工艺流程材料设备生产常用中英文标准名称.doc

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一．TFT工艺流程中英文标准名称

Array Process Flow
阵列段工艺流程
Input
投料
Unpacking
拆包装
Initial clean
预备清洗
Particle count
尘埃粒子测试
Gate
栅电极层
Clean before depo
成膜前清洗
Gate ( Mo/Al alloy ) Film depo
栅电极成膜
RS meter
电阻测量
Macro Inspection
宏观检查
Clean before PR
涂胶前清洗
Pre bake
预烘
PR Coating
光刻胶涂布
PR vacuum dry(VCD)
光刻胶低压干燥
PR soft bake
前烘
Expose
曝光
Titler Expose/Edge Expose
打标/边缘曝光
Develop
显影
PR hard bake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
Mic/Mac Inspection
宏微观检查
CD after develop
显影后关键尺寸检查
Total pitch
长寸测量
Gate Wet etch
栅电极湿刻
Contact angle
接触角测量
PR strip
光刻胶剥离
CD after etch
刻蚀后关键尺寸测量
AEI
刻蚀后自动光学检查
Micro/Macro Inspection
宏微观检查
Laser Repair
激光修补
Active层
Clean before depo
成膜前清洗
Active film depo
Active成膜
AOI
自动光学检查
Macro Inspection
宏观检查
Thickness Measurement
厚度测量
Clean before PR
涂胶前清洗
Pre bake
预烘
PR Coating
光刻胶涂布
PR vacuum dry
光刻胶低压干燥
PR soft bake
前烘
Expose
曝光
Develop
显影
PR hard bake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
Mic/Mac Inspection
宏微观检查
Active film Dry etch & Ashing
Active膜干刻与灰化
Thickness Measurement
厚度测量
PR strip
光刻胶剥离
AEI
刻蚀后自动光学检查
Mic/Macro Inspection
宏微观检查

S/D
源/漏电极层
Clean before depo
成膜前清洗
S/D Mo film depo
源/漏电极成膜
RS meter
电阻测量
MACRO Inspection
宏观检查
Clean before PR
涂胶前清洗
Pre bake
预烘
PR Coating
光刻胶涂布
PR vacuum dry
光刻胶低压干燥
PR soft bake
前烘
Expose
曝光
Edge expose
边缘曝光
Develop
显影
PR hard bake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
MIC/MAC Inspection
宏微观检查
CD after develop
显影后关键尺寸检查
Hard bake by oven
烘炉坚膜
S/D Mo Wet etch
源电极/漏电极湿刻
n+ a-Si Dry etch
n+高掺杂膜干刻
PR strip
光刻胶剥离
Thickness Measurement
厚度测量
CD after etch
刻蚀后关键尺寸测量
AEI
刻蚀后自动光学检查
Micro/Macro Inspection
宏微观检查
Clean before O/S test
短路/开路测试前清洗
Open/Short Test
短路/开路测试

Passivation
保护层
Clean before depo
成膜前清洗
Pass'n film depo
保护膜成膜
AOI
自动光学检查
MACRO Inspection
宏观检查
Thickness Measurement
厚度测量
Clean before PR
涂胶前清洗
Pre bake
预烘
PR Coating
光刻胶涂布
PR vacuum dry
光刻胶低压干燥
PR soft bake
前烘
Expose
曝光
Edge expose
边缘曝光
Develop
显影
PR hard bake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
Micro/Macro Inspection
宏微观检查
SinX Dry etch & ASHING
氮化硅干刻与灰化
PR strip
光刻胶剥离
AEI
刻蚀后自动光学检查
Micro/Macro Inspection
宏微观检查
ITO
ITO层
Clean before PR
成膜前清洗
a-ITO film depo
ITO成膜
RS meter
电阻测试
Anneal
煺火
Macro Inspection
宏观检查
Clean before PR
涂胶前清洗
Pre bake
预烘
PR Coating
光刻胶涂布
PR vacuum dry
光刻胶低压干燥
PR soft bake
前烘
Expose
曝光
Develop
显影
PR hard bake
坚膜
ADI
显影后自动光学检查
Micro/Macro Inspection
宏微观检查
ITO film etch
ITO膜湿刻
PR strip
光刻胶剥离
AEI
刻蚀后自动光学检查
Micro/Macro Inspection
宏微观检查
Final E/T
最终电测
Anneal
煺火
Array test
阵列测试
Array repair
阵列修补
TEG test
TEG测试
Sort
分级

