防静电标准规范.doc

版本更改内容生效日期A/02023-7-15 编制/日期： 审核/日期： 批准/日期： 会签记录：部 门会签状态部 门会签状态分发单位：检测中心 文献控制印章1. 目的：为公司产品在设计、制造、贮存、包装等各个环节提供明确可靠的ESD技术支持，从整体上提高公司静电防护和控制水平，提高客户的满意度。2. 合用范围 本文合用于本公司的防静电控制。本文中的各项规定合用于防静电敏感区域。当客户的产品有特殊规定期，采用客户规定。 3. 职责3.1 各部门主管负责本部门工作区域、生产制造过程中的静电防护措施的执行。3.2 质检部负责根据本程序规定实行防静电用品的进料检测和静电线、接地线、静电垫等防静电设施测试和记录以及所有相关记录的保存，监督公司的防静电措施规定和标准的执行状况。3.3 工程技术部负责制定公司的防静电措施规定和标准。4. 目录：4.1 静电敏感区域的界定。4.2 静电敏感区域的工程环境防静电规范。4.3 静电敏感区域的人员防静电规范。4.4 静电敏感区域的防静电操作方法规范。4.5 静电敏感区域的工装,设备,仪器以及防静电器材的防静电规范。4.6 常用的检测方法 。4.7 静电防护作业管理指导。4.8 附录A - ESD相关术语。4.9 附录B -常用的防静电标志。4.10 附录C-部分静电敏感器件的静电敏感电压。4.11 附录D- 引用的标准及参考文献。4.12 附录E-相关记录。4.13 附录F-版本修订历史记录。5. 静电敏感区域的界定：5.1 静电敏感区域拟定：5.1.1 ESD敏感器件的生产区域-生产线等。5.1.2 ESD敏感器件的前加工区域-前加工房。5.1.3 ESD敏感器件的贮存区域-库房和在线库。5.1.4 ESD敏感器件的返修区域-返修区及返修工位。5.1.5 ESD敏感器件的老化区域-老化房。5.2 公司的静电敏感器件：5.2.1 MOS器件、MOS管、FET器件、场效应管、 TTL器件、AMP放大器、比较器、调节器、存储体器件和记忆体器件（如PROM、EPROM、SRAM、DRAM、FLASH等）、CPU微解决器及各种BGA器件等集成电路。5.2.2 各种二极管、三极管、各种半导体开关元件。5.2.3 各种厚膜和薄膜电阻，钽电解电容。5.2.4 SAW声表面波器件。5.2.5 石英、晶振体器件。5.2.6 以上元器件组装的PCBA板。 5.3 静电敏感区域的标记：5.3.1 静电敏感区的区域界线应当用黄黑相间的斜条纹来标记,线条宽度为510CM这两种斜条 纹是专门用来标记静电敏感区的区域界线的,不可作为其它标记用。5.3.2 从静电敏感区域的入口处开始, 在明显处还应贴上静电敏感区的警示标志,该标志应符合GJB16495.3.3 的规定。如图A:防静电容器(防静电周转箱,防静电元件盒等),元件架和运送车等器材上应有防静电标志,标志应置于明显且不易受到磨损的地方。如图B:图A图C黄黑相间的斜条纹静电敏感区域警示标志图B防静电标志5.3.4 通过防静电液解决的物品和场合也应有防静电标志。如图C:5.3.5 具有ESSD的图纸资料,应有ESSD标志。5.3.6 设备的外部端口标志应符合GJB1649中第5.8.3条规定。5.3.7 整机包装标志应符合GJB1649中第5.10条规定。5.3.8 交付文献标志应符合GJB1649中第5.9.1条规定。6. 静电敏感区域的工程环境防静电规范6.1 防静电工程环境的设计原则：设计防静电工程环境时,为达成静电防护的规定应遵循以下 原则:6.1.1 克制静电荷的积累和静电压的产生6.1.2 安全、迅速、有效的消除已产生的静电荷6.1.3 防静电工作区应按电子元器件静电敏感度拟定防护所应达成的级别和限度。一般的规定静电防护区内静电电压绝对值应小于100V。6.1.4 防静电区域应标明区域界线并在明显处悬挂警示标志。6.1.5 在防静电工作区内严禁使用易产生静电荷的电荷源。