上芯工序5S规范.docx

目 录
现场5S管理规范 2
一 小货架上物料放置规范 2
二 检验桌上物料放置规范 3
三 传递盒在货架上放置规范 3
四 传递车上产品放置规范 3
五 静电环的使用规范 3
六 氮气柜中晶圆的放置规范 3
七 氮气柜中引线框架的放置规范 3
八 领班工作桌物料放置规范 3
九 氮气柜中兰膜的放置规范 3
十 设备上记录的放置规范 3
十一 产品传递规范 3

现场5S管理规范
目 的：通过5S管理、规范物料放置、提升工作效率：
使用范围：上芯工序

一 小货架上物料放置规范
序号
图片
说明
备注

1
设备旁边小货架

1. 按标识分类放置整齐；
2. 统一放置在左边；
3. 引线框架要侧放；
4. 不能超出边缘线。

2
设备旁边小货架第一层

1. 小货架第一层放置晶圆提篮、装有产品的传递框、废引线框架或打×产品；
2. 传递框中产品四周要留有缝隙；
3. 装有打×产品的传递盒首尾时要及时清理放置以防混批。

二 检验桌上物料放置规范
序号
图片
说明
备注
1
检验桌

1. 检验桌上物料放置严格按标识位置规范放置；

三 传递盒在货架上放置规范
序号
图片
说明
备注
1
货架上传递盒的放置规范

1. 同一封装形式传递盒整齐放置在货架的同一层并挂上标识牌；
2. 操作员取用时从右向左按序取用；

四 传递车上产品放置规范
序号
图片
说明
备注
1
传递车上产品放置要求

1. 一层最多只能放置4框产品；
2. 流程卡对折放置在第一个和第二个传递盒中间；
3. 操作员放置时流程卡方向要一致;
4. 传递框不能超出传递车边缘（安全）；
5. 统一封装形式不同批次产品不能放置在传递车同一层。

五 静电环的使用规范
序号
图片
说明
备注
1
操作设备时

1.操作设备及时插上静电环；
2.抽检产品时及时插上静电环；

2
检验产品时

1.在检验桌前检验产品时及时插静电环

六 氮气柜中晶圆的放置规范
序号
图片
说明
备注
1
氮气柜外面

1.所有晶圆按标识放置在对应的氮气柜中；

2
氮气柜中的晶圆提篮

1. 氮气柜中的晶圆提篮按规范放置在氮气柜中。

七 氮气柜中引线框架的放置规范
序号
图片
说明
备注
1
框架标签

1. 物料员领用的引线框架按标识分类放置在对应柜中；

2
氮气柜中框架放置规范

1.引线框架统一按规范放置在柜的右侧；

3
框架放置规范

1.一般框架在氮气柜中都要竖放；

4

框架放置规范

1.有盖子的不能竖放的平行放置。

5
框架的取用规范

1.物料员取用框架时按先进先出的原则从左向右取用。

八 领班工作桌物料放置规范
序号
图片
说明
备注
1
领班工作桌

1.按标识规范放置整齐。

2
首尾兰膜放置规范

1.操作员首尾的产品把流程卡、晶圆上芯统计记录、晶圆管制卡对着整齐的放置在兰膜的上面。

九 氮气柜中兰膜的放置规范
序号
图片
说明
备注
1
兰膜氮气柜

1.将首尾兰膜按标识分类放置在对应氮气柜中；

2
氮气柜中记录及兰膜规范

1.氮气柜中记录及兰膜放置规范；

氮气柜中兰膜放置规范

1.兰膜放置规范

十 设备上记录的放置规范
序号
图片
说明
备注
1
设备前面记录放置规范

1.设备前面左面放置流程卡和晶圆管制卡；右面放置设备运行记录；

2
设备上面记录放置规范

1.设备正上面放置《晶圆上芯统计记录》；

十一 产品传递规范

序号
图片
说明
备注
1
产品的传递规范

1.双手抓住传递框，平行传送；

2
传递车的传送规范

1.双手平行推送

制造部上芯工序