检漏仪的原理、用途和组成.pdf

1VARIAN VS型检漏仪的原理、结构和用途说明检漏仪可用于所有对容器或器件的密封性有要求的领域，并对泄漏进行定性、定量和定位的检测。检漏仪的用途检漏仪的用途检漏仪的用途检漏仪的用途半导体半导体质量流量控制器集成电路真空系统气体管道气柜石英显示器质量流量控制器集成电路真空系统气体管道气柜石英显示器电子、电气电子、电气照明灯电子管变压器发电厂照明灯电子管变压器发电厂(电工电工)断路器断路器汽车领域汽车领域安全气囊油箱压缩机油路减震器安全气囊油箱压缩机油路减震器ABS 阀门散热器气路管道传感器油冷器阀门散热器气路管道传感器油冷器航空领域航空领域液压管路陀螺仪油箱导弹液压管路陀螺仪油箱导弹医疗领域医疗领域心脏启搏器导尿管血液过滤器密封包装心脏启搏器导尿管血液过滤器密封包装宇航领域宇航领域发动机传感器发动机传感器食品包装食品包装精密钟表精密钟表55 gallon鼓室鼓室2检漏仪的核心质谱室的工作原理离子源重离子重离子氦离子氦离子轻离子轻离子驱动电路驱动电路前置放大器前置放大器靶靶匹配电阻匹配电阻地线地线磁场磁场磁场磁场原理：原理：利用高灵敏度的氦质谱检漏仪，对元器件中漏出氦气分子进行离化、加速、偏转、接收、放大和显示，从而反映出微小的漏率值。利用高灵敏度的氦质谱检漏仪，对元器件中漏出氦气分子进行离化、加速、偏转、接收、放大和显示，从而反映出微小的漏率值。粗抽泵粗抽泵/前级泵前级泵高真空泵高真空泵质谱室质谱室MAGNET氦质谱检漏仪的主要组成部件：氦质谱检漏仪的主要组成部件：氦质谱检漏仪的主要组成部件：氦质谱检漏仪的主要组成部件：3检漏仪的真空系统组成检漏仪的真空系统组成761245138112910123456789101112测试件测试口高真空泵粗级泵前级泵粗抽阀测试阀泵阀质谱管冷阱粗真空规放气阀测试件测试口高真空泵粗级泵前级泵粗抽阀测试阀泵阀质谱管冷阱粗真空规放气阀V VS S氦质谱检漏仪的外形尺寸：氦质谱检漏仪的外形尺寸：氦质谱检漏仪的外形尺寸：氦质谱检漏仪的外形尺寸：