Oerlikon带有自动控制和再生的功能莱宝低温泵操作说明.pdf

cerlikonleybo ld vacuum欧瑞康莱宝真空COOLVAC Classic Line带有自动控制和再生的功能低温泵Cryo pump System with Auto matic Co ntro l and Regeneratio n操作说明 GA12145_002_A1部件编号.844 160V000X844 200V000X844 25 0V000X844 320V000X844 410844 610V000X仅供参考，如有疑义以英文版说明书为准。目录页码重要的安全说明4操作说明的使用7系统概要81说明121.1设计和功能121.2标准规格181.3技术数据191.4订货信息242运输及存放273泵系统的安装283.1适用性283.2COOLVAC的安装283.3阀门的连接303.4前级泵的连接323.5测量仪表的连接343.6电气连接344压缩机的安装385双重控制装置的安装396多重控制装置的安装437压缩机和低温泵的连接及试运行7.1安装氨管497.2压缩机的准备547.3检查表552 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum目录8 操作 57安全须知 578.1 介质的相容性 588.2 接口 588.3 接通 658.4 主菜单利一般规则 678.5 COOLVAC操作菜单 698.5.1 停机 728.6 拆卸 738.7 COOLVAC MONITOR（COOLVAC监视）菜单 748.8 SERVICE MODE（服务模式）菜单（设置的变更）768.9 温度菜单 818.10 COOLVAC 诊断菜单 828.11 服务监视菜单 839 维护 859.1 欧瑞康莱宝真空公司的服务 869.2 更换COOLVAC PM（控制模块）8610 排除故障 8811 易损件和原备件 9412 废物的处理 9813 外部24 V接口（可选件）9913.1 说明 9913.2 安全 10013.3 连接 10013.4 操作 102EC生产厂家声明 104符合EC指令的声明 105证明 106图表清单 110索引 111GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 3安全说明警告注意重要安全说明此标志表示为了防止人员伤害而必需耍严格遵守的规程。此标志表示为了防止损害或毁坏产品而必需要严格遵守的规程。欧瑞康莱宝真空设备公司的COOLVAC系列产品是针对安全、有效地操作 而设计，请正确使用并遵守本操作说明。用户有责任仔细阅读并严格遵守 本节及整个操作说明中所有的安全防范条款。COOLVAC泵只能且必需在 本操作说明中描述的、适当的条件下工作。此设备只能由经过培训的人员 进行操作以及维护。请与当地或本国的代理公司咨询具体要求与规定。如 有任何有关安全、操作和/或维护方面的问题可向与您最近的，我们的办事 机构反应。如果违反下列安全防范条款，会导致严重的人员伤害！A_ 机械危险警告 小心人员伤害！避免人体的任何部分暴露在真空下。只有在泵放气(破空)后才能处理泵。小心爆炸！标准型产品不适用于在有爆炸危险的区域中使用。高氮气压危险冷头、压缩机和氮管中都装有氨气：静止时压力达到16bar(232psig;1.6MPa),而运行时压力可达到29 bar(420 psig;2.9 MPa)。设备内部的各个部件均处在压力之下，氮管也是一样。这些部件既不能进行 机械运转，也不能进行热运转。压缩机中的所有阀门或开关绝对不能被阻塞或改装。所有部件只能由经过相应培训的维修人员打开。在打开系统前，应先释放压力。电气危险A小心人员伤害！在进行所有的连接工作时，要百分之百确保主供电路线已经完全断开。按规 定，电路连接只能由经过培训的电工进行，需遵守EN5 0110-1中的规定。为了防止电击，要将设备进行低阻抗接地。4 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum安全说明热危险性小心人员伤害！以下部件在运转时温度会非常高（70。6 158平），有造成人员烫伤的危险。冷头电动机 低压氮气连接器为发热部件加装防护壳，防止接触。注意泵上有表示各种危险的符号，如果泵体发热，需按要求穿防护工作服。为了防止因接触泵内部低温的表面（温度低于7 20K）而造成伤害，待泵内 温度升至室温时，再将低温泵从支架上取下。