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1、 电子用氟化氢铵溶液指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS 主含量（以NH4F计）% 33.8-35。8 33.8-35。8 （以HF计）% 5.9-6。9 5.9-6。9 氯化物，ppm ≤ 8 4 硫酸盐，ppm ≤ 2 2 磷酸盐，ppm ≤ 1 1 锂，ppm ≤ 1 0.1 砷，ppm ≤ - - 钠，ppm ≤ 1 0.1 镁，ppm ≤ 1 0.5 铝，ppm ≤ 1 0.5 钾，ppm ≤ 1 0.1 金，ppm ≤ - 0.1 锑，
2、ppm ≤ - 0.1 镍，ppm ≤ 0.3 0.1 钙，ppm ≤ 1 0.5 钛，ppm ≤ - 0.1 铬，ppm ≤ 0.1 0.1 锰，ppm ≤ 0.5 0.1 铁，ppm ≤ 1 0.5 铜，ppm ≤ 0.3 0.1 锌，ppm ≤ 0.5 0.1 钴，ppm ≤ 0.5 - 铅，ppm ≤ - 0.1 镓，ppm ≤ 0.5 0.1 砷，ppm ≤ 0.3 0.1 钼，ppm ≤ - 0.1 银，ppm ≤ 0.5 0.1 镉，ppm ≤ 0.5 0
3、1 铟，ppm ≤ - 0.1 锡，ppm ≤ 0.5 0.1 钡，ppm ≤ 1 0.1 铂，ppm ≤ - 0.1 铋，ppm ≤ - 0.1 灼烧残渣（以SO4计） ≤50ppm ≤40ppm 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 电子用氟化铵溶液指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 SEMI C1 SEMI C7 SEMI C12 主含量（NH4F）% 39.0-41。0 39.0-41
4、0 40.0-41。9 39.0-41。0 39.0-41。0 39.0-41。0 色度（APHA）≤ - - - 10 10 10 水溶液PH值（1%） 6.0-7。5 6.2-7。0 6.1-6。7 6.5-7。5 6.5-7。5 6.5-7。5 氯化物，ppm ≤ 8 4 0.5 4 2 2 硫酸盐，ppm ≤ 2 2 1 2 2 2 硝酸盐，ppm ≤ - - - 10 3 3 磷酸盐，ppm ≤ 1 1 0.4 1 0.5 0.5 锂，ppm ≤ 1 0.1 0.005
5、 0.01 0.001 钠，ppm ≤ 1 0.1 0.05 0.3 0.01 0.001 镁，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 铝，ppm ≤ - 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 钾，ppm ≤ 1 0.1 0.05 0.3 0.01 0.001 金，ppm ≤ - 0.1 0.003 - - - 硼，ppm ≤ - - - 0.2 0.01 0.001 钒，ppm ≤ - - - - 0.01 0.001 锶，ppm ≤
6、 - 0.001 - - - 锑，ppm ≤ - 0.1 0.01 - 0.01 0.001 铍，ppm ≤ - - 0.005 - - - 镍，ppm ≤ 0.3 0.1 0.005 0.3 0.01 0.001 钙，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 钛，ppm ≤ - 0.1 0.005 0.3 0.01 0.001 铬，ppm ≤ 0.1 0.1 0.005 0.1 0.01 0.001 锰，ppm ≤ 0.5 0.1 0.003 0.2
7、 0.01 0.001 铁，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 铜，ppm ≤ 0.3 0.1 0.005 0.1 0.01 0.001 锌，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 0.2 0.01 0.001 钴，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 - - - 铅，ppm ≤ 1 0.5 0.005 0.3 0.01 0.001 镓，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 - - - 砷，ppm ≤ 0.1 0.05 0.02 0.03 0.01
8、0.001 钼，ppm ≤ - 0.1 0.005 - - - 银，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 - - - 镉，ppm ≤ 0.5 0.1 0.005 - 0.01 0.001 铟，ppm ≤ - 0.1 0.005 - - - 锡，ppm ≤ 0.5 0.003 0.2 0.01 0.001 钡，ppm ≤ 1 - 0.005 - 0.01 0.001 铂，ppm ≤ - - 0.005 - - - 铋，ppm ≤ - - 0.005 - - - 灼
9、烧残渣（以SO4计），ppm ≤ 50 - - - - - 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）25 （≥2µm） 3 （≥1µm） 25 （≥0。5µm） 25 （≥0。2µm） TBD 电子用过氧化氢溶液指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 SEMI C1 SEMI C7 SEMI C8 SEMI C12 Grade5 主含量（以H2O2计） ≥30.0% ≥30.0% ≥30.0% 30.0-32。0% 30.0-32。0% 30.0-
