AD862M固晶维护手册.doc

預防性維修手冊

AD862/M

文件號 : MN-E00369CPM-XX
修訂本 : A

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AD862/M 預防性維修手冊
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油脂名稱

皮帶力度
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AD862/M 預防性維修手冊
目錄

目錄
第 1 章 總說明 1-1
第 2 章 工作台 2-1
2.1 模組絕緣 2-2
2.2 清潔光敏傳感器（每季） 2-2
2.3 清潔線性馬達及磁石板(按需要) 2-3
2.4 清潔線性編碼器(每季) 2-4
2.5 潤滑LM導軌（每半年） 2-5
第 3 章 點膠頭 3-1
3.1 模組絕緣 3-2
3.2 清潔光敏傳感器（每季） 3-2
3.3 潤滑交叉滾子導軌(每半年) 3-3
第 4 章 焊頭 4-1
4.1 模組絕緣 4-2
4.2 清潔光敏傳感器（每季） 4-2
4.3 潤滑交叉滾子導軌(每半年) 4-3
4.4 清潔線性馬達及磁石板(如有需要) 4-4
4.5 清潔線性編碼器(每季) 4-5
第 5 章 AD862M頂針器 5-1
5.1 模組絕緣 5-2
5.2 清潔頂針帽（每日） 5-2
5.3 清潔頂針（每日） 5-3
5.4 更換頂針(按需要) 5-4
5.5 清潔光敏傳感器（每季） 5-5
5.6 潤滑交叉滾子導軌(每半年) 5-6
5.7 潤滑調整絲杆（每半年） 5-7
第 6 章 AD862 頂針器 6-1
6.1 模組絕緣 6-2
6.2 清潔頂針帽（每日） 6-2
6.3 清潔頂針（每日） 6-3
6.4 更換頂針(按需要) 6-3

AD862/M 預防性維修手冊
目錄

6.5 清潔光敏傳感器（每季） 6-4
6.6 潤滑交叉滾子導軌(每半年) 6-5
6.7 潤滑調整絲杆（每年） 6-7
第 7 章 AD862M晶片旋轉台 7-1
7.1 模組絕緣 7-2
7.2 清潔光敏傳感器(每季) 7-2
7.3 檢查皮帶（每季） 7-3
第 8 章 AD862 晶片旋轉台 8-1
8.1 模組絕緣 8-2
8.2 清潔光敏傳感器(每季) 8-2
8.3 檢查皮帶（每季） 8-3
第 9 章 晶片工作台 9-1
9.1 模組絕緣 9-2
9.2 清潔光敏傳感器(每季) 9-2
9.3 潤滑LM導軌（每半年） 9-3
9.4 清潔線性馬達及磁石板(按需要) 9-4
9.5 清潔線性編碼器(每季) 9-5
第 10 章 壓縮空氣過濾器 10-1
10.1 清潔空氣過濾器(每年) 10-2
10.2 排除裝置內的液體(按需要) 10-4
第 11 章 附錄 11-1
11.1 預防性維護計劃 11-1
11.2 預防性維護工具 11-3
11.3 常用潤滑脂使用方法及配件 11-4
11.4 培訓大綱 11-5

AD862/M 預防性維修手冊
第 1 章 總說明

第1章 總說明
合理的預防性維護對保障機器穩定運轉和延長機器的使用壽命是非常重要的。本手冊包 含有ASM AD862 系列機種預防維護信息，其目的是根據良好的實際製造經驗，幫助用 戶在運行機器過程中更有效地利用本機器。AD862 系列機種機包含以下主體部分：如 圖 1-1 和 圖 1-2
頂針器
焊頭
點膠頭
晶片光學
晶片旋轉台
工件臺（上）
晶片工作台
工作台
工件臺（下）
固晶光學

圖 1-1

1-1

AD862/M 預防性維修手冊
第 1 章 總說明

壓縮空氣過濾器

圖 1-2

1-2

AD862/M 預防性維修手冊
第 1 章 總說明

註:在清潔前應關閉電源並斷開壓縮空氣!

