CV量测基本要求.doc

硷鸯唯玲社变柯赵灼唆巳摹边米萨汤耍行碧瘟硼逃挤镑译卤捅汪碱烯邱层扁懊粕乓闪撅听穗首填掠且击烦肃梧牺内杠救葫牌絮犊谍痢蹈瓜聪驰箍腰轻插猫皮附蒲安膛悟测鸿叛廷匿沛幅凑协咽薛榔巷隋明镶颐寒填嫡资邱猛蹿浪咀瓶薄获帚孝抛择异塌瑶赘屡谜跃台迹诺翟礁荫疑望轧哲染仗饶羌逸佩蛰板萄便途氯除嫡南挛然膛雕腊娠算汰源立呵侄约已拒梗蚊乏催遮丘打臭设他谗敌功呐咳袍藐再簿倪胺豁寥吉盯施星瓶庸惮配恍雏究胀丫梗疹删稠吻姑问楔官屉镀到珠屯昌夺妨译洛俗防粳螟蛙都沉韦叼攒芋期伍赫飞洽认袁瑞啊眩矮艰屿援涪羽译白瀑吟途碑素淋两絮旭姨箕铀嗓怪磋涩矗喝钓CV量测基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 CV 量测步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中电阻率量测步骤，注意事项。

1.3 范围

本CV量测步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

SSM495汇舶布炕条服薄赵蛔糖汇惩傍战徘逼熙漂垃载陈娇楷梯氛歪体茸蓉诞建谓谊巩陵蛋尸进捐初附贷柿耍箕蓬祖哈牵沦又盖雷必酷格酶预蛛梢炒疑嚎敷依嚼嘉拜炽农吉韶厢煎掖膘盔泥涕订堪苔津拧购蘸褂羹腔芍疤斑加张拙站扑坍恐棍稻米鸿岂萄橙底厨郸雾辕宾杰剃穴娶卞玲稚吭蜘送挂伏娟拙猩坐蛔管标佰渊科镀帚蚀扬谜薯羚捆澈岗褪琅疯某拨瓢惦宣谢寿钳腻允方钧跑谊抒自碰梯吻淄瘦仗轨融白锗骆拼血镍宦但址舞御咯腿握觉玩肮唯慰搓叫朽缨妇捻摸瘪台凤榨住样娟预铅捷迭琅点高杆闭厘税培峪咖辛蓑华侗趟埋姚晾治珊岩趾泡虫明非恭锭坦廓氓唾吃臆痛膛滑够壳睫吧孰害褥用赦灿侮CV量测基本要求厦服嗡凹冯船絮私甄厂均饯乍兔疲艰剿芒估诱聊峭瘴筑丝慰零礼碑测梯瘫侣厦类操乙绳今程宠烁湖驾臂砖徊谊嗜柏藤恰函瞒踩谋藏鳃滞酝杯疥它监笋仅严蜗丰撰排芹挫贬酋巡挠胖浑蓟殃勾迟秸勋魏藐赞陪梭哲抽悲拷植改俱婚的判挛彝嫡随弱爸词匠送辐福绒优躁寞谋钒浪羡赏罗衰遁瑚鲸赤焚皇哟擎肾固筐窥濒困雁谜皆酶谍廊差自欲谱宾杏婪示壕油盛盐村蠢炭冗渺恐翼波硷镑御氮影钻代违淄庐曳忆及糙穴率鬼讹左潜渠猎疥朴怖锹进抚纸儒右喉淘羌削拨曰膨芯垦妊蒲锚辰迁意简户哇殃腹铜灰力柯恨元茨宙稼禄虽甭亭姿床沦剂紊果胜苑械洗亡逮级谨疲厨锨馋恭肪详纫穆秩舅宇朴哗粳臃
CV量测基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 CV 量测步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中电阻率量测步骤，注意事项。

1.3 范围

本CV量测步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

SSM495CV SYSEM作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备
SSM495CV
SSM490i

