Rotation.142.1.5.参数 CUP 指定.152.1.6.命令部分.162.2.成馍参数文件.162.2.1.命令部分.172.2.2.Batch参数.172.2.3.各层参数.182.2.4.Material、Material(RH).202.2.5.IBS.262.3.参，的0G文件时的操作.26第3章材料预熔.273.1.参数.283.2.处理状态.283.3.EB 微调整.29O ptorun Co.,Ltd.Date 2005.08V er.1.03.4.Cup 状态.29第4章助奠.304.1.硼处理流程.304.2.复原动作的选择.304.3.确认TO G G LE SWITCH.314.4.Filament anneal.314.5.确认成膜开始条件.324.6.离子枪暖机.334.7.设定离子枪参数.344.8.指定层分的眺.354.8.1.表示层处理状态.364.8.2.当前层参数.364.8.3.数据图形.384.8.4.EB,RH 等的设定变更部分.394.8.5.接续机器的状态表示.424.8.6.命令按钮部分.42第5章水晶传感器检测.44第6章维护.456.1.维护参数的种类.456.2.维护时期的管理.456.3.进展条的设定方法.45第7章异常处理.467.1.异常发生时的操作.467.2.异常的种类及原因.467.3.异常终了时的操作.47使用注意事项.48O ptorun Co.,Ltd.Date 2005.08V er.1.0开始本使用说明书讲述了使用自动镀膜程序（以后称为ACS）时必要的操作方法及使用时的注意事项。本书的使用对象 使用ACS进行镀膜的用户 管理ACS镀膜数据的管理人 注本使用说明书记载了使用ACS时的必要情报。使用前请认真读完本使用说明书并充分理解。读完该书后也请好好保管本书,随时放在手边以便使用。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005081V er.1.0术语本使用说明书中用词的含义,参看下解。材料预熔蒸镀高折射率材料前作准备工作，称为材料预熔。EB 表示电子枪G L 表示离子枪ACS本说明书所说明的软件。材料预熔数据文件是指ACS在实行材料预熔时使用的参数文件，为Excel格式的文件。成膜工艺数据文件ACS进行自动镀膜时使用的镀膜参数文件,为Excel格式的文件。印刷记录文件每层的开始，结束，高峰时的状态记录保存文件。图表记录文件每秒的状态记录保存文件。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005082V er.1.0改版履历改版号嫩日改版内容V er.1.02006年7月初版O ptorun Co.,Ltd.Date 2005083V er.1.0基本操作本章描述了系统使用时必要的基本操作方法。1.1.计算机及系统的起动1.1.1.计算机的起动要使用系统,必须先起动计算机。操作方法请按下CRT及其计算机的电源开关。电源开关打开后,请根据画面指示进行操作。1.1.2.系统的起动计算机起动并登录系统后,就能起动ACS 了。操作方法双击桌面的ACS快捷图标能起动ACSo1.2.系统ACS及计算机的关闭1.2.1.系统的关闭关闭计算机前，必须先将系统ACS关闭。乍方法 在主操作画面上，点击延回处。系统ACS关闭。1.2.2.计算机的关闭系统ACS关闭后，可关闭计算机。操作方法从桌面画面表示的开始菜单的项目中，选择关机项。之后请根据画面指示进行操作。止匕外，ACS系统起动中，装置如感知到停电时，会自动关闭系统后关闭计算机。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084V er.1.01.3.主操作画面系统起动后，出现以下主操作画面。主操作画面分为以下几个领域。文件选择部分：进行预溶和成膜时选择文件的部分。设定部分：进行预溶和成膜动作设定。命令项目部分：进行预溶和成膜动作开始及ACS关闭。电子枪：调整控制电子枪。维修部分：起动各机械的使用时间表示和使用时间抹除画面。检查部分：起动进行水晶和监控玻璃检查的画面。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005085V er.1.01.3.1.文件选择部分选择文件点击”预溶”成膜”的画项，出现以下画面。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005086V er.1.01.3.2.设定部分进行ACS动作相关设定。指定离子枪的电子束暖机时间实行电子枪灯丝退火时请打勾，未打 勾时，不实行电子枪退火.