传感器原理及应用-PPT.ppt

传感器技术及应用传感器技术及应用模块一 传感器的基本知识 任务目标 了解传感器的定义和组成方框图；了解传感器的特点及应用；掌握传感器的分类；掌握传感器的主要参数。一、传感器的作用因为一般的仪器、仪表要求输入的信号必须为电信号，计算机及各种电子设备只能处理电信号，而表征物质特性或其运动形式的参数 中有很多都是非电量，如大家在自然界经常接触到的温度、压力、距离、流量、重量、速度、加速度、浓度、酸碱度、湿度、光、磁场等。上述的非电量需要转换成与非电量有一定关系的电量，再运用电子设备和仪器测量，实现这种转换技术的器件就是传感器。二、传感技术的特点1.用传感技术进行检测时，响应速度快，精确度高，灵敏度高；2.能在特殊环境下连续进行检测，便于自动记录能在人类无法存在的高温、高压、恶劣环境中，和对人类五官不能感觉到的信息（如超声波、红外线等），进行连续检测，记录变化的数据。3.可与计算机相连，进行数据的自动运算、分析和处理传感器将非电物理量转换成电信号后，通过接口电路变成计算机能够处理的信号，进行自动运算、分析和处理。4.品种繁多，应用广泛现代信息系统中待测的信息量很多，一种待测信息可由几种传感器来测量，一种传感器也可测量多种信息，因此传感器种类繁多，应用广泛，从航空、航天、兵器、交通、机械、电子、冶炼、轻工、化工、煤炭、石油、环保、医疗、生物工程等领域，到农、林、牧、副、渔业，以及人们的衣、食、住、行等生活的方方面面，几乎无处不使用传感器，无处不需要传感器。三、传感器的发展趋势1新材料的开发、应用如：半导体材料、功能陶瓷材料、功能金属、功能有机聚合物、非晶态材料、固体材料及薄膜材料等，都可进一步提高传感器的产品质量，降低生产成本。2新工艺、新技术的应用将半导体的精密细微加工技术应用在传感器的制造中，可极大提高传感器的性能指标，并为传感器的集成化、超小型化提供技术支撑。借助半导体的蒸镀技术、扩散技术、光刻技术、静电封闭技术、全固态封接技术，也可取得类似的功效。3向小型化、集成化方向发展由于航空技术的发展，以及医疗器件和一些特殊场合的需要，传感器必须向小型化、微型化方向发展，以便减小体积和质量。4传感器的智能化将传统的传感器和微处器及相关电路组成一体化的结构就是智能传感器。因为它本身带有微型计算机，具有自动校准、自动补偿、自动诊断、数据处理、远距离双向通信、信息存储记忆和数字信号输出等功能。5传感器的网络化将传感器和计算机与网络技术有机结合，使传感器成为网络中的智能节点。这种努力使多个传感器组成网络直接通信，实现数据的实施发布、共享，以及网络控制器对节点的控制操作。另外，通过Internet网，传感器与用户之间可异地交换信息，厂商能直接与异地用户交流，能及时完成传感器故障诊断，指导用户维修或交换新仪器改进的数据，软件升级等工作。另外，在微机电技术、自组织网络技术、低功耗射频通信技术及低功耗微型计算机技术的共同促进下，传感器朝微型化和网络化的方向迅速发展，产生了无线传感器网络。四、传感器需求与开发的重点方向1工业过程控制与汽车传感器2环保传感器3医疗卫生与食品监测传感器4微小型传感器及MEMS（微电子机械系统）5生物、医学研究急需要的新型传感器6生态农业传感器五、传感器的定义与组成传感器的定义是：能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。通常由对被测量敏感的元件和转换元件组成，其中敏感元件是指传感器中能直接感受或响应被测量的部分，如应变式压力传感器中的弹性膜片，就是敏感元件；转换元件是指传感器中能将敏感元件感受或响应到的被测量转换成适于传输或测量的电信号（电压、电流）部分，如电阻应变片就是转换元件。根据以上定义可画出传感器的组成框图，如图1-1所示。图1-1传感器组成框图六、传感器的分类与特点 传感器常用的分类方法有两种，一种是按被测输入量划分，另一种是按传感器的工作原理划分。1按被测物理量划分这一种方法是根据被测量的性质进行分类，如被测量分别为温度、湿度、压力、位移、流量、加速度、光，则对应的传感器分别为温度传感器、湿度传感器，压力传感器、位移传感器、流量传感器、加速度传感器、光电传感器。2按传感器工作原理划分这一种分类方法是以工作原理来划分，将物理、化学、生物等学科的原理、规律和效应作为分类的依据，据此可将传感器分为电阻式、电感式、电容式、阻抗式、磁电式、热电式、压电式、光电式、超声式、微波式等类别。这种分类方法有利于传感器的专业工作者从原理与设计上作归纳性的分析研究。