电子级指标.doc

电子用氟化氢铵溶液指标

项
目
指标
低尘高纯
MOS
主含量（以NH4F计）%
33.8-35。8
33.8-35。8
（以HF计）%
5.9-6。9
5.9-6。9
氯化物，ppm ≤
8
4
硫酸盐，ppm ≤
2
2
磷酸盐，ppm ≤
1
1
锂，ppm ≤
1
0.1
砷，ppm ≤
-
-
钠，ppm ≤
1
0.1
镁，ppm ≤
1
0.5
铝，ppm ≤
1
0.5
钾，ppm ≤
1
0.1
金，ppm ≤
-
0.1
锑，ppm ≤
-
0.1
镍，ppm ≤
0.3
0.1
钙，ppm ≤
1
0.5
钛，ppm ≤
-
0.1
铬，ppm ≤
0.1
0.1
锰，ppm ≤
0.5
0.1
铁，ppm ≤
1
0.5
铜，ppm ≤
0.3
0.1
锌，ppm ≤
0.5
0.1
钴，ppm ≤
0.5
-
铅，ppm ≤
-
0.1
镓，ppm ≤
0.5
0.1
砷，ppm ≤
0.3
0.1
钼，ppm ≤
-
0.1
银，ppm ≤
0.5
0.1
镉，ppm ≤
0.5
0.1
铟，ppm ≤
-
0.1
锡，ppm ≤
0.5
0.1
钡，ppm ≤
1
0.1
铂，ppm ≤
-
0.1
铋，ppm ≤
-
0.1
灼烧残渣（以SO4计）
≤50ppm
≤40ppm
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27

电子用氟化铵溶液指标

项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
SEMI C1
SEMI C7
SEMI C12
主含量（NH4F）%
39.0-41。0
39.0-41。0
40.0-41。9
39.0-41。0
39.0-41。0
39.0-41。0
色度（APHA）≤
-
-
-
10
10
10
水溶液PH值（1%）
6.0-7。5
6.2-7。0
6.1-6。7
6.5-7。5
6.5-7。5
6.5-7。5
氯化物，ppm ≤
8
4
0.5
4
2
2
硫酸盐，ppm ≤
2
2
1
2
2
2
硝酸盐，ppm ≤
-
-
-
10
3
3
磷酸盐，ppm ≤
1
1
0.4
1
0.5
0.5
锂，ppm ≤
1
0.1
0.005
-
0.01
0.001
钠，ppm ≤
1
0.1
0.05
0.3
0.01
0.001
镁，ppm ≤
1
0.5
0.05
0.2
0.01
0.001
铝，ppm ≤
-
0.5
0.05
0.2
0.01
0.001
钾，ppm ≤
1
0.1
0.05
0.3
0.01
0.001
金，ppm ≤
-
0.1
0.003
-
-
-
硼，ppm ≤
-
-
-
0.2
0.01
0.001
钒，ppm ≤
-
-
-
-
0.01
0.001
锶，ppm ≤
-
-
0.001
-
-
-
锑，ppm ≤
-
0.1
0.01
-
0.01
0.001
铍，ppm ≤
-
-
0.005
-
-
-
镍，ppm ≤
0.3
0.1
0.005
0.3
0.01
0.001
钙，ppm ≤
1
0.5
0.05
0.2
0.01
0.001
钛，ppm ≤
-
0.1
0.005
0.3
0.01
0.001
铬，ppm ≤
0.1
0.1
0.005
0.1
0.01
0.001
锰，ppm ≤
0.5
0.1
0.003
0.2
0.01
0.001
铁，ppm ≤
1
0.5
0.05
0.2
0.01
0.001
铜，ppm ≤
0.3
0.1
0.005
0.1
0.01
0.001
锌，ppm ≤
0.5
0.1
0.005
0.2
0.01
0.001
钴，ppm ≤
0.5
0.1
0.005
-
-
-
铅，ppm ≤
1
0.5
0.005
0.3
0.01
0.001
镓，ppm ≤
0.5
0.1
0.005
-
-
-
砷，ppm ≤
0.1
0.05
0.02
0.03
0.01
0.001
钼，ppm ≤
-
0.1
0.005
-
-
-
银，ppm ≤
0.5
0.1
0.005
-
-
-
镉，ppm ≤
0.5
0.1
0.005
-
0.01
0.001
铟，ppm ≤
-
0.1
0.005
-
-
-
锡，ppm ≤
0.5