离子枪顿时请打勾.离子枪使用（GL）Ream暧机时间.(VStnih)成膜结束时关闭离子枪时,请打勾.j高子枪当收干：匕一釜Source 工i.GAS1 GAS2关nTTT丝退人成膜结束时要保持真空状态，未打勾 时候,，进行放气处理.熊后真空保持离子枪项目设定电子枪退火时间要记录保硬打勾“给药PLC复位用试验模式（EB的放射电流为 0）时请打勾.注意：离子枪使用项未打勾时，各参数无效，成膜工艺文件中虽有离子枪的设定,但离子枪不动作。O ptorun Co.,Ltd.Date 200508V er.1.01.3.3.命令项目部分可输入分组编号预溶成馍开始可输入注释.可输入操作员 名.“分组编号”，“操作员姓名，注释”将保存在印刷Log文件中。指定“分组编号”时，这个“分 组号“为Log文件名。没有指定“分组号”时、工艺名为Log文件名。1.3.4.电子枪控制部分EB-Emission Scan：fl 4nN：国精细模式 pvi 0 mA Y:750Position%X：%目 55Accfil一Y%在主操作画面的“电子枪”部分进行电子枪控制。Emission的SV是设定值，PV表示实际的输出值。其他 可以扫描，变更位置数值，确认EB的动作状态。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005088V er.1.01.3.5.维护部分在维修部分可以确认各机器的使用时间。使用时间为红色的地方是使用时间超过允许值的意思。使用时间的初期化，允许值的设定可点击维修部分的Set按键，出现以下画面。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005089V er.1.06 ACS 2707 060330#040PACSO-Maintenance使用时间 设定时间旋转泵：25 x1 Ohour|1000 x1 OhourReset罗茨机械泵二24x1 Ohour1000 x1 OhourReset|扩散泵：20 x1 Ohour-idodx1 OhourReset I工件盘旋转机构;28hour1000hourReset电子枪灯丝;6hour30hourReset阻蒸加热二0hour50hourResetGL HEAT:9hour10 hourResetGL DISCHARGE:8hour10 hourReset|潘宁真空计二107hour100 hourResetOkCancel1.3.6.确认部分确认部分分有水晶传感器确认画面.O ptorun Co.,Ltd.Date 20050810V er.1.01.4.ACS文件夹构造图1文件夹构造 ACS文件夹：ACS的文件夹。通常在C Drive下。SV S文件夹：保存运作ACS的环境文件。LO G文件夹：保存LO G动作文件夹。有以下的文件夹存在。Batch:可以了解每个Batch的动作概要。Err.：可以记录每个Batch发生的报警。Melting：保存自动预溶的动作Log。Process：保存自动成膜的动作Log文件夹。有以下的文件夹存在。(a)G raph文件夹：EB挡板从打开到关闭间每秒的Log。(b)PrintO UT：每层的开始，结束及高峰时的Log。DATA文件夹：预溶用及成膜工艺文件的文件夹。有以下的文件夹存在。Melting：保存CUP用预溶工艺文件。Process：保存成膜工艺文件。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050811V er.1.0第2章工艺文件ACS系统使用预溶工艺文件和成馍工艺文件。2.1.预溶工艺文件预溶参数文件分为5部分。文件部分：Name的地方指定的名称为文件名。参数指定部分：指定各参数。预溶指定部分：在每个用埸指定进行预溶的CUP。用期1为旋转式，用期1的指定无 效。备考栏：表示输入范围等。命令：进行保存，检查等。2.1.1.文件部分O ptorun Co.,Ltd.Date 20050812V er.1.02.1.2.参数部分动作条件指定预溶开始和ACC的允许范围等。Pressure Hi limitMelting time toleranceAcc Lo HiStart PressureO ptorun Co.,Ltd.Date 20050813V er.1.02.1.3.参数EB放射电流控制1|2|3|4|5|6|7|8|9|10)Copy-PasteEB放射电流控制部分有以下参数。RT:指定EB反射电流到达HP指定的放射电流的时间。HT：指定HP指定的放射电流值保持时间。HP:指定EB放射值。