七、传感器的基本特性传感器的基本特性一般是指传感器的输出与输入之间的关系，有静态和动态之分。通常是以建立数学模型来体现的，为了简化传感器的静、动态特性，可以分开来研究。1传感器的静态特性静态特性是指在静态信号作用下，传感器输出与输入量间的一种函数关系，其静态特性可表示为y=a0+a1x+a2x2+anxn（1-1）常用的静态性能指标包括灵敏度、精确度、测量范围、量程、线性度及误差等。（1）灵敏度传感器的灵敏度K是指达到稳定状态时，输出增量与输入增量的比值（1-3）线性传感器的灵敏度就是其静态特性的斜率，而非线性传感器的灵敏度则是其静态特性曲线某点处切线的斜率。（2）线性度线性度是传感器输出量与输入量之间的实际关系曲线偏离直线的程度，又称非线性误差，如图1-2所示，即为在垂直方向上最大偏差|ymax|与最大输出ymax的百分比，图中a0称为零位输出，即被测量为零时传感器的指示值。（1-4）图1-2传感器的线性度误差图1-3传感器的重复性（3）重复性重复性表示传感器在输入量按同一方向作全量程连续多次变动时所得到的特性曲线的不一致程度，如图1-3所示，用公式表示为（1-5）式中，mmax取m1、m2中最大的计算，ymax为满量程输出值。传感器输出特性的不重复性主要是由传感器的机械部分的磨损、间隙、松动、部件内摩擦、积尘、电路元件老化、工作点漂移等原因产生的。（4）迟滞现象迟滞现象是传感器在正向行程（输入量增大）和反向行程（输入量减小）期间输出输入曲线不重合的程度，如图1-4所示。图1-4 传感器的迟滞现象（1-6）（1-7）迟滞现象反映了传感器机械结构和制造工艺上的缺陷，如轴承摩擦、间隙、螺钉松动、元件腐蚀等。（5）精确度传感器的精确度是指传感器的输出指示值与被测量约定真值的一致程度，反映了传感器测量结果的可靠程度。在工程应用中，为了简单表示测量结果的可靠性程度，引入精确度这个等级概念，用A表示，它表示允许的最大绝对误差与满度量程的比值的百分数，即（1-8）式中A传感器精确度；A测量范围内允许的最大绝对误差；ymax满度量程输出值。常用的档次为0.1、0.2、0.5、1.0、1.5、2.5、4.0、5.0。例如，0.5级的仪表表示其允许的最大使用误差为0.5%。（6）分辨力传感器的分辨力是在规定测量范围内所能检测的输入量的最小变化量的能力。通常是以最小量程单位值表示。当被测量的变化值小于分辨力时，传感器对输入量的变化无任何反应。（7）稳定性传感器的稳定性是指在室温条件下经过一定的时间间隔，传感器的输出与起始标定时的输出之间的差异。通常有长期稳定性（如年、月、日）和短期稳定性（如时、分、秒）之分，传感器的稳定性常用长期稳定性表示。（8）漂移传感器的漂移是指在外界的干扰下，输出量发生与输入量无关的不需要的变化。漂移包括零点漂移和灵敏度漂移等。零点漂移和灵敏度漂移又可分为时间漂移和温度漂移。时间漂移是指在规定的条件下，零点或灵敏度随时间的缓慢变化；温度漂移为环境温度变化而引起的零点或灵敏度的变化。2传感器的动态特性传感器的动态特性是指传感器在测量快速变化的输入信号情况下，输出对输入的响应特性。传感器测量静态信号时，由于被测量不随时间变化，测量和记录的过程不受时间限制。但是在工程实践中，检测的是大量随时间变化的动态信号，这就要求传感器不仅能精确地测量信号的幅值大小，而且还能显示被测量随时间变化的规律，即正确的再现被测量波形。传感器测量动态信号的能力用动态特性来表示。在动态测量中，当被测量作周期性变化时，传感器的输出值随着周期性变化，其频率与前者相同，但输出幅值和相位随频率的变化而变化，这种关系称为频率特性。输出信号的幅值随频率变化而改变的特性称为幅频特性；输出信号的相位随频率的变化而改变的特性称为相频特性，幅值下降到稳定幅值的0.707倍时所对应的频率称为截止频率。习题：1、2模块二 力敏传感器及其应用 课题一力敏传感器的工作原理与分类任务目标掌握电阻应变式力敏传感器的工作原理；掌握电感应变式力敏传感器的工作原理；了解电阻应变式和电感应变式力敏传感器之间的区别。一、力敏传感器概述力敏传感器，顾名思义就是能对各种力或能转化为力的物理量产生反应，并能将其转变为电参数的装置或元件。很显然，要成为真正实用意义上的力敏传感器，这个由力转化为电参数的过程最好能成线性关系。根据由力至电参数转变的方式不同，力敏传感器一般有电阻应变式传感器、电位计式传感器、电感式传感器、压电式传感器、电容式传感器等，它们也可用来测量力值。