由原料和物质产生的危害COOLVAC的标准型号不适合于下列工艺 产生腐蚀性气体 产生除氢气以外的再生期间可能形成易燃性混合物的气体 高于大气浓度的氧气产生低温泵是一种气体捕集真空泵，也就是说真空室里抽出的气体分子储存在低 温泵里。再生时，或在电源故障之后泵的温度升高时，释放的气体总量可以在很短的时 期内变得非常大，以至于压力真空系统或泵壳内产生的压力超过大气压。鉴于 此，欧瑞康莱宝真空低温泵特别安装了一个泄压阀（安全阀），当内部压力高 于大气压时就会自行打开。依照泵的型号不同，这个安全阀会在1150和1600 m bar之间打开。永远不要阻塞安全阀由于危险气体可能会从安全阀中排出，因此，必需将它连接到适当的排 气管线上。安全阀的排气管线必需没有压力，而且最小内径必需达到17 mm（11/16）。再生期间，危险气体可能会从前级泵中排出，因此，前级泵的排气口必 需连接到相应的排气管线。即使是惰性气体，如果数量大，且取代我们 呼吸空气中的氧的话，也可能造成危险。用于抽取危险气体的低温泵只能由熟悉危险物质处理，熟悉必需的安全措施的人员进行操作。AA盒念AAGA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 5安全说明对于某些工艺气体，在泵抽送阶段不会造成任何问题，但是，当低温泵温度 升高（再生或断电）的条件下，大量释放的时候，就会带来危险。此外在某些情况下，比如力与。2或4与空气形成的混合气体可能具有可燃性 从而发生爆炸。CO与空气，CO与。2,以及C&与。2形成的混合气体也显示出 类似性质。在电气部件中有可能存在着火源如安装在真空室和/或泵壳里的电离真空计、受热的、不封闭的压力测量装置和再生加热器故障等。所以对于易燃、易爆、有毒或腐蚀性气体和气体混合物，一定耍在低温泵升温时遵守专门的安全措 施。如果违反下列预防条款，可能造成泵的损坏！注意 低温泵只能由欧瑞康莱宝真空设备公司授权的人员打开或改装。更换零件时，只能使用欧瑞康莱宝提供的吸附器。机械损坏前级真空阀的安装位置一定不能改变。阀板必需始终朝向泵。不要用管道或其它部件升高或移动压缩机。污染不要把高压和低压接头混在一起。两者互换会造成冷头内部的损坏。不要在高压一侧使用低压氮管（或者在低压端使用过的氮管）。不要把高压接头直接连接到低压接头上（短路）。高低压直接连接时进行 运转会损坏压缩机。不要在氮管和冷头没有连接时运行压缩机，咖怕是几秒钟。否则会损坏压缩 机。在充氯气时，只能使用纯度最高的氨气（99.999%或更高）。6 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum安全说明冷却水-如果不遵照冷却水数据的规定可能会造成内部腐蚀。这会破坏整个压缩 注意机。如果冷却水流量在入口处被节流或压差降至限制值以下的话，会造成油路 循环冷却不足、压缩机故障或损坏。电气损坏保护类型是IP 20。不耍将设备暴露在飞溅或下滴的水中。如果线电压与铭牌上标注的值不同的话，必需重新连接电源组件上的终端。把所有E相的导线连接至压缩机，在端子板上获得正确的电压值。使用错误 的接线端子会损坏电源和冷头。只应当使用规定数值电压的保险丝。我们保留改变本操作说明中的设计或任何数据的权利。图解不具有约束力。操作说明的使用这些使用说明的编写是有结构的，所以为了自身的安全你必需阅读以下几个 部分：.的安装部分，安装系统时需耍阅读（27到54页）操作部分一直到COOLVAC的操作部分的结尾（57到72页）维护的开始部分，这有助于预先很好地计划维护工作。其它所有章节也很重要。如果使用可选操作功能 出现故障时 需要维护时或者 你需要有关系统的信息时.的安装部分结构清楚，所以你可以按照描述的顺序最大程度方便地工作。大多数的部件还可以采用不同的顺序。GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 7系统概要系统概要设备操作说明COOLVAC.CL(CLASSIC LINE):冷冻机低温泵Th e COOLVAC尸例(系统模块)连接在COOLVAC上。系统模块是连接泵控制器的接口，控制加热器。这些装置仅在此操作说明中进行了描述(GA12145)。安装 控制系统的章节出现了两次：一次有关双重控制器，一次 有关多重控制器。另外，两个系统之间的不同会被指出来。COOLVAC SC(系统控制器)，控制装置。当前每个低 温泵的工艺存储在系统控制器的存储器里。