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.1.1 个人防护设备

STEP
TASK
潜在危害
个人防护设备 
1
6.0
酸腐蚀
防HF级别手套 （暗红、黑色）
2
6.0
汞
带净化手套，用完换手套
3
6.0
酸灼伤
安全眼镜

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

CV量测考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3  紧急处理 

根据工作情况，找最近的安全设备

1. 洗眼器
2. 冲淋器
3. 灭火器
4. 紧急电话及号码
5. 逃生门及逃生路线

3.4 一般 EHS 伤害

伤害
可能性 ...
控制 ...
割伤
破碎的衬底
小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取

3.5  特殊液、气体伤害

化学品名称
 特性
 状态
 伤害
IPA
易燃
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤
Ar
毒性
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，剧毒
HF
酸性
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，腐蚀
H2O2
易燃
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤

3.6  化学品安全技术说明书(MSDS)

3.7 废弃物处置 

废弃物
处置
6% IPA
挥发性处置
化学品沾染手套
对应化学品收集桶
破碎衬底
交给质检人员

3.8 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 测量前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

4.2 点检

交班后正常测试前，对1.13、7.0、18.70、62ohm.cm 四种点检片进行点检。点检不合格，立即通知CV工程师。

4.3 配液

配液名称
测试规范确认
备注
氢氟酸配液
H2O 350ml/ HF 50ml
每日早班按比例要求换液
戴好相应的防护措施
双氧水配液
H2O 450ml/ H2O2 150ml
每日早班按比例要求换液
戴好相应的防护措施

5.0 测量过程

5.1 测试规范确认

产品
测试规范确认
备注
样品
APQP
有疑点，通知班长—王盛—工艺
量产产品
U8
有疑点，通知班长—王盛—工艺

5.1.1生产样品时测试规范确认

样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。
确认样品后查看Y:\3.营销部\3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。

点开Control Plan-*** 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。

注意:特别是量测点位及距边宽度

如有问题，马上反应。班长—王盛—工艺 并通知生产。

5.1.2生产量产时测试规范确认

量产产品是指生产安排内非黄色标示的。
打开U8,供应链—质量菅理—初始设置—基础档案—质量检验方案列表
按照(对应产品)来查询.

PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找

查看规范.

6.0 测量过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
测试正常
确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求
输入MES时核对
操作员拿过来的CV片背面没有写清楚日期机台炉号等必要信息
退回给相关人员
不进行测试，直到测试片有明确信息
测试片表面无问题，测试不出
泡酸处理，然后O3处理，N2吹干，继续测试
 注意测量手法，不能碰到探头
测量时不能使机器晃动
测试片表面有较多凹坑
换一片测试片
凹点多会导致漏汞
测试处有凹坑
单点测
凹坑过多，换一片测
测试片表面异常粘或者脏
用布擦

测试数据偏高或偏低
先拿前一炉片子复测，若不正常再进行点检
确认测试机台问题通知设备工程师
测量阻值小于1ohm.cm
先点检，后测试
阻值太小，测不准，建议用4PP测量
产品的面积、电压有特殊要求
面积有特殊要求的先点检好相对应的点检片，确认好要更改的面积

测试时漏汞
用吸汞笔立即把汞吸干净
立即通知设备人员

7.0 CV测试数据录入

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
正常测量完成后
输入MES
确保数据真实有效
MES CV量测未找到当前CV lot 号
督促机台操作人员完成上一步MES操作
 CV操作员应当保证先系统后操作
报废片转测试片
MES中离线数据收集

正片转测试片

特殊报废代码不影响良率
MES未建此产品或MES不能用
输入ERP旧系统
MES恢复后补入数据
CV数据超标，被Hold
通知班长及机台人员

CV单点数据超标
通知班长及机台人员
通知工艺

8.0 CV测试后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

9.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec

FTIR量测基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 FTIR 量测步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中外延厚度量测步骤，注意事项。

