常用热式质量流量控制器的种类.docx

热式质量流量控制器的选择方法
◆常用热式质量流量控制器的种类
§通用热式质量流量控制器
价格便宜，反应速度较慢
S49-33 4秒 ,S49-32
§高性能热式质量流量控制器
价格较高，反应速度快
S49-31 2秒，S49-30 1秒
§金属密封热式质量流量控制器
耐污染，多用于大规模成电路制造
§数字式热式质量流量控制器
反应速度快，可直联计算机
§MEMS热式质量流量控制器
反应速速最快，不耐污染
§其他
Fcs等
◆模拟式流量控制器在挑选时应该注意的几个问题
§死区问题
§过冲问题
§反应速度及电气特性问题
◆汇博隆仪器公司在设计中采用的先进技术
§内镜面的毛细管
§改厚度为0.1mm的极薄0.05mm的毛细管,使热传导透过的速度增加了一倍。
§viton® 密封材料

◆旧型S49-33流量控制器的反应特性，开启时（如下图）
绿色线为预设定流量；蓝色线电气输出信号，红色线为实际流量信号
在我公司早期流量计设计中，采用了电特性，气特性的概念，这是在模拟电子线路的设计中，不能够设计出准确反映气特性的电路时的说法。在我公司新的设计理念中，已经合为一个，这也和国际的通用说法相一致了。

◆S49-33流量控制器的反应特性，开启时（如下图）
绿色线为预设定流量；蓝色线电气输出信号，红色线为实际流量信号

◆S49-31型 流量控制器的反应特性，开启时（如下图）
绿色线为预设定流量；蓝色线电气输出信号，红色线为实际流量信号

◆使用32位40MHz计算机和1MIPS12位AD/DA转换器的优点:
32位40MHz的计算机的指令执行周期，相当于8位机的0.1us；12位ad/da意味着他的采样、控制精度达万分之3，也就是说，在1微秒的单位中，检测出万分之3的变化。这对于国内机械制造工艺落后于电子设计的情况下，非常有利。
精确的测量流量的微小变化，在去除噪音的同时，及时地校正和控制气体的流量。
◆S49-300系列 数字式质量流量控制器和质量流量计特点：
§首次采用当今先进的40MHz高速主频、32位ARM系列单片机做数字处理控制。
§采用汇博隆仪器独创的平滑校正概念成功解决流量高速跟踪问题。
§数字化处理的测量线性、精度，及实时动态控制等。响应速度可小于1秒。
§多通道12位精度、采样速率高达1MIPS的AD/DA转换。
§RS232/485串口，Modbus协议，与上位机通讯简单方便。
§配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。