0.003
0.2
0.01
0.001
钡，ppm ≤
1
-
0.005
-
0.01
0.001
铂，ppm ≤
-
-
0.005
-
-
-
铋，ppm ≤
-
-
0.005
-
-
-
灼烧残渣（以SO4计），ppm ≤
50
-
-
-
-
-
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）25
（≥2µm）
3
（≥1µm）
25
（≥0。5µm） 25
（≥0。2µm）
TBD

电子用过氧化氢溶液指标

项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
SEMI C1
SEMI C7
SEMI C8
SEMI C12
Grade5
主含量（以H2O2计）
≥30.0%
≥30.0%
≥30.0%
30.0-32。0%
30.0-32。0%
30.0-32。0%
30.0-32。0%
30.0-32。0%
杂质最高含量（以10-6计）
不挥发物，ppm
≤50
≤50
-
-
-
-
-
-
游离酸（以H2SO4计）
≤40ppm
≤40ppm
≤40ppm
-
-
-
-
-
氮化合物，ppm
≤4
≤4
≤4
-
-
-
-
-
硝酸盐，ppm ≤
-
-
-
-
0.400
0.400
0.030
0.030
氯化物，ppm ≤
2
0.5
0.5
2
0.200
0.200
0.030
0.030
硫酸盐，ppm ≤
5
2
0.5
5
0.2
0.2
0.030
0.030
磷酸盐，ppm ≤
2
2
0.4
2
0.2
0.2
0.030
0.030
总碳（TOC），ppm ≤
-
-
-
20
20
10
10
10
镁，ppm ≤
1
0.1
0.02
0.1
0.010
0.001
0.0001
0.00001
铝，ppm ≤
1
0.5
0.05
1
0.010
0.001
0.0001
0.00001
钾，ppm ≤
1
0.2
0.02
1
0.010
0.001
0.0001
0.00001
锶，ppm ≤
-
-
0.001
-
-
-
-
-
钙，ppm ≤
1
0.2
0.05
0.2
0.010
0.001
0.0001
0.00001
钛，ppm ≤
-
0.1
0.005
0.3
0.010
0.001
0.0001
0.00001
钒，ppm ≤
-
-
-
-
0.010
0.001
0.0001
0.00001
铬，ppm ≤
0.5
0.02
0.005
0.050
0.010
0.001
0.0001
0.00001
铍，ppm ≤
-
-
0.005
-
-
-
-
-
金，ppm ≤
0.5
0.05
0.003
-
-
-
-
-
银，ppm ≤
0.5
0.02
0.005
-
-
-
-
-
硼，ppm ≤
0.5
0.02
0.01
0.1
0.010
0.001
0.0001
0.00001
钠，ppm ≤
1
0.5
0.05
1
0.010
0.001
0.0001
0.00001
钼，ppm ≤
-
0.1
0.005
-
-
-
-
-
镉，ppm ≤
1
0.05
0.005
-
0.010
0.001
0.0001
0.00001
铟，ppm ≤
-
0.02
0.005
-
-
-
-
-
锂，ppm ≤
1
0.02
0.005
-
0.010
0.001
0.0001
0.00001
锰，ppm ≤
1
0.05
0.003
0.05
0.010
0.001
0.0001
0.00001
钴，ppm ≤
0.5
0.02
0.005
-
-
-
-
-
镍，ppm ≤
0.1
0.05
0.005
0.05
0.010
0.001
0.0001
0.00001
铜，ppm ≤
0.1
0.02
0.03
0.050
0.010
0.001
0.0001
0.00001
锌，ppm ≤
1
0.1
0.01
-
0.010
0.001
0.0001
0.00001
砷，ppm ≤
0.1
0.05
0.01
0.01
0.005
0.001
0.0001
0.00001
镓，ppm ≤
0.5
0.02
0.01
-
-
-
-
-
铅，ppm ≤
-
0.05
0.005
0.3
0.010
0.001
0.0001
0.00001
铋，ppm ≤
-
0.02
0.01
-
-
-
-
-
锡，ppm ≤
1
0.05
0.03
1
0.010
0.001
0.0001
0.00001
锑，ppm ≤
-
0.02
0.03
-
0.005
0.001
0.0001
0.00001
钡，ppm ≤
1
0.1
0.05
-
0.010
-
0.0001
0.00001
铂，ppm ≤
-
0.1
0.003
-
-
-
-
-
铁，ppm ≤
0.5
0.1
0.02
0.1
0.010
0.001
0.0001
0.00001
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
（≥2µm）3
（≥1µm）
25
（≥0。5µm） 25
（≥0。5µm）
5
（≥0。2µm）
TBD
（≥0。2µm）
TBD

