半导体气体特性及系统介绍演示幻灯片.ppt

Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,半导体气体特性介绍,1.Bulk Gas,大宗气体,2.Specialty Gas,特气,一,.,大宗气体供应系统,-Bulk Gas Supply System,1.,什麼是大宗氣體,:,一般指用量較大的氣體,無色無味無臭,但仍有潛在,的危險,(,部分具窒息性,),.,*CDA(UCCA)/IA,壓縮乾燥空氣,/,儀器推動空氣,/,呼吸用空氣,*,HPCDA(HCDA),高壓壓縮乾燥空氣,*,GN2 -,一般氮氣,*,PN2 -,純化氮氣,*,PHE -,純化氦氣,*,PAR -,純化氬氣,*,PO2 -,純化氧氣,*,PH2 -,純化氫氣,2.,主要用途介紹,:,*,CDA,作為,Fab,中氣動設備,(,如,Pump),的氣源 及 吹淨,(Purge),作為,Local Scrubber,助燃的氣源,*,IA,作為廠務系統氣動設備的氣源 及 吹淨,(Purge),*,HPCDA,黃光區,Scanner,機台專用,(,移動平台,/,使,Filter,緊靠,),*,GN2,/,PN2,-,作為部分氣動設備氣源 及 提供惰性的氣體環境,Pn2,主要的功能為 吹淨,(Purge),*,PO2,-,提供製程中氧化的作用,*,PAR,作為製程中濺渡的傳導介質,*,PHE,-,作為製程中冷卻晶片的氣源,*,PH2,-,提供燃燒,烘烤的作用 及其他反應,二,.,特殊,氣體供應系統,-Specialty Gas Supply System,1.,什麼是特殊氣體,:,一般指用量小,極少用量便會對人體造成生命威脅,的氣體,特殊氣體分類大致如下,*,易燃性氣體,Flammable Gas,*,毒性氣體,Toxic Gas,*,腐蝕性氣體,Corrosive Gas,*,低壓性,/,保溫氣體,Heat Gas,*,惰性氣體,Inert Gas,3.,气体标签的颜色,簡介,:,*,CDA,白色,*,GN2 PN2,橘红色,*,PO2,黑色,*,PHe PAr,绿色,*,PH2,红色,*,氧化性气体,:,黑色 如,O3,*,易燃性氣體,:,红色 如,SIH4,PH3,H2,.,*,毒性氣體,:,红色 如,CO,NO,CLF3,.,*,腐蝕性氣體,:,如,NH3,SIF4,CL2,.,*,惰性氣體,:,绿色,如,SF6,C4F8,N2O,.,2.,特殊氣體特性簡介,:,*,易燃性氣體,:,燃點低,一洩漏與其他氣體相混,便易引起爆炸及燃燒,如,SIH4,PH3,H2,.,*,毒性氣體,:,反應性極強,強烈危害人體功能,如,CO,NO,CLF3,.,*,腐蝕性氣體,:,易與水份起反應而產生酸性物質,有刺鼻,腐蝕,破壞人體的危險,性 如,NH3,SIF4,CL2,.,*,低壓性,/,保溫氣體,:,屬黏稠性液態氣體,需包 加熱線 及 保溫棉,將管內的溫度升,高以使其氣化,才能充分供應氣體,如,WF6,BCL3,DCS,.,*,惰性氣體,:,又稱窒息性氣體,當洩漏出的量使空氣中含氧量減少至,16%6%,以,下時,便會影響人體,甚至死亡,如,SF6,C4F8,N2O,.,标签的粘贴方式,气体标签,气体标签内容要与管道内气体一致；,气体标签的方向要与气体走向一致；,气体标签粘贴，要符合以下规定：,1,）在直管段每,2,米一个,;,2,）弯头两头应贴标签；,3,）与原有系统的标签位置平齐；,4,）在机台,POU,处、阀箱进口、,VMB,出口、,VMP,出口、,阀前和阀后、上,IC,洞口处要有气体标签,;,5),粘贴气体标签要以易看见为标准；如：在高处水平管道的标签应贴在管道下半圆两侧,90,度范围内。,6),粘贴标签要美观,保证标签与管道平行,居中,无残缺,褶皱,翘曲,机台名标签,机台名标签内容要与管道所属机台一致；,机台名标签的方向要与气体走向一致；,机台名签粘贴，要符合以下规定：,1,）在连接,takeoff,piont,水平管道正下部、,VMB&VMP,面板上管道左侧要有机台名标签,;,2),粘贴标签要美观,保证标签与管道平行,居中,无残缺,褶皱,翘曲,;,Takeoff piont,号码标签,T,akeoff,piont,号码标签内容要与管道所属,T,akeoff,piont,一致；,T,akeoff,piont,号码标签的方向要与气体走向一致；,T,akeoff,piont,号码标签粘贴，要符合以下规定：,1,）在进泵的阀组的阀前,在,Fab,地板下盘面上,在,Fab,地板下阀箱内,在,Fab,地板下无盘面的管道阀前,要有,T,akeoff,piont,号码标签,;,2),粘贴标签要美观,保证标签与管道平行,居中,无残缺,褶皱,翘曲,;,3),在进泵阀组的阀前的,T,akeoff,piont,号码标签,应该在气体标签上面,紧挨着粘贴,.,