真空退火炉工安全技术操作规程.doc

真空退火炉工安全技术操作规程
　　1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉。

　　2.合上总电源,再合上操作电源。

　　1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。

　　2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。

　　电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa);

　　电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa);

　　电流为98mA时真空度为10-3Torr(0.133Pa)；

　　电流为10OmA时真空度为10-4Torr(0.0133Pa)。

　　5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上。

　　6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。

　　7.真空度高于0.133Pa后关闭"热电偶电源',打开"电离计电源',用电离计测量真空度。

　　8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把"PID'调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%～150%,积分时间为6～2.5min,微分时间为5～4min)

　　9.把电路电源"手动给定'旋钮调到最小,开关打到"自动'位置,把"PID'调节器的"手动'调到最小,开关打到"手动'位置,并接通"PID'电源。

　　10.电炉送电,调整"PID'的"手动',使三相电流表的输出指示基本均衡在30～70A。

　　11.待炉温接近给定值时,把"PID'的炉温控制从"手动'打到"自动'以便进行自动控制。

　　12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把"PID'由"自动'打到"手动',靠"手动'调节冷却。

℃以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。

　　14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。

℃时,不准放气和打开炉盖。

　　16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。