10、32。0% 30.0-32。0% 30.0-32。0% 杂质最高含量（以10-6计） 不挥发物，ppm ≤50 ≤50 - - - - - - 游离酸（以H2SO4计） ≤40ppm ≤40ppm ≤40ppm - - - - - 氮化合物，ppm ≤4 ≤4 ≤4 - - - - - 硝酸盐，ppm ≤ - - - - 0.400 0.400 0.030 0.030 氯化物，ppm ≤ 2 0.5 0.5 2 0.200 0.200 0.030 0.030 硫酸盐，ppm ≤
11、 5 2 0.5 5 0.2 0.2 0.030 0.030 磷酸盐，ppm ≤ 2 2 0.4 2 0.2 0.2 0.030 0.030 总碳（TOC），ppm ≤ - - - 20 20 10 10 10 镁，ppm ≤ 1 0.1 0.02 0.1 0.010 0.001 0.0001 0.00001 铝，ppm ≤ 1 0.5 0.05 1 0.010 0.001 0.0001 0.00001 钾，ppm ≤ 1 0.2 0.02 1 0.010 0.001 0.0001
12、 0.00001 锶，ppm ≤ - - 0.001 - - - - - 钙，ppm ≤ 1 0.2 0.05 0.2 0.010 0.001 0.0001 0.00001 钛，ppm ≤ - 0.1 0.005 0.3 0.010 0.001 0.0001 0.00001 钒，ppm ≤ - - - - 0.010 0.001 0.0001 0.00001 铬，ppm ≤ 0.5 0.02 0.005 0.050 0.010 0.001 0.0001 0.00001 铍，ppm ≤ -
13、 - 0.005 - - - - - 金，ppm ≤ 0.5 0.05 0.003 - - - - - 银，ppm ≤ 0.5 0.02 0.005 - - - - - 硼，ppm ≤ 0.5 0.02 0.01 0.1 0.010 0.001 0.0001 0.00001 钠，ppm ≤ 1 0.5 0.05 1 0.010 0.001 0.0001 0.00001 钼，ppm ≤ - 0.1 0.005 - - - - - 镉，ppm ≤ 1 0.05 0.005
14、 0.010 0.001 0.0001 0.00001 铟，ppm ≤ - 0.02 0.005 - - - - - 锂，ppm ≤ 1 0.02 0.005 - 0.010 0.001 0.0001 0.00001 锰，ppm ≤ 1 0.05 0.003 0.05 0.010 0.001 0.0001 0.00001 钴，ppm ≤ 0.5 0.02 0.005 - - - - - 镍，ppm ≤ 0.1 0.05 0.005 0.05 0.010 0.001 0.0001 0.0
15、0001 铜，ppm ≤ 0.1 0.02 0.03 0.050 0.010 0.001 0.0001 0.00001 锌，ppm ≤ 1 0.1 0.01 - 0.010 0.001 0.0001 0.00001 砷，ppm ≤ 0.1 0.05 0.01 0.01 0.005 0.001 0.0001 0.00001 镓，ppm ≤ 0.5 0.02 0.01 - - - - - 铅，ppm ≤ - 0.05 0.005 0.3 0.010 0.001 0.0001 0.00001 铋，p
16、pm ≤ - 0.02 0.01 - - - - - 锡，ppm ≤ 1 0.05 0.03 1 0.010 0.001 0.0001 0.00001 锑，ppm ≤ - 0.02 0.03 - 0.005 0.001 0.0001 0.00001 钡，ppm ≤ 1 0.1 0.05 - 0.010 - 0.0001 0.00001 铂，ppm ≤ - 0.1 0.003 - - - - - 铁，ppm ≤ 0.5 0.1 0.02 0.1 0.010 0.001 0.0001
17、 0.00001 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 （≥2µm）3 （≥1µm） 25 （≥0。5µm） 25 （≥0。5µm） 5 （≥0。2µm） TBD （≥0。2µm） TBD 电子用异丙醇指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 SEMI C1 SEMI C7 SEMI C8 SEMI C12 含量（GC） % ≥ 99.5 99.7 99.8 99.5 99.8 99.8 99.8 电阻率MΩ≥ 10 10 20 - -
18、 - - 色度（APHA）≤ 10 10 10 10 杂质最高含量（以10-6计） 不挥发物，ppm ≤ 5 5 1 5 5 5 5 氯化物，ppm ≤ 2 1 - 0.2 0.2 0.050 0.050 硝酸盐，ppm ≤ - - - - - 0.050 0.050 硫酸盐，ppm ≤ - 1 - - - 0.050 0.050 磷酸盐，ppm ≤ - - - 0.5 0.5 0.050 0.050 游离酸（以CH3COOH计），ppm ≤ - 10 20 0.2μ
19、eq/g - - - 碱度≤ - - - 0.1μeq/g - - - 硫酸试验 合格 合格 合格 - - - - 水溶解试验 - - 合格 合格 - - - 水分(H2O)，ppm ≤ 2000 1000 500 500 500 500 500 钠，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.1 0.010 0.001 0.0001 镁，ppm ≤ 1 0.01 0.001 0.1 0.010 0.001 0.0001 镍，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 0.1 0.
