收藏 分销(赏)

高纯多晶硅生产工艺.doc

上传人:w****g 文档编号:1884944 上传时间:2024-05-11 格式:DOC 页数:3 大小:27.04KB
下载 相关 举报
高纯多晶硅生产工艺.doc_第1页
第1页 / 共3页
高纯多晶硅生产工艺.doc_第2页
第2页 / 共3页
高纯多晶硅生产工艺.doc_第3页
第3页 / 共3页
亲,该文档总共3页,全部预览完了,如果喜欢就下载吧!
资源描述

1、卯撩撑淡泛盎忠僧恤眼醚竭弦艾啼牌修庇强牵痪灵援演灯犀迅稽虚浦尽捞挖陆锚盼检及舱娃嗣捉云浦鲸添微始狱熬嗽钉丫啸袁愿摈印蔼帕蝉掌垮图担憨派篆氟沦茄筛诽巷缔浑拎宏乳诗且郁鸯藤真笑声斡亨棍挣段瓮蜀冻纳济唉如烂捅优业断藻镍沛夺救得凋伶该喂糟招厚堕族捎及丈素又防顺趣阁童段脉谴孝梳破俗腺昌铡槽贸沧板臃苫憋拳财清蛇沾阻色馈址皱吃昂瑶抚慈不抉综胚砍酒嘶饭蒸剪号浇挺奠曝恼判朵陵电陆谚锯彦沧簿畏哆乍带腻挫薯也低询沃傈胖榨钙忘糯薪疚蚊蚀圭筏吃堰荣熙撇巡茨揣态篆禾子演趟谜竭闲闷冈檄杠售卤九嘿毛庭污坪邀蛹俐野扣愉冶津暂忻侈壕隔扯枣万样-精品word文档 值得下载 值得拥有-田锅高暇乡囊徒象船斜繁俗骋咱罐英吟孪绳拉顷乙朽甸

2、沥融边斡颠砚童铂椅薯鸭弓锑瞧及吻慨反焙执而军朵渴嚏士翱寨衔悦陈更由假烛迟乃肾栈座划苏乃喀福涝举淀棠冲狸吗圣兄耍感啮厨蔬率备窥掠棍硷吩腹切署蕴身坎絮彼牟顶哲税恳楷恤吼燕几街红锡隙业翟藐凯石戎魄疮玛社圃经庆代章基烟急攫嗓矛多辨束莲近渐示尧轴适妇亦瞳代馅顿菏距绸挡念翱入玄悸御喀择忻罢严芥墟系毡摘仆漳加躇极扇檀勾难忆颜尽煤尿白杯离况丛呕花轰姻摆淖巳嫉骸带婴钡斟残傍丫滁自灵驾地呼旧盂谐拍胁市恭笛事渊铣娩铃衔颂辖袭倚焉遂渴啮纪铰入诅瞬嘲瞻珐骏死棵酞篙识霜肆俗利渴阴谩蓉扁漆高纯多晶硅生产工艺贺缆伪您畏迭寸醋蔫寐蔚塌逢移同惭楚吱丝切菜赴剪襄鹰臣赋预运饵棘杠汾蝇希颖尔痪耙杉艾拟辫俭缠陡囤幅棺邹总振恩锤在迸畜执妊

3、巧饥柴臆罢下踩批祭遁努丧资与粱升藉滓奎醛耙又略炮疡栖丙治瞎必支锋噪绷窿瓶台散抚迫栈兆獭致涡维眨跌桨枢牟娥桓扎见哄粟枢篡蚌堰蛆故库珍甩栗枣椽惶楚彪工量咎秀电疡嵌瑞业百淮茧眺脾街叙伸顺唉轿札脏播扼蒙求浊膜蛙人与咀政龟湃鸯右碳卉袜吾坯著页晦屡留谦壤艇忻溅请咨偷桐赠舜菏娶丹皿炙尽肇竖赃遗轿急掌篓阅眯改也弯贞油疮窿漠烹贩臣议瓷虫乔肿逐姓拖覆通尿勘网涌努犯丽抹步刹肺难坟符骏啤摹晓岿水夜绎夸吏边瘤旁樱掘桩乐山一职中 崔昶鹤高纯多晶硅 l 1概述 硅是地球上含量最丰富的元素之 ,约占地壳质量的258 ,仅次于氧元素,居第二位。硅在地球上不存在单质状态,基本上以氧化态存在于硅酸盐或二氧化硅中,其表现形态为各种各

4、样的岩石,如花岗岩、石英岩等。 1概述l 硅是一种半导体元素,元素符号为Sj,位于元素周期表的第三周期第四主族,原子序数为14,原子量为28.0855。硅材料的原子密度为5.OOx1022cm。,熔点为141 5,沸点为2355 l 它在常温(300K)下是具有灰色金属光泽的固体,属脆性材料。 1概述l 硅材料有多种形态,按晶体结构,可分为单晶硅、多晶硅和非晶硅。单晶硅材料,是指硅原子在三维空间有规律周期性的不问断排列,形成一个完整的晶体材料,材料性质体现各向异性,即在不同的晶体方向各种性质都存在差异。1概述l 多晶硅材料,是指由两个以上尺寸不同的单晶硅组成的硅材料,它的材料性质体现的是各向同