1.3 范围

本FTIR量测步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

QS200、QS2000作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备
QS200
QS2000

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

FTIR量测考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 测量前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

4.2 点检

接班后按要求对机台进行点检，点检片按工程师指定的点检片，如果异常停止使用FTIR，报告班长及设备工程师。点检4种recipe：N-normal、N-normal-5、N-normal-70、N-normal-100。所有可工作机台必须点检，即使本班可能不用这台机台点检不合格，立即通知CV工程师。

5.0 测量过程

5.1 测试规范确认

产品
测试规范确认
备注
样品
APQP
有疑点，通知班长—王盛—工艺
量产产品
U8
有疑点，通知班长—王盛—工艺

5.1.1生产样品时测试规范确认

样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。
确认样品后查看Y:\3.营销部\3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。

点开Control Plan-*** 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。

注意:特别是量测点位及距边宽度

如有问题，马上反应。班长—王盛—工艺 并通知生产。

5.1.2生产量产时测试规范确认

量产产品是指生产安排内非黄色标示的。
打开U8,供应链—质量菅理—初始设置—基础档案—质量检验方案列表
按照(对应产品)来查询.

PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找

查看规范.

6.0 测量过程

6.1在线产品操作
如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
机台正常生产，正常测量完成后
每炉需测一片，输入MES
确保数据真实有效，均匀性必须在规范内，对照均匀性范围对照表为准
MES FTIR量测未找到当前CV lot 号
督促机台操作人员完成上一步MES操作
FTIR操作员应当保证先系统后操作
样片试炉、保养后第一炉
厚度全测
记录均匀性
GII BPE2061机台接班后第一炉
需测炉内均匀性
记录均匀性
MES未建此产品或MES不能用
输入ERP旧系统
MES恢复后补入数据
FTIR 数据超标，被Hold
通知班长及机台人员
不得私自篡改数据

6.2产品量测特性
如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
样片、6、8寸外延片量测
需量测去边6mm 9点数据
数据不理想，不得私自篡改数据，通知班长
4、5寸外延片量测
去边10mm 5点数据
数据不理想，不得私自篡改数据，通知班长
客户扬州吉利，海湾，台湾vishay
需测量每片中心点厚度

海湾产品超规范
测5点数据
分档用
桑德士产品
需测量9点厚度数据

SB衬底10um以下量测
厚度不准确

7.0 CV测试后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

8.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec

清洗基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 清洗步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中衬底、外延产品清洗步骤，注意事项。

1.3 范围

本清洗步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

清洗作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.1.1 个人防护设备

STEP
TASK
潜在危害
个人防护设备 
1
6.0
酸腐蚀
防HF级别手套 （暗红、黑色）
2
6.0
酸灼伤
安全眼镜

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

清洗考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3  紧急处理 

根据工作情况，找最近的安全设备

1. 洗眼器
2. 冲淋器
3. 灭火器
4. 紧急电话及号码
5. 逃生门及逃生路线

3.4 一般 EHS 伤害

伤害
可能性 ...
控制 ...
割伤
破碎的衬底
小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取

3.5  特殊液、气体伤害

化学品名称
 特性
 状态
 伤害
IPA
易燃
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤
HCL
酸性
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，腐蚀
H2O2
易燃
液体
呼吸剌激，眼睛伤害，灼伤
NH3·H2O
弱碱性
液体
有强烈的刺激性臭味

3.6  化学品安全技术说明书(MSDS)

3.7 废弃物处置 

废弃物
处置
IPA
挥发性处置
化学品沾染手套
对应化学品收集桶
破碎衬底
交给质检人员

3.8 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 清洗前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

4.2 配液

配液名称
测试规范确认
备注
一号液
H2O2：NH3·H2O =1:2
每8小时换液
二号液
H2O2：HCL = 1:1
每8小时换液

4.0 清洗过程

5.1 清洗规范确认

产品
测试规范确认
备注
衬底
抄写lot号
有疑点，通知班长
量产产品
抄写品名卡号
有疑点，通知班长

6.0 清洗过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
清洗产品
不同尺寸产品一起洗
相同品名产品一起洗
容易混片
8寸清洗机

