芯中国际集成电路制造天津有限公司验收评估评价报告-学位论文.doc

中芯国际集成电路制造（天津）有限公司建设项目安全验收评价报告1编制说明1.1评价依据1）中华人民共和国主席令第70号中华人民共和国安全生产法2）劳动部令第3号建设项目（工程）劳动安全卫生监察规定3）劳动部劳安字19921号建设项目（工程）职业安全卫生设施与技术措施验收办法4）国家安管局安监管技装字200337号安全评价通则5）国家安管局安监管技装字200379号安全验收评价导则6）天津市安管局津安监管字200284号天津市安全评价管理办法7）SJ30002-92电子工业职业安全卫生设计规定8）国家、地方、行业有关劳动安全的法规、规定、规范和标准（详见附件1）9）建设单位提供的中芯国际集成电路制造（天津）有限公司项目安全验收的相关资料。10）中芯国际集成电路制造（天津）有限公司委托天津泰山安全科技有限公司进行中芯国际集成电路制造（天津）有限公司项目安全验收评价合同书。1.2 评价目的及评价范围1.2.1评价目的及评价内容1）安全验收评价的目的是贯彻“安全第一，预防为主”的方针，为建设项目安全验收提供科学依据，对建设项目未达到安全目标的系统或单元提出安全补偿及补救措施，以利于提高建设项目本质安全程度，满足安全生产要求。2）安全验收评价内容检查建设项目中安全设施是否已与主体工程同时设计、同时施工、同时交付生产和使用；评价建设项目及与之配套的安全设施是否符合国家有关安全生产的法规、规定和技术标准。从整体上评价建设项目的运行状态和安全管理是否正常、安全、可靠。1.2.2评价范围根据本项目安全验收评价技术服务合同书的规定内容，经与建设单位商定：对中芯天津芯片生产厂房、化学品库、污水处理站以及变配电站、锅炉房、油库、空压站、冷冻站、水泵房的设备、设施进行劳动安全验收评价。由于公司对工艺及产品生产技术保密且芯片生产线工艺设备自动化程度高，人、机分离，安全性能高，据同行业生产实践，发生事故的可能性极小，对建设项目的总体劳动安全验收评价结果影响较小，应公司的要求，在芯片生产厂房劳动安全验收评价中，在危险危害因素辨识分析的基础上，仅对其危险性大的芯片生产的辅助设施进行劳动安全验收评价。2 项目的基本情况3 危险有害因素分析3.1物质的危险危害芯片生产过程中，使用多种化学物品，厂区内设有储存这些化学物品的化学品库，化学品种类达80种。按照GB13690-92常用危险化学品的分类及标志规定中对常用危险化学品，按其主要危险特性进行分类，该项目中使用的危险化学品有压缩气体和液化气体，易燃液体、氧化剂、有毒品、腐蚀品等类别，这些物质的主要危险危害为：1）有毒有害气体（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏与空气混合遇明火易燃爆，有的可在空气中自燃，有的可致人中毒、冻伤、窒息、直至死亡。2）易燃液体（如丙酮、异丙醇等）如泄漏、挥发与空气混合形成爆炸气体遇明火、热源可引发火灾爆炸。3）氧化剂（如过氧化氢等）如泄漏与有机物还原剂、易燃物接触可引起火灾爆炸。4）腐蚀品（如酸类、碱类等）如泄漏与人体接触可引起化学灼伤。这些危险有害因素的主要物质理化特性，以及化学危险品的贮存、使用的危险性分析详见化学品库单元.3.2设备设施的固有危险危害生产设备多，且特种设备的种类、数量多。电气设备有110kV和10kV变配电站的变压器、配电柜、以及各厂房内用电设备及控制系统；特种设备有燃气锅炉、空压设备、冷冻设备、压力容器及多种气瓶和厂内机动车辆；储存设备有储气罐、液氮罐、液氩罐、贮油设备、硫酸罐、氢氧化钠罐等。其主要危险因素有：1）火灾爆炸油罐如本身缺陷或安全装置失效或管理不善出现泄漏，遇明火可引发火灾、爆炸危险。锅炉使用燃料是天然气，天然气为易燃易爆气体，一旦出现泄漏遇明火可引发火灾。当天然气与空气混合的浓度达到爆炸极限时遇点火源可引发爆炸危险。2）物理爆炸锅炉、压力容器（蒸发器、冷凝器、储气罐）设备、气瓶等，如设备有缺陷或超压安全附件失效或使用不当，可引发物理爆炸。3）触电危险变配电设备、电气线路、用电设备如产品质量不佳、绝缘性能不良或因运行不当、机械损伤、维修不善导致绝缘老化破损或设计、安装不规范，安全净距不足，或违章操作，均可能引发触电危险。如出现短路、过载、接触不良等，也可引发电气火灾危险。