IC封装工艺流程PPT课件.ppt

一一.封装目的封装目的二二.ICIC内部内部结构构三三.封装主要流程封装主要流程简介介四四.产品加工流程品加工流程 1 1简介介InOut2 2ICIC封装属于半封装属于半导体体产业的后段加工的后段加工制程，主要是将前制程加工完成制程，主要是将前制程加工完成（即晶（即晶圆厂所生厂所生产）的晶）的晶圆上的上的ICIC予以分割，黏晶、打予以分割，黏晶、打线并加上塑封并加上塑封及成型。及成型。其成品（封装体）主要是提供一个其成品（封装体）主要是提供一个引接的接口，内部引接的接口，内部电性性讯号可通号可通过引脚将芯片引脚将芯片连接到系接到系统，并避免硅，并避免硅芯片受外力与水、湿气、化学物之芯片受外力与水、湿气、化学物之破坏与腐破坏与腐蚀等。等。封装的目的封装的目的3 3树脂脂(EMC)(EMC)金金线(WIRE)(WIRE)L/F L/F 外引外引脚脚(OUTER LEAD)(OUTER LEAD)L/F L/F 内引脚内引脚(INNER LEAD)(INNER LEAD)晶片晶片(CHIP)(CHIP)晶片晶片托托盘(DIE PAD)(DIE PAD)封装封装产品品结构构4 4傳統傳統 IC 主要封裝流程主要封裝流程-15 5傳統傳統 IC 主要封裝流程主要封裝流程-26 6芯片切割芯片切割(Die Saw)目的：用切割刀将晶圆上的芯片切割分离成单个晶粒(Die)。其前置作业为在芯片黏贴(Wafer Mount)，即在芯片背面贴上蓝膜(Blue Tape)并置于铁环(Wafer Ring)上，之后再送至芯片切割机上进行切割。7 7晶粒黏晶粒黏贴(Die Bond)目的：将晶粒置于框架(Lead Frame)上，并用银胶(Epoxy)黏着固定。导线架是提供晶粒一个黏着的位置(称作晶粒座，Die Pad)，并预设有可延伸IC晶粒电路的延伸脚。黏晶完成后之导线架则经由传输设备送至金属匣(Magazine)内，以送至下一制程进行焊线。8 89 9焊线(Wire Bond)目的：将晶粒上的接点用金线或者铝线铜线连接到导线架上之内引脚，从而将IC晶粒之电路讯号传输到外界。焊线时，以晶粒上之接点为第一焊点，内引脚上之接点为第二焊点。先将金线之端点烧成小球，再将小球压焊在第一焊点上。接着依设计好之路径拉金线，将金线压焊在第二点上完成一条金线之焊线动作。10101111拉力测试(Pull Test)、金球推力测试(Ball Shear Test)以确定焊线之质量。焊线(Wire Bond)测试1212封胶封胶(Mold)目的：1、防止湿气等由外部侵入；2、以机械方式支持导线架；3、有效地将内部产生之热排出于外部；4、提供能够手持之形体。黑胶黑胶-IC透明透明胶胶-IC1313封胶的过程为将导线架预热，再将框架置于压铸机上的封装模具上，再以半溶化后之树脂(Compound)挤入模中，待树脂硬化后便可开模取出成品。Mold Cycle-11414空空空空 模模模模合合合合 模模模模放入放入放入放入L/FL/F注注注注 胶胶胶胶开开开开 模模模模开开开开 模模模模Mold Cycle-21515切脚成型切脚成型(Trim/Form)目的：将导线架上已封装完成的晶粒，剪切分离并将不需要的连接用材料切除。封胶完成之导线架需先将导线架上多余之残胶去除(Deflash)，并且经过电镀(Plating)以增加外引脚之导电性及抗氧化性，而后再进行切脚成型。成型后的每一颗IC便送入塑料管(Tube)或载带(Carrier)，以方便输送。1616去去胶胶/去去纬(Dejunk/Trimming)去去胶胶/去去纬前前去去胶胶/去去纬后后1717去胶（Dejunk）的目的：所谓去胶，是指利用机械模具将脚尖的费胶去除；亦即利用冲压的刀具（Punch）去除掉介于胶体（Package）与（Dam Bar）之間的多余的溢胶。Dam Bar去去胶位置胶位置去去胶胶/(Dejunk)1818去纬（Trimming）的目的：去纬是指利用机械模具将脚间金属连接杆切除。去去纬位置位置外外腳腳位置位置去去纬(Trimming)1919去框（Singulation）的目的：將已完成盖印（Mark）制程的Lead Frame，以沖模的方式将Tie Bar切除，使Package与Lead Frame分开，方便下一个制程作业。Tie Bar去去框框(Singulation)2020成型成型 FormingForming punchForming anvil成型（Forming)的目的：將已去框的Package的Out Lead以连续冲模的方式，将产品的脚弯曲成所要求之形状。2121海海海海 鸥鸥 型型型型插插插插入入入入引引引引腳腳腳腳型型型型J J型型型型成成成成 型型型型 前前前前2222检验(Inspection)在制程当中，为了确保产品之质量，也需要做一些检测(In-Process Quality Control)。如于焊线完成后会进行破坏性试验，而在封胶之后，则以X光(X-Ray)来检视胶体内部之金线是否有移位或断裂之情形等等。一颗已完成封装程序的IC，除了通过电性功能测试之外，在制程管制上必须保证此颗IC要能通过一些可靠性测试，如压力锅测试(PCT)、热冲击测试(TST)、及热循环测试(TCT)、盖印的永久性测试、脚疲劳试验等等。2323SOIC-8 加工流程加工流程2424SOIC-8加工流程加工流程2525SOIC-8加工流程加工流程2626