谈设备与工艺管道开车前的化学清洗方案.docx

方案I 设备、工艺管道开车前的化学清洗方案
1.编制说明
根据业主和EPC(信息产业电子第十一设计研究院)技术交底的要求：合成、精馏提纯、还原整理、尾气回收、氯硅烷储存及外管等（部分）工艺管道和设备，在安装前后必须保证一定的洁净度要求，循环水系统必须进行清洗预膜。本方案的编制还参照了我们以往在亚洲硅业（青海）1200吨/年、黄河水电新能源公司（青海）1500吨/年和浙江中宁硅业（衢州）2×1500吨/年多晶硅装置的清洗经验和施工方法，结合浙江协成硅业多晶硅生产装置的特点，加以修改和完善。中标后，将根据图纸和设计的具体要求编制详细技术方案予以指导施工。
2.编制依据
2.1 HG 20202-2000《脱脂工程施工及验收规范》；
2.2 HG/T 2387-2007《工业设备化学清洗质量标准》；
2.3 HB5282-84《不锈钢酸洗钝化质量检验》；
2.4 SJ20893-2003《不锈钢酸洗与钝化规范》；
2.5 JB/T6896-93《空分设备表面清洁度》；
2.6 HG/T 3523-2008《冷却水化学处理标准腐蚀试片技术条件》；
2.7 GB8923-88《涂装前钢材表面锈蚀等级和除锈等级》；
2.8 GB 8978-1999《污水综合排放标准》；
3.清洗目的
多晶硅厂是一个纯度要求高、工艺复杂、设备种类众多的化工系统（部分具备冶金系统和半导体电子元器件的特点）。为了减少工艺系统调试时净化处理的时间，最大限度地降低调试费用（系统净化处理阶段的废品率高，产品产出价值低），使得装置早日生产出高纯度多晶硅产品，必须做好工艺设备和工艺管道安装前的清洗处理工作。针对不同的工艺要求、不同的设备材质以及不同的设备类型、清洗处理要求和达到的基本标准（达到无油、无水、无尘与无杂质的四无要求和循环水的预膜要求）需要采取不同的清洗方法，清洗施工工艺可划分为四类：喷淋清洗、循环清洗、浸泡清洗（槽浸法和灌浸法）和擦拭清洗。
4.清洗范围和洗前准备
4.1清洗范围
4.1.1本次清洗主要针对浙江协成硅业有限公司千吨级多晶硅装置，工程中所涉及的合成、精馏提纯、还原整理、尾气回收、氯硅烷储存及外管等（部分）相关的设备（塔、罐、储槽、换热器、机泵和阀门管件等）及相应的不锈钢管道和碳钢管道，详见4.1.2。
4.1.2清洗工作范围
4.1.2.1 100工号（一般清洗）
a三氯氢硅合成炉之后走氯化合成料的设备，如储罐、计量罐、空冷器，换热器等；
b工艺管道、尾气（废气）管道；
c氢气管道；
d氮气管道；
e以上设备管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）；
f合成尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。
4.1.2.2 200工号及210工号（一般清洗）
a全部工艺设备，如储罐、换热器（再沸器、冷凝器）、塔器、屏蔽泵等；
b全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道；
c以上设备或管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）；
d尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。
4.1.2.3 300工号 （高纯清洗）
a全部工艺设备，如储罐、气化器、气液分离器、尾气水冷器等；
b全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道，氢气管道；
c以上设备或管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）；
d尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。
4.1.2.4 310工号（一般清洗）
a全部工艺设备，如储罐、换热器、塔器（鼓泡淋洗塔、吸收塔、解吸塔），吸附器、屏蔽泵；
b全部工艺管道、尾气（废气）管道、氮气管道，氢气管道、盐酸气管道、纯水管道；
c以上设备或管道上的工艺阀门、仪表（调节阀、切断阀、流量计、液位计）；
d尾气淋洗界区以内的设备和管道不清洗。
