第六讲-MEMS.ppt

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,第六章主要内容（,3,）,尺度的基本意义和例子,力学尺度问题,尺度向量及其,意义,静电中的尺度问题,推导过程、,意义,电磁力的尺度,电学尺度问题,流体力学尺度问题,热传递尺度问题,提纲,尺度的基本意义和例子,力学尺度问题,静电中的尺度问题,电磁力的尺度,电学尺度问题,流体力学尺度问题,热传递尺度问,尺度的基本意义和例子,本章介绍尺度的目的在于给工程师们提供一些可供选择的尺度规律，使他们意识到缩小机器和器件尺度所带来的物理后果。应该记住，一些微型化在物理上是行不通的，或者在经济上是没有意义的,用于微系统的设计尺度规律：,第一种规律是严格依据物体的尺寸，如几何结构的尺度。这类物体的行为由物理定律所决定,第二种尺度规律涉及微系统的现象行为尺度，考虑到系统的尺寸和材料特性,微系统设计中常涉及的物理量：,体积,表面积,体积与器件的质量和重量有关,表面特性与流体力学中的压力和浮力有关,与对流热传导中固体热吸收和耗散有关,在一个尺度减小的过程中，同等地减小一个,物体的体积和表面积是不可能实现的,图,6.1,是一个实心长方体的例子。,abc,。则体积,V=,abc,，表面积,S=2(ac+bc+ab),。如果,l,代表一个固体的线性因次，那么体积,V,l,3,，表面积,S,l,2,，可得：,（,6-1,）,例题,6-1,计算当尺寸减小,50,的情况下转动微镜所需扭矩的减小量。镜的安装和尺寸如图,6-3,所示,解：,沿,y-y,轴转动微镜所需的扭矩与微镜的质量惯性矩,I,yy,有关，表达式为：,式中,M,为镜的质量，,c,为镜的宽度,由镜的质量,M=,V,=,(bct,),，,为镜子材料的质量密度，镜子的质量惯性矩：,当尺寸减小,50,时，镜子的惯性质量矩为：,通过上面的简单的计算可知：惯性质量矩减小了,32,倍，因此当尺寸减小,50,时，转动镜子所要求的转矩也减小了,32,倍,力学尺度问题,动力中的尺度,Trimmer,力尺度向量,动,力中的尺度,刚体从一位置运动到另一位置，运动的距离,s,l,，此处,l,代表线性尺度。速度,v=,s/t,，因此,v,(,l,)t,-1,，其中,t,为运动的时间。,因此，根据质点运动学，可得：,(6-3),其中,v,0,为初始速度,a,为加速度,令,v,0,0,，由式,(6.3),可得加速度：,(6-4),根据牛顿第二定律，动力,F,为：,(6-5),Trimmer,力尺度向量,Trimmer,提出一个代表力尺度的矩阵（通称为力尺度向量,F,），这个矩阵与描述系统运动尺度的加速度,a,、时间,t,和功率密度,P/V,0,等参数有密切关系,力尺度向量定义为：,（,6-6,）,根据上式可得：,加速度,a,：,（,6-7,）,时间,t,：,（,6-8,）,功率密度,P/V,0,由,W,Fs,、,P,W/t,得功率密度可表示为：,（,6-9,）,建立功率密度与力尺度矢量的关系为：,（,6-10,）,=,=,=,=,-,-,-,-,-,2,5,.,0,1,5,.,2,4,4,3,2,1,4,5,.,1,3,2,/,1,3,1,1,0,l,l,l,l,l,l,l,l,l,l,l,l,l,l,l,l,l,V,P,F,F,F,由上列一系列的公式，可得出一系列的刚体动力学的尺度效应，如表,6-1,阶,力尺度,F,加速度,a,时间,t,功率密度,P/V,0,1,l,1,l,-2,l,1.5,l,-2.5,2,l,2,l,-1,l,1,l,-1,3,l,3,l,0,l,0.5,l,0.5,4,l,4,l,1,l,0,l,2,例题,6-2,当,MEMS,器件减小,10,倍时，计算加速度,a,，时间,t,和驱动能源的相应变化,解：,已知,重量：,W,l,3,意味表,6.1,中的三阶。从表格中可得：,加速度没有减小,(,l,0,),完成运动的时间减小,(,l,),0.5,=(10),0.5,=3.16,功率密度将减小,(,l,),0.5,=3.16,。功耗的减小为,P=3.16V,0,。