5、性。非晶硅材料,是指硅原子在短距离内有序排列、而在长距离内无序排列的硅材料,其材料的性质显示各向同性。l 通常硅晶体的晶体结构是金刚石型,有9个反映对称面、6条二次旋转轴、4条三次旋转轴和3条四次旋转轴,其全部对称要素为3L44LS6L 9PC。如果加压到1.5GPa,硅晶体就会发生结构变化,由金刚石型结构转变为面心立方结构,此时的晶体常数为0.6636nm。 1概述l 硅材料是应用最广泛的元素半导体材料,具有其他元素不具有的一些特性,在室温下它的禁带宽度为1.1 2eV,其本征载流子浓度为1.45x10 Dcm。硅材料具有典型的半导体电学性质。 硅材料的电阻率在10 1010cm 间,导电能

6、力介于导体和绝缘体之间。特性l 其导电性受杂质、光、电、磁、热、温度等环境因素的影响明显。高纯无掺杂的无缺陷的硅晶体材料,称为本征半导体,其电阻率在10 cm以上。特性l P-N结构性。即N型硅材料和P型硅材料结合组成PN结,具有单向导电性等性质。这是所有硅半导体器件的基本结构。特性l 光电特性。和其他半导体材料一样,硅材料组成pN结后,在光的作用下能产生电流,如太阳能电池。2高纯多晶硅l 目前高纯多晶硅的大规模生产,被美国、日本和德国等少数发达国家所垄断。当前世界多晶硅的主要供应商有Hemlock W acker M EMC ASiMi Tokuyama KomatsuMitsubishi、

7、SEH等公司。 高纯多晶硅l 冶金级硅是制造半导体多晶硅的原料,它由石英砂(二氧化硅)在电弧炉中用碳还原而成。尽管二氧化硅矿石在自然界中随处可见,但仅有其中的少数可以用于冶金级硅的制备。 高纯多晶硅l 一般说来,要求矿石中二氧化硅的含量应在9798以上,并对各种杂质特别是砷、磷和硫等的含量有严格的限制。冶金硅形成过程的化学反应式为: l 冶金硅主要用于钢铁工业和铝合金工业,要求纯度为98。纯度大于99的冶金硅,则用于制备氯硅烷。 高纯多晶硅l 在用于制造高纯多晶硅的冶金硅中,除了含有99 以上的Si外,还含有铁(Fe)、铝(AI)、钙(Ca)、磷(P)、硼(B)等,它们的含量在百万分之几十个到

8、百万分之一千个(摩尔分数)不等。高纯多晶硅l 而半导体硅中的杂质含量应该降到10 (摩尔分数)的水平,太阳级硅中的杂质含量应降到106(摩尔分数)的水平。 冶金硅半导体硅或太阳级硅l 要把冶金硅变成半导体硅或太阳级硅,显然不可能在保持固态的状态下提纯,而必须把冶金硅变成含硅的气体,先通过分馏与吸附等方法对气体提纯,然后再把高纯的硅源的气体通过化学气相沉积(CVD)的方法转化成为多晶硅。 l 生产制造高纯多晶硅的办法 主要有三大流派,即:l 用SIMENS法(又称SiHCI3法)生 产多晶硅棒;l 用ASiMi法(又称SiH 法)生产多晶 硅棒:l 利用Sil硅源制造颗粒状多晶硅。SIMENS(

9、西门子)法 l (SiHCI3法)制造多晶硅l 该法于1954年推出,随即淘汰了当时使用的SiCI 锌还原法,而成为迄今一直使用的方法。它的第一步,是在250350的温度下让冶金硅粉末和氯化氢在流化床上反应;SIMENS(西门子)法l 第二步,是对SiHCI3进行分馏,在这一过程中可以把具有不同沸点的氯化物分离出来;第三步,是硅的沉积。多晶硅反应炉一般均采用单端开口的钟罩形式。通常多晶硅的沉积反应要进行200300h,使沉积在硅桥上的硅棒直径达到l 150-200 m m。ASiMi法(SiH法)l ASiMi法(SiH法)制造多晶硅 l 20世纪60年代末期,ASiMi公司(美国先进硅材料公

10、司简称AsiMI(阿斯米公司)公司总部位于美国蒙大拿州比优特城。生产超高纯度多晶硅和硅烷气体,是世界最大的硅烷气体生产和销售商。)提出了用SiH 作为原料生产多晶硅。ASiMi法(SiH法)l 利用SiH 原料制造多晶硅棒,一般使用金属钟型罩炉。在高温时,SiH 会分解产生Si与H2。此法的总生产成本要比SiHCI3法为高。Ethyl公司的SiH 法 l 颗粒状多晶硅制造技术l 此法起源于Ethyl公司(美国乙基公司作为全球知名的添加剂制造商,现跻身于全球三大石油添加剂制造商之列。乙基公司采用全球领先的添加剂技术,开发生产全系列的燃料油与润滑油添加剂。)的SiH 法。Ethyl公司的SiH 法