所有其它 工艺可以经系统控制器从泵模块中调用。电源：(2种类型：2台泵用双控制；3台泵用多重控制)电源向泵模块、系统控制器和各加热器供电，并且控 制一个或多个压缩机。多重控制器还能向低温泵的冷 头电机供电。电源没有专门的操作说明。在操作说明一章中进行了描述(GA12145)有关另一个泵系统(COOL-VAC SEMILINE)的操作说明中 可能包括了多重控制器电源的内容。两个说明(SEMI-LINE 和CLASSIC LINE)中，关于电源的描述是一样的。因此，你可以将这些操作说明(GA12145)用于指导电源的 安装和操作。COOLPAK压缩机：它向低温泵提供生成低温的高压 氮气。不同的压缩机有各自的操作说明，必要时参考这些操作 说明(GA12145)。关于他们在泵系统中的具体使用将在GA12145中说明。注意：按照压缩机的使用一章的说明，有些压缩机可能无 法在泵系统中运行。为了进行操作，还需要前级泵用来将低温泵抽空至启动 压力，将真空罐抽空至切入压力。再生期间也有这样的 要求。前级泵没有在这些操作说明中加以描述。8 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum系统概要多重控制的三重电源双重控制的双电源压缩机 COOLPAK 2000 到 6200图1系统概要GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 9系统概要哪些装置可以一起运行？COOLVAC控制装置推荐的压缩机COOLPAK*1 x 800双重2000(A),2200(A)多重2000(A),2200(A)2x800双重6000 D多重6000,62003 x 800多重6000,62001 x 15 002000(A),2200(A)多重2000(A),2200(A)2x 15 00双重6000 D多重6000,62003 x 15 00多重6000,62001 x 2000双重2000(A),2200(A)多重2000(A),2200(A)2 x 2000双重6000 D多重6000,62003 x 2000多重6000,62001 x 3000双重2000(A),2200(A)多重2000(A),2200(A)2 x 3000双重16000 D多重6000,62001 x 5 000双重6000,6200多重6000,62001x 10000双重6000,6200多重6000,6200*其它压缩机也可以，视要求而定。接头Coolpak冷却方式电源连接2000水230 V,50 Hz2200水208 V,60 Hz2000A空气230V,50 Hz2200A空气208 V,60 Hz6000水400 V,5 0 Hz/47 0 V,60 Hz 在交货时，设定为400 V6200水200 V,5 0 Hz/200,230 V,60 Hz 在交货时，设定为200 V6000 D 带有2个；冷头水400 V,5 0 Hz/47 0 V,60 Hz 在交货时，设定为400 V10 A12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum说明泉的壳体图.1.2 COOLVAC 2.000 CL,其它型号类彳以GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 11说明1说明1.1设计和功能COOL VAC低温泵COOLVAC是小型制冷机低温泵。泵的原理低温泵是一种高真空泵，可以利用在低温表面上冷凝和吸附的方法将气体利水蒸 汽从真空室中除掉。抽气过程中，气体不会经过低温泵而是留在泵室里。障板条保护低温板免受真空室的热辐射。冷屏有一个镀银外层，用来反射辐射障板的热能；内层涂有专门的黑色涂层，可以防止热量反射到冷伞上。冷伞外层是 高光泽度镀银处理，内层粘合吸附材料。冷屏低温泵，挡板、冷屏利冷伞都由双级的G讦ford-McMah on制冷机冷却。此制冷机包括一个双级冷头COOLPOWER和一个压缩机，它们通过两条高压 氨管互联。工作介质是气态氮，它在压缩机闭路里被压缩，然后在冷头里膨胀。氨就在此过冷冻机/冷头程中被冷却。在冷头里，第一级温度可以达80K,第1级达到20K o障板和冷屏与冷头的第一级相连，冷伞与第二级相连。第一级的运行温度由加热器的Pt 100传感器检测；第二级安装有一个硅二极管。冷头的第一和第二级均配备有电加热器。