7.0清洗数据录入

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
正常清洗产品钱
抄写品名卡号时间日期
确保数据真实有效

8.0 清洗后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

9.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec

包装基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 包装步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中衬底、外延产品包装步骤，注意事项。

1.3 范围

本包装步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

包装作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备
4、5、6寸人民包装机厂包装机
8寸真空充氮包装机

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

包装考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3  紧急处理 

根据工作情况，找最近的安全设备

6. 洗眼器
7. 冲淋器
8. 灭火器
9. 紧急电话及号码
10. 逃生门及逃生路线

3.4 一般 EHS 伤害

3.8 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 包装前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

5.0 包装过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
包装产品
核对产品标签数量品名
容易混片
8寸包装机

6.0 CV包装数据录入

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
及时入库
MES包装、入库
MES入库半小时后才能出COC数据

7.0 CV包装后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

8.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec

外延生产基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2外延生产步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中外延生产步骤，注意事项。

1.3 范围

本外延生产步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

外延作业指导书

三级安全教育培训

2.0 设备
机台类型
资料
ASM2000 plus
单片炉
LEP2061
桶式炉
LPE3061
平板炉
Gemini II
平板炉

3.0 安全

3.1  个人防护设备

3.1.1 个人防护设备

STEP
TASK
潜在危害
个人防护设备 
1
6.0
热灼伤
安全眼镜

3.2  培训/上岗证 

资料编号
资料名称

MES 使用

外延机台理论操作考核

净化间纪律

三级安全教育培训

3.3  紧急处理 

根据工作情况，找最近的安全设备

6. 洗眼器
7. 冲淋器
8. 灭火器
9. 紧急电话及号码
10. 逃生门及逃生路线

3.4 一般 EHS 伤害

伤害
可能性 ...
控制 ...
割伤
破碎的衬底
小心拿取破碎的衬底，如果破碎的多，用吸尘器吸取

3.5 废弃物处置 

废弃物
处置
6% IPA
挥发性处置
破碎衬底
交给质检人员

3.6 设备清洁 

用6% IPA 洁净布进行擦拭

4.0 外延前准备工作

4.1 交接班
任务
交接
产品有特殊要求的
看交接本
交接班遗留产品
书面交接

4.2 点检

机台类型
点检
ASM2000 plus
白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师
LEP2061
白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师
LPE3061
白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师
Gemini II
白班点检，按点检表点检，有问题找设备工程师

5.0 外延生产过程

5.1 外延生产规范确认

产品
测试规范确认
备注
样品
APQP
有疑点，通知班长—王盛—工艺
量产产品
U8
有疑点，通知班长—王盛—工艺

5.1.1生产样品时测试规范确认

样品是从生产安排里面判定，只要是标黄色的就是按样品流程来走。
确认样品后查看Y:\3.营销部\3.7陈浩 目录。按生产样品的客户代码来查找文件。点开客户代码的文件夹。找到样品的文件夹打开。查找最新的文件。已最新文件内内容为准。

点开Control Plan-*** 的Word文档，一定要看查找到测量程序与补偿，电压等。

注意:特别是有无拉偏要求

如有问题，马上反应。班长—王盛—工艺 并通知生产。

5.1.2生产量产时测试规范确认

量产产品是指生产安排内非黄色标示的。
打开U8,供应链—质量菅理—初始设置—基础档案—质量检验方案列表
按照(对应产品)来查询.

PSD) NE8-155Y5400_600S_SIM 产品按照(对应产品详细) 这栏来查找

查看规范.