Cell Process flow
制盒段工艺流程
CF Input
彩膜投料
CF Initial Clean
彩膜预备清洗
CF AOI
彩膜自动光学检查
CF Sort
彩膜分级
PI
配向膜
Clean before PI
配向膜涂布前清洗
PI Print
配向膜涂布
Pre-cure
预固化
PI Inspection
配向膜检查
PI Thickness
Measurement
配向膜厚度测量
Main-cure
固化
PI rework
配向膜返工
ODF
CF&TFT Matching
CF&TFT匹配
Rubbing
配向摩擦
Rubbing Inspection
摩擦检查
Loader & Un loader
上料机/下料机
Buffer
缓冲器
CST Buffer
工装栏缓冲器
Rotation/Cooling Unit
旋转/冷却单元
Turn Align Unit
旋转/对位单元
Turn Over Unit
翻转单元
After Rubbing Cleaner
摩擦后清洗
Spacer Spray
衬垫球散布
Spacer Counter
衬垫球计数
Spacer rework
衬垫球返工
Spacer Cure
衬垫球附着固化
Short Dispense
导电胶涂布
Sealant Dispense
边框胶涂布
Seal Inspection
边框胶检查
LC Dispense
液晶滴下
Vacuum Assembly
真空贴合
UV Cure
紫外线固化
Mis-alignment check
错位检查
Seal Oven
边框胶热固化
Eye Inspection
目视检查
Cell gap Measurement
盒厚测试
Cutting
切割
1/4(1/6)Sheet Cutting,
1/4(1/6)切割
Stick Cutting,
切条
Cell Cutting
切粒
Visual Test
Visual 测试

ECP
Edge Grind
磨边
Dipping clean
浸泡式清洗
Clean before Pol
贴片前清洗
Pol Attach
贴片
Pol Inspection
贴片检查
Pol rework
贴片返工
Auto Clave
Auto Clave
消泡
Laser Trimmer
Laser Trimmer
激光切线
Test
测试
Gross Test
终检
Repair
修补
Bin sorter
分级
OQC Test
出货检查
Store
货栈

Module Process Flow
模块段工艺流程
COG
Pad cleaning
端子清洗
IC Bonding
IC 邦定
Microscope Inspection
AOI
镜检
自动光学检查
Adhesive test
粘接力测试
FOG
ACF Attaching
ACF 粘贴
FOG Bonding
FOG 邦定
Microscope Inspection
镜检
Peeling strength test
拉力测试
ET test1
电测1
IC or FPC Repair
修补
UV glue sealing
封胶
FPC reinforcement
补强
UV glue curing
UV胶固化
Assembly
组装
ET test2
电测2
anti-ultraviolet tape attaching
遮光胶带粘贴
protected tape attaching
保护胶带粘贴
Backlight assembly
背光源组装
Backlight soldering
背光源焊接
Touch panel assembly
触摸屏组装
Final ET test
最终电测
Rework
返工
Aging
老化
QC test
QC检验
Code printing
喷码
Packing
包装
OQC Test
出货检验
Finished good shipment
合格品出货