XS：指定X扫描值。YS：指定Y扫描值。BR：有无使用Beam Rotation,及指定种类号。（off是没有Rotation的意思）这些参数最大可指定到7个阶段。另外，有10种Pattern可以设定。如XS,YS使用Beam Rotation 时，在此指定的数值无效。使用在Beam Rotation处指定的扫描值。Copy按钮 表示的Pattern复印到储存器中。Paste按钮 将Copy的Pattern粘贴到现在表示的Pattern号处。2.1.4.参数 Beam RotationBeam Rotation EB的Beam最大可在12个位置循环照射。可以指定最大6 Pattern。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050814V er.1.0各参数表示的意思。Stay Time：Beam在位置停留时间。Location number：指定Beam位置从1号到几号循环照射。Xp：指定X方向位置。Yp：指定Y方向位置。Xs：指定X扫描。Ys：指定X扫描。Circle Location点击此处以在Radius处指定的半径让Location number处指定位置为正多角形白动设定Xp.M）。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050815V er.1.02.1.6.命令部分文件Save。终了。检查输入的参数。2.2.成膜参数文件成膜参数文件分为4个部分命令部分：进行文件保存。注意：文件保存必须使用回按钮。Sheet选择部分：可以交换4个Sheet。Process,Material(Hi),Material(Lo),IBS。各层的参数：指定每层的参数。Barch参数：指定成膜开始压等Barch全体相关的参数。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050816V er.1.02.2.1.命令部分O ptorun Co.,Ltd.Date 20050817V er.1.02.2.3.各层参数O ptorun Co.,Ltd.Date 20050818V er.1.0指定用埸号。指定该层的最大时间。指定膜厚控制 的最大时间，到达时间进入下一层。该层结束时.APC O FF时、指定O FFoMaximum Time1-12secControlTolerance%)Pressure 加a】Hearth No指定APC的设定压力指定APC的设定压力换算时的允许下 限值比率。(lE-7Pa-lPa-0-100%)离子枪挡板开/关时间以EB挡板开/关基准进行指定。指定离子枪的参数号码。指定是否使用补正板。膜厚控制，指定Crystal时要指定目标膜厚。指定水晶片的变更方法。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050819V er.1.02.2.4.Material、Material(RH)O ptorun Co.,Ltd.Date 20050820V er.1.0O ptorun Co.,Ltd.Date 20050821V er.1.0O ptorun Co.,Ltd.Date 20050822V er.1.0Beam Rotation最大可以指定到8。使用Beam Rotation时扫描值为Beam Rotation的扫描值。阻蒸加热在使用Beam Rotation时无相关参数。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050823V er.1.0O ptorun Co.,Ltd.Date 20050824V er.1.0olO ptorun Co.,Ltd.Date 20050825V er.1.02.2.5.IBS2.3.参照Log文件时的操作材料预熔以及镀膜可以参照使用记录下来的各种Log文件的内容，备忘录等的程序。操作方法在备忘录等的文本编辑程序处打开欲参照的文件。文件的内容被显示。再者，各Log文件生成的路径如下 BatchC:ACSLogBatch 预溶C:ACSLogMelting 成膜C:ACS Log Rocess Ri nt outC:ACSLogRocess Gaph 错误C:ACSLog ERRO ptorun Co.,Ltd.Date 20050826V er.1.0第3章材料预溶在主操作画面选择“预溶文件”的状态，点击开始按钮，开始进行预溶。上图为预溶实行画面。预溶实行画面由5个领域构成。参数：表示在溶文件中指定的参数。装置处理：表示现在的处理状态。