二、电阻应变式传感器电阻应变式传感器是目前工程测力传感器中应用最普遍的一种传感器，它测量精度高，范围广，频率响应特性较好，结构简单，尺寸小，易实现小型化，并能在高温、强磁场等恶劣环境下使用，并且工艺性好，价格低廉。它主要应用在力作用下，将材料应变转变为电阻值的变化，从而实现力值的测量。组成电阻应变片的材料一般为金属或半导体材料。1电阻应变式传感器工作原理（1）应变效应由物理学可知，电阻丝的电阻R与电阻丝的电阻率、导体长度及截面积存在如下关系（2-1）图2-1电阻丝应变效应（2）电阻应变式传感器的结构及特性金属电阻应变片分为金属丝式和金属箔式两种。金属丝式电阻应变片。金属丝式电阻应变片的基本结构图如图2-2所示。由敏感栅1、基底2和盖层3、引线4和黏结剂几个基本部分组成。图2-2金属丝式电阻应变片的基本结构图金属箔式应变片。如图2-3所示，它与金属丝式电阻应变片相比，有如下优点：用光刻技术能制成各种复杂形状的敏感栅；横向效应小；散热性好，允许通过较大电流，可提高相匹配的电桥电压，从而提高输出灵敏度；疲劳寿命长，蠕变小；生产效率高。但是，制造箔式应变片的电阻值的分散性要比丝式应变片的大，有的能相差几十欧姆，需要调整阻值。金属箔式应变片因其一系列优点而将逐渐取代丝式应变片，并占主要地位。（a）箔式单向应变片（b）箔式转矩应变片（c）箔式压力应变片（d）箔式花状应变片图2-3各种箔式应变片2电阻应变片传感器基本应用电路将电阻应变片粘贴于待测构件上，应变片电阻将随构件应变而改变，将应变片电阻接入相应的电路中，使其转化为电流或电压输出，即可测出力值。通常将应变片接入电桥来实现电阻至电压或电流的转换。根据电桥电源不同，又分直流电桥和交流电桥。这里主要介绍直流电桥。图2-4所示为一直流电桥，计算可知图2-4 直流电桥（2-2）若使此电桥平衡，即，只要。一般我们取即可实现。现将换成电阻应变片，即组成半桥单臂电桥，随构件产生应变造成传感器电阻变化时，式（2-2）变成（2-3）一般，可忽略，由此可得可见，输出电压与电阻变化率成线性关系，也即和应变成线性关系，由此即可测出力值，由式（2-3）可得半桥单臂工作输出的电压灵敏度（2-4）为了提高输出电压灵敏度，可以采用半桥双臂或全桥电路，如图2-5所示。图2-5（a）为半桥双臂，图2-5（b）为全桥电路。（a）半桥双臂（b）全桥电路图2-5直流电桥的连接方式对于半桥双臂（2-5）全桥（2-6）即半桥双臂可使电压灵敏度比半桥单臂提高一倍，而全桥电路电压灵敏度又比半桥双臂电压灵敏度提高一倍。可见，利用全桥，并提高供电电压E，可提高灵敏度系数。3.温度误差及其补偿用作测量应变的金属应变片，希望其阻值仅随应变变化，而不受其它因素的影响。实际上应变片的阻值受环境温度(包括被测试件的温度)影响很大。由于环境温度变化引起的电阻变化与试件应变所造成的电阻变化几乎有相同的数量级，从而产生很大的测量误差，称为应变片的温度误差，又称热输出。因环境温度改变而引起电阻变化的两个主要因素：u应变片的电阻丝(敏感栅)具有一定温度系数；u电阻丝材料与测试材料的线膨胀系数不同。（1）温度误差（2）温度补偿一般采用桥路补偿法、应变片补偿法或热敏电阻补偿法。所谓桥路补偿法，如图2-4所示，当ab间接入应变片传感器，bc间也接入同样的应变片，但bc间接入的应变片不受构件应变力的作用，将它用同样的方法粘贴在与ab间应变片所贴构件材料相同的材料上，并与ab间应变片处于同一温度场中，这样ab、bc间应变片的阻温效应相同，电阻的变化量也相同，由电桥理论可知，它们起了互相抵消作用，对输出电压没有影响。应变片补偿法分自补偿和互补偿两种。自补偿法的原理是合理选择应变片阻温系数及线膨胀系数，使之与被测构件线膨胀系数匹配，使应变片温度变化时，由热造成的输出值为0。应变片互补偿法的原理是检测用的应变片敏感栅由两种材料组成，在温度变化时，它们的阻值变化量相同，但符号相反，这样就可抵消由于温度变化而造成传感器误输出。使用中要注意选配敏感栅电阻丝材料。热敏电阻补偿法如图2-6所示，图中R5为分流电阻，Rt为NTC热敏电阻，使Rt与应变式传感器处在同一温度场中，适当调整R5值，可使与Uab的乘积不变，热输出为零。图2-6热敏电阻补偿法电阻应变式传感器广泛应用在测力及可以转化为力值的量（如加速度等）。图2-8应变式加速度传感器原理图加速度传感器就是将被测加速度通过一个悬臂梁将力转化成应变片的应力，从而达到测量加速度的目的。