表一为常见的电荷源:表一类别 电荷源工作台表面油漆或浸漆表面、普通塑料帖面、普通乙烯及树脂表面地板塑料及普通地板革、抛光打蜡木地板、普通乙烯树脂工作鞋、帽、鞋普通涤纶、合成纤维及尼龙面料、塑料及普通胶第鞋操作工具及设备 普通塑料盒、架、瓶、盘用品及纸制品、普通泡沫及一般电动工具、压缩机、喷射设备、蒸发设备等6.2 防静电工程环境的规定：6.2.1 环境的温度和湿度规定：温度应在15至30之间,湿度应在45%至75%之间,环境内应配备温度计和湿度计,并按规定做好点检记录。假如环境内的空气过于干燥，应使用加湿器或其它办法来满足湿度规定，但应以不对产品导致有害影响为前提。假如湿度高了应当开空调或抽湿机来使其满足规定。温度计和湿度计使用规定:1) 对温度、湿度做监测的石英温湿度仪,必须放置在水平稳定的平面上。2) 有温湿度测量仪的场合应由专人定期检查石英温、湿度自动仪测试状况,并记录该时间段的最高和最低值。3) 遇有休息、节假日等特殊情况,在上班后的第一时间内要检查石英温、湿度自动记录仪的记录情况。4) 发现温度、湿度有超标应立即采用有效措施予以改善,并确认超标情况是否有对产品或材料导致损坏,采用的改善措施应予以记录。5) 每月的温湿度仪记录的测试结果由测试部归类保存。6.2.2 地板的防静电规定:为有效地使人体静电能通过地板尽快泄漏到大地，除操作人员穿用防静电服、防静电鞋外,其先决条件是地板必须具有一定的导电性能,即是防静电的。这种防静电地板能泄漏设备、工装上的静电,也能泄漏移动操作时不易使用腕带的人体静电。普通地板材料的电阻率都较高，难以泄放人体、工装、设备上的静电。表二为各种地板的泄漏电阻:(单位:)表二地坪材料名称泄漏电阻地坪材料名称泄漏电阻石104109沥青10111013混凝土1051010聚氯乙烯(贴面)10121015一般涂刷地面1091012导电性水磨石105107橡胶1091013导电性橡胶104108木、木胶合板10101013导电性聚氯乙烯10710111) 当采用地板下布线方式时,可铺设防静电活动地板。表面电阻及系统电阻均为1105 1109 。2) 当采用架空布线方式时,应采用静电耗散材料做为铺垫材料。铺设后地板上表面电阻及任一点与地之间的系统电阻值均为1105 1109 。3) 假如静电敏感区域内的地板是普通地板,则应在普通地板上铺设防静电地垫并要有效接地铺设后地垫上表面电阻及任一点与地之间的系统电阻值也为1105 1109 。4) 严禁直接使用木质地板或铺设毛、麻、化纤地毯及普通地板革。5) 允许使用经特殊解决过的水磨石地面,如事先敷设地线网、渗碳或在地面喷涂防静电剂等。6.2.3 防静电地板的静电特性定期检查与维护保养:1) 检核对象：防静电地板。2) 检查频率：每半年一次,其中一次应在干燥季节测量。3) 检查指标：静电压,泄漏电阻和表面电阻率。4) 检查标准：0.10Kv ,5X104 109和1105/口 11010/口。5) 检查仪器：静电压表，万用表和兆欧表。6) 相对湿度低于30%时，应增长测量泄漏电阻的次数当电阻比较大时可撒少量的水。7) 本地板上附着有绝缘性的油膜、树脂、橡胶和脏污时，应根据情况定期清除。8) 清防静电地板时不得使用绝缘性的地板腊。6.3 静电敏感区域的防静电保护接地技术规定,防静电系统必须有独立可靠的接地装置,重要技术规定如下:6.3.1 接地线：也称为地线母线，防静电地线专供静电工程器具和人体泄漏静电荷使用，不得接在电源零线上，不得与防雷地线共用。6.3.2 接地主干线的截面积应不小于100mm，支干线的截面积应不小于6 mm ，设备和工作台的接地线采用截面积应不小于1.25mm 的敷朔导线，并以黄绿色为宜。6.3.3 防静电设备的连接端子应保证接触可靠，易装拆，允许使用各种夹式连接器，如鳄鱼夹，插头座等。6.3.4 接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于4。6.3.5 地线的埋设：埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数愈小愈好接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。1) 埋设地线的注意事项： 接地线与接地线接头必须焊接牢固，要有足够的机械强度，引线不要过长。 要采用耐腐蚀的接地体金属。 