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HEPA过滤器
HEPA & ULPA 过滤器

HEPA过滤器是生物安全柜的核心部分。HEPA过滤器是可处理的干型过滤器，是

由叠片状硼硅微纤维制成的，像纸一样。

HEPA: 高效空气净化：现代美国惯例

HEPA: 对直径为0.3微米微粒99.99%的过滤效率

ULPA: 超低空气泄漏：现代美国惯例

ULPA: 对直径为0.12微米微粒99.999%的过滤效率

HEPA & ULPA 过滤器的构造

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Fig 6. 分离式过滤器Fig 7. 一体式过滤器

Separator Type Separatorless Type

Fig 5. 包装物粘合成过滤网外框----外框与气密垫片组装成最终过滤箱体

Pack is glued into a frame - Frame is gasketed to form final assembly

HEPA/ULPA 过滤器是专门为去除多种空气中的污染成分而设计的，可以去除的

成分包括：

标准粉尘

卷烟烟气

细菌（细菌大小：500到0.3微米）

煤灰

花粉

放射性微粒

杂质离子-〉会影响到集成电路的速度