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KYKY2800B扫描电镜操作规程.doc

1、KYKY2800B扫描电镜操作规程   一、开机操作 1、  接通水源后开总电源 2、  将真空后板的自动/手动开关打到自动 3、  开机械泵、压缩机 4、  开真空电源vacuum power,并按一下准备开关stand by,准备灯亮 5、  待30分钟后,按一下准备开关,灯灭。 6、  6-30分钟以后才可看像 二、观察图像 1、  开电脑电源,打开电镜操作软件 2、  开电器柜电源,放大倍数显示149×,off 3、  拉开V1,听到卡嗒声 4、  调节亮度 5、  调节对比度在130-150 6、  逐步加高压至20-25KV 7、  加灯丝电压至6-7

2、V左右,束流表读数在80-90左右 8、  调聚光镜,使束斑尺寸在512-600 9、  调工作距离在11-12 10、调放大倍数、电对中,消除像散,选择扫描区域等 三、关机操作 1、  关灯丝电压至0 2、  关高压至off 3、  关对比度至0 4、  关V1 5、  按一下准备开关,灯亮 6、  将真空后板的自动/手动开关打到手动 7、  过半小时关电源,按下准备开关,关机械泵,切断总电源,关水 四、电镜操作注意事项 1、  开、关机必须有30分钟准备过程,开机前先开水,关机后再关水,中途不能断水 2、  加高压步距要小,加灯丝偏压不能过饱和,以保护灯丝 3、  真空度未达要求前V1决不能打开 4、  真空控制方式从手动转自动时,要特别注意每个手动阀门须为关闭状态 5、  在未进入高真空之前,决不能接通探测器高压、电子枪高压及灯丝电压 6、  不要在关控制台电源的同时,立刻放气到样品室和电子枪,以免损坏灯丝和闪烁体 7、  镜筒部分未放气,不能拔掉光栏杆 8、在关控制台电源之前,一定要先关上V1,否则会损坏显象管

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