4.1.2.5 500工号（洁净清洗）
氩气管道、真空管道以及这些管道上的阀门、仪表。
4.2.1.6 510工号（洁净清洗）
氮气管道、氢气管道、纯水管道。
4.2.1.7 600工号（一般清洗）
a氮气干燥器之后的管道及阀门、仪表；
b氢气管道及阀门、仪表；
c纯水管道及阀门、仪表；
d除盐水管道及阀门、仪表。
4.2.1.8 650工号（一般清洗）
a氢气站界区以内由设备供应商负责清洗；
b界区以外（厂房围墙外1米）的设备（主要是氢气储罐、缓冲罐）；
c界区以外（厂房围墙外1米）的氢气管道、氮气管道及阀门、仪表。
4.2.1.9 厂区管网（洁净清洗）
a工艺物料（氯硅烷）管道；
b氮气管道、氢气管道、纯水管道；
c上述管道上的阀门、仪表。
4.2.1.10 200工号三氯氢硅产品系统及300工号混合气系统（高纯清洗）
a工艺物料管：从5、7、9级塔塔顶冷凝器以下的冷凝液管、产品管、还原炉进气管、出气管、尾气管到还原尾气水冷器止；
b与上述管道相连的工艺设备：5、7、9级塔的回流液罐3台，5、7、9级塔的三氯氢硅产品罐6台，气化器5台，气液分离器5台（不含塔顶冷凝器和还原尾气冷却器）；
c与上述设备相连的氮气管和尾气管、废气管，从设备到各自的主管道；
d参加反应的主氢气管道，从距离炉子最近的切断阀起到气化起止；
e还原炉置换用氮气管、氢气管，从距离炉子最近的流量计阀组起（含阀组）到进气管止。
4.1.3根据工艺的要求，本次清洗工作的清洗质量等级分为高纯清洗、洁净清洗和一般清洗（含循环水系统清洗预膜）。所有设备和管道的分级，应由业主方在清洗前提出详细的清单，并提出具体的技术指标和具体要求。
4.1.4本次清洗的检验应参照双方共同确认的统一标准和检验方法进行检查验收。具体内容详见表4.1。

清洗级别划分及技术要求 表4.1
清洗等级
质量要求
检验方法
高纯清洗
无油、无水、无锈蚀、无杂质异物和粉尘，无有机碳，不能出现洗涤死区。
黑光灯、露点仪法、目测法和擦拭法
洁净清洗
无油、无水、无锈蚀、无杂质异物和粉尘，所有被清洗表面纯水冲洗合格，使用无油压缩空气（0.3µm过滤器、露点≤-40℃）干燥，用溶剂全面擦拭设备和管道表面。
黑光灯、露点仪法、目测法和擦拭法
一般清洗
无油、无水、无杂质异物，使用无油压缩空气（0.3µm过滤器、露点≤-40℃）干燥，
黑光灯、露点仪法、目测法
4.2施工前准备
4.2.1清洗作业场地要求
4.2.2作业场地的一般要求
4.2.2.1作业场地的大小应满足日最大工作量的来料暂存、清洗作业、成品暂存的要求，根据工程量大小设置不小于40m×40m的清洗场地，场地浇注厚度为100毫米混凝土地坪，在清洗区铺设软PVC板并焊接固定在地面上，四周设挡水坡，15m×20m的暂存和成品储存的场地，现场设置两间清洗洁净房，地面铺设软PVC板（详见附件1）。
4.2.2.2不锈钢酸洗池、碳钢酸洗池，冲洗水池和钝化池需安装HDPE板衬里，厚度大于8mm，板面与水泥池之间应有膨胀螺栓固定，膨胀螺栓每平方米不少于4颗，螺栓帽应使用HDPE全焊接封闭。
4.2.2.3为保证施工安全及合格成品不被二次污染，施工清洗作业区域地面必须平整、硬化和洁净。预制场地建立能够储存的封闭房屋，屋内要能保持洁净干燥和通风。
4.2.2.4由于施工周期长，施工时处于雨季，为避免下雨影响工期和清洗质量，清洗场地采用钢架及彩钢瓦搭设防雨蓬，清洗场地防雨蓬高4米，四周保持良好通风。
4.2.3作业厂区的安全要求
4.2.3.1作业厂区保持良好的通风效果。
4.2.3.2作业厂区根据工序的不同画出标识标志，设置安全通道。
4.2.3.3为防止清洗液破坏地面，清洗作业区地面铺设软PVC板并焊接成为一张整体，底面用粘合剂粘接在地面上，四周设挡水坡。
4.2.3.4由于作业区内存放和使用有易燃物质，作业厂区放置干粉灭火器。
4.3材料准备
4.3.1管道、设备材料到货，并能分类确定设备、管道材料的清洗等级要求。
4.3.2部分管道已经预制完毕，具备清洗封闭条件。
对于需要在现场对接固定口的管道，尽量分散成能进行清洗池内清洗的预制管段（外部轮廓尺寸应小于10000mm×1000mm×1000mm），并开出坡口进行预安装，清洗完成后进行最后焊接安装。对于清洗等级为一级的管道并无需切割的整管应在开完坡口后进行清洗。
