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高纯度管道施工程序
1． 范围
本施工手册适用UHP高纯气体管道施工全过程（Bulk gas and special gas）

2． 目的

本手册的目的是：
A． 确保UHP气体管道施工的质量，以向客户提供最可靠，最安全的服务
B． 使管道作业者理解UHP Piping 的施工原则，并自觉贯彻与始终
C． 每天开始的管道施工应严格按照如下程序：

3． 材料的管理

3.1材料与配件的接收
3.1.1直观检查
1） 确认无损坏，划痕或凹坑
2） 检查是否有塑料帽密封
*如为双层包装 应检查内外是否有损坏
3） 检查型号与数量
3.1.2检查记录
根据本方的订货要求和供应商的供货质保书对材料和配件进行核对，作到货单
对应无误，达到验收要求
3.2材料与配件的验收记录
3.2.1验收记录需验收负责人完成
3.2.2材料与配件的接收必须由负责人记录
3.3材料与配件的储存与运输
3.3.1材料与配件的储存地方应在指定区域内有序放置
3.3.2材料与配件应根据型号、尺寸和级别分开储藏

3.3.3双层包装的材料与配件只有使用时才可打开包装，同样乙烯套只有使用时
才可拿去
3.3.4储放预制件及暂时不用的切管，应内充径过0.01u过滤器的氩气（或氮气），
在首尾端用乙烯套罩住，并采取其他保护措施
3.3.5运输时，无论室内于室外都应用乙烯套保护，并尽可能放在充填氩气（货
单期）的乙烯袋内运输
3.4材料与配件的取出
1. 保管员允许后方可取出材料与配件
2. 保管员应在总帐上注明材料/配件名，种类与数量
3. 保管员应根据总帐进行盘存

4. 管道施工管理
本程序是为了控制每天施工开始前的所有准备工作，以及确保一天的施工在洁净，有序的环境中进形
4.1.1作业安全
4.1.1.2管道作业者必须通过有关的技术培训考试，并取得专业施工资格证书
4.1.1.3所有者都必须穿带好劳动防护用品具，准备齐安全区
4.1.1.4施工现场动火，需取得客户许可，持有作业许可证，备齐有关的消防设备
4.1.1.5遵守客户现场的安全作业制度及有关的法规，条列
4.1.1.6作业场所的洁净
4.1.1.7.管道施工场所的整理及清扫需定期进行并检查
4.1.1.8．作业场所需有良好的通风和照明条件
4.1.1.9.检查设备及工具的洁净，如有沾污迅速用IPA擦拭
4.1.1.10.设备及工具的完好
4.1.1.11.为确保施工，特别是焊接过程的电稳定，需使用稳压电源，并合理分配负荷
4.1..2.如设备及工具状态不好，加以维护（如切削刀头钝或有缺口

4.1..3.特别强调对焊机的检查，仔细检查钨棒，夹具，连接线等，并定期按焊机操作手 册对焊头加以校正和维护
4.1.4只有通过0.01u过滤器的纯净氩气或气，才可用作焊接保护气，特别对UHP管道来说，焊接保护氩气应径过纯化器，其出口氧含量小于1ppm，水含量小于1ppm
4.1.5.检查材料
管道施工材料必须根据种类、尺寸和级别分开堆放，并保持良好的包装状态，当日的施工材料应以最低量从库房中领出
4.1.6.现场施工主管应对上述内容定期检查，发现问题及时纠正

5. 配管加工
配管加工过程分为配管准备（切割、弯管、配管连接焊接及非焊接方式、配管固定三部分

5.1总则
1． 工作前应开一工作会准备会讨论安全问题，确定时间表、问题点及改进策略然
后开始工作
2． 不可使用脏工作衣、洁净间应穿防尘服，在客户的洁净间室内工作时应遵守客
户洁净市内的规章制度
3． 洁净室内不可带入散发粒子的材料，如木材、纸张和铅笔
4． 工具应区分时洁净室内用还是一般作业场所用
5． 材料与配件使用前应尽可能长时间放于乙烯袋内只有使用时才可打开。同样，
即使是在洁净室内，乙烯套也只有在连接时才可拿掉
6． 管道加工时去掉乙烯套的时间应尽可能短
7． 如临时存放材料与配件于作业场所，需得到客户的同意，确认存放时间，负责
人、联络地方和其它必要信息
8． 即使材料与配件不是将与气体接触部分，也不可用脏手套或裸手触摸（通常应
戴一干净手套）
9． 如材料与配件因不可控制原因而变脏时，用IPA清洁
10． 管道施工时，预制件应近可能多地在洁净房内完成以减少现场作业量