要保持接地体附近土质的质量，并不断采用措施防止接地电阻变大。 防静电地线要与工作地线分开埋设。 防静电地线必须是永久性的。2) 静电安全作业区地线的两种实用敷设方法: 从专门埋设的地线接地体引出的接地线，单独敷设到生产线的防静电作业岗位单独敷设的接地导线通常使用3mm厚，约25mm宽的紫铜皮或用截面大约为46平方毫米(mm2)的铜芯软线单独引入。采用三相五线制供电系统中的地线,引入电源零线的同时,方法单独引出大地地线作防静电接地线,工程上称为“一点引出电阻隔离”。电源主变电箱到大地的接地电阻应小于4。6.3.6 接地线的定期检查：1) 检核对象：所有的接地线及接地端口。2) 检查仪器：万用表和接地电阻测试仪。3) 检查参数：泄漏电阻(接地电阻)。4) 检查频率： 每条生产线的主接地线对通用接地点的接地性能和设备，工装及工作台等设施对生产线主接地线的接地性能应每周检查一次。 ESD桌垫、ESD地垫、周转车、周转架和防静电环等设施的防静电连接线应每月检查一次。 每个通用接地点对地的接地性能每6个月检查一次。5) 检查标准： 每周检查的标准：小于4欧。 每月检查的标准：0.9106 1.1106 。 每6个月的检查标准：小于4欧。6.3.7 接地线的定期维护：1) 对于检查但是关的接地线必须采用措施及时解决。2) 保证接地线有效接地。3) 对于生锈的或接触不好的接地线要及时更换。4) 对于松动的接地线要重新连接。5) 按接地线相关规定进行维护。7. 静电敏感区域的人员防静电规范7.1 各类人员的防静电知识培训规定及职责：有也许进入静电敏感区域的人员或有也许接触静电敏感器件的人员都应接受防静电知识培训,这既是对每位员工的基本规定，也是减少静电危害的主线方法和途径之一。7.1.1 所有新员工在接受入厂培训时，必须接受ESD知识的培训。课程涉及至少2小时的理论知识培训和简要讲解本规范内容。培训结束后，由人力资源部组织ESD的考试,合格者才干上岗。7.1.2 所有在职工人和ESD委员、PE部、测试部、生产部的职工和相关人员必须每年接受不少于2小时的ESD知识再培训。培训内容涉及介绍ESD的新技术，新规范等。7.1.3 在静电敏感区域内工作的生产人员及与静电敏感器件有直接或间接接触(涉及静电感应)的作业人员,必须接受ESD基本知识和防静电工艺规程操作规定的培训,作为上岗考核的必考内容之一。考核不合格者不得安排在有防静电规定的岗位工作。7.1.4 工艺人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训,掌握电子工业产品的防静电工艺技术,在生产过程中指导生产作业人员贯彻防静电措施,并对他们进行静电防护平常教育。7.1.5 品质控制管理人员必须接受并通过ESD较为专业知识培训,熟悉各类ESSD的静电敏感性能及其防护知识,监督防静电工艺规程的贯彻执行,评估防静电工程实行效果。7.1.6 采购部和市场部人员必须接受ESD基本知识培训,熟悉ESSD的品种、型号、标志方法和静电防护常识,严格遵守物料或产品在采购和运送过程中静电防护的规范。7.1.7 仓储,转运人员必须接受ESD基本知识培训,懂得在储存和转运过程中防护ESSD静电器件及相关的存放操作规定。7.1.8 检查和实验人员(涉及外购件入厂检查实验和产品检查人员)必须接受较为ESD专业知识培训,纯熟掌握ESSD的检测知识和防静电器件的检测方法,严格按设计技术文献规定和工艺规程进行检查和实验。7.1.9 设备部负责防静电接地和布生产线的人员,应接受较为专业的ESD知识培训,熟悉防静电接地系统规定,掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。7.1.10 生产管理人员应了解ESD基本知识,严格按静电敏感器件的设计文献规定和工艺规程组织生产,并开展对生产员工的静电防护平常教育。计量部门也应了解ESD基本知识,特别是关于防静电仪器的校验知识,要定期调校防静电检测器材保证其安全、有效。7.2 人体静电防护系统：7.2.1 防静电工作服：1) 防静电工作服是指为防止静电荷积累,用防静电织物作为面料而制成的工作服,样式有连体式、分体式等。