由于器件的体积减小,10,倍，在尺寸缩小后功耗将减小,P=3.16/10=0.3,倍,静电力中的尺度,静电势能的尺度规律,静电力的尺度规律,研究静电势能的尺度规律：,如图,6-4,的平行板电势能为：,（,2-7,）,0,是介电常数,r,是相对介电常数,V,是击穿电压,根据,Paschen,效应，式,(2-7),中的击穿电压,V,随两平板的间隙变化而变化,该效应如图,6-5,所示,从图,6.5,可知,当,d5m,时，,V,下降趋势明显减缓,当,d10m,时，电压的变化改变方向,当,d10m,时，随间隙增加电压成线性增加,当工作范围,d10m,时，,可知所加的电压,V,d,，,0,、,r,l,0,可把式（,2-7,）中静电势能的尺度表达为：,(6-11),研究静电力的尺度规律：,第二章介绍，在平行板排列的三个方向上可产生静电力。这些力的表达式如下：,（,2-8,）,（,2-10,）,（,2-11,）,三个力的分量,F,d,，,F,W,和,F,L,(l,2,),，则静电,力在表,6.1,中的力尺度是,2,阶的,例题,6-3,如图,6.6,所示，如果平行板的长,L,和宽,W,都减小,10,倍，求一对平行板电极产生的静电力的减小,解：,当平板电极没充电时保持间隙为,d,。因此，由式,(2.8),、,(2.10),和,(2.11),，可得出各自的静电力分量：,法向力分量,F,d,l,2,沿宽度方向的力分量,F,W,l,2,沿长度方向的力分量,F,L,l,2,即，静电力在三个方向上减小,(10),2,=100,倍,电磁力的尺度,本节主要介绍了电磁力的尺度问题，解释了为什么大部分的微马达和致动器都采用静电驱动，尽管在大多数宏观机器中主要采用电磁力驱动,原因：,电磁力不象静电力那样容易按比例缩小,微器件中没有足够的空间容纳一定的线圈来产生足够的驱动磁场,电磁力的尺度,电动势是驱动电子通过导体的力,驱动电荷的能量可表示为：,（,6-12,）,对于磁通量为,的磁场中的带电导体，,N,匝线圈产生的电动力为：,将上式带入式,(6.12),，且,Q=it,，可得：,（,6-13,）,当,N=1,时，由上式可得出电感,L=/I,对式,(6.13),积分，可得出下面的关系：,或,（,6-14 a,、,b,）,产生的电磁力为,：,或,（,6-14 a,、,b,）,或,（,6-15 a,、,b,）,恒定电流流动情况，则电磁力表示为：,（,6-16,）,由式（,6-16,）、,i,l,2,，得电磁力的尺度为：,F(,l,2,)(,l,2,)=,l,4,(6.17),电学中的尺度,电是,MEMS,和微系统的主要能源,电主要应用在许多微系统的静电、压电、热阻加热驱动上,电在微系统中的应用：,电动力泵,机电转换,电的尺度规律是一个很重要的设计问题,结论：,从上面可知：,尺寸,(,l,),减小,10,倍将会导致电磁力减小,10,4,=10000,倍。静电力的减小只是线性尺度减小的,100,倍。因此可得出结论，电磁力在尺度方面不利的减小是静电力的,100,倍,从物理规律得出电的尺度规律：,电阻：,、,L,和,A,分别是电阻、长度和导体的横截面积,（,6-18,）,电阻功率损失：,（,6-19,）,其中,V,是所加电压,(l),0,（,6-20,）,电场能：,其中,为电介质的介电系数,(,l,),0,E,是电场强度,(,l,),-1,式,(6.19),中由于材料的电阻引起的功率损失服从一阶定律，即,P,l,1,对一个带有电源的系统，可获得的电源直接与系统的体积有关，即,E,av,(,l,),3,功率损失与可用能量的比率为：,（,6-21,）,电学中的尺度：,式,(6.21),体现能量供给系统尺度减少时的极大缺点：,电源尺度减小,10,倍会导致由于电阻率增加而引起的,100,倍的功率损失,流体力学尺度问题,本节主要讲述：,为什么毛细流动不能随意按比例缩小,在微流动中什么可较好地替代它,流体力学尺度问题,如图,6-7,中,粘度表示为,：,（,6-22,）,为流体的动态粘度,R,s,=,V,max,/h,为剪切速率,剪应力,=F,s,/A,F,s,为剪力,通过平均速度和通道的截面积可得出体积流体流动速率：,Q=,A,s,V,ave,(6.23),其中,A,s,为流体的横截面积,V,ave,为流体的平均速度,图,6.8,，,流过圆管的压降,P,可用式,(5.17),算出,如图,6.8,，流体的体积流动速率,Q,可表示为：,(6.24),根据式,(6.23),，平均速度,V,ave,等于：,压力梯度为,：,可计算出长为,L,的毛细管截面的压降为：,因此,可得到毛细管内液体流动的尺度规律：由式（,6-24,），体积流量,Qa,4,由式（,6-25,），单位长度的压降,P,/La,-2,其中，,a,为管的直径。