20、010 0.001 0.0001 铜，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 0.1 0.010 0.001 0.0001 锌，ppm ≤ 1 0.01 0.001 0.1 0.010 0.001 0.0001 锰，ppm ≤ 1 0.05 0.001 0.1 0.010 0.001 0.0001 铁 ，ppm ≤ 0.2 0.1 0.001 0.1 0.005 0.001 0.0001 银，ppm ≤ - - 0.002 - - - - 钡，ppm ≤ - - 0.005 - 0.0
21、10 0.001 0.0001 钙，ppm ≤ - - 0.003 0.1 0.010 0.001 0.0001 铬，ppm ≤ - - 0.005 0.1 0.010 0.001 0.0001 镉，ppm ≤ 1 0.005 0.001 - 0.010 0.001 0.0001 铅，ppm ≤ 0.05 0.01 0.003 0.1 0.010 0.001 0.0001 铝，ppm ≤ - - 0.005 0.1 0.010 0.001 0.0001 锑，ppm ≤ - - - - -
22、 0.001 0.0001 砷，ppm ≤ - - - 0.01 0.010 0.001 0.0001 硼，ppm ≤ - - - 0.01 0.010 0.001 0.0001 锡，ppm ≤ - - - 0.1 0.010 0.001 0.0001 钛，ppm ≤ - - - 0.1 0.010 0.001 0.0001 钒，ppm ≤ - - - - 0.010 0.001 0.0001 锶，ppm ≤ - - 0.001 - - - - 钾，ppm ≤ - - 0.
23、003 0.1 0.010 0.001 0.0001 锂，ppm ≤ - - 0.001 - 0.010 0.001 0.0001 钴，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 - - - - 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 （≥2µm）3 （≥1µm）25 （≥0。5µm） 25 （≥0。5µm）5 （≥0。2µm）TBD 电子用丙酮指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 含量（GC） % ≥ 99.0 99.5 9
24、9.5 电阻率MΩ≥ 5 5 20 杂质最高含量（以10-6计） 水分，ppm ≤ 500 200 200 不挥发物，ppm ≤ 5 5 1 游离酸（以CH3COOH计），ppm≤ 20 20 10 游离碱（以NH3计），ppm≤ 5 1 5 水溶解试验 - - 合格 高锰酸钾还原物质 合格 合格 合格 钠，ppm ≤ 1 0.5 0.01 镁，ppm ≤ 1 0.05 0.001 锰，ppm ≤ 1 0.01 0.001 银，ppm ≤ - - 0.002 锂，ppm
25、≤ - - 0.001 镍，ppm ≤ 0.01 0.01 0.001 铜，ppm ≤ 0.05 0.01 0.001 锌，ppm ≤ 1 0.01 0.001 镉，ppm ≤ 1 0.005 0.001 铁，ppm ≤ 0.05 0.05 0.001 铝，ppm ≤ - - 0.005 钡，ppm ≤ - - 0.005 钙，ppm ≤ - - 0.003 铬，ppm ≤ - - 0.005 钾，ppm ≤ - - 0.003 锶，ppm ≤ - - 0.001 铅，ppm
26、 ≤ 0.05 0.01 0.003 钴，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 （≥2µm）3 电子用甲醇指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 含量（GC） % ≥ 99.5 99.9 99.9 电阻率MΩ≥ 1 1 3 杂质最高含量（以10-6计） 不挥发物，ppm ≤ 5 5 1 氯化物，ppm ≤ 1 1 - 还原高锰酸钾物质，ppm ≤ 2.5 2.5 - 游离酸（以C
27、H3COOH计），ppm ≤ 20 20 20 游离碱（以NH3计），ppm ≤ 2 1 1 硫酸试验 - 合格 合格 水溶解试验 - - 合格 水分(H2O)，ppm ≤ 1000 500 500 钠，ppm ≤ 1 0.5 0.005 镁，ppm ≤ 1 0.05 0.001 镍，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 铜，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 锌，ppm ≤ 1 0.01 0.002 锰，ppm ≤ 1 0.01 0.001 铁 ，ppm ≤ 0.2 0.