防静电工作服重要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。2) 防静电工作服的重要技术指标如下表所示:技术指标A级B级实验方法带电量0.6C/件0.6 C/件按GB12023-89附录A耐洗涤时间33.0h16.5h按GB12023-89附录B所选用面料的重要性能参数如下所示:等级指标项目ABCD表面电荷密度(C/)1.03.05.07.0表面电阻()1051071091011静电半衰期(S)0.10.51.64.0摩擦静电压(V)1002504006003) 防静电服使用规定: 应根据所制造或操作的ESSD的静电敏感度的不同,选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。 进入防静电区域的人员必须按规定穿防静电大褂衣,夹克衣或防静电连体服,严禁穿一般合成纤维工作服。 大褂衣和夹克衣可在普通防静电工作区域使用。对于防静电规定特别高的场合，如无尘室高精密电子产品装联车间或实验室，作业人员必须穿连体衣，同时还需戴上口罩、手套。 防静电衣必须在更衣室更换,不允许在ESD区域穿或脱防静电衣。 严禁在防静电衣上附加或佩带与工作无关的金属物品或装饰品。 不能把非防静电衣的衣领翻出盖住防静电衣的衣领防静电衣的拉链拉满后,须将上下两颗扣子均扣好非防静电衣的长度不能长过静电衣不准将防静电衣的袖子挽起不准将手表、手饰等与工作无关的装饰物品露出防静电衣外。 防静电大褂衣和夹克衣,应保持清洁,工作服的洗涤应尽量采用简易方法进行,要避免受到较强的机械和化学操作的洗涤。 防静电工作服应在初次穿用前作防静电性能检测,只有测试合格方可投入使用，穿用一定期期后应对其防静电性能进行复测,防静电大褂衣和夹克衣每半年应做一次防静电特性复测,对于检测但是关的防静电大褂衣和夹克衣应停止使用,更换新的。 仓库在收到新的防静电衣时，告知测试部ESD工程师对防静电服的静电电压进行检测。检测数量为抽样来料的5若抽样数低于2件，则抽取2件。检测方法为：用防静电服的塑料包装袋快速连续磨擦防静电衣的同一部位45秒，然后用静电场表测试被磨擦部位的静电电压，数值小于等于0.1kv为合格，否则为不合格。假如该批防静电衣有一件测试不合格，则拒收。除上述方法外，被抽测的静电衣还应被洗4小时后再做以上测试。假如静电衣的表面电阻率仍在106-109 ohm之间且经磨擦后的静电电压仍小于等于0.1 Kv，则为合格，否则为不合格。4) 防静电服的检测：我们公司目前使用的防静电夹克衣和防静电大褂衣，重要是测试它的摩擦电压和表面电阻率这两个指标。 检测指标：表面电阻率和摩擦静电压。 检测标准：1*106至1*109/口0.1 Kv。7.2.2 检测仪器：兆欧表和静电电压表。防静电帽：防静电帽的相关规定请参照防静电服。防静电帽应对的佩戴，帽沿朝前头发不能露出防静电帽外后脑部分的短细的头发不能超过防静电衣领外。7.2.3 防静电工作鞋：在生产半导体和集成电路的洁净室和超洁净室,以及高精密电子产品的装配间等对防静电规定较高的场合,作业人员必须穿防静电鞋,通过测试合格后,方可进入静电敏感区域工作。1) 测试环节如下: 将转换开关拔到左边“FOOT WEAR”档,双脚站在白色不锈钢脚板区域,如下图一。按住“PRESS TO TEST”键,此时,左边(LEFT)指示即为左脚穿上鞋后的对地电阻,右边(RIGHT)指示为右脚穿上鞋后的对地电阻,如下图二。如绿灯亮则表达电阻合格。图一图二 防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测,对于检测但是关的防静电工作鞋应停止使用,更换新的。 检测指标：体积电阻率和摩擦静电压。 检测标准：0.5*1051*108 和0.10kv。 检测仪器：体积电阻率兆欧表 ,摩擦静电压静电电压表。2) 防静电鞋的使用规定： 为使人体有效接地、防止人体和鞋自身带电，并保证操作者因意外接触高电压时不致受到伤害，除应将车间地面做成防静电地面以外，操作者还应穿用防静电鞋，并且防静电鞋必须与防静电衣配套使用，同时防静电鞋底应具有使人体与大地构成回路的材料和结构。 