11． 焊接用保护气与吹洗用气体应使用通过001u过滤器的纯气体
12． 焊接用保护气与吹洗用气体连接处应常保持洁净，并在使用后用洁净布清洁以
保持干净
13． 施工负责人应定期检查上述各项及控制。

5.2.配管准备
半导体行业气体供应管道多采用不锈钢管（电抛光或化学抛光）

5.2.1.配管切割

对于小口径配管（1/4″--1/2″）,切割原则如下：

1. 切割前应确认配管表面无有害痕迹、破损
2. 配管切割时须使用不锈钢专用切割器缓慢进行切割
3. 原则上被切割管应横放水平固定、防止切屑进入管内。
4. 配管切割后须用洁净的气体吹扫管子切割端、切割端应置于低处，气流从高处望
低处吹洗。
5. 切割后如管上附有切屑或其它杂质、须用无尘纸及IPA擦净。
6. 切割后应用专用的切面加工器处理切面，坡口型式应为I型，并用特殊的铣毛刺
机消除毛刺，此时应小心不可凿得太多；（一直保持端面朝下）
7. 进行切面和铣毛刺加工时、为了防止切屑进入管内、应始终置加工面于下流、从
上流冲放洁净的气体。加工后、使切面朝下、从上方敲打几次、去除切屑杂质。
8. 切面加工终了后、确认切面处理是否良好，检查合格、用洁净的气体清洗配管外
表。
9. 如确认配管内外无杂质或异常现象、于两端加盖待用。
10. 一般如配管不能很放水平切割、下方管便不可使用。
11. 使用专用吸尘器消除切割及处理过程中产生的粒子。

中大口径管子（≥3/4″）

1. 采用专用的切割机切割中大口径管子
2. 切割后将切割端朝下轻微抖动消除切屑，然后用洁净气体（配过滤器的气枪）从
上往下吹洗
3. 切割后目视检查是否有灰尘污染，如存在污染，再吹洗一次或用无称纸擦拭
4. 切割后用端面处理器进行端面处理，坡口型式应为I型；并铣去毛刺，必要时使
用锉刀，应十分小心的进行修边处理
5. 端面处理及铣毛刺过程中，应确保端面朝下，处理后轻轻抖动消除切屑
6. 端面处理后，用洁净气体从上流往下流吹洗，处理端面为下流
7. 端面处理后目视检查是否有切屑污染
8. 管子的端面加盖
9. 使用专门吸尘器消除切割及处理过程中产生的粒子

5.2.2.弯管
5.2.2.1.原则上只有直径小于1/2″的BA管才可弯曲；对于EP 管，除非客户有特殊的要求才可进行弯管操作
5.2.2.2.配管弯曲式（除了量尺寸外）不可取开两端盖子
5.2.2.3.配管弯曲应使用专门的弯管器进行操作
5.2.2.4.对不同尺寸的BA、EP管弯管半径规定如下
EP管1/4″(10D弯径) R=63.5
EP管3/8″(10D弯径) R=95.5
BA管1/4″(标准弯径2.5D) R=约为15
BA管3/8″(标准弯径2.5D) R=约为24
BA管1/2″(标准弯径2.5D) R=约为32
管子弯曲时，管子的正负角度应小于15

5.3配管连接

5.3.1焊接
5.3.1.1.总则
1． 焊工须通过不锈钢焊接工艺技术测试或公司的焊接工艺授权测试
2． 作为对自动焊接的管理，每天正式实施焊接工作前，焊工须对每台焊机的各种尺寸配管进行样本制作，交现场工程师进行评估和检查，样本通过后才能进行焊接操作。关机后再使用应重做样品并检查
3． 每天焊接工作结束及当日管径变换前应制作结束样本，检验已完成部分的焊接质量，如结束样本不合格，则检验最后一个焊点的质量，依次类推
4． 用于评估的焊接工作的样本须按照样本制作条件与判定结果单制作及评估
5． 通常焊接总时从管子上流往下流进行
6． 现场焊接时，采用特殊的密封法以减少外界的污染，如在洁净室内作业就可免去
7． 自动焊机的电源应保持恒定并配有稳压装置
8． 当焊接大口径管子时，小心电源的供给（手工焊大于200V3①60A）
9． 该部分管路在施工结束前，管内需始终充有高纯度氮或氩，以防止空气的进入
5.3.1.2保护气的吹洗方法
1. 保护气吹洗是为了UHP管路系统进入空气
2. 通常吹洗管道采用不锈钢管，与被要焊接的管道的连接采用PTFE材料（不可采用会释放气体的聚氮乙烯材料）
3. 保护气体的纯度应为管端（将焊的管子）氧分低于1ppm，水分低于1ppm，氧分、水分应定时测量
4. 被保护气压力应在被焊管子出口端用气压计测量，并调节为30-50mmHg，焊接区域全气压计有一定距离时，调节前应考虑压力损失
5. 焊接直到焊接区域冷却(<100℃)都要保持有被保护气
5.3.1.3. 点焊
1. 自动焊时，如管子尺寸大于3/4″有必要点焊
2. 点焊时焊接熔深应小于管子壁厚的1911
3. 点焊点数根据尺寸不同而异，但应为4-8点