28、1 0.001 银，ppm ≤ - - 0.002 钡，ppm ≤ - - 0.005 钙，ppm ≤ - - 0.003 铬，ppm ≤ - - 0.005 镉，ppm ≤ 1 0.005 0.001 铅，ppm ≤ 0.1 0.01 0.003 铝，ppm ≤ - - 0.005 钾，ppm ≤ - - 0.003 锂，ppm ≤ - - 0.001 钴，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 （≥2µm）3
29、 电子用无水乙醇指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 含量（GC） % ≥ 99.5 99.7 99.8 杂质最高含量（以10-6计） 不挥发物，ppm ≤ 5 2 2 氯化物，ppm ≤ - 1 - 硫酸盐，ppm ≤ - 1 - 甲醇，ppm ≤ - 200 - 还原高锰酸钾物质，ppm ≤ 合格 合格 合格 游离酸（以CH3COOH计），ppm ≤ 20 20 20 游离碱（以NH3计），ppm ≤ 1 0.5 1 酮，ppm ≤ - 5
30、 硫酸试验 - - 合格 水溶解试验 - - 合格 水分(H2O)，ppm ≤ 2000 1000 2000 钠，ppm ≤ 1 0.5 0.2 镁，ppm ≤ 0.02 0.01 0.01 镍，ppm ≤ 0.01 - 0.001 铜，ppm ≤ 0.03 0.01 0.005 锌，ppm ≤ - 0.01 0.01 锰，ppm ≤ 0.05 0.01 0.001 铁 ，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 铅，ppm ≤ 0.1 0.01 - 银，ppm ≤ - - 0.
31、002 钡，ppm ≤ - - 0.005 钙，ppm ≤ - - 0.02 铬，ppm ≤ - - 0.05 镉，ppm ≤ 0.05 0.005 0.001 铝，ppm ≤ - - 0.005 钾，ppm ≤ 0.1 0.1 0.01 锂，ppm ≤ - - 0.001 锶，ppm ≤ - - 0.001 钴，ppm ≤ 0.01 0.01 0.001 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 （≥2µm）3 电子用乙酸乙酯指标
32、 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 含量（GC） % ≥ 99.0 99.5 99.0 相对密度（d420） 0.900-0。901 0.899-0。904 - 杂质最高含量（以10-6计） 不挥发物，ppm ≤ 10 5 1 游离酸（以CH3COOH计），ppm ≤ 50 35 35 硫酸试验 合格 合格 合格 水分(H2O)，ppm ≤ 2000 1000 500 醛，ppm ≤ - 合格 - 过氧化物，ppm ≤ 合格 合格 - 钠，ppm ≤ 1 0.1 0.03 镁，ppm
33、≤ 0.5 0.01 0.001 镍，ppm ≤ 0.1 0.005 0.001 铜，ppm ≤ 0.02 0.005 0.001 锌，ppm ≤ 0.1 0.01 0.005 锰，ppm ≤ 0.1 0.005 0.001 铁 ，ppm ≤ 0.03 0.01 0.005 铅，ppm ≤ 0.01 0.01 0.001 银，ppm ≤ 0.05 0.005 0.002 钡，ppm ≤ 1 0.1 0.005 钙，ppm ≤ 0.5 0.05 0.005 铬，ppm ≤ 0.1 0.01 0
34、005 镉，ppm ≤ 0.05 0.005 0.001 铝，ppm ≤ 1 0.2 0.005 钾，ppm ≤ 1 0.5 0.005 锂，ppm ≤ 0.05 0.005 0.001 锶，ppm ≤ 0.05 0.005 0.001 钴，ppm ≤ 0.1 0.005 0.001 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 （≥2µm）3 电子用甲苯指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 含量（GC） % ≥ 99.5 99.5 99.
