1、H:\精品资料\建筑精品网原稿ok（删除公文）\建筑精品网5未上传百度
单靶镀膜工艺操作规范
1. 适用范围
2. 本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。
3. 技术要求
2.1铝靶的直径≥60mm;
2.2压缩空气的压强应达到0.4～0.6Mpa;
2.3镀膜操作室的室温小于35℃, 相对湿度小于70%RH;
2.4镀室内清洁, 无灰尘、 异物。
4. 操作步骤
3.1工作准备
3.1.1打开压缩空气阀门, 检查空气压强是否达到0.4～0.6Mpa。
3.1.2打开冷却循环水阀门, 同时检查通水状况是否良好, 各水管的接头和阀门有
无泄漏。
2、
3.1.3检查氩气、 氮气两种气体的联接状况, 看接头是否有泄漏,分别打开氩气、 氮气的总阀。
3.2开机
3.2.1开启本机电源。
3.2.2将机箱控制面板上的电源开关置于”开”的位置, 手动状态下, 打开”机械泵”, 延时1分钟后, 压差阀自动打开, 按下”前级阀”按钮, 当电离计显示数值低于8Pa时, 开”机械泵扩散泵”, 扩散泵加热。扩散泵加热温度超过160℃后, 方可进行正常的操作。
3.2.3缓慢调节氩气、 氮气减压阀, 得氩气、 氮气的低压表读数控制在0.1-0.2MPa之间。
3.2.4打开质量流量计显示器电源开关。
3.2.5打开计算机电源, 输入工艺卡片中规
3、定的工艺参数。
3.2.6打至 ”放气”按钮, 放完气后打到”停”, 然后打开镀室门。
3.3装管
3.3.1打开转架电源开关, 将合格内管插入转架插杆。装管时, 预先戴好一次性手套, 外层再戴上干净的细纱手套, 戴好之后不许触摸其它物品, 如门、 车把、 桌椅等。
3.3.2玻璃管全部插满插杆后, 观察每支管子的自转状态, 确定玻璃管间无碰撞后, 关闭转架电源开关, 关闭镀室门。
3.4粗抽真空
将”前级”拨到”停”拨到”粗抽”系统进入”粗抽”, 复合计开始显示读数。
3.5精抽真空
当复合计显示值小于8Pa时, 将按钮由”粗抽”拨到 ”停”然后到”前级”再到”高阀”。
3
4、6溅射镀膜
3.6.1当高真空达到工艺设定( 复合计显示值) 后, 将按钮达到”光栏”按下”氩气”开关将质量流量计达到”自动””阀控”。开始进氩气。
3.6.2打开转架旋转电源开关、 慢慢调至80±10V。
3.6.3当电离计显示到工艺压强时, 打开靶电源, 调节电流旋钮至规定电流值。直到电压达到400V, 按下”运行”开始镀膜。
3.6.4当镀膜机处于溅射工作状态时, 操作工随时观察设备的运行状态, 注意各仪器仪表显示的数值变化, 严格按要求填写《镀膜操作记录》。
3.7装配支架
3.7.1装填支架前, 检查支架清洗是否干净, 焊接是否牢固。
3.7.2支架装填到外管的圆头部
5、 装填时应避免划伤外管的内壁。装填支架必须使用专用工具并配戴一次性手套, 不得用手直接接触支架以免造成污染。
3.8终止溅射镀膜
计算机程序运行到1秒后, 执行如下操作:
当镀室内真空度达到9.0×10-2Pa以上后, 将”高阀”关闭, 达到”前级”状态, 将按钮达到”放气”放完气后达到”停”
3.9出管
3.9.1取管: 手握已镀膜管下部垂直往上提, 使管口脱离转架轴, 将镀膜管移出镀
室。
3.9.2内外管装配: 手握已镀膜内管, 管口向上, 管身竖直放入外管中; 放入时应注意避免内管的圆头划伤外管内壁, 使其轻缓下落, 直至接触到支架。内管装入外管后, 按住内管
6、端口往下轻压, 使支架包住圆头。
3.10连续工作时重复3.3～3.9的操作步骤。
3.11产品经自检合格后, 由操作工在内管管口部位印上工号, 转下工序。
3.12 关机
当镀膜机要停止工作时, 执行如下机程序:
3.12.1在镀膜机停止工作前, 先关镀室门, 打开 ”粗抽”按钮, 将镀室真空度抽到8Pa以下。
3.12.2然后将”粗抽”拨到”停”拨到”前级”, 将按钮”机械泵扩散泵”拨到”机械泵”, 冷却( 60℃之后) 关掉”前级”关掉”机械泵”。
3.12.3关两气总阀( 高压、 低压) 。
3.12.4关循环水, 关电源总开关。
3.12.5若设备关机后长期停放, 则需放净水套及盘管内的循环水, 并用高压空气吹干。
4. 质量标准
整体膜色均匀, 管口无明显变浅区, 膜层无划伤、 无脱落; 内外管及卡子装配到位。
5. 检查方法
目测
浙ICP备2021020529号-1 | 浙B2-20240490 
