菲林保护膜技术资料.pdf

底片保护膜底片保护膜 SKY MASK 介绍 SKY MASK 介绍 1.精细图案型精细图案型#155RFP 2.高耐久型高耐久型#155RHD 3.FAQs 精细图案用#155RFP 系列 1.#155RFP 系列 减少 UV 平行光源的散乱，提高 30m 以下 细线图案的再现性?提供 UV 领域的光线透过率?大幅减少卷入气泡#155RFP 打破以往“使用保护膜就无法再现精细图案”的常识，这款采用积水粘合剂技术与光学技术的新产品甚至可以再现 L/S=30 m 以下的图案。离型膜 25 m#155RFP-AS（防静电型）在#155RFP 的特性上增加了防静电功能的型号。能有效防止静电产生的灰尘，碎屑附着。高透明 PET 膜 12m 丙烯酸类粘合剂 8 m 离型膜 25 m#155RFP-HD（高耐久型）在#155RFP 的特性上大幅提高了离型层耐溶剂性的型号。最适合强粘性的湿膜。高透明 PET 膜 12m 丙烯酸类粘合剂 8 m 离型层 增强层 离型膜 25 m 项目 单位#155RFP 基材厚度 m 12 粘合剂厚度 m 8 对 PET 的厚度 N/25mm 3.9 全光线透过率%91.6 400nm光线透过率%85.1 HAZE%1.1 防静电层丙烯酸类粘合剂 8m 特 点 基 本 特 性 产 品 系 列 高透明 PET 膜 121.多层 PCB 技术的变迁 电子机器的小型化，轻量化，高性能化 电子机器的小型化，轻量化，高性能化 PCB 的急速精细化的急速精细化 中中密密度度配配线线 高高密密度度配配线线 1）基础型增层式线路板 V/L=120/250 L/S=50/50 核心层的孔制约乐配线的兼容性 2）全层 IVH 型增层式线路板 V/L=150/300 L/S=50/50 全层 IVH 构造的配线兼容性优良 高高密密度度配配线线 多层印刷线路板 V/L=200/400 L/S=100/100为上限 通孔造成实际装配上的限制 增层式线路板 一次积层 全层 IVH 构造的配线兼容性优良 2.一次积层方式的特点 1）增层超过 2 层的话，工艺复杂=良品率低 2）增层的层数越多，对已形成的再次施热有可能会造成损坏 3）核心层不可缺少=成孔的限制 4）用电镀的方式连接，成本较高 一次积层方式的特点 SKC以往的增层式线路板的问题点 1）导体层，绝缘层可以分别准备 改善良品率，提高生产管理效率 2）成孔配置自由 3）绝缘材料的选择多 4）使用耐热性热可塑性树脂，对环境的适应性良好 2.为了再现精细图案“光学特性”要求性能（1）UV 光通过保护膜时不会产生发生散乱 8 7 6 5 4 3 2 1 1 300 400 500 600 700 800 波长（nm）#155RFP#155RASS 其他公司产品（K 公司）70 60 50 40 30 20 10 0 280 300 320 340 360 380 400 420 440 460 480 500 波长（nm）U 公司超高压水银灯不同波长的相对强度 保护膜导致光散乱的话，在曝光形成的图案上会产生差异，造成图案解析度的降低SKC资料 1：光散乱性评价 HAZE%相对强度%2.为了再现精细图案“光学特性”要求性能（1）UV 光通过保护膜时不会产生发生散乱 （U 光）底片 GAP 量 保护膜（a）基板 表中数值 （b）(b)um 12 10 8 其他公司产品 6 无保护膜 4 理论值 2#55RFP 0 0 60 (a)GAP 量（um）保护膜导致光散乱的话，在曝光形成的图案上会产生差异，造成图案解析度的降低SKC资料 2：GAP 与光散射的关系 2.为了再现精细图案“没有气泡”要求性能（2）贴合时气泡少 （U 光）气泡 底片 保护膜 基板#155RFP 其他公司产品 边缘模糊#155RFP（气泡少）其他公司产品（气泡多）有气泡的话，其导致的光折射会造成图案解析度的降低SKC资料 3：光折射的影响 资料 4：压膜时卷入气泡量的比较 资料 5：图案再现性的比较 2.为了再现精细图案“没有气泡”要求性能（3）贴合后气泡残留消失 刚刚贴合后 气泡残留 第二天 有气泡的话，其导致的光折射会造成图案解析度的降低SKC资料 6：随时间经过气泡消失 2.