35、5 杂质最高含量（以10-6计） 不挥发物，ppm ≤ 5 3 1 游离酸（以HCl计），ppm ≤ - 5 合格 游离碱（以NaOH计），ppm ≤ - 1 合格 硫酸试验 合格 合格 合格 水分(H2O)，ppm ≤ 300 100 300 硫化物（以SO4），ppm ≤ 30 5 合格 钠，ppm ≤ 1 0.1 0.01 镁，ppm ≤ 1 0.01 0.002 镍，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 铜，ppm ≤ 0.1 0.01 0.005 锌，ppm ≤ 1 0.0
36、1 0.001 锰，ppm ≤ 1 0.01 0.005 铁 ，ppm ≤ 0.1 0.1 0.01 铅，ppm ≤ 0.1 0.1 0.003 银，ppm ≤ - - 0.005 钡，ppm ≤ - - 0.005 钙，ppm ≤ - - 0.001 铬，ppm ≤ - - 0.005 镉，ppm ≤ 1 0.005 0.001 铝，ppm ≤ - - 0.005 钾，ppm ≤ 1 0.1 0.01 锂，ppm ≤ - - 0.001 锶，ppm ≤ - - 0.001
37、 钴，ppm ≤ 0.1 0.1 0.01 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 （≥2µm）3 电子用二甲苯指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 SEMI C1 含量（GC） % ≥ 80.0 96.0 97.0 - 杂质最高含量（以10-6计） 不挥发物，ppm ≤ 10 5 - 5 游离酸（以HCl计），ppm
38、 ≤ - 5 合格 H+：0.3μeq/g 游离碱（以NaOH计），ppm ≤ - 1 合格 - 硫酸试验 - 合格 合格 - 水分(H2O)，ppm ≤ 200 100 200 200 甲苯，ppm ≤ 500 - - 噻吩，ppm ≤ 500 500 - - 氯化物，ppm ≤ - - - 3 磷酸盐，ppm ≤ - 1 - 1 硫化合物（以SO4），ppm ≤ - 60 合格 - 乙苯 - 3 - - 钠，ppm ≤ 1 0.1 0.005 0.1 砷，ppm
39、 ≤ - 0.1 - 0.01 锗，ppm ≤ - 1 - - 镁，ppm ≤ 1 0.01 0.005 0.1 镍，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 0.1 铜，ppm ≤ 0.1 0.01 0.001 0.1 锌，ppm ≤ 1 0.01 0.005 0.1 锰，ppm ≤ 1 0.01 0.001 0.1 铁 ，ppm ≤ 0.1 0.05 0.01 0.1 铅，ppm ≤ - 0.01 0.003 0.1 银，ppm ≤ - 0.5 0.002 - 钡，ppm
40、≤ - 1 0.005 - 金，ppm ≤ - 0.5 0.01 - 硅，ppm ≤ - 1 - - 锡，ppm ≤ - 1 - 0.1 钙，ppm ≤ - 1 - 0.1 硼，ppm ≤ - 0.1 - 0.1 镓，ppm ≤ - 0.05 - - 铬，ppm ≤ - 0.5 0.005 0.1 镉，ppm ≤ 1 0.005 0.001 - 铝，ppm ≤ - 1 0.005 0.1 钾，ppm ≤ 1 1 0.01 0.1 锂，ppm ≤ - 1 0.