穿防静电鞋时不得穿袜子，不得另加鞋垫，特别是绝缘性鞋垫不得在鞋底粘贴绝缘胶片或其它涂料。7.2.4 防静电手套或指套：1) 在对静电敏感的工位，如MOS管等敏感器件的装配工位，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静电手套或指套兼具防腐蚀的功能。2) 在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。3) 定期更换破，旧和脏的防静电手套和指套。4) 防静电手套或指套的防静电特性检查请参照防静电服的部分检查方法。7.2.5 防静电腕带：1) 防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方式，将人体皮肤表面静电泄放掉装置，由松紧圈和接地组件构成。松紧圈的规定是体积电阻率100cm 接地组件必须串接一定数值的电阻，以保证操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害。该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻不久泄放,使皮肤上的静电压小于100V，一般该电阻阻值取为106。2) 因无绳防静电腕带的性能对环境湿度依赖性太强，严禁使用无绳腕带建议使用在线报警防静电腕带，由于它可以实时监控防静电腕带与人体皮肤是否实时导通，从而保证人体皮肤静电能及时释放掉。3) 每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并作好记录，只有测试合格，才可以进入静电敏感区域工作，测试环节如下:各分厂将静电环测试仪放在厂房入口处，员工天天上班进入车间时自行测试及做记录，各分厂指定负责人监督、检查测试结果并在测试表的检查人项目栏署名确认。品质部QA检查员的静电环测试及记录在相应分厂完毕，仓库及IQC员工的静电环测试及记录在仓库完毕。 员工进入车间前应一方面佩戴好静电环，然后将静电环上的锷鱼夹夹住静电测试仪的测试端，用手按下测试仪上的PUSH ON开关,如静电环正常，则OK指示灯亮(中间的LED亮) 如静电环阻值太低，则LO指示灯亮(左边的LED亮)，如静电环阻值太高，则HI指示灯亮(右边的LED亮)。测试合格者，由佩戴者在静电环测试登记表上当天的编号处画“”反 之，画“”。严禁在测试时，将静电环拿在手上进行测试。各部门的负责人应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。 如有测试不良的静电环，值班负责人必须对此静电环重新确认如通过确认后再合格的可正常使用，仍不合格的必须收回更换。登记表上有不合格的记录必须有改善行为。测试记录由测试部保存。 各线领班和生产主任应保证本线员工在需要的岗位都对的佩戴好静电环，不能松脱，更不能戴在袜子或袖子上。测试部负责静电工作的技工天天对在线员工静电环实际佩戴状况抽测一次，抽查人数为每条生产线总人数的10，抽测结果记入静电环抽查记录中。4) 进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防静电环正常有效的工作。5) 防静电线的有效长度是2.5米，在使用防静电环的过程中，不可过度拉扯而超过它的有效长度，不可折断防静电线，不可冲洗防静电环，拔插时不可通过拉防静电线来完毕，不可在防静电环金属片上加水等，要注意对的使用和妥善保护好防静电环。6) 先戴好防静电环，再拿静电敏感器件ESSD,先放下静电敏感器件ESSD，再拔防静电环。在实际工作中要注意此顺序，要养成这种习惯。7) 防静电环的防静电连接线的检查请参照7.3.6规定。7.3 临时或外来人员的防静电管理：7.3.1 临时(外来)人员,涉及参观人员、非本车间联系工作人员、临时施工人员(涉及电工、修理工、装饰工等),进入防静电区域时,必须遵守防静电区域和生产过程的各项防静电规定。7.3.2 临时(外来)人员在参观或作业过程中,不得靠近操作静电敏感器件的工作人员,也不得靠近或徒手接触具有静电敏感器件的在制品或成品。