CIM name
集成控制系统名称
CIM
计算机集成制造系统
CIM System
计算机集成制造系统
Manufacturing Execution System(MES)
制造执行系统( MES)
Preventive Maintenance System(PMS)
设备预防保养系统( PMS)
Statistical Process Control(SPC)
统计过程管理( SPC)
Equipment Automation Program(EAP)
设备自动化( EAP)
Report
报表
Engineering Data Analysis(EDA)
工程数据分析( EDA)
Finished Good Management System(FGMS)
成品管理系统( FGMS)
Product
产品
Glass
玻璃基板
Panel
面板
Process Flow
工艺流程
Operation
操作
EDC
工程数据收集
Equipment
设备
Chamber
腔体
Unit
单体
Sub Unit
副单体
Port
端口
OIC (Operator Interface Client)
操作者界面
EDB
工程数据库
FGMS
成品管理系统
Dispatcher
派货
Create
建立
Start
下线
Scrap
报废
Un scrap
取消保废
Complete
完成
Ship
出货
Un ship
取消出货
Receive
收料
Track In
入账
Track Out
出账
Wait
等待
Hold
滞留
Release
释放
Rework
返工
Vehicle
搬运车
Robot
机械手
AGV (Automatic Guided Vehicle)
自动搬运车
MGV (Manual Guided Vehicle)
人工搬运车
Clean lifter
净化电梯
LIM (Linear Induction Motor) Carrier
线性感应马达传送载具
OHS (Overhead Handling System)
天车搬送系统
Stocker (clean depot)
工装篮存放架
Battery
电池
Bay
作业区
Inter-bay
作业区和作业区之间
Intra-bay
作业区之内
Bumper
减震缓冲器
Charger
充电器
Controller
控制器
Conveyor
传送带
Crane
吊车( 在Stocker内)
FFU (Fan Filter Unit)
风扇过滤器
Host
主机
I/O (Input / Output)
输入/输出
IR (Infra-Red)
红外线
IRIF(Infra-Red Interface)
红外接口
Load
上料
Unload
下料
Magnetic tape
磁条(AGV路径所使用的磁条)
Retrieve
检索
RTM (Rotary Transfer Machine)
旋转传送机构
SCARA arm
AGV传送臂
Reset
重新设定
Transportation
传输
Recipe
工艺参数的组合
Stock out
将工装篮取出货栈
Request
要求,请求
Transfer
传送,运送
Instruction
命令,指令
Select
选择
Cancel
取消
Operation
作业,操作
Support
支援,支持
Process
工艺
Start
开始
Batch
批量
Lot
批(指生产线的在制品或产品控制单位)
ID (Identity)
识别码(如Lot ID or Chip ID)
Sheet
片(Array区玻璃基版计数单位)
Inspection
检验
Defect
缺陷
Hold
滞留
Release
释放
Equipment
设备( 简称为EQP)
Tool
工具,机台
WIP (Work In Process)
在制品( 工艺在制品)
Maintenance
维修保养
Cassette
工装篮(阵列段),卡匣(制盒段及模块段)
Empty
空的
Reserve
预备
Report
报告
Rework
返工
Log on
登录, 入系统
Log off
注销登录, 离开系统
Note
批注
Unpacking line
拆包线
Un packer
拆包机
Glass conveyor
玻璃传送带
Initial Cleaner
预清洗
Un loader
下料机
Cassette Manual Guide Vehicle (MGV)
工装篮人工搬运车
Array Cassette
Array工装篮
ODF Cassette
ODF工装篮
Automated Material Handling System(AMHS)
自动物料搬运系统
Clean Stocker(STK)
洁净工装篮存放架( STK)
Overhead Handling System (OHS)
天车搬送系统( OHS)
Material Control System (MCS)
物料控制系统( MCS)
Clean Robot
洁净机械手
Loader/Un loader
上/下料机
Sorter
分片机

二．TFT材料中英文标准名称
类型
Type
Materials name
材料名称
玻璃
Glass
Glass
玻璃基板
Color filter
彩色滤光膜
Bare glass
白玻璃基板
LCD Panel
液晶面板
靶材
Target
AlNd/Al Target
铝钕/铝靶材
MoNb/Mo Target
钼铌/钼靶材
ITO Target
ITO靶材
化学液体
Chemical
Al Etchant
Al蚀刻液
ITO Etchant
ITO蚀刻液
HNO3
硝酸
CH3COOH
乙酸
Developer
显影液
Stripper
剥离液
MEA
单乙醇胺
Photo Resist
光刻胶
Organic Photo Resist
有机膜用光刻胶
Thinner
稀释剂
NMP
N-甲基-2-吡咯烷酮
HF
氢氟酸
Acetone
丙酮
IPA
异丙醇
Ethanol
酒精
辅助器材
Sub material
Photo Mask
光罩
APR Plate
APR版
Rubbing Cloth
摩擦绒布
Adhesive Tape
双面胶布
Probe frame for array tester
阵列电测架
E/T Frame
电测用探测架
Cell ET Probe Unit
屏电测用探测头
Open/Short tester and prober
开路、 短路电测用探测头
Teflon Tape
特氟龙带
Silicon rubber
硅胶皮
Wiper Tape
无尘卷布
高纯气体
High purity gas

