第1页半导体传感器，催化燃烧式传感器，红外吸收传感器，电化学式传感器第2页摘要利用六西格玛(six sigma)统计工具对电化学硫化氢(H2S)气体传感器气体敏感特征进行了研究,并利用 Minitab 软件对测试数据进行了系统分析.结果显示,所测电化学气体传感器对H2S气体响应良好第3页意义第4页传感器结构及工作原理第5页电极反应过程以下:第6页试验部分基本性能测试线性测试温度测试电流转换成电压输出输出电压与气体体积分数是线性相关第7页几个特定统计工具对传感器性能进行研究(1)过程能力需要确定所分析的变量之间是否具有线性相关性,按照“统计 基本统计量 相关”来操作,从输出结果中可以观察到一个 P 值,如果 P 0.05,则数据服从正态分布.再判断服从正态分布的数据的过程能力是否符合要求.(3)箱线图.运用 Minitab 软件绘制箱线图,从中可以粗略地看出所分析数据的分布情况,以及数据的中心位置及其是否具有对称性.第8页结果及分析第9页影响原因传感器的响应输出值随温度的变化气相扩散中气体的扩散系数随温度的升高而增大,随压强的减小而增大传感器的内部结构及电极气体不仅仅以一种模式进行扩散.在毛细管扩散孔的上面贴有一层防尘膜,内部还有电极膜，气体在这些膜中的扩散属于固相扩散，因此实验所得温度系数比理论值略大第10页总结第11页thanksthanks第12页
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