三、电感式传感器1工作原理电感式传感器是利用线圈自感或互感的变化来实现测量的一种装置，可以用来测量位移、振动、压力、流量、重量、力矩和应变等多种物理量。电感式传感器的核心部分是可变自感或可变互感，在被测量转换成线圈自感或互感的变化时，一般要利用磁场作为媒介或利用铁磁体的某些现象。这类传感器的主要特征是具有绕组。2优点和缺点（1）优点结构简单可靠，输出功率大，抗干扰能力强，对工作环境要求不高，分辨力较高（如在测量长度时一般可达0.1mm），示值误差一般为示值范围的0.1%0.5%，稳定性好。（2）缺点频率响应低，不宜用于快速动态测量。一般来说，电感式传感器的分辨力和示值误差与示值范围有关。示值范围大时，分辨力和示值精度将相应降低。3种类电感式传感器种类很多，有利用自感原理的自感式传感器（通常称电感式传感器），有利用互感原理的差动变压器式传感器。此外，还有利用涡流原理的涡流式传感器，利用压磁原理的压磁式传感器和利用互感原理的感应同步器等。下面简单介绍其中一种较为常见的传感器：变压器式传感器。变压器式传感器工作原理：变压器式传感器是将非电量转换为线圈间互感的一种磁电动机构，很像变压器的工作原理，因此常称其为变压器式传感器。这种传感器多采用差动形式。图2-9气隙型差动变压器式传感器当没有非电量输入时，衔铁C与铁心A、B的间隔相同，则绕组W1a和W2a间的互感ma与绕组W1b和W2b间的互感mb相等。当衔铁的位置改变时，则ma不等于mb，ma和mb的差值即可反映被测量值的大小。为反映差值互感，将两个一次绕组的同名端顺向串联，并施加交流电压u，二次绕组的同名端反向串联，同时测量串联后的合成电动势e2为：e2=e2a-e2b（e2值的大小取决于被测位移的大小，e2的方向取决于位移的方向。）图2-10截面积型差动变压器式传感器图2-10所示为改变气隙有效截面积型差动变压器式传感器，输入非电量为角位移。它是一个山字形铁芯A上绕有三个绕组，衔铁B以O点为轴转动，衔铁B转动时由于改变了铁芯与衔铁间磁路上的垂直有效截面积s，也就改变了绕组间的互感，使其中一个互感增大，另一个互感减小，因此两个二次绕组中的感应电动势也随之改变。将绕组w2a和w2b反相串联并测量合成电动势e2，就可以判断出非电量的大小及方向。一般来说，较小位移量的测量采用差动变压器，图2-11列出其应用实例。图2-11（a）为测物体重量的电子秤，用差动变压器把弹簧的位移变为电信号，换算为重量即可；图2-11（b）为偏心测量仪，以起始点作为基准，用正负量来显示转体的偏心程度。（a）电子秤（b）偏心测量仪图2-11差动变压器应用实例为了测量列车运行的速度和加速度的大小，可采用如图所示的装置，它是由一块安装在列车头底部的强磁体和埋设在轨道地面的一组线圈及电流测量仪组成的（测量仪未画出）。当列车经过线圈上方时，线圈中产生的电流被记录下来，就能求出列车在各位置的速度和加速度。SOB阶段小结阶段小结力敏传感器是将动态或静态力的大小转换成便于测量的电量的装置。本模块介绍了电阻应变式传感器，其将外力转化成电阻值的变化，再利用电桥电路检测出电阻值的变化值，从而得出对应的力变化量。还讲述了电感式传感器，其将外力引起的微小位移量转化成电感参数的变化，从而得出相应力的变化量。如位移量很小，可采用差动变压器来放大信号的方式，以提高传感器的灵敏度。课题二 压电传感器的转换原理任务目标 掌握压电式力敏传感器的工作原理；掌握电容应变式力敏传感器的工作原理；了解压电应变式和电感应变式力敏传感器之间的区别。一、压电传感器压电传感器是利用某些半导体材料的压电效应来实现由力至电量的转化，属于有源传感器类。由于其灵敏系数高，信噪比高，使用频带宽，体积小，方便耐用等优点已广泛应用在工业、军事及民用等方面。压电传感器材料一般有三类：压电单晶、压电陶瓷和有机压电薄膜。1压电转换元件的工作原理（1）压电效应某些晶体或有机薄膜，当沿着一定方向受到外力作用时，内部极化，某两个面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，又恢复到不带电状态，当作用力方向改变时，电荷的极性也改变，晶体受力所产生的电量与外力的大小成正比，即式中，是压电常数，它反映了压电效应的强弱。上述现象称正压电效应。反之，如对晶体施加一交变电场，晶体本身将产生变形，此称电致伸缩现象，也称逆压电效应，如图2-14所示。（2-9）（a）材料受压（b）材料受拉（c）材料受压（d）材料受拉图2-14压电效应（2）压电传感器材料及特性常用压电传感器的材料一般有压电单晶、压电陶瓷和有机压电薄膜。