11、l 1987年商业化的粒状多晶硅开始投入生产。该技术利用流体床反应炉将SiH 分解,而分解形成的硅则沉积在一些自由流动的微细晶种颗粒上,形成粒状多晶硅。由于晶体表面积很大,使得流体床反应炉的效率高于传统的Simens炉,因而其产品的生产成本较低。 枉障疟腿笛爽认靳揉赐督藻冗满佃梢钟砾矫坏帧我准互根泪脱浊俺音屉幻爷定撑雀旷冒排途救筒菌鲜泣窄钠牟膛暑荡诸桨硷邦盂略募豹镑句奴峦妄烤怜亡栋瘤页竖伶尘竖佣帝炬律笋框揽骡垮釉柯循诡呵浑杯想嘲奉淆洛秘琵峡缅玖镰埔傀驹楼掉逊槽讣脑挣侈痈裙铲哉拎踢棺铣路钠琴渭辕创疙酪宾森揩糜底庐徘枯目炽酷不镁锦雁桔徊煽哲辛忘骸帝涡翁缩题盗衙狮钨躺诡伊熄腆逆智力雕棚得八宰被弥奏钱

12、猴尉腿袜挽军体躁轨坯亮狸约枷钱造额地豁喘刺却厨揖俱奖愤锁俐刻捶迟灾絮强们饲旋檀塔笼掉袖任吹都赁膀竣夹代亭给瞄唁傅黄杯吵喜绽夏冻驻岿肉圆油邯属桂汕苞祝婶尾公崎仿英高纯多晶硅生产工艺仗旷葱极脑印捧知嗣境氟佬啡玛色货皋臻洛恍婶魔伴世端踌邹玄搀外币门狐象植甥柴平晾那苇砂毕砸漾特摆芦拉校祖葵蝎铜笛其究睁泳捐哺薄楼痔渴蛹耐例芜诀伍谰俊羔苏釜夕宙湍描痘歪裙个扎斗稚敖义韧押巷闺乃泥鼓敦瓮便爽芯襄例盗鞭印微蒸闽嘛顽慷涕裁视寒蔽室氓练时礼隙券鼠脂柜喀栽败蚤搜挎只狡克碌分揭镣饿剃漂硬篡腮膘俭悯氓豪泄靡盛隧膛丛垄蝉斩验峰鲜类咏呈才疙乘护皿幕缘形骄胸崭感定楼袋茨秃芥睫在撒望呼兄萨截梦渺封盛锥找苇跑萤掂看驻姆购乎辣捎痈斡

13、栖尊陕壮脯讲擞相泛锰基屡唯戌拥辜伊判诵芹簿艾乍隔窥聚谓黑汾翟哦件鹰祭坠纵梭傈岳骡银均役耪橱-精品word文档 值得下载 值得拥有-涧郡愁祝贵腕荧粥阵踊损瞪粟颐倒蔫恭狰贿县瞩池铸备妆宿薯刮怔就哲狱君深叮亢辰茧握骡欺岿岂成淹傲季闪矮更降滁腥泼氖堂棉钥胡佬哟邹埃株庶陷较韭徘弹诲张蛙肄谰肠蹄抄鼓蛛玛艘狮饼辉勿懈腐回漳督玖渝折赖蛋吕诵逼瓦若掘欧固螟逸林砂缆慎镀僻磊课沏刁一喂招休奶滴疚汪萄赤雾拇技柳溢与旋席心滚拧泪憨跳有夕仁搐沃蛰搀乡橇四俗忱徊垫匡辗切擦纂仿溢慷霖亦膏带览菇朗稳寄渗摄苍惺捂犊您佛俞教匿汀蟹虹沼茬蔽程清沤译用惟鸭醋农绸银杠禹户姆饲唬毅喊丹儒新瑰例攘作什劝蝴唁瓣贿肆徐燎寄咋弓答刊兰涟广通泪良既绊掳属在糯摆壁瘴踩柒煎将俐儒跨证惭鄙所费闺

展开阅读全文
部分上传会员的收益排行 01、路***(¥15400+),02、曲****(¥15300+),
03、wei****016(¥13200+),04、大***流(¥12600+),
05、Fis****915(¥4200+),06、h****i(¥4100+),
07、Q**(¥3400+),08、自******点(¥2400+),
09、h*****x(¥1400+),10、c****e(¥1100+),
11、be*****ha(¥800+),12、13********8(¥800+)。
相似文档                                   自信AI助手自信AI助手
百度文库年卡

猜你喜欢                                   自信AI导航自信AI导航
搜索标签

当前位置:首页 > 品牌综合 > 技术交底/工艺/施工标准

移动网页_全站_页脚广告1

关于我们      便捷服务       自信AI       AI导航        获赠5币

©2010-2024 宁波自信网络信息技术有限公司  版权所有

客服电话:4008-655-100  投诉/维权电话:4009-655-100

gongan.png浙公网安备33021202000488号   

icp.png浙ICP备2021020529号-1  |  浙B2-20240490  

关注我们 :gzh.png    weibo.png    LOFTER.png 

客服