NF3
三氟化氮
SiH4
硅烷
SF6
六氟化硫
NH3
氨气
Cl2
氯气
HCL
氯化氢
CHF3
三氟甲烷
PH3
磷烷
CF4
四氟甲烷
N2
氮气
O2
氧气
H2
氢气
Ar
氩气
He
氦气
液晶
LC
LC
液晶材料
胶膜
Film
Polarizer
偏光片
Diffuser
散光膜
涂料
Dope

Paint
PI
聚酰亚胺
树脂
Resin
Sealant
边框胶
UV glue
UV胶
ACF
各向异性导电膜
Conductive Spacer
导电衬垫球
Spacer used in Sealant
边框胶内衬垫球
Spacer used in Cell( White)
盒内衬垫球(白)
Spacer used in Cell( Black)
盒内衬垫球(黑)
元器件
Parts
Back Light Unit
背光源
Integrated circuit/Driver IC
集成电路/驱动IC
PCB
印刷电路板
FPC
柔性印刷线路板
Module Frame
模块外框
Touch Panel/Touch film
触摸屏/触摸膜
RCL
阻容器件
焊接材料
Soldering
material
FLUX
助焊剂
SOLDER CREAM
焊锡/焊接剂

三．TFT设备中英文标准名称

English name
中文名称
PHOTO
曝光
Exposer
曝光机
Coater Developer
陈列黄光制程清洗机-涂布机-显影机
long size measuring and critical dimension measuring multiple equipment
测长仪和线宽测量仪
Titler& Edge Exposer
打标机和边缘曝光复合机
Edge Exposer
边缘曝光机
AFM
原子力显微镜
FIB
聚焦离子束系统
FE-SEM
场发射扫描电子显微镜
UV Meter
UV照度计
EXCIMER UV
准分子紫外清洗机
Ionizer Bar
除静电棒
Fire Extinguisher
灭火器
Photo Ionizer
软X射线静电消除器
PVD&WET
溅射&湿式
PVD
(Multi-chamber type sputtering system)
磁控溅射成膜机
Particle counter
尘埃粒子测量仪
Ultrasonic Cleaner
超声波清洗机
Stripper
脱膜机
Contact Angle Analyzer
接触角测量仪
RS Meter(4point Probe)
四探针仪
Cassette Cleaner
工装篮清洗机
Initial Cleaner
预备清洗机
Pre CVD cleaner
成膜前清洗机
HF Cleaner before S/D
S/D成膜前带HF清洗机
Liquid Particle Counter
液体内尘埃粒子测量仪
CCSS
中央化学品供应系统
Anneal Oven
退火炉
Hard Bake Oven
后烘炉
Film Tester
薄膜附着力测试仪
Etchant Concentration Management System
刻蚀液浓度管理系统
DMS
显影液浓度管理系统
DRS
显影液溶剂回收系统
RMS
剥离液浓度管理系统
Wet Etcher
湿刻机
4.5G-Macro Review System
4.5G宏观检查机
4.5G-Mic/Mac Review System
4.5G宏观、 微观检查机
RGA(Residual Gas Analyzer)
残余气体分析仪
PECVD
化学气相沉积
Hot N2 Transfer System
热N2供应系统
PECVD
等离子增强化学气相淀积设备
Special Gas Supply & Monitor System
特种气体供应和监视管理系统
Temperature Recorder
温度记录仪
Gas Scrubber for PECVD
PECVD用尾气处理装置
Full Automatic Spectroscopic Ellipsometer for Flat Panel Display
平板显示用全自动椭圆偏振光谱仪
Clean Crane
洁净室起重机设备
Spectroscope Reflectometer
平板显示用全自动分光反射光谱仪
He Leak Detector
氦气检漏仪
DRY
干刻
Dry Pump for CVD
化学气相沉积设备用真空泵
Dry Pump for PVD
物理气相沉积设备用真空泵
EPD for Dry Etching
干刻终点侦测器
Dry pump for Dry Etching
干刻机设备用真空泵
Dry Etching/Ashing System
干刻灰化一体机
Profiler System
段差量测机
Chiller for Dry Etching
干刻机辅助设备冷却器
Local Scrubber System for Dry Etching
干刻用废气处理设备
CELL
制盒
Rubbing Line
摩擦线
Before PI cleaner
PI前清洗机
Cassette BF
工装篮缓冲器