7.3.3 临时施工作业在正常生产时间内要避免瞬时高压、瞬时放电的操作(如电焊、启动电机、开关高压电源等)或事前采用防范措施,或安排在非生产时间内施工作业。7.3.4 防静电区域内需要进行某种维护、修理作业时,维护人员应携带并使用防静电维修包,并遵守防静电区域的有关规定。8. 静电敏感区域的防静电操作规范8.1 所有的ESSD(静电敏感器件)及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。8.2 进入静电敏感区域的所有电子元器件都应视为ESSD来对待。8.3 贮存和运送ESSD及其部件时,应妥善进行防静电包装。8.4 拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD。8.5 所有用非ESD材料包装的电子元器件都应在指定的静电泄放区域,通过拆包和静电泄放解决后，方可用防静电中转工具将其转到静电敏感区域。8.6 不允许在静电敏感区域内存放和解决非ESD的材料，不允许在非静电敏感区域内存放和解决未包装的ESSD，不允许非ESD的材料与ESSD混放。8.7 进入静电敏感区域的人员，都要必须穿好防静电工作服，必须戴上防静电环，腕带必须与皮肤有良好接触并将腕带接入可靠的防静电接地系统中，防静电鞋和脚必须与防静电地板或ESD地垫保持良好接触，防静电帽也必须按规定戴好。8.8 重要工位上应配备腕带监控器，以随时监控腕带是否处在正常状态。8.9 不得随意拆除和改变ESSD的封装，运送全过程应在防静电容器中进行，清点也尽也许在原包装内完毕。8.10 测试ESSD时必须遵守加电和去电顺序，严禁带电插拔ESSD。8.11 持拿ESSD，应持其外壳两端，严禁人手触及其引脚或接线片，特别是空悬的输入端。8.12 ESSD器件的引脚或接线片，特别是空悬的输入端不可放在金属桌面上，容易引起导通，短路等ESD事件，从损坏ESSD器件。8.13 装配ESSD时，特别是MOS管等静电敏感器件，应戴上防静电手套或指套。清洗ESSD及其部件时，不得使用塑料刷。8.14 不具有防静电功能的必备工具和用品，应放在防静电桌垫上，并应置于离子风机的作用范围内。8.15 操作时应尽量减少对ESSD及其部件的接触次数。8.16 组装电子设备时，假如需要使用电动批，应使用有接地线的低压直流电动批。8.17 在手工焊接时，应采用防静电低压恒温烙铁。对GJB1649规定的I类ESSD焊接，还应在拔掉烙铁电源插头后进行。8.18 严禁反复使用ESSD器件包装管来包装ESSD器件。8.19 原包装标记为静电敏感的元件其散料必须使用防静电材料盛放和包装。8.20 ESSD器件初始包装应在静电敏感区域内完毕，并要用防静电材料包装。完毕了初始包装的ESSD器件进行二次包装时可以在非ESD区域内完毕，也需要防静电材料。8.21 严禁使用超过有效期的防静电材料来接触或包装ESSD器件。8.22 在任何场合均不允许未采用防静电措施的人员接触ESSD及其部件。8.23 生产过程中使用的设备(成型机、插件机、波峰焊机、贴片机、切脚机、清洗机等)必须采用接地等防静电措施。8.24 运送ESSD及其部件时，应将其放入防静电包装内进行，必要时，应用离子风机来消除在运送过程中产生的静电。8.25 新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。8.26 新投入防静电敏感区域的防静电材料，涉及主料，辅料和包装材料都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。8.27 新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。9. 静电敏感区域的工作台,工装,设备以及防静电器材的防静电规范9.1 基本防静电规定:防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都应实行静电防护措施,如接触元器件的部分应使用防静电材料(体积电阻1012)应采用静电中和或涂抹防静电涂液、涂层等其他防护措施进行有效的接地(硬接地软接地)。