温度测量COOLVAC共有下列法兰：高真空法兰 前级真空法兰以及装有前级真空阀安全阀及连接法兰 连接法兰及表头 带引线的连接法兰以及安装好的硅极管带引线的连接法兰，为第一和第二级连接好的加热器以及第一级需用的 温度传感器。12 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum说明在温度W 100 K（低温冷凝）时，水蒸汽和大多数碳氢化合物凝结在障板或冷屏上。实际上，在温度低于20 K时，所有其它气体都能凝结在冷伞的外表面上。温度低于20K时（低温吸附），氢气、氮气利息气被冷伞内表面上的吸附材料吸附。，COOLVAC可以在非常宽泛的压力 范围下稳定运转，抽气速率取决于气体的种类。在超过5 10-3mbar的压力下，由于残余的真空的存在，冷伞的热负荷会变得非常高从而减小抽气速率。由于泵内冷凝和吸附的气体数量增加，冷伞的温度会升高，抽气速率会下降。因此，有必要定期再生低温泵从而去除累 积的气体。控制模块（泵上）的设计和功能控制模块PM处理从COOLVAC收到的传感器信号，然后传递给系统控制器。控制模块还能为加热器供电并控制加热器。控制模块由电源供电。由于系统控制器可以控制一个或几个低温泵，所以可以为每台泵在控制模块上设置一个相应的地 址。控制模块固定在COOLVAC上。控制模块的功能：为系统控制器供电 为任连接的真空传感器或真空计供电按照控制命令接通和关断泵运转需要的加热器和阀门 将监控信号传递给高级系统控制器提供开关外部真空设备的浮点控制触点提供安装在第二级冷头上硅二极管特性的模拟信号GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 13说明图1.3带系统控制器SC的双重控制的电源系统控制器SC的设计与功能在控制系统中，系统控制器SC完成所有监测和控制的功能，而这正是 COOLVAC正确自动运转所需要的。它可以分析连接的压力和温度传感器的测量信号；显示测得的值并将它们与预设 的目标值进行比较。在测量结果的基础上，输出信息，初始化过程步，并优化过 程顺序。为了用高级控制系统进行监控，该系统控制器可以在测量值的基础上,提供电压和状态的信号。COOLVAC的运行方式可以用前面板上的键盘调用，也可以远程控制。在控制操作过程中，所有的重耍状况信息都会被显示出来。每个低温泵的所有当前有效过程都被保存在系统控制器的存储器中，所有其它 过程可以通过系统控制器从控制模块中调用。警告和出错信息通过显示器上的红色LED灯显示在系统控制器的前面板上。系统控制器可以放置在一个3 HU 1/4 19的机架组件上。14 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum说明图1.4两台泵（左）或一台泵（右）的双重控制示意图双重控制的电源设计与功能电源的供电对象：控制模块 系统控制器SC 第一和第二级加热器 驱动压缩机此电源将电网电力转换成驱动不同加热级耍求的电压，这样一来这些电压可以 通过另外的开关或控制装置提供给加热器。电源装可以安置在一个3 HU 3/4 19”的机架组件内。GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 15说明图1.5多重控制电源多重控制电源的设计与功能此电源为电子线路、加热装置、电磁阀、COOLVAC PM控制模块以及COOLVAC 系统中的电动机供电，它安装在封闭的机架式外壳里（19”,4高的装置）。此电源被细分为三个输出通道，可以同时为多达三个COOLVAC系统服务。此电源包含一个电力断路器、一个相序传感器、控制电子线路、必需的安全部 件以及一个匹配变压器。这个匹配变压器提供从不同线路输入电压得到的所需 的交流电压，并且和桥式整流器一起，提供4个直流电压。此4个直流电压在电气上与三相网路隔离，并被确定大小，使它们在任何容许的 操作情况下都决不会超过最大值42.5 VDC。泵电动机的电源电压，由节能变压 器提供。只有当COOLVAC PM控制模块连接，压缩机待准备好操作并被接通，起动命令 发出后，每个电源通道的输出电压才会被施加到插座上。该电源使用的是20米长的四股连接线，没有终端插头。此电源在前后面板上各有两个LED灯，用来显示线路是否有电压以及相位是否 正确。16 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum说明图1.6多重控制示意图COOLPAK的设计与功能压缩机用来压缩氮气，然后氮气在冷头中膨胀，产生低温。