4.3.3清洗所需要的化学药剂已经运至现场，置于专用储藏室。
4.4公用工程
4.4.1根据现场条件冲洗用水源采用现场供自来水，并由纯水机产生超纯水。
4.4.2纯水为设备现场自制，其每小时生产量为2吨，所产生的纯水经过化验符合要求：油含量为零，电导率<15mS/cm，电阻率≥15MΩ.cm ，SiO2<20mg/L，Cl-离子<5mg/L。
4.4.3蒸汽由锅炉引入清洗场区，温度≥100℃，流量达到300Kg/h。
4.4.4清洗现场总电源采用DC380/220V交流电源，总功率达到260KW，须从总配电室接入作业现场。并与安装工程错峰用电。
4.4.5无油干燥空气为设备现场自制，采用阿特拉斯无油螺杆压缩机组，并经过过滤和除水处理。无油干燥空气的质量经检验符合要求：露点≤－40℃，油含量≤0.01mg/m3（21℃），尘埃粒子≤0.3µm。
4.5技术准备
4.5.1施工方案已经监理和甲方审核确定，确认可以实施。
4.5.2专业技术人员对施工操作人员进行技术交底并完成专业培训。
4.5.3所有进场施工人员必须按照《HSE作业指导书及应急方案》的要求认证、培训。
4.6机具准备
4.6.1清洗所用的清洗循环泵、高压清洗机(35MPa一台，16MPa四台)、纯水机、无油空气压缩机干燥设备、锅炉设备已经按规定位置摆放，并能正常使用。
4.6.2检测器具经检验合格，在效验期内。
4.7人员准备及安全防护用品
4.7.1施工管理人员和操作人员已进入现场，并接受甲方关于质量安全管理规定的培训，挂牌作业。
4.7.2操作人员经培训能熟练掌握操作流程。
4.7.3人员作业安全防护用品PPE配置齐全，主要包括防酸碱工作服，洁净连体隔离服，安全帽，防砸鞋，防酸手套，防护眼镜、防毒面具，防护面罩，防水服，防爆轴流风机，防水安全行灯（进入密闭空间作业用）并能有效使用。
5.管道/管道预制件的清洗
5.1不锈钢管道的洁净清洗
根据本装置的特点，不锈钢管道属于洁净清洗范围，为达到洁净清洗的目的，彻底去除不锈钢管道/管道预制件表面的油脂、灰尘和管道预制件焊接安装过程中的产生的焊接氧化皮等，不锈钢管道/管道预制件的技术要求应符合4.3.2的相关要求，清洗共分为以下几个阶段：
水冲洗
清洗
洁净清洗
纯水冲洗
自 检
干 燥
检 验
合格
包 封
不合格
合格
不合格

5.1.1清洗
对于不锈钢整管/管道预制件，纯水冲洗后，先在清洗场的清洗池中采用不锈钢专用清洗剂CM-08以“浸泡”的方式进行清洗，彻底清除不锈钢管道在运输过程中表面粘污的油污、锈垢、灰尘和预制焊接过程中产生的焊接氧化皮等污垢。
浸泡清洗是一种溶解剥离清洗技术，在清洗过程中，将被清洗管道/管道预制件浸入化学清洗溶液中，借助清洗液的溶解剥离作用，使清洗液与被清洗物内表面上的油脂、锈垢进行充分的接触，从而达到清洗的目的。
5.1.2浸泡清洗流程
高压水冲洗→浸泡清洗（脱脂、酸洗、钝化）→纯水冲洗→检验→干燥→包封
5.1.2.1水冲洗
a.冲洗水可采用现场供自来水；
b.采用高压挠性管道喷枪对不锈钢管道/管道预制件逐根冲洗，彻底清除管道内外的灰尘和固体污物，防止杂质污染清洗剂；
c.待冲洗水清澈、管道表面目测无灰尘和污物时，冲洗结束。
5.1.2.2浸泡清洗
a.水冲洗结束后，采用不锈钢浸泡专用清洗剂CM-08对不锈钢管道/管道预制件进行浸泡清洗；
b.浸泡清洗的目的在于彻底清除不锈钢管道/管道预制件在制造、运输过程中表面粘污的油污、锈垢和预制焊接过程中产生的焊接氧化皮，并使其表面产生致密的钝化膜；
c.在浸泡清洗过程中，采用压缩空气对清洗剂进行搅拌，使清洗液浓度均匀；
d.待金属表面油污、锈垢和焊接氧化皮清洗彻底后结束；
e.测试项目
项目
测定时间间隔
项目
测定时间间隔
酸浓度
2次/天
内表面油污检测
（紫外光法）逐根检验
5.1.2.3纯水冲洗
a.浸泡清洗结束后，立即对不锈钢管道/管道预制件逐根采用纯水进行高压冲洗，纯水技术指标应符合4.4.2的要求；
b.水冲洗的目的在于彻底清除管道内外残留的不锈钢清洗剂；
c.采用pH试纸或pH计对冲洗水进行测试，当pH值≥7时结束；
d.测试项目
项目
测定时间间隔
项目
测定时间间隔
pH值
1次/min

5.1.2.4自检
a.水冲洗结束后，对不锈钢管道/管道预制件逐根进行自检，自检合格进入下一步干燥程序，自检不合格的返回再进行浸泡清洗；