9.2 防静电工作台的技术规定：防静电工作台是防静电工作区的重要组成部分,下面所示为标准的防静电工作台构成图:大地建筑地面1M 欧1M 欧1M 欧公共接地点防静电地垫防静电台垫台式工具/仪器电离器防静电托盘/盒等防静电腕带防静电椅 其中各组成部分的重要技术规定如下:9.2.1 工作台垫和地垫均应采用防静电材料。防静电台垫和地垫上任意一点的系统电阻和表面电阻均为：1X105 1X109静电泄放至100V以下的时间小于1S。9.2.2 防静电腕带的泄漏电阻为1X106 1X108，静电泄放至100V以下的时间小于0.1S。9.2.3 防静电工作椅:表面静电压不得超过100V。9.2.4 电离器：在不能有效泄放静电的场合，可采用电离器通过电离空气产生的正负离子，来防止和中和在元器件上及其它物体上的电荷积累。规定电离器对静电电压的消除能力大于250V/S。增湿器：当相对湿度较低时，可恰当的使用增湿器，通过恒定的潮湿气流,防止静电荷积。但此方法不适于非密封电子元器件。操作时要注意因湿度增长而导致的有害影响。9.2.5 接地系统：涉及限流电阻和连接端子，应连接可靠，并具有一定的载流能力。限流电阻阻值的选择应保证漏泄电流不超过5mA，下限阻值应为1M。防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，接地电阻小于4。防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用使用三相五线制供电时，其地线可以作为防静电地线。此外，工作台面、地垫、其它ESD保护设施均应通过限流电阻接至公共地线，腕带应通过工作台顶面接地点与地线连接。工作台不能互相串联接地，而应分别接地。9.3 工作台的电气规定:静电源静电电位泄放至100V以下的时间小于1S,静电防护操作系统的电阻上限为109ohm防静电操作系统的泄放电流不得超过5mA,为此防静电操作系统的的电阻下限为106ohm绝缘体上的静电采用电离器中和加以消除。9.4 工作台的安装(配置)规定:9.4.1 按照工作台面的大小选择所需的防静电台垫的尺寸。9.4.2 使用异丙基酒精彻底清洗台垫下表面(即黑色的一面)。9.4.3 从防静电台垫正面压下旋钮接头(可用不锈钢螺钉、螺母、垫片组成的连接点代替),使其穿过台垫和箔带有(多层箔带时应保证所有穿过),以保证电接触良好。9.4.4 使用异丙基酒精清洗防静电台垫上表面和各组成构件。9.4.5 将通过以上准备好的防静电台垫平整的铺于工作台面上。9.4.6 按操作人员的作业范围、拟定铺放台垫的面积。9.4.7 将工作台置于防静电地垫上。9.4.8 防静电工作台的接地，使用横截面不小于2mm2的绞合铜芯软线或电缆把防静电台垫和地垫分别串联1M电阻后连接到地线配置系统上。9.4.9 所有安装完毕后,对各参数指标进行检查合格后,方可开始使用。9.5 防静电工作台接地规定:9.5.1 防静电工作台的台垫和地垫,分别串联1M+-10%的电阻接地(即软接地)。9.5.2 防静电工作台垫和地垫上任意一点与地线配置系统间的电阻为1X1061X109。9.5.3 接地电缆应采用中间无接头、且具有足够的机械强度。9.5.4 多台防静电工作台的接地线不能互相串接。9.5.5 防静电工作台上的测试仪器、稳压电源、电动工具、和电离器等所有外部零件表面、屏蔽面均应接地对地线配置系统电阻值不大于2, 所有接地点应集中接于一点,就近牢固搭接至地线系统上,稳压电源尽也许远离工作台。9.5.6 对载流接地线,应使用同轴电缆来接地和屏蔽。9.5.7 为带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型，以使其配接时工具和设备的金属外壳可以自动接地且接地脚要一方面接地，断电时接地脚最后断开。9.5.8 手工工具的绝缘把，应定期用抗静电剂解决，使其电阻值为1X1061X108。9.6 防静电工作台使用与维护规定:9.6.1 防静电工作台在平常使用中，必须保证正常接地状态。