石英单晶分人工石英和天然石英。它们是单晶中使用频率最高的一种传感器。其特点是介电和压电常数的温度稳定性好，如图2-15所示。适用的工作温度范围宽，动态响应快，机械强度大，弹性系数高，稳定性好。（a）压电常数与温度的关系（b）介电常数与温度的关系石英晶体的外形是规则的六角棱柱体，它有三个晶轴，如下图所示。石英晶体的坐标轴和切片纵向压电效应：沿着X轴对晶片施加力时，在垂直于X轴的表面上产生电荷。横向压电效应：沿着Y轴对晶片施加力时，在垂直于X轴的表面上产生电荷。压电陶瓷是多晶体。最常见的有钛酸钡、锆钛铅系列等。压电陶瓷属于铁电体一类的物质，是人工制造的多晶压电材料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。电畴是分子自发形成的区域，它有一定的极化方向，从而存在一定的电场。在无外电场作用时，各个电畴在晶体上杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷内极化强度为零，经过人工极化后，保留很强的剩余极化的情况下才能作为压电材料使用。有机压电薄膜随着科技的进步发展也较快。它既具有高分子材料的柔软性又具有压电陶瓷的特性，可以做成较大面积，主要用于微压测量和机器人的触觉。（）天然石英晶体（b）石英晶体薄片（c）压电陶瓷（d）高分子压电薄膜各种压电材料的外形图（3）压电传感器的结构压电传感器是一种有源传感器，同时又是一个电容器，其结构如图2-17（a）所示。它是在压电晶片的两个工作面上进行金属蒸镀，形成金属膜，引出两个电极。实际应用中常将两个以上晶片进行串联或并联。如图2-17（b）、（c）所示，就如同将两个电容器串联和并联一样。串联输出的电压高，自身电容小；并联输出电荷量大，电容量大。串联主要用在以电压为输出量及测量电路输入阻抗很高的场合，而并联由于时间常数大，主要用于以电荷为输出量的场合，适于测量缓变信号。（a）压电晶片（b）串联（c）并联图2-17压电晶片及压电传感器结构（4）压电传感器基本应用电路根据后续放大电路是电压放大还是电荷放大，可将压电传感器等效为电压源电路和电荷源电路，如图2-18所示，Ca为等效电容。（a）电荷源等效电路（b）电压源等效电路图2-18压电传感器等效电路由于压电传感器产生的电量非常小，且内阻极高，就要求测量电路的输入电阻尽量大，这样才能减小测量误差，因此在压电式传感器的输出端总是接入高输入阻抗的前置放大器，然后再接入一般的放大电路。前置放大器有两个作用：第一是将压电传感器的输出信号放大；第二是将高阻抗输出变换为低阻抗输出。压电式传感器的测量电路有电荷型与电压型两种，相应的前置放大器也有电荷型与电压型两种型式。下面简单介绍电荷型放大电路，如图2-19所示。（a）等效电路（b）简化电路图2-19压电式传感器电荷放大的电路图2-19（a）中Ra为压电传感器的绝缘电阻，Cc为连接电缆的传输电容，Ri为前置放大器的输入电阻，Ci为前置放大器输入电容；图（b）中为等效综合电容，=Ci+Ca+Cc，即为等效综合电阻，两图中Rf、Cf为反馈电阻和电容，分析计算可得输出电压（2-10）可见输出电压值主要决定于和Cf，因此要得到必要的测量精度，反馈电容Cf的温度和时间稳定性要好。在实际应用中，考虑到不同的量程，Cf的容量一般做成可调式，范围在10010000pF之间。2几种常见的压电传感器（1）压电式单向测力传感器压电式单向测力传感器结构如图2-20所示，主要由石英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。传感器上盖为传力元件，其外缘壁厚为0.10.5mm，当受外力F作用时，它将产生弹性变形，将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy型，利用其纵向压电效应。图2-20压力式单向测力传感器结构图（2）压电式加速度传感器压电式加速度传感器结构如图2-21所示。主要由压电元件、质量块、预压弹簧、基座及外壳等组成，整个部件装在外壳内，并用螺栓加以固定。当压电式加速度传感器和被测物体一起受到冲击振动时，压电元件受质量块惯性力的作用，根据牛顿第二定律，此惯性力F是加速度a的函数，即 F=ma（2-11）式中F质量块产生的惯性力；m质量块的质量；a加速度。图2-21压电式加速度传感器结构图惯性力F作用于压电元件上而产生电荷q，当传感器选定后，质量块的质量m为常数，则传感器输出电荷q为 q=d11F=d11ma（2-12）式中d11压电系数。