每个压缩机由以下几个功能部件组成：氮压缩机 热交换器，气体净化器，电源组件（供电装置）.压缩机和低温泵用柔性氮管连接。压缩机、冷头和压力管线装有自密封联接 器，并充填了高纯度氮气。压缩机上只能使用欧瑞康莱宝真空设备公司生产的零部件。装其它部件，只 能在向欧瑞康莱宝真空设备公司咨询许可后，才能安装。GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 17说明1.2标准规格COOLVAC把以下几项与泵安装在泵上：真空计TTR91 COOLVAC(控制模块)，用于用户I/O连接件的插头(400 000 132)带开关量输出的电动气动装置的直角阀(前级真空阀V2)装运途中所有开口法兰都要用塑料帽封好。以下几项与泵封装附在一起：操作说明GA12145 仪表操作说明 角阀操作说明COOLVAC系统控制器以下几项与COOLVAC SC(系统控制器)封装在一起：局域网终端连接器(400 000 114)连接器硬件互锁(400 000 133)连接到PC上的0-Modem适配器双重连接电源安装在19“框架中以下几项与电源装置封装在一起：一根电源线，约3米长 操作说明GA12145 4个保险丝多重连接电源一根电源线，20米长，没有插头，安装在电源上以卜几项与电源装置封装在一起：机架安装用的19“紧固支架 COOLVAC SEMI LINE操作说明18 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum说明1.3技术数据COOLVAC8001.5002.0003.0005.00010.000高真空法兰DN160 ISO-K200 ISO-K25 0 ISO-K320 ISO-K400 ISO-K5 00 ISO-K160 CF200 CF25 0 CF10 ANSI6U ANSI8 ANSI前级真空法兰DN25 K F25 K F25 K F25 K F40 K FDN 40 K F真空计连接法兰DN16 K F电流引线法兰DN16K F16K F16CF16CF40 K F40 K F安全阀，带排气管线接头DN40 K F法兰上硅二极管的4极电流弓1线_DN16 K F加热器第一级W/160/42第二级VAC90/42温度传感器 第一级Pt 100第二级硅二级管冷头COOLPOWER7/257/257/257/255/1005/100重量15252535425 0冷却到T2=20 K的时间 min5 0607 08010015 0渡越容量mbar-l15 021025 05 007 00800抽送速度h2oh s-1260046007 00010 5 0018 00030 000Arls-1640120016002 5 004 0008 400n2l s-180015 0021003 0005 20010 000h2l-S-1100025 0032006 0006 20012 000容量Ar/N2bar-l3001000160025 0030005 5 00H2 at 10-6 mbarbar-14.51215283245最大气载Ar/N2mbar-l-s-i41212151010H2mbar-l-s-i2661077氮接头：自密封接头配件（外螺纹）1/2所有测量依照PNEUROP标准进行。GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 19说明COOLVAC法兰0 ahh p h o800 CLCF202,55 38420389260800 CLISO-K1805 3541838625 715 00 CLCF25 25 5 543740632615 00 CLISO-K2405 49431400320h2000 CLISO-K2905 604424113013000 CLISO-K37 060448645 53455 000 CLISO-K45 061349546443010000 CLISO-K5 5 07 045 865 5 55 15图1.7低温泵尺寸图单位：mmCOOLVAC控制模块运行电压引线分配外形尺寸（宽x高x厚）取自电源见图3.5和3.690 x100 x5 5 mmCOOLVAC系统控制器运行电压引线分配尺寸外形尺寸（宽x高x厚）重量由RS 485电缆取自 控制模块见图6.41/4 19，3 HU106 x 