41、001 - 锶，ppm ≤ - 1 0.001 - 钴，ppm ≤ 0.1 0.1 0.001 - 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm）30 （≥5µm）27 （≥2µm）3 （≥1µm）25 电子用三氯甲烷指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS 含量（GC） % ≥ 99.0 99.5 杂质最高含量（以10-6计） 不挥发物，ppm ≤ 20 5 游离酸（以HCl计），ppm ≤ 10 5 游离氯（以Cl计），ppm ≤ 合格 合格 氯化物，ppm ≤ 1 0.5
42、 醛和酮，ppm ≤ 10 5 硫酸试验 合格 合格 光气 合格 合格 水分(H2O)，ppm ≤ 1000 500 钠，ppm ≤ 1 0.1 镁，ppm ≤ 0.05 0.01 镍，ppm ≤ 0.1 0.01 铜，ppm ≤ 0.1 0.01 锌，ppm ≤ 0.05 0.01 锰，ppm ≤ 0.1 0.01 铁 ，ppm ≤ 0.1 0.05 铅，ppm ≤ 0.02 0.01 镉，ppm ≤ 0.05 0.005 钴，ppm ≤ 0.1 0.01 颗粒，个/mL ≤ （≥
43、10µm）30 （≥5µm）27 电子用硫酸指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 BV-3 C7 C8 含量（H2SO4） % ≥ 95.0-97。0 96.0-98。0 97.0 96.0 95.0-97。0 98.8 色度（黑曾） - - - 10 10 10 杂质最高含量（以10-6计） 灼烧残渣，ppm ≤ 5 5 - - - - 高锰酸钾还原试验 合格 合格 合格 - - - 磷酸盐，ppm ≤ 0.5 0.5 0.05
44、 0.5 0.5 0.1 氯化物，ppm ≤ 0.5 0.2 0.1 0.1 0.1 0.05 硝酸盐，ppm ≤ 0.3 0.2 0.2 0.2 0.2 0.1 铵，ppm ≤ 2 2 1 - - - 钠，ppm ≤ 1 0.2 0.05 0.02 0.01 0.001 镁，ppm ≤ 1 0.05 0.02 0.01 0.01 0.001 镍，ppm ≤ 0.1 0.02 0.005 0.01 0.01 0.001 铌，ppm ≤ - - - - 0.01 铜，ppm
45、≤ 0.1 0.02 0.01 0.01 0.01 0.001 锌，ppm ≤ 0.5 0.05 0.005 0.01 0.01 0.001 锆，ppm ≤ - - - 0.01 0.01 锰，ppm ≤ 0.5 0.02 0.001 0.01 0.01 0.001 铁 ，ppm ≤ 0.2 0.1 0.003 0.01 0.01 0.001 砷，ppm ≤ 0.02 0.1 0.005 0.01 0.01 0.001 银，ppm ≤ 0.5 0.02 0.005 0.01 0.01
46、0.001 镉，ppm ≤ 0.5 0.05 0.005 0.01 0.01 0.001 铟，ppm ≤ - 0.02 0.005 - - - 锑，ppm ≤ - 0.2 0.03 0.005 0.005 0.001 钡，ppm ≤ 1 0.2 0.005 0.01 0.01 0.001 铝，ppm ≤ 0.5 0.5 0.005 0.01 0.01 0.001 铅，ppm ≤ 0.4 0.05 - 0.01 0.01 0.001 钾，ppm ≤ 0.1 0.1 0.01 0.01 0
47、01 0.001 钙，ppm ≤ 1 0.2 0.05 0.01 0.01 0.001 钛，ppm ≤ - 0.05 0.005 0.01 0.01 0.001 钒，ppm ≤ - - - 0.01 0.01 0.001 铍，ppm ≤ - - 0.005 0.01 0.01 0.001 金，ppm ≤ - - 0.003 0.005 0.005 0.001 锂，ppm ≤ 1 0.05 0.005 0.01 0.01 0.001 硼，ppm ≤ 0.2 0.05 0.03 0.03
48、 0.02 0.001 镓，ppm ≤ 0.5 0.02 0.003 0.01 0.01 0.001 锗，ppm ≤ - - - 0.01 0.01 0.001 铬，ppm ≤ 0.1 0.02 0.01 0.01 0.01 0.001 钼，ppm ≤ - - 0.005 0.01 0.01 0.001 锡，ppm ≤ - - 0.03 0.01 0.01 0.001 铊，ppm ≤ - - - 0.01 0.01 0.001 铂，ppm ≤ - - 0.003 - - - 硒
49、ppm ≤ - - 0.5 - - - 锶，ppm ≤ - - 0.001 0.01 0.01 0.001 钽，ppm ≤ - - - - 0.01 0.001 汞，ppm ≤ - - 0.002 - - - 铋，ppm ≤ - 0.02 0.005 0.01 0.01 0.001 钴，ppm ≤ 0.5 0.02 0.005 0.005 0.005 0.001 颗粒，个/mL ≤ （≥10µm） 30 （≥5µm）27 （≥2µm）3 （≥0。5µm） 25 （≥0。5
50、µm） 25 （≥0。5µm） 5 电子用硝酸指标 项 目 指标 低尘高纯 MOS BV-1 含量（HNO3） % ≥ 69.0-71。0 69.0-71。0 70.0 杂质最高含量（以10-6计） 灼烧残渣，ppm ≤ 5 5 - 低氮氧化物（以N2O3计），ppm ≤ - 1 1 磷酸盐，ppm ≤ 0.5 0.5 0.05 氯化物，ppm ≤ 0.5 0.5 0.05 硫酸盐，ppm ≤ 0.3 0.5 0.1 钠，ppm ≤ 1 0.3 0.05 镁
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