电子用异丙醇指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
SEMI C1
SEMI C7
SEMI C8
SEMI C12
含量（GC） % ≥
99.5
99.7
99.8
99.5
99.8
99.8
99.8
电阻率MΩ≥
10
10
20
-
-
-
-
色度（APHA）≤

10
10
10
10
杂质最高含量（以10-6计）
不挥发物，ppm ≤
5
5
1
5
5
5
5
氯化物，ppm ≤
2
1
-
0.2
0.2
0.050
0.050
硝酸盐，ppm ≤
-
-
-
-
-
0.050
0.050
硫酸盐，ppm ≤
-
1
-
-
-
0.050
0.050
磷酸盐，ppm ≤
-
-
-
0.5
0.5
0.050
0.050
游离酸（以CH3COOH计），ppm ≤
-
10
20
0.2μeq/g
-
-
-
碱度≤
-
-
-
0.1μeq/g
-
-
-
硫酸试验
合格
合格
合格
-
-
-
-
水溶解试验
-
-
合格
合格
-
-
-
水分(H2O)，ppm ≤
2000
1000
500
500
500
500
500
钠，ppm ≤
1
0.5
0.05
0.1
0.010
0.001
0.0001
镁，ppm ≤
1
0.01
0.001
0.1
0.010
0.001
0.0001
镍，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
0.1
0.010
0.001
0.0001
铜，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
0.1
0.010
0.001
0.0001
锌，ppm ≤
1
0.01
0.001
0.1
0.010
0.001
0.0001
锰，ppm ≤
1
0.05
0.001
0.1
0.010
0.001
0.0001
铁 ，ppm ≤
0.2
0.1
0.001
0.1
0.005
0.001
0.0001
银，ppm ≤
-
-
0.002
-
-
-
-
钡，ppm ≤
-
-
0.005
-
0.010
0.001
0.0001
钙，ppm ≤
-
-
0.003
0.1
0.010
0.001
0.0001
铬，ppm ≤
-
-
0.005
0.1
0.010
0.001
0.0001
镉，ppm ≤
1
0.005
0.001
-
0.010
0.001
0.0001
铅，ppm ≤
0.05
0.01
0.003
0.1
0.010
0.001
0.0001
铝，ppm ≤
-
-
0.005
0.1
0.010
0.001
0.0001
锑，ppm ≤
-
-
-
-
-
0.001
0.0001
砷，ppm ≤
-
-
-
0.01
0.010
0.001
0.0001
硼，ppm ≤
-
-
-
0.01
0.010
0.001
0.0001
锡，ppm ≤
-
-
-
0.1
0.010
0.001
0.0001
钛，ppm ≤
-
-
-
0.1
0.010
0.001
0.0001
钒，ppm ≤
-
-
-
-
0.010
0.001
0.0001
锶，ppm ≤
-
-
0.001
-
-
-
-
钾，ppm ≤
-
-
0.003
0.1
0.010
0.001
0.0001
锂，ppm ≤
-
-
0.001
-
0.010
0.001
0.0001
钴，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
-
-
-
-
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
（≥2µm）3
（≥1µm）25
（≥0。5µm） 25
（≥0。5µm）5
（≥0。2µm）TBD

电子用丙酮指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
含量（GC） % ≥
99.0
99.5
99.5
电阻率MΩ≥
5
5
20
杂质最高含量（以10-6计）
水分，ppm ≤
500
200
200
不挥发物，ppm ≤
5
5
1
游离酸（以CH3COOH计），ppm≤
20
20
10
游离碱（以NH3计），ppm≤
5
1
5
水溶解试验
-
-
合格
高锰酸钾还原物质
合格
合格
合格
钠，ppm ≤
1
0.5
0.01
镁，ppm ≤
1
0.05
0.001
锰，ppm ≤
1
0.01
0.001
银，ppm ≤
-
-
0.002
锂，ppm ≤
-
-
0.001
镍，ppm ≤
0.01
0.01
0.001
铜，ppm ≤
0.05
0.01
0.001
锌，ppm ≤
1
0.01
0.001
镉，ppm ≤
1
0.005
0.001
铁，ppm ≤
0.05
0.05
0.001
铝，ppm ≤
-
-
0.005
钡，ppm ≤
-
-
0.005
钙，ppm ≤
-
-
0.003
铬，ppm ≤
-
-
0.005
钾，ppm ≤
-
-
0.003
锶，ppm ≤
-
-
0.001
铅，ppm ≤
0.05
0.01
0.003
钴，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
（≥2µm）3