129 x 178 mm0.8 kg说明图1.8多重控制的电源尺寸图 单位：mmGA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 21说明双重连接电源6个保险丝见图5.2引线分配见图5.1额定功率大约900 VA电网供电230 V AC输出功率2 x25 0 W尺寸3/4 19，3 HU外形尺寸（宽X高X厚）483 x 135 x 329 mm重量10 kg安装支架19安装架多重连接电源引线分配及保险丝见图6.2供电电压标称电压3 x200VAC+PE3 x 400 V AC+PE3 x 460 至U 480 V AC+PE电压容差 10%频率范围无线电干扰抑制47 Hz至IJ63 Hz（电磁兼容性）EN 5 0081-1民用、商业的和轻工业环境适用的 通用辐射标准 EN 5 0082-2工业环境适用的通用排放标准保险丝（熔断器）电力断路器额定功率大约1200 VA每个功率通道的输出特性泵电动机交流电压230 V AC（没有中性线）泵电动机电流0.2 A AC加热、泵模块和系统控制器的直流电压34 V DC,未平滑加热、泵模块和系统控制器的直流电流8.6 A DC电磁阀和控制电子线路的直流电压24 V DC,平滑，未稳压电磁阀和控制电子线路的直流电压2.5 ADC保险丝 玻璃管微型细保险丝，可从外部直接更换UL型设计的保险丝座22 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum说明有关压缩机的更多技术数据参见压机缩装置操作说明。最大总功率约 1150 W每个通道的供应能力加热，第一级160 W加热，第二级90 WW加热、再生安全阀50 WW前级泵电磁阀4.5 W电磁阀，真空隔离4.5 W泵电动机（视在功率）81 VACOOLVAC泵模块5 W系统控制器吸收的功率5 W重量/外形尺寸重量（包括电线）38.8 kg大小19”,4 HU外形尺寸（宽X高X,厚)483 X 17 7 x440mm,见图1.8环境条件周围温度0-40 空气湿度年平均65%相对空气湿度30-95%不冷凝保护类型IP 20浪涌范围IEC 664-1 范围 2污染水平VDE0110,第一和第二部分，第二级海拨高度海平面以上最高1500米压缩机COOLPAK 2000(A)2200(A)6000/6000 D 6200 6200件号 892 36/892 46 892 37 840000V6200840000V6000氮充填压力，在系统上设置150 Hzbar 14-15 14-15 14-14,5 13-135)13-13,51)60 Hzbar 13-14 13-14 13-13,5 12-12,5 12-12,5工厂设定的氨充填压力bar 14-15 14-15 15 14 131）电压误差为+1%/-10%0寸,在230 V,5 0 Hz下运转成为可能，同时，氢充填压力减小至13bar。如果出现较高电压，这时可以自耦变压器减小供电电压。GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 23说明1.4订货信息件号COOLVACCOOLVAC 800 CL-V,DN 160 CF844 160V0002COOLVAC 800 CL-V,DN 160 ISO-K844 160V0006COOLVAC 15 00 CL-V,DN 200 CF844 200V0002COOLVAC 15 00 CL-V,6 ANSI844 200V0004COOLVAC 15 00 CL-V,DN 200 ISO-K844 200V0006COOLVAC 2000 CL-V,DN 25 0 CF844 25 0V0002COOLVAC 2000 CL-V,8 ANSI844 25 0V0004COOLVAC 2000 CL-V,DN 25 0 ISO-K844 25 0V0006COOLVAC 3000 CL-V,10 ANSI844 320V0004COOLVAC 3000 CL-V,DN 320 ISO-K844 320V0006COOLVAC 5 000 CL-V,DN 400 ISO-K844 410COOLVAC 10000 CL-V,DN 5 00 ISO-K844 610V0006COOLVAC系统控制器844 230COOLVAC系统控制器，带Profibus844 230V0004双重控制电源844 