4. 点焊时应完全清除氧化膜

5.3.1.4. 焊接作业
1. 参照各台焊机的使用手册操作
2. 在焊接过程中应始终保持焊头的清洁，并检查夹具套的潜在危险损坏
3. 焊接过程中应尽量减少对母材的热输入
4. 夹套应准确地校正并固定
5. 目视检查焊后外表面无任何变形，用钢丝刷刷去焊接区外表面的氧化膜
6. 完成焊接后，焊工必须在焊点处签写姓名和日期并贴上红色标签

5.3.1.5. 双套管
1. 外层管子的内径应为内层管子的外径的1.2倍
2. 内外层管子间用一弹簧或薄片（有孔）作为垫片并用胶水将垫片固定在内层管子上以消除位移
3. 为防止内外层管子的接触，直管处每1-1.5米或弯头与三通附近插入一垫片
4. 不要忘记外层管子的多余部分

5.3.1.6. 非焊接式连接方法
半导体行业气体管道的非焊接式连接方式指的是螺纹连接，主要有NPT、SWAGE、VCR、VCO等类型，NPT、SWAGELOK用于普通气体管道非焊接处连接，VCR、VCO则用于特种气体管道非焊接处连接。螺纹连接应严格参照使用说明，加以结合。

配管连接工作的总体要求如下：
1. 工作衣必须适合于现场环境
2. 工作现场尽量准备干净、合理布局、安全的作业环境，考虑脚下须安全
3. 高空(>2米)作业时,用安全带和梯子以保证作业安全并通知第三方高空作业正在进行
4. 不要用裸手触碰材料及配件

5. 检查完包装内剩余部分,拧紧密封接头
6. 对于双层环形接头,检查压盖方向并拧紧
7. 没有不可承受的压力作用的螺纹接头和法兰接头要设定状态,当不可承受的压力明显时要更换管子
8. 参照用户手册固定接头
9. 连接完成后,管内需连续用氮气(或氦气)吹洗
5.4. 配管固定
5.4.1. 夹固工作
1. 夹固管子时,需考虑到可能对已安装管子的损坏或超载
2. 安装管道支架时需考虑管子的自重、延伸、收缩、振动、气压、位置、外部环境和安全
3. 管道支架的距离参照设计标准
4. 在可能发生振动的地方，采用防震吊架或防震橡皮作为防震措施
5. 管道穿越混凝土墙或地板时，必要时管子外可裹反腐蚀带或开一间隙并采用无腐蚀材料隔开
6. 管子与支架不可用不同金属，有必要用树脂或绝缘体隔开以避免接触
7. 当管子与支架的腐蚀可能由外界环境产生，应用防锈漆保护(尽可能避免采
用此法)
8. 当高空(高于2米)作业时采用安全带和梯子高空作业以保证安全同时需通知
第三方高空作业正在进行

6. 标记
UHP管道施工，必须从供气点到用气点全程定点设置标记，标计需醒目，以利于施工者和客户识别管内介质及流向.
标注的地方

标签1)弯头两端
2)分支连接处
3)通孔前后

4)直管每隔4米处

7.烘烤
1. 烘烤时由管道上方至下方选行
2. 在官子上缠加热线以烘烤，缠上绝缘物象PEF以绝热
3. 烘烤的标准为80-120℃；(如温度太高，将对树脂产生不良影响)
4. 烘烤时，管内需连续用高纯氩或纯氮吹洗
5. 标准烘烤时间为工作完成至第二天开工前的12个小时，也可根据工作难度改变
6. 烘烤量的标准是当天的施工量，也可根据加热线的长度或工作可行性改变