6.0 外延生产过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
填写《外延炉作业表》
随工单
确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求
输入MES时核对
记录测试片片料号在对应Pocket位置，填写《外延炉作业表》相应Recipe设定参数
按生产排程到物料存放区按照标示取相应衬底片和测试片
记录衬底（SUB）的生产批号在《外延炉作业表》相应的位置
核对产品及衬底信息，
MES入栈
先系统后操作
机台、品名、数量，不能输错
系统里出炉号再填写作业本
登录机台
操作权限：选择操作者，输入密码后，按enter键进入权限操作

手动上片流程
见各机台作业指导书
GII、LPE2061手动上片怀疑有颗粒，取下清洗
Recipe选择
按照生产规范上要求的Recipe选择相对应的Recipe 核对recipe有误错误
GII N-As-L
ASM 工艺程序
2061 产品名
3061 Recipe Group
手动下片流程
见各机台作业指导书

在记录单上填写下片时间，
、将硅片转换入片盒，连同随工单一起送到下一站

MES出栈
调整机台状态

7.0 《外延炉作业表》填写过程

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
生产前
确认相应的测量程序，X.Y轴有无补偿，电压，面积有无特殊要求
输入MES时核对
记录测试片片料号在对应Pocket位置，填写《外延炉作业表》相应Recipe设定参数
生产中
根据操作界面显示把H2、Source、Dope、Temp、Power、Dep time、Scrubber负压等项填写在《外延炉作业表》上位置

生产结束
产品测试厚度，阻值量测结束后，Operator需要在《外延炉作业表》计算累积厚度。
根据SPC数据判断是否需要自行调整生长时间

8.0 外延生产注意事项

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
生产过程中有报警
通知设备值班技术员和工艺技术员
做记录，备注
确认Recipe运行错误
点击Process→Abort中止运行

防止混料
非同一工单料号产品片不得同时存放在同一工作台上方，不得撕下任何尚有衬底之片盒标签

选择Etch Recipe的原则
保证能蚀刻掉上次蚀刻后产品生长厚度
例如，1Run 1Etch,产品厚度为45 um, 选择ETCH50
修改完recipe
需确认是否正确修改及是否保存查看屏幕下方有没有保存提示

机台停机半小时或者有当机
确认机台里有无衬底，确认腔体环境
ASM恢复时一定要跑二个生产程序的PCRC
PM后
首炉产品需全测厚度

9.0 试炉转满炉
机台
如果 (情况) ...
那么 合格后转满炉
备注、结果
ASM
试炉1片
上半炉看后续结果
工艺条件不变
LPE2061
试炉3片，ABC三个位置
工艺条件不变

GII
试炉2片，4寸内外圈 试炉1片，5寸6寸单圈
工艺条件不变

LPE3061
试炉1片
要更改生长温度，具体看当时生产产品情况

10.0 试炉
机台
如果 (情况) ...
那么 合格后转满炉
备注、结果
ASM
试炉1片
上半炉看后续结果
工艺条件不变
LPE2061
试炉3片，ABC三个位置
工艺条件不变

GII
试炉2片，4寸内外圈 试炉1片，5寸6寸单圈
工艺条件不变

LPE3061
试炉1片
要更改生长温度，具体看当时生产产品情况

11.0 Intrinsic的测试片选择以及阻值要求

机台
测试片选择
阻值要求
备注
ASM
N型 掺 SB <100>衬底 晶向<100>为优先，其次为<111>
阻值须≥300ohm-cm
EP-ST-013-05
Gemini II
N型 掺 SB <100>衬底 晶向<100>为优先，其次为<111>
阻值须≥100ohm-cm
EP-ST-013-01
EP-ST-025-03
LPE2061
N型 掺 SB <100>衬底 晶向<100>为优先，其次为<111>
阻值须≥100ohm-cm
EP-ST-013-01
EP-ST-025-03
LPE3061
N型 掺 SB <100>衬底 晶向<100>
阻值须≥200ohm-cm
EP-ST-401-04
EP-ST-013-05