135多重控制三电源844 235连接线COOLVAC控制模块之间1.5米长844 2553米长844 25610米长844 258COOLVAC系统控制器-COOLVAC控制模块3米长844 26010米长844 26120米长844 262连接线仅适用于双重控制 电源-系统控制器，长1米844 141压缩机-电源10米长844 12920米长844 139电源-低温泵（控制模块）10米长844 12820米长844 138延长线压缩机-冷头，4.5米长893 7425米长200 20 900冷头电缆，长4.5米400 000 32324 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum说明仅用于多重控制的连接线 COOLVAC控制模块电源 长10米长20米844 251844 252电源-压缩机，长1米844 265其它长度另行购买阀门带限位开关的高真空闸阀通过浮动触点：当阀门关闭时，触点闭合另行购买高真空法兰用10个铜衬垫另行购买压缩机COOLPAK 2000水冷却 空气冷却840000V2000840000V2010COOLPAK 2200水冷却 空气冷却840000 V2200840000 V2210COOLPAK 6000892 36COOLPAK 6000 D（有两个冷头插头）892 46COOLPAK 6200892 37COOLPAK 6000 Advanced 安装了冷却水流量调节器，6 l/min840000V6000COOLPAK 6200 Advanced 安装了冷却水流量调节器，6 l/min840000V6200氢管一对的氮管，两端带有自密封联接器，），氮充填压力在室温下（16一1）bar（232 psig）FL 4.5（1/2,1,1/2U）,Ik4,5 米（15英尺）892 87FL 9.0（%,%）,长9 米（29.5英尺）892 88单条氮管FL 18.0 HP（i/2J/2”），长 18 米（59 英尺）840 203FL 18.0 LP屈,4”）,长18 米（59英尺）840 204FL 1.0 ELB HP石,4）,（弯头）840 205FL 1.0 ELB LP6,4）,（弯头）840 206GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 25说明安装附件自密封联接器，氮充填压力在室温下（164 bar（232 psig）90。弯头，”“m/%f线耦合器，1/2 m/1/2 m气体分配器2）f/2x 1/2 m（双重）GD 2气体分配器2）f/4x 1/2U m（四重）GD 4 891 73891 71840 253840 2541）=内螺纹；m=外螺纹“Aeroquip series 5 400或兼容的型号2）每个压缩机需要有两个分配器26 GA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum运输及储存图2.1稳定的运输位置2运输及存放装运时，用清洁的塑料帽罩在COOLVAC 800,1.5 00和2.000的高真空法兰上,把起重滑车系在高真空法兰和冷头电机上。WCOOLVAC 3.000,5.000和10.000固定在支脚上，利用起吊小孔吊起它 们。注意防止泵滑脱和翻倒。注意请使用承载能力适当的起重设备。搬运时，切勿站立在悬吊的设备下方。警告泵的存放对泵进行密封，不漏气，要有干燥剂。AGA12145 _002_A1-06/2008-Oerlikon Leybold Vacuum 27泵系统的安装3泵系统的安装3.1 适用性低温泵是高真空泵，它通过低温表面凝结和吸附作用，从真空室中去除气体和 蒸汽。需要压缩机，氮管和前级泵来运行低温泵COOLVAC。低温泵COOLVAC适用于抽取和再生不可燃气体和氢。警告警告A高真空闸阀标准型号的COOLVAC泵，不适用于以下工艺过程：存在腐蚀性气体的发生或生成；除了氢以外的，在再生过程中可能形成易燃混合物的气体的生成;浓度高于大气中浓度的氧气的生成。3.2 COOLVAC 的安装在低温泵的安装和试车时，耍特别注意泵利真空室系统的稳定性。当把低温 泵安装在系统中或连接到真空室上时.，应通过高真空法兰实现安全连接。COOLVAC可以任意角度安装。在COOLVAC的冷头电机的下面留出30cm空间以便冷头的维护。冷头电机和低压氮连接器能够变热（50 C或更高）。