b.在强光灯下检测管道内外无锈垢，焊接氧化皮清除干净；
c.在黑光灯下检测管道内外无荧光现象或采用干净的无尘布擦拭无污物；
e.对于清洗等级为洁净清洗的管道，还应进行管道内表面溶剂全面擦洗。
5.1.2.5干燥
使用无油干燥压缩空气：露点≤－40℃，油含量≤0.01mg/m3（21℃），尘埃粒子≤0.3µm，对管道进行逐根吹扫干燥。
5.1.2.6检验
清洗结束后，对不锈钢管道/管道预制件进行检查验收。验收的标准为：被清洗的金属表面可见部分清洁，无油污，无灰尘，其中金属表面油污按照HG20202-2000《脱脂工程施工及验收规范》中的5.0.2的前两项标准中的其中一项执行；
a用波长为320~380nm的黑光灯检查脱脂件表面，无油脂荧光为合格；
b用清洁干燥的无尘布擦拭脱脂件表面，无油脂痕迹为合格；
5.1.2.7包封
a.对于验收合格的不锈钢管道/管道预制件，用管帽、塑料薄膜和胶带对管口进行包封；
b.清洗包封后的管线应尽量减少开口时间和次数，拆开包封对接安装时，须在安装区域搭建临时的洁净区，安装在洁净区域内进行。
5.1.3现场焊接管道预制件的技术要求
在焊接安装时，为防止预清洗干净的管道受到二次污染，对洁净焊接安装提出以下建议和要求：
5.1.3.1对所有的安装工人进行洁净安装教育，增强工人对洁净安装的认知深度。
5.1.3.2安装区域必须搭建临时的洁净区，管道预制应在洁净区域内进行。并保持洁净区内的卫生，做到定时清扫。
5.1.3.3对需要在现场对接固定口的管道，尽量分散成能进行清洗池内清洗的预制管段（外部轮廓尺寸应小于10000mm×1000mm×1000mm），并开出坡口进行预安装，清洗完成后进行最后焊接安装。管道在切割完成后，先进行焊口打磨，管道打磨时必须对管道内部进行防护，先采用软布球（直径为管径的1.2~1.5倍）填入管道内，打磨结束后，将软布球拖出，将管道内部杂质、飞溅物清理干净，同时采用干净的无尘布和丙酮溶剂对管口进行擦拭干净。用清洁干燥的无尘布擦拭脱脂件表面，无油脂痕迹和污物为合格；
5.1.3.4管道焊接时，必须采用氩弧焊打底，防止焊渣和焊瘤进入到管道内；
5.1.3.5焊接完毕后，及时对管口包封；
5.1.3.6严禁工人丢落杂物在管线内部。
5.1.3.7严禁工人随意拆开包封，任何人如果发现包封破损应该及时采取措施进行包封，同时及时通知监理和清洗作业现场工程师共同对管道内部进行清洁检查。如果受到二次污染，必须重新进行清洗。人为原因造成的二次污染清洗费用另行计算。
5.1.3.8建议安装单位也应该准备充足的包封材料，在进行管道连接时打开包封后应该及时进行对接，如果计划改变不进行连接时必须及时包封好已经拆开的包封，严禁在无人情况下管线敞口。
5.2碳钢管道的一般清洗
碳钢管道的清洗等级为一般清洗，碳钢管道/管道预制件可采用浸泡清洗流程或采用系统循环清洗流程，清洗流程如下：
高压水冲洗（循环水冲洗）→加热浸泡脱脂（循环脱脂）→第二水冲洗→浸泡酸洗（循环酸洗）→第三水冲洗→氮气置换→中和钝化→检验→干燥→包封。
5.2.1清洗等级为一般清洗的碳钢管道/管道预制件
5.2.1.1首先在清洗场对管道/管道预制件进行水冲洗，以除去管道/管道预制件内外表面的灰尘和杂质，防止杂质污染清洗剂。
5.2.1.2脱脂处理
将管道/管道预制件吊入脱脂池内进行脱脂处理，温度60～90℃进行脱脂处理，浸泡清洗的目的是利用清洗液使油脂类物质疏松、乳化或分散，变成可溶性物质，使管道/管件表面清洁无油。
a.所需药剂及配比
药品名称 质量分数（%）
氢氧化钠 5～10
碳酸钠 2～5
硅酸钠 2～5
渗透剂JFC 0.5～1.0
表面活性剂（OP-10） 0.5～1.0
b.测试项目
项目
测定时间间隔
项目
测定时间间隔
碱度(酚酞碱度)
1次/2h
温度
1次/0.5h
5.2.1.3脱脂合格后，将管道/管道预制件吊出脱脂池进行第二水冲洗，用水进行冲洗，去除残留在管道/管道预制件表面上的碱液和洗落的污物。并使用黑光灯检测管道/管件内部是否有残留油脂，合格后进行下一道工序。
5.2.1.4浸泡酸洗
将管道/管道预制件吊入酸洗池内进行酸洗除锈，以除去碳钢管道/管道预制件表面的锈蚀产物。酸洗的目的是利用酸洗液与锈垢类物质和腐蚀产物进行化学和电化学反应，生成可溶物，使管道/管件表面清洁。