9.6.2 防静电工作台上不允许存放塑料盒、橡皮、玻璃、白色塑料袋等易产生静电的物品，图纸、资料等应放入防静电文献袋中。9.6.3 测量工具使用兆欧表(额定电压250500V，量程01000M)， 测量台垫，地垫，腕带和接地电缆等的电阻值。9.6.4 使用防静电剂喷涂工作服、工作椅、工具的绝缘部分，及非导体或非防静电的塑料容器、椅子坐垫和椅子靠背等。9.6.5 使用中性清洗剂或防静电剂清洁防静电台垫和地垫。9.6.6 对所有建筑地板使用防静电溶液进行维护保养。9.6.7 以上条款必须定期进行监测。9.6.8 使用接地电阻测试仪每半年检测一次地线配置系统电阻值，必要时，在每批此产品投产前检测一次。9.6.9 落地设备的防静电技术规定: 落地设备如SMT 、波峰焊机、FT自动线、ICT自动线、清洗机、流水线等等应采用硬接地，即直接或通过一个低阻抗同防静电地线相连设备的接地线应采用截面积不小于1.25mm2 的敷塑导线，接地线颜色以黄绿色线为宜。9.6.10 具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应统一接入大地网，并使线体上任一点与大地的接地电阻均小于4。9.6.11 流水线的自动传送带应使用防静电材料(表面电阻介于106109间),并通过导线或导体与线体连接。流水线的自动传送带经常通过金属的传送轮接到线体，金属轮应定期清洁而保证皮带有效接地。9.6.12 流水线体上的工装板应通过静电导体与线体连接,达成与线体等电位。9.6.13 自动线体上按作业岗位需要，设立接地点，以便操作者能随时连接防静电腕带。9.7 台式设备的防静电技术规定:台式设备如元器件成型机、半自动或手工插件机等应通过台垫实行软接地，即在放置台式设备的工作台面上铺设防静电台垫，并将台垫有效接地。9.8 工具的防静电技术规定:9.8.1 带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座,应选用安全型。9.8.2 烙铁等手持工具非电力线外壳部分应实行硬接地防静电烙铁的绝缘电阻为1X1071X108，采用24V低压供电。防静电真空吸锡器的泄漏电阻为1X105。1) 防静电烙铁的检查频率:每月一次。2) 防静电烙铁的检查指标:交流电压和泄漏电阻。3) 防静电烙铁的检查仪器:万用表。4) 防静电烙铁的检查部位:烙铁头到地的交流电压和泄漏电阻。5) 防静电烙铁的检查标准:分别是0.5V AC , 10。9.8.3 电动批非电力线外壳部分应实行硬接地,也应定期检查:1) 检查频率:每月一次。2) 检查指标:交流电压和泄漏电阻。3) 检查仪器:万用表。4) 检查部位:电动批到地的交流电压和泄漏电阻。5) 检查标准:分别是0.5V AC , 10 。9.8.4 非防静电的条码枪的外壳部分应实行硬接地,应定期检查。 1) 检查频率:每月一次。2) 检查指标:静电电压和泄漏电阻。3) 检查仪器:静电电压表和万用表。4) 检查部位:外壳到地的静电电压和泄漏电阻。图D5) 检查标准:分别是0.1Kv , 1012)， 则应当采用静电中和或涂抹防静电涂液涂层等其他防护措施。9.10 防静液喷涂作业规定：9.10.1 在EPA(ESD PROTECTED AREA)区域内的个别夹具、工装、工具等制作材料为非ESD材料，暂时无法替代也无法拿出EPA区域外，规定进行喷防静电液解决从而达成防静电目的。9.10.2 由生产部各工段指派专人对非ESD材料表面进行清理干净，并在其表面均匀地喷涂一层防静电液，30分钟左右，防静液干爽后，告知ESD工程师测试确认其摩擦后静电压应小于100V。 对EPA区域内的非ESD材料喷防静电液的频率为每月一次。9.10.3 喷完防静电液后,操作者与确认人按附表5的格式进行署名，此表格张贴在不应防碍正常使用位置，此表格有效日期为一年，一年后撕毁并贴上新的表格进行记录。9.11 静电敏感区域的防静电器材规范：9.11.1 防静电器材的技术规定：1) 防静电器材的配置规定：下表所示为在电子产品生产中的防静电器材基本配置: 配置部位 配置项目防静电器材名称元 器 件 暂 存元 器 件 检 验元 器 件 库 房设 计 工