JB／T 10075-1999 冷阴极电离真空计技术条件.pdf

中 华 人 民 共 和 国 专 业 标 准 丁 昨/ ， 。 汀一 夕 夕 斗厂仰乱、例 尸 冷阴极电离真空计技术条件 S P e c if i c a t io n s o f c o !dc a t h o d ei o n i z a t io ng a u g e 1 9 8 4 一 1 2 一 1 0 发布1 9 8 5 一 1 0 一 0 1 实施 中 华 人 民 共 和 国 机 械 工 业 部批 准 中 华 人 民 共 和 国 专 业 标 准 U DC 冷 阴 极 电 离真 空 计 技 术 条 件 ZByZ 日 5 一B 本 S P e c i f i c a t ia n fc : l d c a t h o d ei o n i z a t i o ng a u g e 本标准适用于测量压强不小于 sxl o 一 P a(3. s x1 o合T 。 : : )的潘宁真空计、冷阴极磁控管真空 计和冷阴极 反磁控管真空计 ( 以 下简称真空计)。 配套使用的冷阴极电离真空规管应符合 Z BY 2 86一84冷阴极电离真空规管技术条件的规定。 1 技术要求 1 。 1 外观 真空计的机箱外壳及零部件的表面处理应良 好，标志的文字、符号和标记均应清晰。 1 . 2 机箱尺寸 真空计的机箱尺寸应符合G B3 o 4 7 . 1 一82面板、架和柜的尺寸系列的 规定。 1 . 3 工作条件 真空计在下述环境条件和供电电 源下应能正常工作: a . 周围环境温度为 0 一 + 40 ; b . 相对湿度为 1 0 7 5 % ( 2 5 时); c . 大气压强为8 6 i o s k P a( 5 6 0 一l o s o m b a r )。 d . 电源电压为 2 2 0 士 2 2 V，频率为 5 0 士Z Hz o 1 . 4 耐压性能 1 4 。 1 真空计供电电 源端子与机箱外壳之间应能 经受频率为5 0 H z 、 电 压为Ik V的正弦交流电 历时 1 分钟的耐压试验，应无击穿、飞弧现象。 1 . 4 . 2 真空计规管工作电压输出 端子与机箱外壳或接地端子之间应能经受下表中 所规定直流电压值 历时1 分钟试验，应无击穿、飞弧现象。 工作电压( k V) ( k V) 0 o 8 1 1 1 . 5 1 。 5 2) 2 7 验电压 本底 电流 2倍工作电压十1 试一j 在工作条件下，真空计本底电流值应不大于测量范围下限放电电流的 20%。 . 6 最大允许误差 在工作条件下，真空计示值误差的误差极限应不超出下述范围: 当压强大于 5x1 0 一 “ P a时:一6 0 %+1 0 0 %， 当 压强小于sx l o 一 6 P a 时:一 7 0 % + 2 0 0 %。 . 7 掩定性 在工作条件下， 真空计示值在 1 小时内相对变化量不应超过士 20%。 . 8 物出信号 当真空计有输出信号时，应满足下述要求: 机械工业部 1 9 8 4 一 1 2 一 1 0 发布 1 9 8 5 一 1 0 一 0 1 实施 ZBY 2 8 5 一吕 4 1 。 8 。 1 真空计模拟直流电压信号范围应符合G B 3 3 7 。 一82 工业自 动化仪表用模拟 直流电压信号 的规定。 1 。 a 。 2 真空开输出 数字信号的编码应采用8 一4 一2 一1 = 十进制编码， 并列出逻辑“ 1 ” 、 “ 。 ” 状态的电 平值及负载能力。 1 。 9 抗活粉环境性能 真空计在运输包装条件下，应能符合Z BYo 02一81 仪器 仪表运输、 运输贮存基本环境条 件及试验 方法的要求。其中:高温试验选用+ 55，低温试验选用一 40，跌落高度为2 50m m 。 试验后，真空计仍应符合本标准 1 . 4 1 . 7 的要求。 2 试脸方法 2 . 1 真空计是否符合1 . 1 的 要求，用目测方法进行检查。 2 。 2 真空计是否符合1 。 2 的要求，用钢板尺或卷尺进行检查。 2 。 3 真空计是否符合1 . 4 的要求，应在工作条件下进行耐压试验， 试验电 压从最小或从 不超过 工作电 压的值开始缓慢增加到规定值。试验电压的误差不应超过 士10%。 2 . 4 真空计是否符合1 . 5的要求，测试用的接线方法如图 1 所示。 图 1 本底电流的测试 图中:T Y 自辐 调压器，。 2 50V， y1 级交流电压表，0一2 5 0 V， D被检真空计的控制单元和指示单元; G 冷阴极电 离真空规管。 试验在相对湿 度为75% (25 时)的大气条件 下进行。 试验条件 按 G B2 4 2 3 . 3 一8 1 电工电子产品 基本 环境试验规程 试验C a ;恒定湿热试验方法 的规定，达到规定湿 度2 天后进行测试。 测试时，真空计的供电电压V为2 42V，规管处于大气状态。接通电源30 分钟后，真空计指示单元 指示的电流值即为本底电流值。 2 。 5 真空计是否符合1 . 