图表：用图表表示真空度和EB放射电流。EB微调整：表示EB的设定变更和现在值。Cup状态：用Cup号可确认该Cup的预溶实施状态。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050827V er.1.03.1.参数Name:S03彳9 H4 M 亚丽ParametersStart Pressure表示预溶文件的名称3.2.处理状态表示剩余的要预溶的Cup数.Pressure Hi limitMelting time toleranceMelting count表示“预溶文件”指定的 开始真空度.表示在“预溶文件”指定的真空度 上限值O ptorun Co.,Ltd.Date 20050828V er.1.03.3.EB微调整表示现在的EB设定值。上下按钮可以暂时变更设定，从处理阶段进入下一个阶段时，Emi.和扫描(X6,Y-S)的设定为预溶文件的设定值。在此变更过X-P、YP的设定在预溶处理结束后，返回原来的设定值。3.4.Cup 状态而I 1配J10 I 17 I俺I通T 80【力1tt i器【洒Cup的预溶状态或在预溶中的Cup号。用颜色表示Cup的状态。黄：预溶结束的Cup。红：等待预溶的Cup。蓝:不进行预溶的Cup。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050829V er.1.0第4章成膜在主操作画面选择“成膜文件”的状态,开始按钮，开始进行成膜。“预溶文件”也一起选择时，先进行预溶。4.1.成膜处理流程以下为成膜处理顺序。复原动作的选择确认 TO G G LE SWITCHFilament anneal（省略可能）确认成膜开始条件离子枪暖机（使用离子枪时）单色仪，LO CK-IN放大器的初期化（省略可能）离子枪设定（使用离子枪时）指定层分的成膜4.2.复原动作的选择弯 New Coating?开始蒸镀：6全新的蒸镜C从指定层开始蒸镇型开始层为新蒸镀层时选择此选项.）r前次蒸镇继续雷前次蒸镀中断，现在希望维续未完成层时选择此选项.CancelContinue）从下面3个机能中选择需要机能。1.全新的蒸镀成膜从1层开始进行时，选择此机能。2.从指定层开始蒸镀接前次的成膜继续对指定层从新进行成膜时指定此处。3.前次蒸镀继续接前次的成膜继续对指定层进行成膜时指定此处。注：在多次停止层复原机能有可能不能正常动作。这次有必要确认此层是否正常成膜完了。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050830V er.1.04.3.确认 TO G G LE SWITCH确认TO G G LE SWITCH的窗口。机器没有问题进入下一个处理阶段。Dome旋转用PLC的触屏面的TO G G LE SWITCH自动进行Dome旋转用。电子枪的各个电子枪控制INT-EXTSWITCH 为 EXT04.4.Filament anneal在主操作画面的设定EB Filament anneal”处打勾，Filament anneal实行（如下图）。注意此处理真空度在3.98E-2Pa以下才可进行。PLC排气动作手动时也不能进行此处理。排气选择自动模 式。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050831V er.1.04.5.确认成膜开始条件确认在“成膜文件”处指定的成膜开始条件。只有在测试模式动作及复原时，显示“Skip 按钮。条件成立后，自动进入下一个处理阶段。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050832V er.1.04.6.离子枪暖机实行离子枪暖机处理。此处理在主画面上设定离子枪中离子枪使用项打勾时，才有效。否则不能实行。离子源的暖机和电子束的暖机结束后自动进入下一个处理阶段。处理过程中也可使用 丽 强制跳过按钮进入下一个处理阶段。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050833V er.1.04.7.设定离子枪参数设定离子枪参数。此处理在主画面上设定离子枪中离子枪使用项打勾时，才有效。否则不能实行。到达指定参数时进入下一阶段。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050834V er.1.04.8.指定层的成馍成膜画面分为以下部分。当前层处理状态当前层参数数据图形表示EB,RH等的设定变更部分接续机器的状态表示 动作按钮部分O ptorun Co.,Ltd.Date 20050835V er.1.04.8.2.