应避免接触，待冷却 后再进行维护和修理。需要通过高真空闸阀把泵和真空室分开。高真空闸阀应该带有开关量输出功能（当闸阀关闭时浮动触点闭合）。凡在可能的地方，都不要把低温泵直接置于热系统元件的旁边，如果无法避 免，请给低温泵加护罩。环境条件决不要在具有爆炸危险的环境和气氛中使用低温泵。冷头电机所在的位置磁场不能超过30 mT（mT=特斯拉;30 mT=300高斯）。28 GA12145 _002_Al-06/2008-Oerl ikon Leybol d Vacuum泵系统的安装图3.1安装在系统上的COOLVAC泵因为冷头包含一些塑料元件，所以必须防止X射线和放射性辐射。最大的放射负荷不能超过2000 Gy（Gy=格雷;1 Gy=0.01拉德）。硅二极管对于X线和放射性辐射也很敏感。有关传感器的选择，请与我们协 商。为了符合适用的安全规程，在处理危险气体时要表示以下危险等级。可燃气体或者混合气体爆炸性气体或者混合气体有毒气体侵蚀性/腐蚀性气体A 盒GA12145 _002_Al-06/2008-Oerl ikon Leybol d Vacuum29泵系统的安装接软管：0ext=4 mm或者6 mm3.3阀门的连接高真空闸阀VIHV闸阀不受系统控制器控制。控制系统必须清楚HV闸阀是否关闭：当HV闸阀 关闭时浮动触点闭合；连接到COOLVAC PM控制模块上，见4.6节。高真空闸阀把高真空闸阀连接到系统控制，使之只有在以下情况下打开：COOLVAC在CRYO就绪(CRYO READY)方式真空容器的压力小于COOLVAC切入的压力。接通切入压力通过技术资料表示的渡越容量(eg 250 mbar x 1)和真空容器的体积根 据下列公式计算：渡越容量接通压力=-体积例如，在高真空闸阀VI能够打开前，一个100-1(100升)的真空容器必须预抽 到 2.5 mbar。前级真空闸阀V2连接压缩空气前级真空闸阀是用法兰与泵连接并且接电。压缩空气连接到阀闸：5到7 bar,连注意前级真空阀的安装位置决不能变。阀板必须永远朝向泵。安全阀V8把安全阀连接到前级泵的排气管线上。警告盒A决不能堵塞安全阀。因为危险气体要从安全阀排出，所以一定要把它接到适当的排气管线上。安全阀的排气管线不能有压力，而且内径最小应达到17 mm(11/16)。安全阀注解低温泵是气体捕集泵，这意味着气体分子从真空室抽出被保留在低温泵里。在再生过程中或在电源故障以后泵变热时，释放出来的气体量可能在短时间内 变得很大，以致在真空系统或者泵壳内产生的压力超过了大气压。根据使用的 泵型号,安全阀在压力1150 mbar到1600 mbar间打开。30 GA12145 _002_Al-06/2008-Oerl ikon Leybol d Vacuum泵系统的安装图3.2阀门的连接在一些真空工艺中，使用的气体或者在工艺中产生的气体在抽气阶段不存在问 题，然而在低温泵升温时.（再生或者断电）时，会释放出大量气体，可能会有 危险。过压力众所周知，在某些情况下，例如H?和。2或者H2与空气混合是易燃和易爆的。CO与空气的混合,CO与O2混合，CH,与。2混合具有同样的性质。可燃性混合气体潜在的外部着火源可以在电气元件中找到，例如以下电气元件：安装在真空室 和/或泵壳里的电离真空计量表，受热的和非封闭的压力测量装置，以及处于 故障状态的再生加热器。对于易燃、易爆、有毒性或腐蚀性气体和气体混合物,在低温泵升温时必须遵守规定的安全措施。外部着火源安全泄压阀和前级泵应该安装排气管线，用来将危险气体或者气体混合物输送 到接收装置或者排入大气，但要符合现行的安全和环境保护规定。因为这个原因，低温泵安装了一个泄压阀和一个DN 40 K F法兰。经常保持排气管线打开，并且可能自由伸缩。排气管线GA12145 _002_Al-06/2008-Oerl ikon Leybol d Vacuum31泵系统的安装3.4前级泵的连接前级泵用来抽空低温泵到起动压力，抽空真空室到切入压力，而在再生过程中,前级泵用来去除低温泵释放出的气体。最小的泵浦速度 出于安余原因，前级泵在COOLVAC的前级真空出口的泵浦速度最小必须达到 16 m/h o如果选择前级泵，请与我们协商。前级泵所需的抽速度也取决于真空室的大小，预期的抽空时间和生产气体的 量。对于小真空箱的备用泵，我们推荐TRIVAC D 16 B两级回转片式真空泵；具有大 真空箱的，我们推荐TRIVAC D 65 B或者分离式备用泵系统。前级真空阀 使用两个前真空阀V2和V3与前级泵连