6 的 要求，采用下列方法和装置进行检查: 2 . 5 . 1 最大允许误差分别在供电电压为 2 42V和 198 V的条件下进行测试。 2 . 5 . 2 校准采用动态直接比 较法进行。 它的基本原理是将待校准的 真空计和标准真空 计接在同 一校准 室上，该室所需压强可以通过动态平衡调节取得。 2 . 5 . 3 校准装置如图2 所示。它主要由下列几部分组成: ZBy之 8 5 一 8 4 图2校准装置示意图 图中: 1校准室， 2被校真空计， 3 标准真空计; 4监测真空计， 5微调阀， 6氮气源， 7 抽气调节阀。 2 . 5 . 3 。 1 若干个测量范围互相衔接的标准真空计 ( 或经校准过的真空计)。当压强大于 5x10一 P a 时，其误差不超出土10%;当压强小于 5x1 0 “ 石 P a时，其误差不超出士40%。 2 。 5 。 3 . 2 动态平衡真空系统应满足下述条件: a 。 校准室容积不小于所有连接到校准室 上规管总 容积的50倍， b 。 校准室的残余压强不得超过校准压强下限的 2%， c 。 动态注入校准室的气体分子至少与其器壁碰撞一次后方能进入规管， d . 校 准 室与 规管 连接 的 过 渡 管 道流 导 不 小 于l x 10 一 Z m 5 一 气 2 . 5 . 3 。 3 监测校准室中压强的电离真空计。 2 . 5 。 3 。 4 校准用的氮气。其纯度不低于9 9 . 9 %。 2 . 6 。 3 . 5 温度计 ( 一 1 0 一+ 5 0 ;误差限土 1 )。 2 . 5 . 4 校准前， 规管必须按产品规定的方法通电 老化或除气处理。 2 . 5 . 5 校准按压强上升程序进行。 当监测真空计指示校准室内压强读数在 3分钟内变化小于 1%后， 同时记 下标准真空计和被检真空计的示值。 2 . 5 。 6 每个量级压强示值均匀分布选择读数点不少于 3 点， 进行整个测量范围的校准。 2 。 5 . 7 真空计每一校准点相对示值误差按下式计算: ZBy2 8 5 一 8 4 = A 一A 。 A。 X 1 0 0 式中:相对示值误差，%; A被检真空计示值，P a ; A。 标准 真空计示值，P a 。 2 . 6 真空计是否符合1 . 7 的要求，试验在工作条件下进行， 试验所用装置与图2 相同， 使系统 真空 度 处于真空计测量范围的中间 值， 开机。 . 5 小时后观察 1 小时内示值的变化， 取其最大相对变化值，即 为 真空计的稳定度。 2 . 7 真空计是否符合 1 . 8 的要求，用电压表或数字打印机直接打印检查。 后者也可用直流电压表逐点 检查编码输出和逻辑电平。 2 . 8 真空计是否符合1 . 9 的要求，按Z BYo 02一81规定的 方法进行试验，然后按本 标准2 . 3 一2 . 6 条进行测定。 3 检验规则 3 . 1 出厂试验 3 . 1 . 1 出厂试验由制造厂质量检验部门负责进行， 订货方 可以 派代表参加。 3 。 1 . 2 出厂试验按本标准 2 . 1 一2 . 7 规定进行。 3 . 1 . 3 批量生产的产品应逐个地进行出厂试验。 3 . 1 . 4 只有出厂试验合格的产品并附有产品合格证才能入库和出厂。 3 . 2 型式 试验 3 . 2 . 1 型式试验，按本标准的全部技术要求进行试验。 3 . 2 . 2 当出现下列情况之一时，真空计应进行型式试验: a . 试制新产品时; b . 产品在设计、工艺或使用的主要元器件、材料的改变， 可能影响到性能时; c 。 停产超过一年再投产时， d 。 成批生产的产品， 每年至少进行一次。 3 . 2 . 3 型式试验的样品 应从出厂试验合格的 产品中任意抽取不少于3 台 进行试验。 试验过程中 若有一 项不合格，则应再取加倍数量的产品进行全部项目的复验。 若仍有 一项不合格时，则认为型式试验不合 格。 3 . 2 . 4 经过型式试验的产品不作正品出厂。 3 . 3 保修期限 自 制造厂发货之日 起十八个月内，凡用户遵守运输、贮存和使用规则而使用质量低于本标准规定的 产品，制造厂应负责免费 修理或更 换。 4 标志、包装和贮存 4 . 1标志 产品应有下列醒目的耐久性标志: a . 制造厂名称和商标， b . 产品名称和型号多 c 。 制造年、月或出厂编号。 4 。 2 包袭 4 . 2 . 1 每台真空计在包装时应附有装箱单、使用说明书和产品合格证。 ZBYZ 已 S es8 4 4 . 2 . 2 产品的 包装应符合Z BY0 03一84 仪器仪表包装通用技术条件 的规定，其中防护包装选用 防展、防潮和耐 压包 装。 4 。 3 贮存 真空计应保 存在温度为。 十 40， 相对湿度不大于7 5 % ( 25时)的环境中， 周围 不应有强磁场 和腐蚀性气体。 附加说明: 本标准由 上海 市通用机械研究所提出。 本标准由冶 金部钢铁研究总院、上海市通用机械技术研究所负责起草。 本标准主要起草人:林立三 本标准委托上海市通用机械技术研究所负责解释。