PI Printer
PI涂布机
Pre-Cure
预固化炉
Main-Cure
主固化炉
Loader/Un loader
上下料机
APR cleaner
APR板清洗机
Rubbing Inspection
摩擦检查机
After Rubbing Cleaner
摩擦后清洗机
ODF System
ODF相关设备
Seal Dispenser
边框胶涂布机
Short Dispenser
导电胶涂布机
Seal De-bubbling machine
边框胶脱泡机
UV cure
紫外线固化机
Spacer Cure Oven
衬垫球固化炉
Cooling /Rotation Unit
冷却/旋转装置
Seal Cure Oven
边框胶固化炉
LC dispenser
液晶滴下机
LC de-bubbling
液晶脱泡机
Vacuum Assembly
真空贴合系统
Mis-align Checker
对位检查机
Visual Inspection
目视检查机
ODF Inline transfer and line control block
ODF联线传输和软件控制系统
Loader(3port)
上料机
Un loader(3port)
下料机
Cassette Buffer
卡匣缓冲器
Turn Align Buffer
旋转对位缓冲器
Pairing/NG Buffer
配对/不良制品缓冲器
Spacer NG Buffer
衬垫球散布不良制品缓冲器
Turn Over Align
翻转对位器
UV Mask stock
UV Mask 存储柜
Buffer after UV cure
紫外线固化后缓冲器
Cooling Buffer
冷却缓冲器
Spacer US Cleaner
衬垫球超声波清洗机
Spacer Remover(USC)
衬垫球聚团去除装置( 超声波清洗机)
US Cleaner after sealant dispensing
边框胶涂布后超声波清洗机
US Cleaner after short dispensing
点胶后超声波清洗机
Master PLC
主PLC
CIM PC
CIM PC
Seal Inspection
边框涂布检查机
Cell Gap Inspection
盒厚检查机
Dry Spacer Spray & Spacer count
干式散布机
衬垫球计数器
Auto Clave
偏光片贴附后加压消泡机
Edge Grinder
液晶面板磨边机
LCD Panel cleaning and Polarizer attach system
液晶面板清洗和偏光板贴附机系统
Panel Cleaner
面板清洗机( 用于液晶面板清洗和偏光板贴附机系统)
Polarizer Attach Machine
偏光板贴附机( 用于液晶面板清洗和偏光板贴附机系统)
LCD Panel Polarizer Rework Machine
液晶面板偏光片返工机
Cell Cassette(3"-10.4")
3"-10.4"Cell卡匣
Single head scriber
单刀头切割机
LCD glass in-line Scriber
液晶面板在线切割机
Multi head Scriber
多刀头切割机
MODULE
模块
COG bonding machine
自动COG邦定机
COG Semi-automatic Bonding Machine
半自动COG邦定机
Aging test system
老化测试系统
Signal generator for LCD Inspection
LCD检查用信号发生器
Auto Optical Inspection
自动光学检测仪
Air Particle Counter
空气尘埃粒子测量仪
Backlight tester
背光源色度亮度测量仪
Projector
投影仪
Microscope
显微镜
Ionizer blower
离子风扇
Surface resistance test kit( 点检)
表面电阻测量仪
Charged Plate Monitor
平面带电测试仪
Static electricity voltage testing
静电电压测量仪
TEST
测试
ADI-AOI
显影后检测
AEI-AOI
刻蚀后检测
CF-AOI
彩色滤光片检测
Array Tester
阵列电测机
Open/Short tester and prober
开路/短路检测和探针系统
ARRAY O/S probe
开路/短路探针系统
TEG Prober
TEG探针系统
TEG Tester
TEG测试系统
Probe Unit for TEG
TEG测试用探针系统
Array repair
激光修补系统
Array Probe frame
阵列电测架
Visual test probe unit
目测用探针系统
ET Probe unit
2英寸电测用探针系统
Microscope
显微镜( Panel)
Microscope and laser system
带激光的显微镜
Barcode Reader
条形码阅读器
Fixed 2D Code Reader