a.所需药剂及配比
药品名称 质量分数（%）
盐酸 6～8
氢氟酸 2～5
CM-911缓蚀剂 0.1～0.5
还原剂 1～2
b.测试项目
项目
测定时间间隔
项目
测定时间间隔
总铁(Fe2+、Fe3+)
1次/0.5h
酸浓度
1次/0.5h
5.2.1.5酸洗结束后，将管道/管道预制件吊出酸洗池进行第三水冲洗，为防止管道/管道预制件在冲洗过程中产生二次浮锈，第三水冲洗应采用纯水+联氨混合溶液进行冲洗，去除残留在管道/管道预制件表面上的酸液和洗落的颗粒。目测检查管道/管道预制件表面无任何杂质异物为合格。
5.2.1.6中和钝化
将管道/管道预制件吊入钝化池内进行中和钝化处理，提高碳钢金属表面的PH值，使管道/管道预制件内外表面形成钝化膜并具备一定的短期防锈能力。
a.所需药剂及配比
药品名称 质量分数（%）
CM-10混合钝化剂 3～5
b.测试项目
项目
测定时间间隔
项目
测定时间间隔
pH值
1次/0.5h

5.2.1.7验收和干燥包封
a.用波长为320~380nm的黑光灯检查脱脂件表面，无油脂荧光为合格；
b.目视检查管内无杂质异物为合格；
c.使用无油干燥压缩空气：露点≤－40℃，油含量≤0.01mg/m3（21℃），尘埃粒子≤0.3µm，对管道进行逐根吹扫干燥。
d.对于验收合格的碳钢管道/管道预制件，用管帽、塑料薄膜和胶带对管口进行包封；清洗包封后的管线应尽量减少开口时间和次数，拆开包封对接安装时，安装技术建议和要求参照5.1.2执行。
★重点注意：对于被清洗管线上安装的仪表等部件，专门进行溶剂清洗干燥后再安装。需要循环清洗的管路，应在安装结束并经过水压试验后，将管路连接成循环回路进行系统循环清洗，清洗合格后，进行系统预膜处理。
6阀门、管件和部件的清洗
6.1阀门和管件的清洗
6.1.1对入场阀门和管件进行检验，并根据材质的不同来选择不同的清洗方法。不锈钢阀门和管件按照洁净清洗标准进行，进行水冲洗、中性清洗剂CM-02浸泡清洗、蒸汽喷射清洗、溶剂擦拭脱脂、纯水冲洗、检验和干燥包封。对于碳钢阀门和管件应按照一般清洗标准进行水冲洗、中性清洗剂CM-2浸泡清洗、蒸汽喷射清洗、溶剂擦拭脱脂、检验和干燥包封。清洗后的阀门，还应抽样使用纯度≥99.99%的氮气进行气密性实验。
6.1.2阀门和管件内部如有锈蚀时，只进行擦拭清洗，防止酸洗液破坏阀门的光洁密封面。
6.1.3对于球阀、闸阀等腔体内部油脂较多阀门，应使用蒸汽加热脱脂清洗，以彻底清除内部油污。
6.1.4阀门和管件的检验和干燥包封参考管道验收和干燥包封方法执行。碳钢阀门应在包装内添加TH-901气相缓蚀剂进行保护。
6.2部件的清洗
6.2.1塔盘、塔内件、除沫器、液位计、流量计、物料泵、料斗和过滤器等部件，在安装前进行清洗，在清洗场进行清洗，不锈钢部件按照洁净清洗标准进行，进行水冲洗、蒸汽喷射清洗、溶剂脱脂、纯水冲洗、检验和干燥包封。首先进行水冲洗和人工清理，用角磨机和不锈钢丝刷，清理可见部位上的杂质、锈斑、焊渣、焊接飞溅物、毛刺、划伤和深划痕，研磨所有的锐边、倒角、粗焊缝、咬边和其他不规范部位，使其表面光洁度≤3mm，注意保护法兰密封面不受损伤，焊缝打磨不能低于焊缝余高。对于不锈钢部件和表面铁锈的粘污，采用不锈钢专用酸洗钝化膏CM-04（普通型）和不锈钢专用酸洗钝化膏CM-06（焊缝、热压封头专用型）进行清洗。体积小的部件还可浸泡在清洗场的清洗池中，采用不锈钢专用清洗剂CM-08以“ 浸泡”的方式进行。
6.2.2对于清洗质量等级为洁净的塔盘、塔内件、除沫器、液位计、流量计、物料泵、过滤器等部件还应进行纯水冲洗、溶剂擦拭和钝化处理。溶剂可选用优级品丙酮、电子级异丙醇、三氯乙烯或庚烷，溶剂的选择应视被清洗的部件材质现场确定。
6.2.3过滤器应采用解体的方式进行清洗，将滤芯和壳体分开，分别进行浸泡清洗。碳钢类过滤器应进行整体循环清洗方式进行。
6.2.4物料泵的清洗在清洗场内由厂家负责解体进行，不锈钢泵部件使用蒸汽喷射清洗、溶剂擦拭清洗、纯水冲洗。对于碳钢泵应按照一般清洗标准进行水冲洗、中性清洗剂CM-2加热浸泡清洗、蒸汽喷射清洗、溶剂擦拭脱脂、检验和干燥包封。
6.3对于清洗完毕检验合格的部件，采用干燥无油的压缩空气进行干燥，干燥后采用塑料薄膜进行封闭包装，运至现场进行洁净安装。