电子用甲醇指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
含量（GC） % ≥
99.5
99.9
99.9
电阻率MΩ≥
1
1
3
杂质最高含量（以10-6计）
不挥发物，ppm ≤
5
5
1
氯化物，ppm ≤
1
1
-
还原高锰酸钾物质，ppm ≤
2.5
2.5
-
游离酸（以CH3COOH计），ppm ≤
20
20
20
游离碱（以NH3计），ppm ≤
2
1
1
硫酸试验
-
合格
合格
水溶解试验
-
-
合格
水分(H2O)，ppm ≤
1000
500
500
钠，ppm ≤
1
0.5
0.005
镁，ppm ≤
1
0.05
0.001
镍，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
铜，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
锌，ppm ≤
1
0.01
0.002
锰，ppm ≤
1
0.01
0.001
铁 ，ppm ≤
0.2
0.1
0.001
银，ppm ≤
-
-
0.002
钡，ppm ≤
-
-
0.005
钙，ppm ≤
-
-
0.003
铬，ppm ≤
-
-
0.005
镉，ppm ≤
1
0.005
0.001
铅，ppm ≤
0.1
0.01
0.003
铝，ppm ≤
-
-
0.005
钾，ppm ≤
-
-
0.003
锂，ppm ≤
-
-
0.001
钴，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
（≥2µm）3

电子用无水乙醇指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
含量（GC） % ≥
99.5
99.7
99.8
杂质最高含量（以10-6计）
不挥发物，ppm ≤
5
2
2
氯化物，ppm ≤
-
1
-
硫酸盐，ppm ≤
-
1
-
甲醇，ppm ≤
-
200
-
还原高锰酸钾物质，ppm ≤
合格
合格
合格
游离酸（以CH3COOH计），ppm ≤
20
20
20
游离碱（以NH3计），ppm ≤
1
0.5
1
酮，ppm ≤
-
5
-
硫酸试验
-
-
合格
水溶解试验
-
-
合格
水分(H2O)，ppm ≤
2000
1000
2000
钠，ppm ≤
1
0.5
0.2
镁，ppm ≤
0.02
0.01
0.01
镍，ppm ≤
0.01
-
0.001
铜，ppm ≤
0.03
0.01
0.005
锌，ppm ≤
-
0.01
0.01
锰，ppm ≤
0.05
0.01
0.001
铁 ，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
铅，ppm ≤
0.1
0.01
-
银，ppm ≤
-
-
0.002
钡，ppm ≤
-
-
0.005
钙，ppm ≤
-
-
0.02
铬，ppm ≤
-
-
0.05
镉，ppm ≤
0.05
0.005
0.001
铝，ppm ≤
-
-
0.005
钾，ppm ≤
0.1
0.1
0.01
锂，ppm ≤
-
-
0.001
锶，ppm ≤
-
-
0.001
钴，ppm ≤
0.01
0.01
0.001
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
（≥2µm）3

电子用乙酸乙酯指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
含量（GC） % ≥
99.0
99.5
99.0
相对密度（d420）
0.900-0。901
0.899-0。904
-
杂质最高含量（以10-6计）
不挥发物，ppm ≤
10
5
1
游离酸（以CH3COOH计），ppm ≤
50
35
35
硫酸试验
合格
合格
合格
水分(H2O)，ppm ≤
2000
1000
500
醛，ppm ≤
-
合格
-
过氧化物，ppm ≤
合格
合格
-
钠，ppm ≤
1
0.1
0.03
镁，ppm ≤
0.5
0.01
0.001
镍，ppm ≤
0.1
0.005
0.001
铜，ppm ≤
0.02
0.005
0.001
锌，ppm ≤
0.1
0.01
0.005
锰，ppm ≤
0.1
0.005
0.001
铁 ，ppm ≤
0.03
0.01
0.005
铅，ppm ≤
0.01
0.01
0.001
银，ppm ≤
0.05
0.005
0.002
钡，ppm ≤
1
0.1
0.005
钙，ppm ≤
0.5
0.05
0.005
铬，ppm ≤
0.1
0.01
0.005
镉，ppm ≤
0.05
0.005
0.001
铝，ppm ≤
1
0.2
0.005
钾，ppm ≤
1
0.5
0.005
锂，ppm ≤
0.05
0.005
0.001
锶，ppm ≤
0.05
0.005
0.001
钴，ppm ≤
0.1
0.005
0.001
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
（≥2µm）3
电子用甲苯指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
含量（GC） % ≥
99.5
99.5
99.5
杂质最高含量（以10-6计）
不挥发物，ppm ≤
5
3
1
游离酸（以HCl计），ppm ≤
-
5
合格
游离碱（以NaOH计），ppm ≤
-
1
合格
硫酸试验
合格
合格
合格
水分(H2O)，ppm ≤
300
100
300
硫化物（以SO4），ppm ≤
30
5
合格
钠，ppm ≤
1
0.1
0.01
镁，ppm ≤
1
0.01
0.002
镍，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
铜，ppm ≤
0.1
0.01
0.005
锌，ppm ≤
1
0.01
0.001
锰，ppm ≤
1
0.01
0.005
铁 ，ppm ≤
0.1
0.1
0.01
铅，ppm ≤
0.1
0.1
0.003
银，ppm ≤
-
-
0.005
钡，ppm ≤
-
-
0.005
钙，ppm ≤
-
-
0.001
铬，ppm ≤
-
-
0.005
镉，ppm ≤
1
0.005
0.001
铝，ppm ≤
-
-
0.005
钾，ppm ≤
1
0.1
0.01
锂，ppm ≤
-
-
0.001
锶，ppm ≤
-
-
0.001
钴，ppm ≤
0.1
0.1
0.01
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
（≥2µm）3