2维读码器系统(固定类型)
Portable 2D Code Reader
2维读码器系统(可移动类型)
PI+Macro inspection system
PI+Macro检测系统
Cell Gap Measure System
盒厚测量系统
Laser Trimmer
激光切线系统
Cell Laser Repair
液晶盒激光修补系统
Oscilloscope
示波器
Manual probe
手动探针系统
Precision Parameter Analyzer
TFT参数分析仪
R&D
研发
Product Optical Quality Measurement System
产品光学质量检测系统
Optical Parameters Measurement System
光学特性量测设备
Circuit drawing//Orcad
电路图编辑器
P-spice Analog Simulation
P-spice电路仿真器
PCB Artwork
PCB线路图编辑器
3D Mechanical Design Tool
3D机械设计工具
2D structure Design Tool
2D结构设计工具
Pattern Generator
测试图形发生器
Resistance Attenuator
电阻衰减器
illuminance Colorimeter
亮度色度计
Spectrophotometer
亮度色度光谱仪
Color Analyzer
色彩分析仪
R,L,C Measurement
R,L,C测试仪
ESD Gun(EMI/EMS)table
静电枪台
UV TEST chamber
紫外线测试箱
Seal dispenser
边框胶涂布机
three axis Measurement Stage
三轴量测平台
Pre-tilt angle & cell gap measurement system
倾斜角盒厚量测仪
LC resistivity meter
液晶电阻率测量仪
Oscilloscope(Analog)
模拟示波器
Thermo-hygrostat
恒温恒湿柜
Thermal Shock Chamber
冷热冲击舱
ESD Gun(EMI/EMS)
静电枪
Liquid crystal injection machine
灌晶机
Plasma cleaning machine
等离子清洗机
Simulation software of LCD Optical parameters
LCD光学特性模拟软件
Layout editor for mask
版图设计软件
CIM
集成控制
CIM System
-.Manufacturing Execution System(MES)
-.Preventive Maintenance System(PMS)
-.Statistical Process Control(SPC)
-.Equipment Automation Program(EAP)
-.Report System
-.Engineering Data Analysis(EDA)
-.Finished Goods Management System(FGMS)
-.Engineering Data Base(EDB)
计算机集成制造系统
-.制造执行系统
-.机台预防保养系统
-.统计制程管制
-.设备自动化
-.报表系统
-.工程数据分析
-.产成品管理系统
-.工程数据库
Operator Interface Client(OIC)
操作者界面
FAB Monitoring Client(FMC)
工厂监控系统
Dispatcher(DSP)
任务分配系统
Fault Detection and Classification(FDC)
缺陷检查和分类系统
Alarm Management System(AMS)
机台报警系统
Real Time Analysis/Monitoring System(RTAMS)
缺陷管理的实时监控/分析系统
System Management System(SMS)
系统管理系统
AMHS
物料搬运
Unpacking line
-.Un packer
-.Glass conveyor
-.Initial Cleaner
-.Un loader
拆包线
-.拆包机
-.玻璃传送带
-.预清洗
-.下料机
Cassette Manual Guide Vehicle (MGV)
工装篮人工引导车
Array Cassette
Array工装篮
ODF Cassette
ODF工装篮
Automated Material Handling System(AMHS)
-.Clean Stocker(STK)
-.Overhead Handling System (OHS)
-.Material Control System (MCS)
自动物料搬运系统
-.洁净堆料机( STK)
-.天车搬送系统( OHS)
-.物料控制系统( MCS)
Clean Robot
洁净机械手
Loader/Un loader
上下料机
Sorter
分片机
CIM Server
集成控制系统服务器