6.4碳钢部件应按照一般清洗标准进行，液位计、流量计、物料泵、过滤器等部件的清洗方法，参照一般清洗管道的清洗方法执行。
6.5阀门和部件的检验、干燥和包封和现场安装参照管道方法执行。
★重点注意：保持清洗室内通风、重点检查球阀和闸阀腔体、物料泵叶轮内的油污是否清洗干净，物料泵体内部流道表面的清洁度。
7换热器类设备的清洗
对换热器类设备，应分为碳钢和不锈钢两类。须先在清洗场地进行清洗，彻底清理和清洗后再运至现场安装。对于管程和壳程同时需要清洗的换热器，清洗顺序是：应先进行一般清洗，再进行洁净清洗。即由低级向高级的顺序进行清洗，以避免交叉污染。
7.1换热器的洁净清洗（不锈钢）
7.1.1对于固定管板列管式换热器和U形管换热器，应按照管程接管口的位置，在清洗场倾斜放置，进出口端差（75-150mm），并固定牢固。并打开所有管程和壳程接管口和阀门，拆除所有管程盲板。
7.1.2不锈钢类换热器可直接解体进行清理和清洗，清理内容包括：用角磨机和不锈钢丝刷，清理管板、端盖、封头隔板和接管口中的杂质、锈斑、焊渣、焊接飞溅物、毛刺、划伤和深划痕，研磨所有的锐边、倒角、粗焊缝、咬边和其他不规范部位，使其表面光洁度≤3mm，注意保护法兰密封面不受损伤，焊缝打磨不能低于焊缝余高。对于不锈钢焊缝和表面铁锈的粘污，还可以采用不锈钢专用酸洗钝化膏CM-02（普通型）和不锈钢专用酸洗钝化膏CM-03（焊缝、热压封头专用型）进行清洗。体积小、管程和壳程均为不锈钢制的换热器还可在清洗场浸泡清洗，采用不锈钢专用清洗剂CM-08以“浸泡”的方式进行。
7.1.3清理结束后，进行水冲洗，使用高压清洗机（35MPa）水射流对列管、管板、接管口、封头、外壳进行全面冲洗，利用挠性喷枪和管道喷枪对换热器列管逐根进行全面清洗，不锈钢换热器的冲洗水应采用纯水。冲洗结束后，排净管内积水。随后用干燥无油的压缩空气进行干燥，无油干燥压缩空气的质量要求：
露点≤－40℃、油含量≤0.01mg/m3（21℃）、尘埃粒子≤0.3µm
7.1.4对于不锈钢类换热器须进行溶剂人工擦洗，其目的是使换热器的油污和杂质彻底清除。溶剂可选用优级品丙酮、电子级异丙醇、三氯乙烯或庚烷，溶剂的选择应视被清洗的部件材质确定。应采用尼龙绳+溶剂润湿无尘布pig进行擦洗，尼龙绳应经常检查更换，防止因摩擦受损的尼龙绳断裂而造成pig堵塞管道，严禁pig残留在换热管内。擦拭清洗的顺序应该是自上而下。对于U形管换热器，采用高弹性聚氨酯pig弹牵引尼龙绳用压缩空气从管内穿过，并在绳上打结固定无尘布pig弹，浸润溶剂对管内进行逐根清洗。以上作业以pig弹表面无肉眼可见污物为合格。
7.1.5干燥处理
用干燥无油的压缩空气进行干燥无油干燥压缩空气的质量要求：
露点≤－40℃、油含量≤0.01mg/m3（21℃）、尘埃粒子≤0.3µm
7.1.6验收
对于清洗彻底的设备，由业主、监理、委托方和承包方共同进行验收，验收标准为：
7.1.6.1被清洗的金属表面可见部分清洁，无油污、无残余水分；
7.1.6.2油污用波长为320~380nm的黑光灯检查设备表面，无油脂荧光为合格或用清洁干燥的无尘布擦拭脱脂件表面，无油脂痕迹为合格；
验收后，回装换热器的封头（由安装单位完成）并将换热器所有接管口包封后运至现场安装。
7.1.7清洗施工尽量选择在无风无尘时进行，遇扬尘或大风天气暂停施工；
7.1.8换热器验收合格后，及时对各接管口进行包封，包封薄膜不少于两层，口径大于400mm的法兰口应采用三层薄膜分层包封；
7.1.9清洗包封后的设备现场安装时应尽量减少开口时间和次数，拆开包封对接安装时不参与对接的包封口严禁打开，避免二次污染。在安装区域搭建临时的洁净区，安装在临时洁净区域内进行，具体事项请参照5.1.2内容与要求。
7.2换热器的一般清洗（碳钢）
7.2.1对于固定管板列管式换热器和U形管换热器，应按照管程接管口的位置，在清洗场倾斜放置，进出口端差（75-150mm），并固定牢固。并打开所有管程和壳程接管口和阀门，拆除所有管程盲板。
7.2.2碳钢换热器整体进行清洗，清洗步骤为：
水冲洗→加热浸泡脱脂（循环脱脂）→第二水冲洗→浸泡酸洗→第三水冲洗→氮气置换→中和钝化→解体清理→检验→干燥→氮封。
清理内容包括：用角磨机和不锈钢丝刷，清理管板、端盖、封头隔板和接管口中的杂质、锈斑、焊渣、焊接飞溅物、毛刺、划伤和深划痕，研磨所有的锐边、倒角、粗焊缝、咬边和其他不规范部位，使其表面光洁度≤3mm，注意保护法兰密封面不受损伤，焊缝打磨不能低于焊缝余高。