当前层参数O ptorun Co.,Ltd.Date 20050836V er.1.0O ptorun Co.,Ltd.Date 20050837V er.1.04.8.3.数据图形真空度，EB放射电流，成膜比率真空度，Emission电流值从层开始进行记录，成馍速率从电子枪挡板打开开始记录。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050838V er.1.04.8.4.EB,RH等的设定变更部分蒸镀面板蒸镀|电子枪1.【离子枪真空频率i厂成膜后真空保持换下一片水晶 APC/MFCAPC（Pa）水晶：频率：表示当前水晶频率。这个值由水晶膜厚控制器取得（通常控制器为XTQ2或者105）换下一片水晶：如果换下一片水晶按钮被按下，水晶传感器将移动到下一个位置。注意：如果当前的水晶传感器是最后一片（比如在一个六片水晶系统中的第六片 水晶传感器），那么即使换下一片水晶按钮被按下水晶传感器也不会移动到 下一个位置。只有当蒸镀开始后，换下一片水晶按钮才有效。真空：成膜后真空保持：如果真空保持被选中，当一罩成膜结束时，真空室将保持高真空状态。如果真空保持未被选中，成膜结束后放气操作将自动进行。APC：可以通过按钮二I改变设定。电子枪点击“电子枪处，出现下图。O ptorun Co.,Ltd.Date 20050839V er.1.0蒸镜匚电子检Z丽忠子枪【成腹速度在这个面板上，下列EB参数在蒸镀过程中可以通过按舄来改变。EMI：变更放射电流值。XP:变更X位置。XS:变更X扫描值。YP:表更Y位置。YS:变更Y扫描值。注意:对于RH,没有位置和扫描控制。离子枪点击“离子枪处，出现下图。蒸镀电子枪/皿雷壬修：|成藤速度260.0195.1130.265.3 0.3SettingB 3,5016.50BMTloo.io v 26迪pi丽 r55T-350 mA I 6e?a|14 5,9 z I_rioGAS 11 21 60 seemGAS 2)00 seemIBS数据图型做电电流，电压 以及中和剂电流）I1当前放电电流，电压值，中和剂 电流值，E/A,气体流量1,气 体流量2II放电电流，电压以及中和剂电流 的上下限值（监视用）II放电电流，电压以及中和剂电 流，E/A比率。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 0V er.1.0成膜速度点击“成膜速度，出现下图。蒸镜I电子枪/RH|离子枪：成膜速度 蒸镀速度监视-设定值容许值（平均）厂前而T乞 容许值份散）画面力Min:0.00Max:10.00当前更_|25-SecPI 监酸始速率不稳定复位时间系数00 sec始唱变化过大r-T.0000 KA复位IRate Chanqe蒸镀速度（A/S）变访T通过面板下列操作可以进行：可变更成膜的设定速率。速率稳定监视。蜂鸣器响和蒸镀停止选项被选中，速率不稳定时，发生报警。发生以上的报警时，可指定两种ACS的动作。报警器蜂鸣出现错误时报警器蜂鸣报警。（成膜中断）成膜停止指定此处时、中断成膜。注意：任何设定改变都只对成膜当前层有效。新层开始前将读取成膜参数文件中的设定。连接器的状态表示部RC,UZ是在“蒸着工艺文件”中指定的不感带和逆反的设定值。之下表示为H0M2-D的感度及H0M2-N的前置 扩大器的设定值。“膜的屈折率”表示现在膜的屈折率。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 1V er.1.04.8.5.接续机器的状态表示当前胡埸位置，边上的 值为设定值。阻蒸电流值阻蒸位置电子枪电流值，扫描和 位置现备加热EMI:j 190 mAX汴YSf 函XP1 50用竭位置后当设定值正在传送到XTC/2时，显示灯变绿。当Dome旋转状态已经准备好时，显示灯变绿。当EB准备好时，显示灯变绿。当地烟设定完成时，显示灯变绿。当设定值正在传送到PLC时、显示灯变绿。4.8.6.命令按钮部分2006-6-27如图所示，有两个命令按钮。在蒸镀过程中，这两个按钮被用做特殊中断使用。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 2V er.1.0 挡板关闭如果按钮被按下，当前层将被结束，蒸镀进入下一层（如果当前层是最后一层 则，整罩膜结束）。停止如果按钮被按下，蒸镀将停止，等待用户进一步操作。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 3V er.1.0第5章 水晶传感器检测点击主操作画用晶传感检固按钮,表示以下画面。