为了再现精细图案“没有异物”要求性能（4）异物极少 （U 光）底片 异物气泡 保护膜 基板 断线处 底片与保护膜之间有异物的话，会发生断线现象SKC资料 7：断线不良的形成原理 资料 8：断线不良案例 高耐久型#155RHD 1.#155RHD 的特点 防止离型层的脱离，提高使用湿膜时的操作性，大幅度提高曝光次数。#155RHD 比以往的#155RASST 更加强化了离型功能的产品。丙烯酸类粘合 4m 离型层 强化层 离型膜 25 m#155AS-ST（防静电/防黏附型）在#155RFP 的特性上增加了防静电功能的型号。能有效防止静电产生的灰尘，碎屑附着。高透明 PET 膜 6m 丙烯酸类粘合剂 4m 离型层 防静电层 离型膜 25 m 项目 单位#155RFP 项目 单位#155RFP 基材厚度 m 6 粘合剂厚度m 4 对 PET 的厚度N/25mm 2.6 全光线透过率%93.5 HAZE%2.6 特 点 基 本 特 性 产 品 系 列 SKC高透明 PET 膜 6m 2.为了实现高耐久性“耐湿膜性”要求性能（1）湿膜不粘附在底片表面 油墨：太阳油墨#PSR4000 AUS303 开口部：直径 80m 真空及曝光条件：曝光量 600mj/cm2、真空时间 90sec、真空度 70cmHG 曝光开始 曝光 50 次 曝光 100 次 湿膜附着在底片上会导致光线透过率降低，从而造成图案解析度降低 SKC资料 9：#155RHD 解像性实验结果 2.为了实现高耐久性“耐溶剂性”要求性能（2）离型层不会因为溶剂成分影响而脱落 7 6#155HD 5#150AS-ST 4 其他产品 P 3 其他产品 M 2 1 0 0 25 50 75 100 往返次数 1）在浸渍了高沸点溶剂的抹布上施加 200g 的负重，以规定的次数往返擦拭 2）用标准胶带来测量离型面的剥离力 反复紧贴曝光，湿膜中的溶剂造成硅层脱落SKC资料 10：#155RHD 离型层耐久性实验（单位：N/25mm）离型力 FAQs(Frequently Asked Qusetions)A1：使用底片保护膜可得到以下效果 1）防止保管，运输时的底片化划伤 2）防止紧贴曝光时的底片划伤 3）增加底片无法具备的功能 离型性，耐溶剂性等 4）使异物管理变得容易 底片 保护膜 异物 异物 基板 基板 未硬化 未硬化 5）（使用银盐片时）防止底片的尺寸变化 Q1：为什么要使用底片保护膜？SKC底片的乳剂含有大量的水分，真空紧贴造成水分蒸发，是底片收缩的原因所在 不使用保护膜 使用保护膜 A2：使用平行光时，与不使用保护膜相比，在图案再现性上没有很大的差异。使用散乱光时，3mil 以上的图案是毫无疑问可以再现图案的。有时会需要一些调整如将曝光量提高几个百分点等。曝光量 由于光学特性优异，曝光量与不贴膜时是基本一样的。仅底片 453mj/cm2#155RHD 454mj/cm2 Q2：使用保护膜的话，图案解析度不会变差吗？用积算光量计测量（n=5）SKC A3：制作图案时重氮片的感光不足，再次曝光会产生氮气，这是气泡产生的原因所在。对对策策方方法法 请尝试通过确认，调整以下项目是否能解决该问题。1）请确认是否进行了充分的的显影 2）制作重氮片图案时提高曝光量（=解决曝光量不足）3）制作完重氮片图案后，不贴保护膜，反复空曝几次 Q3：在重氮片上贴好保护膜开始曝光时，整面产生气泡而无法使用。大概为重氮片从黄色变为透明的曝光量的2-3倍放置1-2天再用也可（厂家经验）感感感感光光光光部部部部分分分分 未未未未感感感感光光光光部部部部分分分分 光分解造成从重氮化合物中产生出氮气 未感光的部分不发生光分解 游离的 CI 与水分的 H 结合形成 HCI，再与碱结合，形成稳定的化合物。OH 与原来的重氮化合物结合，形成无 色的化合物 重氮化合物因为光而分解，不会与 Coupler 发生反应（结合）资料：重氮片的成像方法重氮化合物中的CL与Coupler中的H游离出来形成 HCL，再与碱结合成稳定的化合物。重氮化合物的 N2 部分与 Coupler 结合形成色素。曝曝 光光 显显 像像 SKC