7.2.3清理结束后，进行钝化液冲洗，使用高压清洗机（16MPa）水射流对列管、管板、接管口、封头、外壳进行全面冲洗，利用挠性喷枪对换热器列管逐根进行全面清洗，碳钢类冲洗结束后，排净管内积钝化液。随后用干燥无油的压缩空气进行干燥。
无油干燥压缩空气的质量要求：露点≤－40℃、油含量≤0.01mg/m3（21℃）、尘埃粒子≤0.3µm
7.2.4验收
对于清洗彻底的设备，由业主、监理、委托方和承包方共同进行验收，验收标准为：
7.2.4.1被清洗的金属表面可见部分清洁，无油污，无残余水分；
7.2.4.2油污用波长为320~380nm的黑光灯检查设备表面，无油脂荧光为合格。
验收后，回装换热器的封头（由安装单位完成）并将换热器所有接管口用临时盲板封堵，进行充氮（采用纯度≥99.99%的氮气）保护，同时进行严密性检验。后运至现场安装。
★重点注意：所有换热器清洗操作人员必须穿戴好防护用品（详见14个人劳动防护用品的配备和使用程序）。
8.塔器、汽化器、储罐类设备的清洗
根据现场实际情况和设备尺寸的大小，塔器、汽化器、储罐类设备的清洗分为两种情况进行清洗，即：先清洗后安装和先安装后清洗。其原则是：有人孔、体积大、重量大而且无法解体的设备，应先安装，之后在现场进行清洗。反之先在清洗场进行清洗，然后再安装。
8.1塔器的洁净清洗（不锈钢）
对于塔体筒节式组装塔，应解体后先在清洗场内进行清洗，清洗结束、合格后再由施工方运输至现场组对安装。每个塔体筒节在清洗场内均采用倾斜放置，进出口端差（150～250mm），固定牢固，并打开所有接管口和阀门，拆除所有盲板。
8.1.1用角磨机和不锈钢丝刷，清理筒体、焊缝、接管口、塔盘支撑圈、折流板和溢流堰等塔内件表面的杂质、锈斑、焊渣、焊接飞溅物、划伤、毛刺和深划痕。研磨所有的锐边、倒角、粗焊缝、咬边和其他不规范部位，使其表面光洁度≤3mm，注意保护法兰密封面不受损伤，焊缝打磨不能低于焊缝余高。对于不锈钢焊缝和表面铁锈的粘污，还可以采用不锈钢专用酸洗钝化膏CM-02（普通型）和不锈钢专用酸洗钝化膏CM-03（焊缝、热压封头专用型）进行清洗。
8.1.2清理结束后，进行水冲洗，使用高压清洗机（35MPa）水射流对筒体、焊缝、接管口、塔盘支撑圈、折流板和溢流堰等塔内件表面进行全面冲洗。冲洗结束后，排干塔筒体内的积水，随后用干燥无油的压缩空气进行干燥处理，无油干燥压缩空气的质量要求：露点≤－40℃、油含量≤0.01mg/m3（21℃）、尘埃粒子≤0.3µm。
8.1.3对于不锈钢类塔器和清洗等级为洁净清洗的塔器进行溶剂人工擦洗，其目的是使塔内表面的油污和杂质彻底清除。溶剂可选用优级品丙酮、电子级异丙醇、三氯乙烯或庚烷，溶剂的选择应视被清洗的部件材质确定。利用无尘布或超细纤维毛巾并浸润溶剂对塔内表面进行全面擦洗，为防止污染物的交叉污染，需要经常更换抹布，最后以无尘布表面无肉眼可见污物为合格。
8.1.4干燥
干燥包封无油干燥压缩空气的质量要求：露点≤－40℃、油含量≤0.01mg/m3（21℃）、
尘埃粒子≤0.3µm。
8.1.5验收
对于清洗彻底的塔器，由业主、监理、委托方和承包方共同进行验收，验收标准为：
8.1.5.1被清洗的金属表面可见部分清洁，无油污，无残余水分；
8.1.5.2油污用波长为320~380nm的黑光灯检查设备表面，无油脂荧光为合格或用清洁干燥的无尘布擦拭脱脂件表面，无油脂痕迹为合格；
8.1.6干燥后，将塔器所有接管口和塔体筒节对接法兰包封并封闭人孔后运至现场安装，包封薄膜不少于两层，口径大于400mm的法兰口和塔体筒节对接法兰口应采用三层薄膜分层包封。
8.1.7现场安装
在现场安装时，为防止洁净清洗干净的设备及附属部件受到二次污染，对洁净安装提出以下建议和要求：
8.1.7.1对所有的安装工人进行洁净安装教育，增强工人对洁净安装的认知深度。
8.1.7.2安装区域必须搭建临时的洁净区，安装在洁净区域内进行。塔内件的安装由安装单位和清洗单位共同在现场完成，做到边清洗边安装。以确保塔内的清洁。
8.1.7.3在设备人孔处，必须搭建清洁隔离间，使设备内部与外界进行有效的隔离，同时安装人员在进入设备内部前必须在清洗隔离间更换着装。
