1、KYKY2800B扫描电镜操作规程
一、开机操作
1、 接通水源后开总电源
2、 将真空后板的自动/手动开关打到自动
3、 开机械泵、压缩机
4、 开真空电源vacuum power,并按一下准备开关stand by,准备灯亮
5、 待30分钟后,按一下准备开关,灯灭。
6、 6-30分钟以后才可看像
二、观察图像
1、 开电脑电源,打开电镜操作软件
2、 开电器柜电源,放大倍数显示149×,off
3、 拉开V1,听到卡嗒声
4、 调节亮度
5、 调节对比度在130-150
6、 逐步加高压至20-25KV
7、 加灯丝电压至6-7
2、V左右,束流表读数在80-90左右
8、 调聚光镜,使束斑尺寸在512-600
9、 调工作距离在11-12
10、调放大倍数、电对中,消除像散,选择扫描区域等
三、关机操作
1、 关灯丝电压至0
2、 关高压至off
3、 关对比度至0
4、 关V1
5、 按一下准备开关,灯亮
6、 将真空后板的自动/手动开关打到手动
7、 过半小时关电源,按下准备开关,关机械泵,切断总电源,关水
四、电镜操作注意事项
1、 开、关机必须有30分钟准备过程,开机前先开水,关机后再关水,中途不能断水
2、 加高压步距要小,加灯丝偏压不能过饱和,以保护灯丝
3、 真空度未达要求前V1决不能打开
4、 真空控制方式从手动转自动时,要特别注意每个手动阀门须为关闭状态
5、 在未进入高真空之前,决不能接通探测器高压、电子枪高压及灯丝电压
6、 不要在关控制台电源的同时,立刻放气到样品室和电子枪,以免损坏灯丝和闪烁体
7、 镜筒部分未放气,不能拔掉光栏杆
8、在关控制台电源之前,一定要先关上V1,否则会损坏显象管