刻蚀工艺介绍.pptx

刻蚀工艺介绍,辛小刚,刻蚀原理介绍,刻蚀主要工艺参数,刻蚀液更换频率的管控,刻蚀不良原因分析,刻蚀原理介绍,刻蚀是用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保护的,Metal/ITO,膜通过化学反应去除掉，最终形成制程所需要的图形。,刻蚀种类,目前我司的刻蚀种类主要分两种：,1,、,Metal,刻蚀,刻蚀液主要成分：磷酸、硝酸、醋酸、水。,Metal,：合金金属,2,、,ITO,刻蚀,刻蚀液主要成分：盐酸、硝酸、水。,ITO,：氧化铟锡（混合物）,Metal,刻蚀前后：,ITO,刻蚀前后：,刻蚀前后对比照片,主要工艺参数,1,2,3,4,5,刻蚀液浓度,刻蚀温度,刻蚀速度,喷淋流量,过刻量,刻蚀液的浓度对刻蚀效果影响较大，所以我们主要通过：来料检验、首片确认、定期更换的方法来保证。,温度越高刻蚀效率越高，但是温度过高工艺方面波动较大，只要通过设备自带温控器和点检确认。,刻蚀流片的速度与刻蚀速率密切相关,喷淋流量的大小决定了基板表面药液置换速度的快慢，流量控制可保证基板表面药液浓度均匀。,过刻量即测蚀量，适当增加测试量可有效控制刻蚀中的点状不良,刻蚀液更换频率的管控,作业数量管控：,每天对生产数量及时记录，达到规定作业片数及时更换。,作业时间管控：,由于药液的挥发，所以如果在规定更换时间未达到相应的生产片数药液也需更换。,首片和抽检管控：,作业时需先进行首片确认，且在作业过程中每批次进行抽检（时间间隔约,25min,）。,刻蚀不良的产生原因,1,、大面积刻蚀不干净：,-,刻蚀液浓度下降、刻蚀温度变化。,2,、刻蚀不均匀：,-,喷淋流量异常、药液未及时冲洗干净等。,3,、过刻蚀：,-,刻蚀速度异常、刻蚀温度异常等。,追求卓越、持续创新,