TFT-LCD简介与生产工艺流程.ppt

sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 1tFt-lcd process 2sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程tFt-lcd structure&principiumTFTThin Film Transistor 薄膜电晶体LCDLiquid Crystal Display液晶显示器v由于TFT-LCD具有体积小，重量轻，低辐射，低耗电量，全彩化等优点，因此在各类显示器材上得到了广泛的应用。3sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程tFt-lcd各结构的功能q背光板模組:提供光的來源.q上下偏光板，TFTGlassSubstrate，液晶：形成偏振光，控制光线的通过与否。q彩色滤光片：提供TFTLCD紅，綠，藍(光的三原色)的來源。qITO透明导电层：提供透明的导电通路。qPhotoSpacer：提供一固定高度給彩色滤光片和TFTGlassSubstrate。作为灌入液晶時的空間.及作为上下两层Glass的支撑。4sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程tFt-lcd显示原理qq液晶简介液晶简介qq光与液晶分子产生的效果光与液晶分子产生的效果qq偏光板的特性偏光板的特性qq将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果效果qqTFT-LCDTFT-LCD显像原理显像原理 5sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程TFT-LCD使用的液晶为TN（TwistNematic）型液晶，液晶分子呈椭圆状。qTN型液晶一般是顺着长轴方向串接，长轴间彼此平行方式排列。q当接触到槽装表面时，液晶分子就会顺着槽的方向排列于槽中。液晶简介 6sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程光与液晶分子产生的效果q当线性偏极光射入上层槽状表面时，此光线随着液晶分子的旋转也产生旋转。q当线性偏极光射出下层槽状表面时，此光线已经产生了90度的旋转。7sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程偏光板的特性作用：将非偏极光（一般光线）过滤成偏极光。当非偏极光通过a方向的偏光片时，光线被过滤成与a方向平行的线性偏极光。v右上图：线性偏极光继续前进，通过第二片偏光片时，光线通过。v右下图：通过第二片时，光线被完全阻挡。8sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果（1）v当上下偏光片相互垂直时，若未施加电压，光线可通过。9sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程v当施加电压时，光线被完全阻挡。将偏光板、槽状表面、液晶组合后产生的光学效果（2）TFT LCD简介与生产工艺流程tFt-lcd显像原理（1）sunyestFt-lcd显像原理（2）sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 12sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 Color Filter Fabrication ProcessColor Filter Fabrication ProcessTFT Array ProcessLiquid Crystal Cell ProcessModule Assembly ProcesstFt-lcd process 13c/F processsunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 14sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程ito透明导电层的作用sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程 16sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程v因TFT组件的动作类似一个开关(Switch)，液晶组件的作用类似一个电容，藉Switch的ON/OFF对电容储存的电压值进行更新/保持。vSW ON时信号写入(加入、记录)在液晶电容上，在以外时间 SW OFF，可防止信号从液晶电容泄漏。v在必要时可将保持电容与液晶电容并联，以改善其保持特性。tFt array 等效电路 17sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程这是5次光刻形成TFT图形，采用底栅背沟道刻蚀的工艺。以玻璃为基板。第一次光刻形成栅线原料为Cr。第二次光刻形成“硅岛”SiNx，a-Si，n+-a-Si层，第三次光刻形成ITO导电膜，第四次光刻形成源极漏极，材料为Cr，并进行n+切断，基本形成TFT。最后第五次光刻形成SiNx保护膜。tFt-array processDataBusLineandS/DMetalSputteringDataBusLineandS/DPatterningUsing4thMASKEtch-Backofn+a-SiUsingS/DLayerasaMASKPassivationSiNxDepositionUsingPECVDPassivationSiNxAtchUsingRIE 18sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程cell process(1)19sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程cleaning 20sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程pi coating淡黃色淡黃色8001200q将PI液滴在AniloxRoll上。qDoctorRoll将AniloxRoll上的PI液整平。qAPR板上的圆型凸出物将AniloxRool凹槽内PI挤压出来并带走。q将APR板上PI均匀转印到基板上，提供液晶配向层。21sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程pi rubbingPI膜配向:基板和Roller成45度角,TFT和CF基板方向差90度.Roller高速旋轉時,絨毛上的纖維會甩立起來,將PI膜刷出紋路.Rubbing的情況,類似於重鋪柏油馬路之前的刨路機,將路面刨出紋路.配配 向向 絨絨 布布 22sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程cell process(2)23sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程seal printing 24sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程vSpacerSpray制程：将间隙粒子均匀地分布在基板上，以作为TFT与CF间的支撑，使整个面板拥有均匀的间隙。spacer spray 25sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程湿式洒布 26sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程hot pressure 27sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程Hot PressHot Press 28sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程cell process(3)29sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程scribing&breaking 30sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程1ST CUTTING2ND CUTTINGcutting method 31sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程对设备的影响q玻璃基板的尺寸变大直接音响电极图案形成设备。（Array）e.g.成膜设备：占地面积加大与确保膜厚均匀性等问题。e.g.湿式设备：更换效率与节省水等问题。q切割尺寸增大直接影响面板组装设备。（CELL）e.g.液晶注入设备：处理时间过长等问题。q次代交替快，产品生命周期短，厂商设备开发成本高。lcd面板世代sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程lc injectionv将容器抽真空v将装有LC的容器上升与PANEL的注入端接触，此时LC通过毛细现象上升。v过一段时间后充入洁净的空气或氮气破真空至常压。v通过真空差压的原理，LC经过一段时间后充满PANEL。33sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程v目的：将灌好目的：将灌好LC的的PANEL封口。封口。end seal 34sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程bevelingv目的：将切裂后的玻璃毛边用磨轮磨出倒角，并去除外围的短路棒（ShortingBar）35sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程polarizer attachmentv上下偏光片滤光角度差90度偏光片貼附偏光片貼附 36sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程cell testv目的：用电性能测试的方式检测做完的PANEL，看是否有缺陷。v方法：将DateLine的R线并连，G线并练，B线并连。Full dot test 37sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程tFt in china 38sunyesTFT LCD简介与生产工艺流程Thanks!