KYKY2800B扫描电镜操作规程.doc

KYKY2800B扫描电镜操作规程  
一、开机操作
1、  接通水源后开总电源
2、  将真空后板的自动/手动开关打到自动
3、  开机械泵、压缩机
4、  开真空电源vacuum power,并按一下准备开关stand by,准备灯亮
5、  待30分钟后，按一下准备开关，灯灭。
6、  6-30分钟以后才可看像
二、观察图像
1、  开电脑电源，打开电镜操作软件
2、  开电器柜电源，放大倍数显示149×，off
3、  拉开V1，听到卡嗒声
4、  调节亮度
5、  调节对比度在130-150
6、  逐步加高压至20-25KV
7、  加灯丝电压至6-7V左右，束流表读数在80-90左右
8、  调聚光镜，使束斑尺寸在512-600
9、  调工作距离在11-12
10、调放大倍数、电对中，消除像散，选择扫描区域等
三、关机操作
1、  关灯丝电压至0
2、  关高压至off
3、  关对比度至0
4、  关V1
5、  按一下准备开关，灯亮
6、  将真空后板的自动/手动开关打到手动
7、  过半小时关电源，按下准备开关，关机械泵，切断总电源，关水
四、电镜操作注意事项
1、  开、关机必须有30分钟准备过程，开机前先开水，关机后再关水，中途不能断水
2、  加高压步距要小，加灯丝偏压不能过饱和，以保护灯丝
3、  真空度未达要求前V1决不能打开
4、  真空控制方式从手动转自动时，要特别注意每个手动阀门须为关闭状态
5、  在未进入高真空之前，决不能接通探测器高压、电子枪高压及灯丝电压
6、  不要在关控制台电源的同时，立刻放气到样品室和电子枪，以免损坏灯丝和闪烁体
7、  镜筒部分未放气，不能拔掉光栏杆
8、在关控制台电源之前，一定要先关上V1，否则会损坏显象管