PhoeniX L 300 氦质谱检漏仪.doc

PhoeniX L 300 氦质谱检漏仪

　　 继享有盛名的UL100,UL200和L200系列之后，莱宝真空公司最新推出了新一代 PhoeniXL 300 型氦质谱检漏仪。
　　 该型号系列检漏仪集快速、可靠、灵敏及易于操作为一身。适用于广大用户的不同种类的检漏要求。
　　 PhoeniXL 300 是最新一型的便携式氦质谱检漏仪，它适用于各式各样的检漏模式及环境，是广大用户可以选择和信赖的理想产品。
PhoeniXL 300 从静止开始启动，2分钟之内就可以开始工作。内部标准漏孔可以在任时候对仪器进行校正，使检漏更加可靠有效。最小可检到5×10 -12 mbar.I/S的漏率，让仪器的灵敏度又达到了一个新的高度。
PhoeniXL 300 允许用户在15mbar的高压强下开始检漏，为用户检大漏提供了方便。
PhoeniXL 300 Dry是最新型的干式检漏仪，它不会给用户带来任何的油污染，适用于超净间及其他无油真空。
　　 用户还可以根据自己的要求，或选择大抽速前级泵，或选择检测盒，来满足检大容器，或满足电子元气件检漏需要。
　　 Leybold设计独特的吸枪和快速吸枪，可以使用户在吸氦模式检漏中不放过任何一个可疑漏点。
广泛的应用
? 元部件气密性检测
? 科学研究
? 真空炉、镀摸设备等装置或系统生产和维护时气密性检测
? 分析仪器
? 高真空和超高真空的工程
? 半导体晶圆制造
? 发电厂及变压器检漏
? 电子显微镜
? 汽车空调、汽车发动机
? 真空冶炼
? 更高的灵敏度，更好的清除氦本底能力 PhoeniXL 300
性能特点
? 卓越的人性化设计，带给您简单快捷的操作。
? 结构紧凑，体积小巧，重量轻，便于移动。
? 超高灵敏度（5×10 -12 mbar.I/S）让您检到更小的漏孔。
? 彩色LCD液晶使用寿命更长，显示更加清楚明晰。
? 机械部分与电路完全分开，避免了温度、电磁场等的彼此干扰，使仪器运行更加定可靠。
? 每台检漏仪配有两只长寿命灯丝（离子源3年质保期），让用户可以更加放心的长久使用。
? PhoeniXL 300 氦质谱检漏仪保留了诸多莱宝公司经久不衰的真空器件，沿袭了莱宝一贯的优秀品质。
? 新型的复合式带分流口的分子泵提高了对氦的抽气速度，缩短了清除氦本底时间，有效防止氦污染。
? 选配莱宝独特的吸枪，让用户在吸氦模式检漏中不放过任何一个可疑陋点。
? 在15mbar的高压强下就可以开始检漏，为用户检大漏供了可能。
? 质谱室采用180度扇形偏转磁场，其功能的稳定可靠已在众多类型的检漏仪中得到验证。
? PhoeniXL 300 Dry是最新型的干式检漏仪，它不会给用户带来任何的油污染，适用于超净间及其他无油真空。
? 按下一个按键即可快速清除任何现存的氦本底信号（自动抑零功能）
? 带内置标准漏孔，可随时对仪器进行自动校准。
? 选配手持遥控单元，可有效的进行长距离遥控检测。
? 可检漏率跨11个量程。
? 可选择质量数为2、3、4的气体作为示踪气体
? 用户通过操作面扳上的按键可以自行选配使用sps插口。
? PhoeniXL 300 Modul型检漏仪，其前级泵可选择大抽速机械泵，从而更经济有效得实现对大体积设备的检漏。

比L200+更加优越的性能
? 开机准备时间更短，由3分钟缩短到2分钟。
? 灵敏度更高。由10×10 -12 mbarI/S提高到5×10 -12 mbar I/s
? 最大允许入口压强（不带分流泵）由3mbar提高到15mbar。
? 对氦气的抽速（不带分流泵）由1I/S提高到2.5I/S。
? 更加直观的LCD显示界面。

更快速，更好用，更底的运行成本 PhoeniXL 300

维护方便
PhoeniXL 300 氦质谱检漏仪的内部设计中，全部采用了莱宝公司自行制造的设备及产品，所有设备齐全，维修快速方便机械部分与电路完全分开，避免了温度、电磁场等的彼此干扰，使仪器运行更加稳定可靠，同时也方便了维护时零部件的拆装。
　　 故障自检和故障信息提示使故障判断变得更加简单容易。
　　 发热部件如前级泵的马达和分子泵的电源都采用了热屏蔽，并用导向用导向的气流冷却，同时气路中有过滤装置。
　　 质谱仪的前置放大器被安装在一个密闭的金属盒内，以保护不受外部环境如空气中水蒸气的影响。
PhoeniXL 300 的设计使得它的零部件都非常容易拆装，维护所需时间被缩短到了最低水平。
　　 维护及维修工作完全在国内进行。