由式（2-12）可见，压电式测力传感器输出电荷q与加速度成正比。因此，测得加速度传感器输出的电荷便可知加速度的大小。（3）压电式传感器在测漏中的应用如果地面下一均匀的自来水直管道某点O漏水，水漏引起的振动从O点向管道两端传播，在管道A、B两点放两只压电传感器，由从两个传感器接收到的由O点传来的t0时刻发出的振动信号所用的时间差可计算出LA或LB。两者时间差为又L=LA+LB，所以二、电容式传感器电容式传感器是一种能将被测物理量转变为传感器的电容量变化，然后再通过一定的电路将此电容的变化转换为电压、电流或频率等信号的输出，从而实现对物理量的测量。电容式传感器具有如下优点：结构简单轻巧易于制造，功率小阻抗高灵敏度高；动态特性好，能在高低温及强辐射的恶劣环境中工作，能进行非接触测量等。当然，电容式传感器也有其不足之处，如负载能力差，寄生电容影响较大，输出为非线性等。随着电子技术的发展，电容式传感器的性能已得到了很大的改善，在位移、压力、液位等物理量测量中得到广泛应用。1电容式传感器工作原理电容传感器的工作原理可从平板电容器加以说明，如图2-23所示。由物理学可知，两平板组成的电容器，如不考虑边缘效应，其电容量可用下式表示（2-13）式中S两极板相互遮盖的面积；两极板间的距离；两极板间介质的介电常数。图2-23 电容传感器工作原理2变介电常数型电容传感器通过改变板间介质（即介电常数），可改变电容量。下面用一实例加以说明：图2-24所示是一密封铅罐中测量液态氮液位高度的原理图。在被测介质中放入两个同心圆柱状极板1和2。若容器内液体介质的介电常数为，液体介质上面气体介质的介电常数为，当容器内液面高度变化时，则电容量将变化（假设液体介质为不导电液体，若导电，则电极板必须绝缘）。图2-24 电容式液位传感器原理图电极板间电容C等于气体介质间电容C2与液体介质间电容C1之和，相当于两个电容器并联，即（2-14）（2-15）（2-16）（2-17）式（2-17）表明传感器电容量C与高度呈线性关系。3变面积型电容传感器变面积型电容传感器结构原理如图2-25所示。利用图2-25（a）分析，当上部平板向左位移x后，电容量由变为用电容变化的增量与移动距离x的比值定义为灵敏度KX，则平板形差动电容阶段小结压电传感器是利用压电材料本身固有的压电效应，将外加的压力转换成电荷变化量，再通过电荷（或电压）放大后，检测其对应的压力。电容式传感器是将外加力转变成传感器电容量的变化，然后再通过一定的电路将此电容的变化转化为电压、电流或频率等信号的输出，从而实现对力的测量。模块三 湿度传感器及其应用 课题一湿度传感器的分类及特性任务目标熟悉湿度的表示方法和湿度传感器的主要特性；熟悉半导体陶瓷湿度传感器、有机高分子湿度传感器的基本结构，掌握其感湿特性。一、湿度传感器概述湿度是指物质中所含水分的量，可通过湿度传感器进行测量。湿度传感器是将环境湿度转换为电信号的装置，现代化的工农业生产及科学实验对空气湿度的重视程度日益提高，要求也越来越高，如果湿度不能满足要求，将会造成不同程度的不良后果。1湿度的表示方法狭义的湿度是指空气中水汽的含量，常用绝对湿度、相对湿度和露点（或露点温度）等来表示。（1）绝对湿度绝对湿度是指在一定温度及压力条件下，单位体积待测气体中含水蒸气的质量，即水蒸气的密度，其数学表达式为（3-1）式中Mv待测气体中水蒸气的质量；V待测气体的总体积；Ha待测气体的绝对湿度，单位为g/m3。（2）相对湿度相对湿度为待测气体中的水蒸气压与同温度下水的饱和蒸气压的比值的百分数，其数学表达式为（3-2）式中PV某温度下待测气体的水蒸气压；PW与待测气体温度相同时水的饱和蒸气压；RH相对湿度，单位为%RH。饱和水蒸气压与气体的温度和气体的压力有关。当温度和压力变化时，因饱和水蒸气压变化，所以气体中的水蒸气压即使相同，其相对湿度也会发生变化，温度越高，饱和水蒸气压越大。日常生活中所说的空气湿度，实际上就是指相对湿度而言。凡谈到相对湿度，必须同时说明环境温度，否则，所说的相对湿度就失去确定的意义。（3）露点水的饱和蒸气压随温度的降低而逐渐下降。在同样的空气水蒸气压下，温度越低，则空气的水蒸气压与同温度下水的饱和蒸气压差值越小。当空气温度下降到某一温度时，空气中的水蒸气压与同温度下水的饱和水蒸气压相等。此时，空气中的水蒸气将向液相转化而凝结成露珠，相对湿度为100RH。该温度称为空气的露点温度，简称露点。如果这一温度低于0时，水蒸气将结霜，又称为霜点温度。