单靶镀膜工艺操作规范.doc

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单靶镀膜工艺操作规范

1. 适用范围
2. 本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。
3. 技术要求
2.1铝靶的直径≥60mm;
2.2压缩空气的压强应达到0.4～0.6Mpa;
2.3镀膜操作室的室温小于35℃, 相对湿度小于70%RH;
2.4镀室内清洁, 无灰尘、 异物。
4. 操作步骤
3.1工作准备
3.1.1打开压缩空气阀门, 检查空气压强是否达到0.4～0.6Mpa。
3.1.2打开冷却循环水阀门, 同时检查通水状况是否良好, 各水管的接头和阀门有
无泄漏。
3.1.3检查氩气、 氮气两种气体的联接状况, 看接头是否有泄漏,分别打开氩气、 氮气的总阀。
3.2开机
3.2.1开启本机电源。
3.2.2将机箱控制面板上的电源开关置于”开”的位置, 手动状态下, 打开”机械泵”, 延时1分钟后, 压差阀自动打开, 按下”前级阀”按钮, 当电离计显示数值低于8Pa时, 开”机械泵扩散泵”, 扩散泵加热。扩散泵加热温度超过160℃后, 方可进行正常的操作。
3.2.3缓慢调节氩气、 氮气减压阀, 得氩气、 氮气的低压表读数控制在0.1-0.2MPa之间。
3.2.4打开质量流量计显示器电源开关。
3.2.5打开计算机电源, 输入工艺卡片中规定的工艺参数。
3.2.6打至 ”放气”按钮, 放完气后打到”停”, 然后打开镀室门。
3.3装管
3.3.1打开转架电源开关, 将合格内管插入转架插杆。装管时, 预先戴好一次性手套, 外层再戴上干净的细纱手套, 戴好之后不许触摸其它物品, 如门、 车把、 桌椅等。
3.3.2玻璃管全部插满插杆后, 观察每支管子的自转状态, 确定玻璃管间无碰撞后, 关闭转架电源开关, 关闭镀室门。
3.4粗抽真空
将”前级”拨到”停”拨到”粗抽”系统进入”粗抽”, 复合计开始显示读数。
3.5精抽真空
当复合计显示值小于8Pa时, 将按钮由”粗抽”拨到 ”停”然后到”前级”再到”高阀”。
3.6溅射镀膜
3.6.1当高真空达到工艺设定( 复合计显示值) 后, 将按钮达到”光栏”按下”氩气”开关将质量流量计达到”自动””阀控”。开始进氩气。
3.6.2打开转架旋转电源开关、 慢慢调至80±10V。
3.6.3当电离计显示到工艺压强时, 打开靶电源, 调节电流旋钮至规定电流值。直到电压达到400V, 按下”运行”开始镀膜。
3.6.4当镀膜机处于溅射工作状态时, 操作工随时观察设备的运行状态, 注意各仪器仪表显示的数值变化, 严格按要求填写《镀膜操作记录》。
3.7装配支架
3.7.1装填支架前, 检查支架清洗是否干净, 焊接是否牢固。
3.7.2支架装填到外管的圆头部, 装填时应避免划伤外管的内壁。装填支架必须使用专用工具并配戴一次性手套, 不得用手直接接触支架以免造成污染。
3.8终止溅射镀膜
计算机程序运行到1秒后, 执行如下操作:
当镀室内真空度达到9.0×10-2Pa以上后, 将”高阀”关闭, 达到”前级”状态, 将按钮达到”放气”放完气后达到”停”
3.9出管
3.9.1取管: 手握已镀膜管下部垂直往上提, 使管口脱离转架轴, 将镀膜管移出镀
室。
3.9.2内外管装配: 手握已镀膜内管, 管口向上, 管身竖直放入外管中; 放入时应注意避免内管的圆头划伤外管内壁, 使其轻缓下落, 直至接触到支架。内管装入外管后, 按住内管端口往下轻压, 使支架包住圆头。
3.10连续工作时重复3.3～3.9的操作步骤。
3.11产品经自检合格后, 由操作工在内管管口部位印上工号, 转下工序。
3.12 关机
当镀膜机要停止工作时, 执行如下机程序:
3.12.1在镀膜机停止工作前, 先关镀室门, 打开 ”粗抽”按钮, 将镀室真空度抽到8Pa以下。
3.12.2然后将”粗抽”拨到”停”拨到”前级”, 将按钮”机械泵扩散泵”拨到”机械泵”, 冷却( 60℃之后) 关掉”前级”关掉”机械泵”。
3.12.3关两气总阀( 高压、 低压) 。
3.12.4关循环水, 关电源总开关。
3.12.5若设备关机后长期停放, 则需放净水套及盘管内的循环水, 并用高压空气吹干。
4. 质量标准
整体膜色均匀, 管口无明显变浅区, 膜层无划伤、 无脱落; 内外管及卡子装配到位。
5. 检查方法
目测