电子用二甲苯指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
SEMI C1
含量（GC） % ≥
80.0
96.0
97.0
-

杂质最高含量（以10-6计）

不挥发物，ppm ≤
10
5
-
5
游离酸（以HCl计），ppm ≤
-
5
合格
H+：0.3μeq/g
游离碱（以NaOH计），ppm ≤
-
1
合格
-
硫酸试验
-
合格
合格
-
水分(H2O)，ppm ≤
200
100
200
200
甲苯，ppm ≤

500
-
-
噻吩，ppm ≤
500
500
-
-
氯化物，ppm ≤
-
-
-
3
磷酸盐，ppm ≤
-
1
-
1
硫化合物（以SO4），ppm ≤
-
60
合格
-
乙苯
-
3
-
-
钠，ppm ≤
1
0.1
0.005
0.1
砷，ppm ≤
-
0.1
-
0.01
锗，ppm ≤
-
1
-
-
镁，ppm ≤
1
0.01
0.005
0.1
镍，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
0.1
铜，ppm ≤
0.1
0.01
0.001
0.1
锌，ppm ≤
1
0.01
0.005
0.1
锰，ppm ≤
1
0.01
0.001
0.1
铁 ，ppm ≤
0.1
0.05
0.01
0.1
铅，ppm ≤
-
0.01
0.003
0.1
银，ppm ≤
-
0.5
0.002
-
钡，ppm ≤
-
1
0.005
-
金，ppm ≤
-
0.5
0.01
-
硅，ppm ≤
-
1
-
-
锡，ppm ≤
-
1
-
0.1
钙，ppm ≤
-
1
-
0.1
硼，ppm ≤
-
0.1
-
0.1
镓，ppm ≤
-
0.05
-
-
铬，ppm ≤
-
0.5
0.005
0.1
镉，ppm ≤
1
0.005
0.001
-
铝，ppm ≤
-
1
0.005
0.1
钾，ppm ≤
1
1
0.01
0.1
锂，ppm ≤
-
1
0.001
-
锶，ppm ≤
-
1
0.001
-
钴，ppm ≤
0.1
0.1
0.001
-
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
（≥2µm）3
（≥1µm）25

电子用三氯甲烷指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
含量（GC） % ≥
99.0
99.5
杂质最高含量（以10-6计）
不挥发物，ppm ≤
20
5
游离酸（以HCl计），ppm ≤
10
5
游离氯（以Cl计），ppm ≤
合格
合格
氯化物，ppm ≤
1
0.5
醛和酮，ppm ≤
10
5
硫酸试验
合格
合格
光气
合格
合格
水分(H2O)，ppm ≤
1000
500
钠，ppm ≤
1
0.1
镁，ppm ≤
0.05
0.01
镍，ppm ≤
0.1
0.01
铜，ppm ≤
0.1
0.01
锌，ppm ≤
0.05
0.01
锰，ppm ≤
0.1
0.01
铁 ，ppm ≤
0.1
0.05
铅，ppm ≤
0.02
0.01
镉，ppm ≤
0.05
0.005
钴，ppm ≤
0.1
0.01
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）30
（≥5µm）27
电子用硫酸指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
BV-3
C7
C8
含量（H2SO4） % ≥
95.0-97。0
96.0-98。0
97.0
96.0
95.0-97。0
98.8
色度（黑曾）
-
-
-
10
10
10