工作台
工作台由兩個獨立移動臺在同一 X 方向移動和兩個獨立移動臺在不同 Y 方向移動組 成。

點膠頭
點膠器由點膠臂、點膠盤、Z 模組、θ模組。

焊頭組件
焊頭由旋轉馬達模組和拾取頭連拾取臂組成。

頂針器
頂針器由頂針模組和調整工作台、推頂裝置組成。

晶片旋轉台
晶片旋轉台由旋轉工作台、晶片載具組成。

晶片工作台
晶片工作台由 X 及 Y 方向工作移動台。

壓縮空氣過濾器 壓縮空氣過濾器由壓縮調節和油霧過濾器與水霧分離器組成，用於過濾器空氣。

1-3

AD862/M 預防性維修手冊
第 2 章 工作台

第2章 工作台
工作台由兩個獨立移動臺在同一X方向移動和兩個獨立移動臺在不同Y方向移動組成。如 圖 2-1

X 方向移動臺
Y 方向移動臺

圖 2-1
工作台預防性維護核對表：
序號
項目
預防
工具
重要性
頻率
1
清潔光敏傳感器
關閉馬達
真空吸塵器/毛刷
***
每季
2
清潔線性馬達
及磁石板
關閉馬達
粘貼膠布/無塵棉布
***
如有需要
3
清潔線性編碼器
關閉馬達
正庚烷或異乙醇/無塵棉布
***
每季
4
潤滑 LM 導軌
關閉馬達
THK AFB 潤滑脂
***
每半年

2-1

AD862/M 預防性維修手冊
第 2 章 工作台

2.1 模組絕緣

1. 進入菜單｀維修 → 工作台 → X 或 Y → 電源＇ 關閉個別馬達。

2.2 清潔光敏傳感器（每季）
目的：
維持工作台的精確位移。 步驟：
1. 按照之前提示使工作台絕緣。
2. 定位光敏傳感器。如 圖 2-2
3. 用真空吸塵器清潔光敏傳感器。請勿使用吹風機，以免污染傳感器。
4. 通過遮擋與不遮擋傳感器檢查‘維修 → 工作台＇菜單下的傳感器狀態。

圖 2-2

2-2

AD862/M 預防性維修手冊
第 2 章 工作台

2.3 清潔線性馬達及磁石板(按需要)
目的：
維持工作台的順暢運行。 步驟：
1. 按照之前提示使工作台絕緣。
2. 將各功能組件移到一側。如 圖 2-3
3. 若線性馬達磁體表面有障礙物存在，應利用膠布清除。若有油污存在，應用無塵 棉布清潔。
4. 重複步驟 2~3 清潔線性馬達的另一側。
X 方向線性馬達
Y 方向線性馬達

圖 2-3

2-3

AD862/M 預防性維修手冊
第 2 章 工作台

2.4 清潔線性編碼器(每季)
目的：
維持工作台精確移位。 步驟：
1. 按照之前提示使工作台絕緣。
2. 定位線性馬達編碼器位置。如 圖 2-4
3. 拆除編碼器，用沾有異丙烷(異丙醇)或正庚烷的無塵棉布清潔光尺與讀取頭。請 勿使用丙酮進行清潔。
4. 完成清潔後裝回編碼器並調節位置使整個行程一直亮綠燈及回到參考標識位置 時紅燈閃爍。具體細節請參考機器設定與一般維修手冊。

光尺
編碼器

圖 2-4

2-4

AD862/M 預防性維修手冊
第 2 章 工作台

2.5 潤滑LM導軌（每半年）
目的：
維持精確的平穩運行，通常每運行 100km 應潤滑 LM 導軌一次。
1. 通過減少移動部位之間的摩擦來防止滯塞並使磨損降低到最小程度；
2. 在導軌表面上形成薄的油膜。
3. 此油膜會降低表面應力並延長移動疲勞壽命；
4. 油脂塗在導軌表面可防止腐蝕；

步驟：
1. 按照之前提示使工作台絕緣。
2. 用無塵擦布擦去 LM 導軌上所有舊的潤滑脂。
3. 手推動工作台定位LM導軌滑塊注油嘴。如 圖 2-5
4. 加適量的 THK AFB 潤滑脂，加適量潤滑脂塗上 LM 導軌。
5. 手動使工作台從一端移動到另一端 4~5 次使潤滑脂均勻分佈在導軌上。
6. 用無塵棉布擦除 LM 導軌上多餘的潤滑脂。