先进的操作面板及软件
　　 带液晶显示屏的操作面板，提供多种检漏结果样式显示，先进的操作软件让用户工作起来更加得心应手。

低运行成本
? PhoeniXL 300 氦质谱检漏仪运行成本低，并为用户节省了时间。
? 操作上方便用户
? 启动迅速
? 为用户提供值得信赖的测量结果
? 离子源内有两条可自动切换涂有氧化钇的铱灯丝，以确保离子源长久寿命。

　　 另外，莱宝真空 PhoeniXL 300 的离子源提供36个月的质保期
　　 *指在规定的正常使用条件下
PhoeniXL 300 Modul
PhoeniXL 300 Modul与 PhoeniXL 300 完全相同，只是没用前级泵，客户可以根据实际的应用选择合适的油封式旋片泵或无油的干式泵做前级，再辅以特制的小车，使得 PhoeniXL 300 Modul在性加比上优于其他品牌的大型检漏仪。
PhoeniXL 300 专用吸枪
　　 Leybold设计独特的吸枪和快速吸枪，使 PhoeniXL 300 在吸枪模式下的检漏效果远远优于其他品牌的同类产品。因此特别适用于电厂和制冷行业的检漏。
PhoeniXL 300 Dry干式检漏仪
　　 配有scroll干泵的 PhoeniXL 300 Dry干式检漏仪可以应用于半导体等所用需要干式检漏的应用，及在超净间内工作的需要。
手持遥控单元
　　 可摘下的手持单元可远距离控制 PhoeniXL 300 。一根长12尺（4米）的高柔性电缆连接手持单元，用加长电缆可增长至100尺（32米）你可用手持单元启动和控制检漏所需的全部功能。
　　 在手持单元上有发光二极管条图显示漏率或压强，指数由数字显示。

4个按键部位易懂和易用
? 启动
? 停止/放气
? 抑零
? 音量
　　 手持单元的结构特别牢固，以便在条件最差的工业环境中可靠的使用。
技术参数 ：

PhoeniXL 300
PhoeniXL 300 Drv
PhoeniXL 300 Modul
最小可检氦漏率（真空模式）
Mbar.I/S
<5×10 -12
<3×10 -11
<5×10 -12 /<8×10 -12
最小可检漏率（吸枪模式）
Mbar.I/S
<1×10 -7
<1×10 -7
<1×10 -8
最大可检氦漏率（真空模式）
Mbar.I/S
>0.1
>0.1
>0.1
抽气口允许最大压强
Mbar
15
15
15
分流方式下抽气口允许最大压强
Mbar
1000
-
-
设计名义抽速
M*m*m
2.5(50Hz)
3 (60Hz)
1.6 (50Hz)
1.8 (60Hz)
16/20(50/60Hz)D16B
25/30(50/60Hz)D25B
30/36(50/60Hz)Scroll
对氦的抽速
I/S
>2.5
>2.5
>2.5
带 D16B 泵时的分流抽速
I/S
16 （ 50Hz ）

带 D25B 泵时的分流抽速
I/S
25 （ 50Hz ）

氦信号的反应时间
S
<1
<1
<1
检漏仪启动时间
Min
<2
<2
<2
质谱仪

180 度扇形偏转磁场

可检质量数
Amu
4:3:2
4:3:2
4:3:2
继电器输出

4
4
4
SPS 输入

6
6
6
测试口连接方式

DN25KF

手持遥控连接线长度
m
4( 最长 32)
4( 最长 32)
4( 最长 32)
功耗
VA
420
350
350
尺寸
mm
495×456×314
495×456×*314
495×456×314
重量
kg
40
37.5
29

定货数据：

D2.5E 机械泵
膜片泵
D25B 机械泵
30m×m×m/hcscroll 泵

类型
货号
内置前级泵系统
推荐前级泵系统
内置标准漏孔 TL7
主电源
PhoeniXL 300
250000
√

√
220-240v:
50/60Hz
PhoeniXL 300 Drv
250000

√

√
PhoeniXL 300 Modul
250000

√
√
√

附件：
附件
货号 P/N
带安装支架的手持遥控器， 4 米长
252 002 （可选件）
遥控器加长线， 8 米
140 22
吸枪管 SL300
252 003
带软管的喷枪
165 55
吸枪 QT100
155 94
Leak Ware 专用软件
140 90
一套连接插头
200 28 782