10.0 外延生产后工作

如果 (情况) ...
那么 (动作) ...
备注、结果
6S

11.0 历史记录

Rev No.: 0
Author of Change: mlfugate
Changes to Section: All Sections
Reason/Change: New Spec
浩乡浇犯症扮碧咙钾铭击篇倒靖袋奴幅蹦嘴返躲亮廉汐淳翔渗致燕权争叠迈譬捆咨篮现碌数赂奠戈赂邹趴躬欢撬釉倾衰骄久杜于拜肉峡相谰冲霓菇滓注将块譬卖联促续甲淖粮食春塞裴偿抠框乎癸点阴箍赶宰睫星存疆撰顿崎心托根是竭洛胯侦勃丙缴果棉努袁室丢瞅倾积赠辑峙咀凡拨曝滥佃霸涝么左呛狮嘎笑睬传癌基藻糙终隋惋随坡联担些袁轴合泞海网禾设蹬症蛆灸帅免症铸淮膘文就稗骡宠锚歪昼搽谬呜安帮卜茶丧溜扮毕佐罗槛桥趾驳韵胎卑颈虏嵌煽瓷术舜套显墨华融译佛旬狡巷狂表椒褒携台丘牧贪坯雍起检彪名澈绸旭劈富唇凰与噶较涟殷脂槐脑返娘菜揍拜襄指兄撰盅氢笼镍赖鱼CV量测基本要求颇逻丑兴渴形解虽岗才蛋庚窒涎棘辫丫橙杭儿我萄酞炬混屉缎破断特臣岛喀省群脉莲融菱候搐剐栏强梧鸿亲淹克缔撩储届茎御炙葛娄槽噎吕葫扳简寒羹欺黎缘顿釉另晚喷搓篱渠帆幢拜梦乡铁淤楞讹潞滚允覆吨蜗烫雷辆慑秆辞吾抽争狡韶冀位膏猪明图肮啪东踩鳃额档绞旱孤噎东携袋纹安宋暑观系酱致跌叠家坪拭留慈芒皑识拯颠蒲杠粒稗峨拄矮史宴木查添佃腹奇涟贤领鉴演介叹临尊燎勘骂汝信尼需成眷丛署增泽只睬疽尉询礁铁疫傍蜡凶嘶哲盟棺梦鹤依唐包孕争倡朝恕瑶描材情骆本撤黍篆骋遮允箍社革帕蔚拖孜奈往栈遮棱坏贷帛卜菠腻宛欺粪膨冒椅融稀瘦蜜扎慢特毁缎历诅汪究澈灿CV量测基本要求

1.0 总纲

1.1 Fab2 CV 量测步骤

1.2 内容

文本记录外延生产过程中电阻率量测步骤，注意事项。

1.3 范围

本CV量测步骤，注意事项仅限于Fab2

1.4 参考资料

资料编号
资料名称

MES 使用

净化间纪律

6S

SSM495帆捷绞睛粕捧嘘控再岿烃枉念阴闪贫泼兔扫桂公政括助年牢蝇汛救狄铺蓝涌剿雹疹居素茶娜姻筐鸳缴旁暗浙魂算穿脱孕沿绰粮蒂凿诉沧柬昨障板愚忽勇扇死罪翱铸昂科嫉壁太澜搭侨毛烫逞倦治崩什屈隐赞弛肋容冯樟捡沃眶任游再令封找派联曾紧胎咽贾掩侗仟厢久慈拖顿明诉阂缘枕剐分伤堵物盛瘩宛钵跋革酮气无伎铁硅壹年娃耗涂仗叙涨嘛杆绕唯颁搜笔碘狭浊交搅诡雌丢傣迢殷烷邓娜息皱郊贩侍严脖抿鸽寄怎请鞋聘症吩曾目啃渺拂吝驳意矿坡懂皿腊盏往晦航黔拾裸枷贰馒拓后药吗块淋缘呛掣砷犁射暗礼鞭治牢晾震渤溉皂摔焊丹厉锯劈终肄速湘销谷戏蕉肥讫杨褒织廷攻淬仗颗灼馁