Y 方向 LM 導軌
注油嘴
X 方向 LM 導軌

圖 2-5

2-5

AD862/M 預防性維修手冊
第 3 章 點膠頭

第3章 點膠頭
Z 模組
θ模組
點膠盤
點膠臂
點膠器由點膠臂、點膠盤、Z模組、θ模組，用於將膠水點印在引線框架的焊接位置上。 如 圖 3-1

圖 3-1
點膠頭預防性維護核對表：
序號
項目
預防
工具
重要性
頻率
1
清潔光敏傳感器
關閉馬達
真空吸塵器/毛刷
***
每季
2
潤滑交叉滾珠導軌
關閉馬達
加油匙/KLUBER 潤滑脂
***
每半年

3-1

AD862/M 預防性維修手冊
第 3 章 點膠頭

3.1 模組絕緣

進入菜單｀維修 → 點膠→ 點膠頭 或 點膠臂→ 電源＇關閉個別馬達。

3.2 清潔光敏傳感器（每季）
目的：
維持點膠頭的精確移位。 步驟：
1. 按照之前提示使點膠頭絕緣。
2. 定位所有光敏傳感器。如 圖 3-2
3. 用真空吸塵器清潔光敏傳感器。請勿使用吹風機，以免污染傳感器。
4. 通過遮擋與不遮擋傳感器檢查｀維修 → 點膠＇菜單下的傳感器狀態。

圖 3-2

3-2

AD862/M 預防性維修手冊
第 3 章 點膠頭

3.3 潤滑交叉滾子導軌(每半年)
目的：
保證組件精確的平滑運行。
步驟：
1. 按照之前提示使點膠頭絕緣。
2. 推動組件使交叉滾子導軌至適當位置，用無塵擦布擦去交叉滾子導軌上所有用舊
的潤滑脂，用加油匙給交叉滾子導軌運動面加入適量的KLUBER潤滑脂。如 圖 3-3
3. 移動交叉滾子導軌從一端到另一端約 4~5 次，保證潤滑脂均勻分佈。
4. 用無塵擦布擦掉交叉滾子導軌上多餘的潤滑脂。

Z 方向交叉滾子導軌

圖 3-3

3-3

AD862/M 預防性維修手冊
第 4 章 焊頭

第4章 焊頭
焊頭由旋轉馬達模組和拾取頭連拾取臂組成，用於吸取晶片焊接到引線框架上。如 圖
4-1
扭矩馬達
拾取臂

圖 4-1
焊頭預防性維護核對表：
序號
項目
預防
工具
重要性
頻率
1
清潔光敏傳感器
關閉馬達
真空吸塵器/毛刷
***
每季
2
潤滑交叉滾珠導軌
關閉馬達
加油匙/THK AFB 潤滑脂
***
每半年
3
清潔線性馬達
及磁石板
關閉馬達
粘貼膠布/無塵棉布
***
按需要
4
清潔線性編碼器
關閉馬達
正庚烷或異乙醇/無塵棉布
***
每季

4-1

AD862/M 預防性維修手冊
第 4 章 焊頭

4.1 模組絕緣

進入菜單｀維修 → 焊頭 →焊頭 或 擺臂 →電源＇關閉個別馬達。

4.2 清潔光敏傳感器（每季）
目的：
維持焊頭的精確移位。 步驟：
1. 按照之前提示使焊頭絕緣。
2. 定位所有光敏傳感器。如 圖 4-2
3. 用真空吸塵器清潔光敏傳感器。請勿使用吹風機，以免污染傳感器。
4. 通過遮擋與不遮擋傳感器檢查‘維修 → 焊頭’菜單下的傳感器狀態。

圖 4-2

4-2

AD862/M 預防性維修手冊
第 4 章 焊頭

4.3 潤滑交叉滾子導軌(每半年)
目的：
保證組件精確的平滑運行。
步驟：
1. 按照之前提示使焊頭絕緣。
2. 推動組件使交叉滾子導軌至適當位置，用無塵擦布擦去交叉滾子導軌上所有用舊 的潤滑脂，用加油匙給交叉滾子導軌運動面加入適量的THK AFB潤滑脂。如 圖 4-3
3. 移動交叉滾子導軌從一端到另一端約 4~5 次，保證潤滑脂均勻分佈。
4. 用無塵擦布擦掉交叉滾子導軌上多餘的潤滑脂。
5. 用推力表檢查交叉滾珠導軌的向下摩擦力。BHZ(焊頭垂直)滑軌的下壓力度應該 是 120 ± 10gf。(下壓-8000 編碼器讀數時)
6. 如果交叉滾珠導軌的摩擦力不在規定的範圍內，要調節彈簧的力度和調節交叉滾 珠導軌旁邊的三顆螺絲直到其摩擦力度達到規定的範圍內