高纯管道工程洁净厂房施工守则

目录

1. 总则
2. 目标
3. 常识
4. 我国洁净厂房设及规范中的洁净度等级标准
5. 洁净室程序
6.洁净室更衣程序

7.洁净室工作注意点
8.洁净室安全

1. 总则:
本作业指导书所述内容，均为操作人员在高纯管道项目施工过程当中，尤其是在客户洁净厂房作业时必须遵守的内容。
2. 目标:
制定此作业指导书的目的在于，使在客户洁净厂房中施工的操作人员，能了解洁净厂房施工工程中的注意事项，从而严格遵守执行，以保证每一个施工环节的质量，进而保证整个工程的质量。
3. 常识：
人是洁净时最主要的污染源，人散发的污染物分自身产生和人体携带两种。自身产生的污染物包括：体表脱落物和体表呼吸排出物。例如：每人每天大约脱落1000万个屑粒；人吸烟20分外后，随呼吸排出的吸烟粒子，可使周围污染程度比正常情况增加2-5倍。人体携带的污染物由三种：一种是附在头发、衣服鞋子上的污染物；一种是人体表的涂抹物；第三种是服装磨损的脱落物。例如：着旧棉织服装，静止状态下每分钟平均产尘为10个，因此人员进入洁净厂房以前必须采取严格的人身净化措施。
人身净化的方法主要有：洗涤、更衣、换鞋、吹淋和对作业人员进行培训教育建立必要的规章制度等。
洗涤：用水洗去手、脸乃至全身体表附着的灰尘、微生物以积极存在体表的排出物。
更衣：为了减少人体的污染，进入洁净室以前应首先脱去外出服以及多毛的内衣换上适合洁净室工作的洁净工作服。
换鞋：外出鞋污染物最多，需在入口处用水洗吸尘和粘着的办法处理以免沾污门厅入口。进入洁净区前应换上适合洁净室穿的洁净鞋。
空气吹淋：用25m/s以上的高速洁净空气吹扫全身服装和裸露体表的附着物。经过吹淋后方能进入洁净室。

４.我国洁净厂房设计规范中的洁净度的等级标准
洁净度等级
1m3空气<0.5µm的粒子数(n/l)
1m3空气<0.5µm的粒子数(n/l)
100
[3.5
┅
1000
[35
0.25
10000
[350
2.5
100000
[3500
25

5.洁净程序
5.1洁净室更衣程序
5.1.1脱去外套
5.1.2脱去工作鞋
5.1.3洗手
5.1.4在进更衣室前先进空气冲淋室
5.1.5进入更衣室后，带上面罩
5.1.6带上发罩
5.1.7在发罩外带上头罩
5.1.8穿上洁净服
5.1.9穿上洁净鞋
5.1.10带上洁净室专用的安全眼镜
5.1.11带上洁净室专用的手套
5.1.12进入空气冲淋室

5.2.洁净室工作注意点
5.2.1所有工具在进洁净室之前必须清洁及油污
5.2.2在进入洁净室前，去除所有纸包装，比如VCR垫片及其它备品的包装
5.2.3不要带木制品进入洁净室
5.2.4在洁净室环境中，任何情况下禁止取消面罩
5.2.5在洁净室环境中，必须带手套和眼镜

5.2.6在洁净室中施工时，任何情况都必须带手套，手套脏或破损，立即更换
5.2.7休息时避免在地板上或躺
5.2.8在有切割、焊接等有大量颗粒产生的过程中，必须使用吸尘器
5.2.9在洁净室内施工时，禁止随便开关任何气体阀和电气阀
5.2.10避免任何不必要的打开地板的工作，在施工结束后地板要安装回原位
5.2.11每一天的工作结束后，要将工作场地打扫干净，所有工具和材料要放 好
5.3.洁净室安全
5.3.1不要随意开或关任何气体阀，不要随便乱动任何气体阀
5.3.2不要在洁净室内随意开关任何动力转换装置
5.3.3在洁净室内施工时，禁止任何玩笑，禁止奔跑
5.3.4如果工作在某台设备上开展，要保证此设备处于断电状态下，如果不是,
要和有关人员确认，切断电源
5.3.5任何状况下，都必须带安全眼镜
5.3.6任何气体管线的修改或改动，都必须和有关人员确认，得到许可以及必要的书面证明