杂质最高含量（以10-6计）

灼烧残渣，ppm ≤
5
5
-
-
-
-
高锰酸钾还原试验
合格
合格
合格
-
-
-
磷酸盐，ppm ≤
0.5
0.5
0.05
0.5
0.5
0.1
氯化物，ppm ≤
0.5
0.2
0.1
0.1
0.1
0.05
硝酸盐，ppm ≤
0.3
0.2
0.2
0.2
0.2
0.1
铵，ppm ≤
2
2
1
-
-
-
钠，ppm ≤
1
0.2
0.05
0.02
0.01
0.001
镁，ppm ≤
1
0.05
0.02
0.01
0.01
0.001
镍，ppm ≤
0.1
0.02
0.005
0.01
0.01
0.001
铌，ppm ≤
-
-
-
-
0.01

铜，ppm ≤
0.1
0.02
0.01
0.01
0.01
0.001
锌，ppm ≤
0.5
0.05
0.005
0.01
0.01
0.001
锆，ppm ≤
-
-
-
0.01
0.01

锰，ppm ≤
0.5
0.02
0.001
0.01
0.01
0.001
铁 ，ppm ≤
0.2
0.1
0.003
0.01
0.01
0.001
砷，ppm ≤
0.02
0.1
0.005
0.01
0.01
0.001
银，ppm ≤
0.5
0.02
0.005
0.01
0.01
0.001
镉，ppm ≤
0.5
0.05
0.005
0.01
0.01
0.001
铟，ppm ≤
-
0.02
0.005
-
-
-
锑，ppm ≤
-
0.2
0.03
0.005
0.005
0.001
钡，ppm ≤
1
0.2
0.005
0.01
0.01
0.001
铝，ppm ≤
0.5
0.5
0.005
0.01
0.01
0.001
铅，ppm ≤
0.4
0.05
-
0.01
0.01
0.001
钾，ppm ≤
0.1
0.1
0.01
0.01
0.01
0.001
钙，ppm ≤
1
0.2
0.05
0.01
0.01
0.001
钛，ppm ≤
-
0.05
0.005
0.01
0.01
0.001
钒，ppm ≤
-
-
-
0.01
0.01
0.001
铍，ppm ≤
-
-
0.005
0.01
0.01
0.001
金，ppm ≤
-
-
0.003
0.005
0.005
0.001
锂，ppm ≤
1
0.05
0.005
0.01
0.01
0.001
硼，ppm ≤
0.2
0.05
0.03
0.03
0.02
0.001
镓，ppm ≤
0.5
0.02
0.003
0.01
0.01
0.001
锗，ppm ≤
-
-
-
0.01
0.01
0.001
铬，ppm ≤
0.1
0.02
0.01
0.01
0.01
0.001
钼，ppm ≤
-
-
0.005
0.01
0.01
0.001
锡，ppm ≤
-
-
0.03
0.01
0.01
0.001
铊，ppm ≤
-
-
-
0.01
0.01
0.001
铂，ppm ≤
-
-
0.003
-
-
-
硒，ppm ≤
-
-
0.5
-
-
-
锶，ppm ≤
-
-
0.001
0.01
0.01
0.001
钽，ppm ≤
-
-
-
-
0.01
0.001
汞，ppm ≤
-
-
0.002
-
-
-
铋，ppm ≤
-
0.02
0.005
0.01
0.01
0.001
钴，ppm ≤
0.5
0.02
0.005
0.005
0.005
0.001
颗粒，个/mL ≤
（≥10µm）
30
（≥5µm）27
（≥2µm）3
（≥0。5µm）
25
（≥0。5µm）
25
（≥0。5µm）
5
电子用硝酸指标
项
目
指标
低尘高纯
MOS
BV-1
含量（HNO3） % ≥
69.0-71。0
69.0-71。0
70.0
杂质最高含量（以10-6计）
灼烧残渣，ppm ≤
5
5
-
低氮氧化物（以N2O3计），ppm ≤
-
1
1
磷酸盐，ppm ≤
0.5
0.5
0.05
氯化物，ppm ≤
0.5
0.5
0.05
硫酸盐，ppm ≤
0.3
0.5
0.1
钠，ppm ≤
1
0.3
0.05
镁