Z 方向交叉滾子導軌

圖 4-3

4-3

AD862/M 預防性維修手冊
第 4 章 焊頭

4.4 清潔線性馬達及磁石板(如有需要)
目的：
維持焊頭的順暢運行。 步驟：
1. 按照之前提示使焊頭絕緣。
2. 將各功能組件移到一側。如 圖 4-4
3. 若線性馬達磁體表面有障礙物存在，應利用膠布清除。若有油污存在，應用無塵 棉布清潔。
4. 重複步驟 2~3 清潔線性馬達的另一側。

圖 4-4

4-4

AD862/M 預防性維修手冊
第 4 章 焊頭

4.5 清潔線性編碼器(每季)
目的：
維持焊頭精確移位。 步驟：
1. 按照之前提示使焊頭絕緣。
2. 定位線性馬達編碼器位置。如 圖 4-5
3. 拆除編碼器，用沾有異丙烷(異丙醇)或正庚烷的無塵棉布清潔光尺與讀取頭。請 勿使用丙酮進行清潔
4. 完成清潔後裝回編碼器並調節位置使整個行程一直亮綠燈及回到參考標識位置 時紅燈閃爍。具體細節請參考機器設定與一般維修手冊。

編碼器
光尺

圖 4-5

4-5

AD862/M 預防性維修手冊
第 5 章 AD862M 頂針器

第5章 AD862M頂針器
頂針器由X及Y方向工作台、推頂裝置、頂針帽組成，用於頂器硅片，方便吸嘴吸取。如 圖 5-1

頂針帽
推頂裝置
工作臺

圖 5-1
AD862M 頂針器預防性維護核對表：
序號
項目
預防
工具
重要性
頻率
1
清潔頂針帽
關閉馬達
真空吸塵器/酒精
/無塵棉布
****
每日
2
清潔頂針
關閉馬達
酒精/無塵棉布
****
每日
3
更換頂針
關閉馬達
校準夾具
****
按照需要
4
清潔光敏傳感器
關閉馬達
真空吸塵器/毛刷
***
每季
5
潤滑交叉滾珠導軌
關閉馬達
加油匙/
KLUBER
潤滑脂
***
每年
6
潤滑調整絲杆
關閉馬達
加油匙/
KLUBER
潤滑脂
***
每年

5-1

AD862/M 預防性維修手冊
第 5 章 AD862M 頂針器

5.1 模組絕緣

1. 進入菜單｀維修 → 焊頭 →頂針→電源＇關閉馬達。
2. 進入菜單｀維修 → 焊頭 →電磁閥→頂針高度＇下降頂針升降台。

5.2 清潔頂針帽（每日）

目的:

警告： 頂針非常鋒利，應小心操作。
防止頂針遮擋或損壞。
步驟：
1. 按照之前提示使頂針器絕緣。
2. 用手逆時針方向旋轉推頂帽使頂針帽拆除。如 圖 5-2
3. 利用真空吸塵器吸除頂針帽上的灰塵或雜質。
4. 用少量沾酒精的棉布清潔頂針帽的內側與外部。
5. 清潔後裝回推頂帽。
推頂帽

圖 5-2

5-2

AD862/M 預防性維修手冊
第 5 章 AD862M 頂針器

5.3 清潔頂針（每日）
目的：

警告： 頂針非常鋒利，應小心操作。
維持推頂過程中順暢運行。
步驟：
1. 按照日常工序，此步驟應在清潔頂針帽之後進行。
2. 用少量沾酒精的棉紗擦拭頂針。
3. 檢查頂針是否損壞並確定頂針位置。
4. 若頂針損壞，需進行更換。

5-3

AD862/M 預防性維修手冊
第 5 章 AD862M 頂針器

5.4 更換頂針(按需要)
目的：

警告： 頂針非常鋒利，應小心操作。
減少取晶工序過程中漏晶或其它錯誤的可能性。
步驟：
1. 按照之前提示使頂針器絕緣。
2. 用手逆時針方向旋轉頂針帽使頂針帽拆除。
3. 用扳手逆時針方向旋轉夾緊錐以鬆開頂針並拆除。
4. 將新的頂針放入卡盤中直到碰到底座，然後順時針方向旋轉夾緊錐使頂針鎖定。