8.1.7.4工人在洁净安装时，必须正确着装（包括连体服、洁净鞋、鞋套、面罩、发罩、洁净手套等），否则应禁止进行安装作业。
8.1.7.5安装过程中的所有工器具必须事先进行除尘、脱脂处理，未按要求进行除尘、脱脂处理的工器具应禁止用于洁净安装施工。
8.1.7.6洁净安装时，为防止打磨飞溅物的二次污染，禁止在设备内部进行打磨作业，如必须进行打磨，须在设备外部进行，报告清洗现场工程师，进行现场监督及后续洁净处理。
8.1.7.7严禁工人丢落任何杂物在设备内部。
8.1.7.8严禁工人随意拆开包封，任何人如果发现包封破损应该及时采取措施进行包封，同时通知监理和清洗现场工程师对设备内部进行清洁检查。如果受到污染，必须重新进行清洗。二次清洗的相关要求详见5.1.2中有关的内容和要求。
8.1.7.9安装单位应该准备充足的包封材料，在进行塔体筒节安装时，应在塔体筒节吊装到位后打开包封，不参与对对接的包封口严禁打开。打开包封后应该及时进行安装，如果计划改变不进行安装时必须及时包封好已经拆开的包封，严禁在无人情况下敞口。
8.2汽化器清洗
由于汽化器的内部结构与不锈钢塔器基本相同，所以汽化器的清洗作业参照塔器的施工方法执行，在此不再详细论述。
8.3储罐的洁净清洗（不锈钢）
由于储罐大部分为产品中间储罐或成品储罐，对储罐类设备的洁净程度要求较高，须对储罐类设备进行分类清洗。储罐清洗作业时必须安装防爆轴流风机进行强制通风。
8.3.1参照塔器的清洗方法，首先应对储罐进行前期处理，打开所有人孔、接管口和阀门，拆除所有盲板。用角磨机和不锈钢丝刷，清理筒体、焊缝、人孔、接管口、内件、封头等储罐内表面的杂质、锈斑、焊渣、焊接飞溅物、划伤、毛刺和深划痕，研磨所有的锐边、倒角、粗焊缝、咬边和其他不规范部位，使其表面光洁度≤3mm，注意保护法兰密封面不受损伤，焊缝打磨不能低于焊缝余高。对于不锈钢焊缝和表面铁锈的粘污，还可以采用不锈钢专用酸洗钝化膏CM-02（普通型）和不锈钢专用酸洗钝化膏CM-03（焊缝、热压封头专用型）进行清洗。体积较小的储罐采用不锈钢专用清洗剂CM-08以“浸泡”的方式进行。清理结束后，进行水冲洗，使用高压清洗机（16MPa）水射流对罐体内表面、焊缝、接管口、表面进行全面冲洗，不锈钢储罐的冲洗水可采用纯水。冲洗结束后，排干储罐内的积水。
储罐类设备的清洗方法：对于带人孔的储罐类设备一般采取喷淋清洗，有时也可根据情况进行擦拭清洗。而对于容积较小储罐，可以在清洗场地进行浸泡清洗，清洗结束后再进行现场安装。
8.3.2喷淋清洗
8.3.2.1喷淋清洗的对象
喷淋清洗主要适用于容积较大的大型塔器、立式罐、卧式罐等设备，同时要求设备底部必须有低点排污口。
8.3.2.2喷淋清洗工艺
喷淋清洗是一种循环清洗技术，在清洗过程中，将化学清洗溶液均匀喷洒到所要清洗的系统内表面上，借助清洗液的重力而沿储罐壁流到底部，使清洗液与储罐内壁进行充分的接触，发生化学反应达到清洁系统的要求。通过调整喷淋头的位置，可以使清洗液喷到储罐顶以及储罐内壁，保证整个储罐清洗的洁净度。
8.3.2.3喷淋器和喷淋泵的选择
在喷淋清洗中，喷淋器的设计是比较重要的，喷淋器的设计或选用不当将导致清洗液分布不均，产生清洗死角，直接影响清洗效果。常用的喷淋器头为旋转喷头。在被清洗的储罐内部安装一个或多个旋转喷头，利用水力扭矩驱动喷头，达到使喷头旋转的目的。
在进行储罐的喷淋清洗时，采用清洗泵站进行，清洗泵站采用泵的流量为≤50 m3/h，扬程为≤100m。通过控制喷淋液的流量和压力，使储罐的内表面都能够被清洗到，不留死角，以保证清洗质量。
8.3.2.4喷淋前期的准备工作
a.清除储罐底污垢杂物；
b.喷淋清洗前，将喷淋器安装口的人孔或法兰处用吸水布和防水塑料布封闭；
c.将储罐底部的法兰口打开，接一个临时回液至泵站清洗箱；
d.安装喷淋器，建立循环回路；
8.3.2.5.喷淋清洗工艺
喷淋水冲洗、试漏→喷淋清洗→纯水冲洗→溶剂萃取+风机通风干燥→包封
a.喷淋水冲洗、试漏
①配管工作完成后，使用纯水进行喷淋，检查临时接管是否泄漏；
②喷淋时，通过调整喷淋器的位置和压力，确保所有的被清洗表面都能够喷淋到；
③对储罐内的灰尘、金属碎屑及其它可能存在的污物彻底冲洗；
④待冲洗水清澈、无污物时结束；
b.喷淋清洗
①采用不锈钢专用清洗剂CM-08进行循环喷淋清洗。
②通