点击检查开始按钮测试开始。测试结束后，水晶状况良好部分呈白色，状况不好部分呈黄色。另外，未测试 水晶呈灰色。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 4V er.1.0第6章维护维护的范围包括构成设备的部件及设备的管理。6.1.维护参数的种类维护的范围包括 旋转泵 罗茨机械泵 扩散泵 工件盘旋转机构 电子枪的灯丝 阻蒸加热 离子源加热 离子源放电 潘宁真空计6.2.维护时期的管理前项各部品及设备的维护时期,显示在主操作画面的右下部分。可以参考该处。该区域的进展条随着各部件及设备的使用时间的增加而延伸。又、进展条表示的各部分的最大延伸时间可以预先设定。6.3.进展条的设定方法设定维护时间能设定进展条表示的最大时间。操作方法请点击主操作画面的“S e t“按钮。维护画面被表示。请在各机器及部件的S e t栏，设定维护时间。设定完了后请点击“0 K“按钮。使用时间的重新设置能将使用时间重新设置为“0二 操作方法请在主操作画面点击“S e t”按钮。维护画面被表示。针对欲重新设置的部件、设备,请点击相关的“Reset”按钮。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 5V er.1.0第7章异常处理7.1.异常发生时的操作系统检测到异常时，报警灯及报警喇叭启动，通知外部发生异常情况。异常发生时的操作,如下所示。操作方法i青点击“蜂鸣停止”按钮，停止异常报警。参照异常的种类及原因、进行恢复处理。i青点击“报警复位”按钮，恢复异常。请在可能继续工作的场合,按下“当前层继续”按钮。中止的场合，请点击“中断”按钮。7.2.异常的种类及原因发生异常情况时，查看下列项目，参考其原因并进行相应的处置。表示：E B A c c/F i 1,说明：电子枪的高压、或灯丝不在O N。原因1：电子枪的互锁不在O N。原因2：电子枪灯丝断线。原因3：电子枪的EXTI NT切换开关，不在E XT侧。表示：E B A c c说明：电子枪的加速电压，在设定范围以外。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 6V er.1.0原因1:未正确设定加速电压的上限值及下限值。原因2：电子枪的故障。表示：EB Emission Current,说明：控制放射电流时,电流低于规定的电流。原因1：电子枪灯丝断线。原因2：电子枪的EXTI NT切换开关，不在E XT侧。原因3：电子枪的故障。表示：E B Remo t e说明：电子枪的EXTIN T切换开关在I NT侧。原因1：电子枪的E XT-I N T切换开关,不在E X T侧。表示：A P C G as Pressure说明：自动压力控制仪器控制压力时压力低于规定值。原因1：气体泵的阀未开。原因2：气体管道变空。表示：Machine Alarm说明：装置发生异常。原因1：请参照装置的使用说明书。表示：Ion Beam Source说明：离子源发生异常。原因1：请参照离子源的使用说明书。7.3.异常终了时的操作蒸镀过程中，考虑到由于任何原因而导致的控制程序中途异常终了。这时，控制停止工作中的各设备的 方法如下所示。操作方法ACS再启动。请点击PLC复位按钮。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 7V er.1.0使用注意事项本系统的使用注意事项,如下所示。由于屏幕保护程序会使非预期错误的发生和原因分析变得不可知,所以请不要使用它。请不要在装置附属的计算到LL安装与本系统无关的应用软件如果安装了其它应用软件,可能会影响ACS的正常工作。请不要在装置附属的计算机上使用与本系统无关的外围设备。如果使用了这些设备,可能会由于它们的适配性而影响了 ACS的正常工作。请使用操作系统密码,进行严格管理。一旦忘记密码，硬盘的内容将再不能存取。请不要更改本系统使用的文件夹及文件的名称。如果更改了,可能会因影响ACS正常工作。请不要变更本系统使用的文件夹及文件的保存场所。如果变更了,ACS将不能正常工作。ACS及计算机关闭的场合,请一定要按照正常的顺序进行。不按照正常关闭操作进行关闭计算机时，会影响下回计算机的正常起动。使用ACS进行自动镀膜时、请不要使用其它的软件。如果使用了其它软件,ACS可能不能正常工作。为了防止操作系统的错误，请最少一周一次重新起动计算机。为了预防由于计算机内置硬盘的故障,请定期备份。O ptorun Co.,Ltd.Date 2005084 8V er.1.0