两者统称为露点。空气中水蒸气压越小，露点越低，因而可用露点表示空气中的湿度。2湿度传感器的主要特性（1）感湿特性感湿特性为湿度传感器的感湿特征量（如电阻、电容、频率等）随环境湿度变化的规律，常用感湿特征量和相对湿度的关系曲线来表示，如图3-1所示。图3-1湿敏元件的感湿特性曲线按曲线的变化规律，感湿特性曲线可分为正特性曲线和负特性曲线。性能良好的湿度传感器，要求在所测相对湿度范围内，感湿特征量的变化为线性变化，其斜率大小要适中。（2）湿度量程湿度传感器能够比较精确测量相对湿度的最大范围称为湿度量程。一般来说，使用时不得超过湿度量程规定值。所以在应用中，希望湿度传感器的湿度量程越大越好，以0%100%RH为最佳。湿度传感器按其湿度量程可分为高湿型、低湿型及全湿型三大类。高湿型适用于相对湿度大于70%RH的场合；低湿型适用于相对湿度小于40%RH场合；而全湿型则适用于0%100%RH的场合。（3）灵敏度灵敏度为湿度传感器的感湿特征量随相对湿度变化的程度，即在某一相对湿度范围内，相对湿度改变1%RH时，湿度传感器的感湿特征量的变化值，也就是该湿度传感器感湿特性曲线的斜率。由于大多数湿度传感器的感湿特性曲线是非线性的，在不同的湿度范围内具有不同的斜率，因此常用湿度传感器在不同环境湿度下的感湿特征量之比来表示其灵敏度。如R1%/R10%表示器件在1%RH下的电阻值与在10%RH下的电阻值之比。（4）响应时间当环境湿度增大时，湿敏器件有一吸湿过程，并产生感湿特征量的变化。而当环境湿度减小时，为检测当前湿度，湿敏器件原先所吸的湿度要消除，这一过程称为脱湿。所以用湿敏器件检测湿度时，湿敏器件将随之发生吸湿和脱湿过程。在一定环境温度下，当环境湿度改变时，湿敏传感器完成吸湿过程或脱湿过程（感湿特征量达到稳定值的规定比例）过程所需要的时间，称为响应时间。感湿特征量的变化滞后于环境湿度的变化，所以实际多采用感湿特征量的改变量达到总改变量的90%所需要的时间，即以相应的起始湿度和终止湿度这一变化区间90%的相对湿度变化所需的时间来计算。（5）感湿温度系数湿度传感器除对环境湿度敏感外，对温度也十分敏感。湿度传感器的温度系数是表示湿度传感器的感湿特性曲线随环境温度而变化的特性参数。在不同环境温度下，湿度传感器的感湿特性曲线是不同的，如图3-2所示。图3-2湿敏元件的温度特性湿度传感器的感湿温度系数定义为：湿度传感器在感湿特征量恒定的条件下，当温度变化时，其对应相对湿度将发生变化，这两个变化量之比（参见式（3-3），称为感湿温度系数。（3-3）显然，湿度传感器感湿特性曲线随温度的变化越大，由感湿特征量所表示的环境湿度与实际的环境湿度之间的误差就越大，即感湿温度系数越大。因此，环境温度的不同将直接影响湿度传感器的测量误差。故在环境温度变化比较大的地方测量湿度时，必须进行修正或外接补偿。湿度传感器的感湿温度系数越小越好。传感器的感湿温度系数越小，在使用中受环境温度的影响也就越小，传感器就越实用。一般湿度传感器的感湿温度系数在0.20.8%RH/。图3-3湿度传感器的湿滞特性（6）湿滞特性一般情况下，湿度传感器不仅在吸湿和脱湿两种情况下的响应时间有所不同（大多数湿敏器件的脱湿响应时间大于吸湿响应时间），而且其感湿特性曲线也不重合。在吸湿和脱湿时，两种感湿特性曲线形成一个环形线，称为湿滞回线。湿度传感器这一特性称为湿滞特性，如图3-3所示。湿滞回差表示在湿滞回线上，同一感湿特征量值下，吸湿和脱湿两种感湿特性曲线所对应的两湿度的最大差值。在电阻为X值时，RH=RHH-RHL，显然湿度传感器的湿滞回差越小越好。（7）老化特性老化特性为湿度传感器在一定温度、湿度环境下，存放一定时间后，由于尘土、油污、有害气体等的影响，其感湿特性将发生变化的特性。（8）互换性湿度传感器的一致性和互换性差。当使用中湿度传感器被损坏，那么有时即使换上同一型号的传感器也需要再次进行调试。综上所述，一个理想的湿度传感器应具备以下性能和参数：使用寿命长，长期稳定性好。灵敏度高，感湿特性曲线的线性度好。使用范围宽，感湿温度系数小。响应时间短。湿滞回差小，测量精度高。能在有害气氛的恶劣环境下使用。器件的一致性、互换性好，易于批量生产，成本低。器件的感湿特征量应在易测范围以内。二、湿度传感器的分类及工作原理 湿度传感器种类很多，没有统一分类标准。按探测功能来分，可分为绝对湿度型、相对湿度型和结露型；按传感器的输出信号来分，可分为电阻型、电容型和电抗型，电阻型最多，电抗型最少；按湿敏元件工作机理来分，又分为水分子亲和力型和非水分子亲和力型两大类，其中水分子亲和力型应用更广泛；按材料来分，可分为陶瓷型、有机高分子型、半导体型和电解质型等。