5-4

AD862/M 預防性維修手冊
第 5 章 AD862M 頂針器

5.5 清潔光敏傳感器（每季）
目的：
維持頂針器的精確移位。 步驟：
1. 按照之前提示使頂針器絕緣。
2. 定位所有光敏傳感器。如 圖 5-3
3. 用真空吸塵器清潔光敏傳感器。請勿使用吹風機，以免污染傳感器。
4. 通過遮擋與不遮擋傳感器檢查｀維修 → 焊頭＇菜單下的傳感器狀態。

圖 5-3

5-5

AD862/M 預防性維修手冊
第 5 章 AD862M 頂針器

5.6 潤滑交叉滾子導軌(每半年)
目的：
保證組件精確的平滑運行。
步驟：
1. 按照之前提示使頂針器絕緣。
2. 手動啟動頂針升降台氣閥，使交叉滾珠導軌至上升或下降，用無塵棉布擦去交叉 滾珠導軌上所有用舊的潤滑脂，用加油匙給交叉滾珠導軌運動面加入適量的 KLUBER潤滑脂。如 圖 5-4
3. 手動啟動頂針升降台氣閥，使交叉滾珠導軌至上升或下降，移動交叉滾珠導軌從 一端到另一端約 4~5 次，保證潤滑脂均勻分佈。
4. 用無塵擦布擦掉交叉滾子導軌上多餘的潤滑脂。

Z 方向交叉滾子導軌
Y 方向交叉滾子導軌
X 方向交叉滾子導軌

圖 5-4

5-6

AD862/M 預防性維修手冊
第 5 章 AD862M 頂針器

5.7 潤滑調整絲杆（每半年）
目的：
為維持高效率和良好性能，需對絲杆進行清潔與潤滑。 步驟：
1. 按照之前提示使頂針器絕緣。
2. 定位調整絲杆螺母。如 圖 5-5
3. 用棉布清潔絲杆以擦除所有舊潤滑脂。
4. 用加油匙直接對螺紋軸施加 KLUBER 潤滑脂。
5. 旋轉絲杆使螺母從一端移動到另一端 4~5 次。
6. 擦除絲杆軸與螺母上多餘的潤滑脂。
7. 完成後，重新開啟所有馬達電源。

X 方向調整絲杆
Y 方向調整絲杆

圖 5-5

5-7

AD862/M 預防性維修手冊
第 6 章 AD862 頂針器

第6章 AD862 頂針器
頂針器由頂針模組和調整工作台、推頂裝置組成，用於頂起指定晶粒方便吸嘴吸取。如 圖 6-1
頂針模
組
推頂裝
置
XYZ 調
整工作 台
頂針模組
XY 調整工 作台
推頂裝置

圖 6-1
AD862 頂針器預防性維護核對表：
序號
項目
預防
工具
重要性
頻率
1
清潔頂針帽
關閉馬達
真空吸塵器/酒精
/無塵棉布
****
每日
2
清潔頂針
關閉馬達
酒精/無塵棉布
****
每日
3
更換頂針
關閉馬達
校準夾具
****
按需要
4
清潔光敏傳感器
關閉馬達
真空吸塵器/毛刷
***
每季

6-1

AD862/M 預防性維修手冊
第 6 章 AD862 頂針器

序號
項目
預防
工具
重要性
頻率
5
潤滑交叉滾珠導軌
關閉馬達
加油匙/
KLUBER
潤滑脂
***
每半年
6
潤滑調整絲杆
關閉馬達
加油匙/
KLUBER
潤滑脂
***
每半年

6.1 模組絕緣

1. 進入菜單｀維修 → 焊頭 →頂針→電源＇關閉馬達。

6.2 清潔頂針帽（每日）

目的:

警告： 頂針非常鋒利，應小心操作。
防止頂針遮擋或損壞。
步驟：
1. 按照之前提示使頂針器絕緣。
2. 用手逆時針方向旋轉頂針帽使推頂帽拆除。如 圖 6-2
3. 利用真空吸塵器吸除頂針帽上的灰塵或雜質。
4. 用少量沾酒精的棉布清潔推頂帽的內側與外部。
5. 清潔後裝回頂針帽。
頂針帽

圖 6-2

6-2

AD862/M 預防性維修手冊
第 6 章 AD862 頂針器

6.3 清潔頂針（每日）
目的：

警告： 頂針非常鋒利，應小心操作。
維持推頂過程中順暢運行。
步驟：
1. 按照日常工序，此步驟應在清潔推頂帽之後進行。
2. 用少量沾酒精的棉紗擦拭頂針。
3.