,(6-25),例题,6-4,当圆管的半径减小,10,倍，应用尺度规律求解其体积流量和压降。并观察此例的结果,解：,由,Qa,4,（,a,为管的直径）得：,体积流量减小,10,4,10000,倍,由,P,/La,-2,得：,单位长度压降提高,10,2,100,倍,观察结果：,显然，这对尺度减小的器件是很不利的。因此需要选择其它的原理,对于毛细管流体流动的尺度，当管径在很小的微尺度时，包括毛细效应,由式（,5-24a,、,b,）可得，,Pa,1,，其中,a,为管的半径,因此，衡量微管中单位长度液体的压降为：,P/,Ll,3,(6-26),将式（,6-26,）用于例题,6-4,得如下结果：,当管的半径减小,10,倍时，单位长度的管压降将减小,1000,倍,在微米和亚微米尺度下，可代替传统的容积驱动的新原理有：,压电、电渗、电湿润和电水力驱动,压电驱动的原理是利用管壁产生的力代替传统的压差来驱动流体流动,热传递中的尺度（内容）,热传导中的尺度,热通量尺度,在亚微米尺度内热导率的尺度,介观和微观固体热传导效应的尺度,热对流中的尺度,介观和微观范围内对流热传递的尺度,在亚微米范围内热对流的尺度,本节总述,微系统的热传递常采用传导和对流的形式，本节将对这两种模式的热传递的尺度进行综述,本节将给出两个范围的尺度规律：,一个用于介观和微观,一个是在亚微米尺度,热传导中的尺度,热通量尺度,固体中的热传导符合傅立叶定律，对于一维,x,坐标方向的热传导，有：,其中：,q,x,是沿,x,方向的热通量；,k,是固体热率,T(x,y,z,t,),为固体在直角坐标系下，时刻为,t,时的温度场。,更一般的固体热导率的形式为,：,（,6-27,）,由式,(6-27),可知：对于固体介观和微观的热传导，其尺度规律为,从这个度规律中可看出，尺度的减小将导致固体中整个热流量的减小,固体在亚微米尺度下热导率,k,的数值可通过式,(5.51),估计出，由此可导出亚微米尺度下热导率的尺度规律：,（,6-28,）,固体在亚微米尺度内热流的尺度规律可通过合并式,(6.27),和,(6.28),得到：,（,6-29,）,在亚微米尺度内热导率的尺度,在瞬态热传导分析中，傅立叶数的无量纲数决定时间增量。在数学上定义为：,介观和微观固体热传导效应的尺度,(6-30),其中,为材料的热扩散率,t,为热流通过特征长度,L,的时间,由式,(6-30),，可得固体热传导时间的尺度：,(6-31),例题,6-6,、,6-7,固体的尺寸减小,10,倍时，,（,1,）求总热流的变化和所需的导热时间；,（,2,）如果这个固体处于亚微米尺度，总热流和传热时间将发生什么变化,解：,（,1,）、,根据式,(6.29),和,(6.31),的尺度规律，当固体的尺寸减小,10,倍时，总热流的变化和所需的导热时间都减小,(10),2,=100,倍,（,2,）、在亚微米尺度内，当固体的线性尺度减小,10,倍，总热流,Q,和热流时间都减小,(10),2,=100,倍,热对流中的尺度,介观和微观范围内对流热传递的尺度,从图,5.23,可知，边界层出现在固体与液体的界面处。流体中热传递是以对流的方式，表达式为,(5-40),由,5.8.4,节知，热传递系数主要与流体速度有关，与热流的尺度关系并不重要,根据式,(6.32),，热流总量主要与横截面积,A,有关，而面积的阶次为,l,2,因此，可得出流体在介观和微观范围对流热传递的尺度为,Q(,l,2,),其更普通的形式为：,（,6-30,）,在亚微米范围内热对流的尺度,当气体通过亚微米尺度的狭窄管道时，由于边界层效应变为主要因素，表面上的对流热传递实际上变为气体分子之间的热传导，如图,6-9,气体的热导率与气体分子的平均自由程,有关,平均自由程与气体质量密度的倒数成正比：,气体的热导率的表达式如下式：,(5-51),其中,c,为气体的比热，平均速度,V,为,：,(6-33),T,为气体平均温度,m,为气体分子重量,有效热通量计算公式为：,（,6-34,）,其中,T,为两板之间的温度差,式,(6-34),与传统的热传导的傅立叶定律不同：,在等式的右边的分母上有一项,2,的数值与两板之间俘获的气体有关,