下面按材料分类分别加以介绍。1半导体陶瓷湿度传感器 陶瓷湿度传感器具有很多优点，主要如下：测湿范围宽，基本上可实现全湿范围内的湿度测量；工作温度高，常温湿度传感器的工作温度在150以下，而高温湿度传感器的工作温度可达800；响应时间短，多孔陶瓷的表面积大，易于吸湿和脱湿；湿滞小、抗沾污、可高温清洗和灵敏度高，稳定性好等。半导体陶瓷湿度传感器按其制作工艺不同可分为：烧结型、涂覆膜型、厚膜型、薄膜型和MOS型。陶瓷湿度传感器较成熟的产品有MgCr2O4-TiO2（铬酸镁-二氧化钛）系、ZnO-Cr2O3（氧化锌-三氧化二铬）系、ZrO2（二氧化锆）系、Al2O3（三氧化铝）系、TiO2-V2O5（二氧化钛-五氧化二钒）系和Fe3O4（四氧化三铁）系等。它们的感湿特征量大多数为电阻，除Fe3O4系外，都为负特性湿敏传感器，即随着环境湿度的增加电阻值降低。下面介绍其典型品种。半导体陶瓷湿度传感器（1）MgCr2O4-TiO2系湿度传感器MgCr2O4-TiO2系湿度传感器为烧结型，其结构如图3-4所示。图3-4MgCr2O4-TiO2系湿度传感器结构制作方法：以MgCr2O4为基础材料，加入适量的TiO2，在1300左右烧结而成，然后切割成所需薄片，在MgCr2O4-TiO2陶瓷薄片两面涂覆氧化钌（RuO2）多孔电极，并于800下烧结，制成感湿体，电极与引出线烧结在一起，引线为Pt-Ir（铂-铱）丝。在感湿体外设置由镍铬丝烧制而成的加热清洗线圈，此线圈的作用主要是通过加热排除附着在感湿片上的有害物质（如水分、油污、有机物和灰尘等），以恢复对水汽的吸附能力。常用450每分钟的条件对陶瓷表面进行热清洗。MgCr2O4-TiO2湿度传感器的感湿特性曲线如图3-5所示，该湿度传感器的特点是体积小、感湿灵敏度适中，电阻率低，阻值随相对湿度的变化特性好，测量范围宽，可测量0100%RH，响应速度快，响应时间可小至几秒。图3-5MgCr2O4-TiO2湿度传感器的感湿特性曲线（2）硅MOS型Al2O3湿度传感器Al2O3湿度传感器根据湿敏元件制作方法不同，可分为多孔Al2O3湿度传感器、涂覆膜状Al2O3湿度传感器和MOS型湿度传感器。下面介绍硅MOS型湿度传感器。图3-6硅MOS型Al2O3湿度传感器的结构MOS型湿度传感器具有响应速度快、化学稳定性好及耐高低温冲击的性能。2高分子湿度传感器高分子湿度传感器包括高分子电解质薄膜湿度传感器、高分子电阻式湿度传感器、高分子电容式湿度传感器、结露传感器和石英振动式传感器等，下面分别加以介绍。（1）高分子电阻式湿度传感器这种传感器的湿敏层为可导电的高分子，强电解质，具有极强的吸水性。水吸附在有极性基的高分子膜上，在低湿下，因吸附量少，不能产生电离子，所以电阻值较高；当相对湿度增加时，吸附量也增大。高分子电解质吸水后电离，正负离子对主要起到载流子作用，使高分子湿度传感器的电阻下降。吸湿量不同，高分子介质的阻值也不同，根据阻值变化可测量相对湿度。高分子湿度传感器外形图（2）高分子电容式湿度传感器图3-7为高分子薄膜电介质电容式湿度传感器的结构，它是在洁净的玻璃基片上，蒸镀一层极薄（50nm）的梳状金质，作为下部电极，然后在其上薄薄地涂上一层高分子聚合物（1nm），干燥后，再在其上蒸镀一层多孔透水的金质作为上部电极，两极间形成电容，最后上下电极焊接引线，就制成了电容式高分子薄膜湿度传感器。图3-7高分子薄膜电介质电容式湿度传感器的结构当高分子聚合物介质吸湿后，元件的介电常数随环境相对湿度的变化而变化，从而引起电容量的变化。由于高分子膜可以做得很薄，所以元件能迅速吸湿和脱湿，故该类传感器有滞后小和响应速度快等特点。（3）结露传感器结露传感器是一种特殊的湿度传感器，它与一般的湿度传感器不同之处在于它对低湿不敏感，仅对高湿敏感，感湿特征量具有开关式变化特性。结露传感器分为电阻型和电容型，目前广泛应用的是电阻型。结露传感器外形图电阻型结露传感器是在陶瓷基片上制成梳状电极，在其上涂一层电阻式感湿膜，感湿膜采用掺入碳粉的有机高分子材料，在高湿下，电阻膜吸湿后膨胀，体积增加，碳粉间距变大，引起电阻突变；而低湿时，电阻因电阻膜收缩而变小，其特性曲线如图3-8所示，在75%80%RH以下时，很平坦，而超过75%80%RH陡升。图3-8结露传感器的感湿特性结露传感器的特点：响应时间短，体积较小，对高湿快速敏感