4）静电危害如火灾、爆炸危险环境内设备、管路防静电设计或施工不规范，或在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷不能及时消除，或使用有火花工具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。5）高空坠落危险凡2m以上各类高空作业点位，其梯、台、道、护栏等常规性防护措施不符合规范要求或损坏，可引发高空坠落危险。6）车辆伤害厂内各类运输车辆如车辆本身缺陷，或制动、音响、灯光等失效，道路状况不符合规定要求或误操作可引发车辆伤害。7）机械伤害空压站、冷冻站、水泵房、锅炉房的旋转、传动设备如无防护罩或损坏，可引发机械伤害。8）灼伤高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。9）噪声危险空压设备、泵类、风机等设备在运转时可产生噪声危害。4评价方法的选取和评价单元的划分4.1评价方法的选取结合本项目建设内容及已做劳动安全预评价的实际，安全验收评价采用以下两种方法：1）安全检查表（SCL）依据国家、行业、地方相关法规、规定及技术标准，针对本工程存在的危险、危害因素，编制安全检查表，以查验项目在设计、施工、交付生产使用时，所采取的安全防护设施及技术措施的全面性和可靠性，并据此提出改进措施及建议。2）专家现场询问，观察法（邀请公司专业技术人员参加、配合）。4.2评价单元的划分依据已确定的评价范围及建设内容的实际，本项目的安全验收评价划分如下评价单元。1）总平面布置及常规安全防护设施安全评价单元2）生产工艺及危险化学品使用安全评价单元3）化学品库安全评价单元4）超纯水制备设施系统安全验收评价单元5）锅炉房安全验收评价单元6）油罐区、冷冻机房、空压站、水泵房安全评价单元7）污水处理站安全评价单元8）供配电安全评价单元9）安全生产管理安全评价单元5 安全评价5.1总平面布置及常规安全防护设施安全评价单元5.1.1安全检查表依据GB50187-93 工厂企业总平面设计规范、SJ30002-92电子工业职业安全卫生设计规定、GB4387-94工业企业厂内铁路道路运输安全规程、GBJ16-87建筑设计防火规范(2001版)、GB50074-2002石油库设计规范、GB2894-1996安全标志、GB16179-1996安全标志使用导则等相关法规、标准及现场状况编制总平面布置及常规安全防护设施安全检查表，检查项目及内容见表5.1.1-1。表5.1.1-1 总平面布置安全检查表序号检查项目及内容依据法规检查结果备注1厂址选择1.1厂址选择在全面考察，其自然和社会环境应优先选在工程地质、水文、气象条件符合安全卫生要求，交通便利，协作方便，环境较为清洁的地区。SJ30002-922.2.2符合要求。1.2厂址应位于生活区最小频率风向的上风侧，避免建在已建工厂烟囱主导风向的下风侧。2.2.41.3厂址应具有满足生产、生活及发展规划所需要电源和给排水条件。GB50187-932.0.5满足要求1.4厂址应与交通线路、车站、港口顺捷合理联接，厂所区尽量靠近公路干道。GB50187-932.0.4交通便利。1.5地震断层和设防烈度低于九度地震区。GB50187-932.0.11七度设防。2总平面布置2.1厂区应根据生产、工艺特点按功能分区布置。一般可分为厂前区、主要生产区、辅助生产区、仓库区和动力区。SJ30002-922.3.2按功能分为办公区、生产区、公用工程区、预留区。2.2由厂部办公楼、多层厂房、厂区主入口等组成的厂前区，宜置于厂区最小频率风向的下风侧。SJ30002-922.3.52.3布局应满足生产加工过程流程。GB50187-932.0.11流程顺畅。2.4要求洁净的生产设施应布置在大气含尘浓度低、环境清洁地段。洁净厂房的布置应符合“洁净厂房设计规范”的规定。GB50187-934.2.2符合要求。2.5变配电站宜位于负荷中心，或靠近主要用户。不受粉尘、水雾、腐蚀性气体影响。对于大容量的总降压站，尚应在其周围加设围墙。SJ30002-922.3.15GB50187-933.4.4总降变设在厂区西南角。各10kW变电站靠近负荷中心。2.6空压站应位于空气洁净地段，避免靠近散发爆炸性、腐蚀性和有害气体的粉尘等场所。GB50187-934.3.42.7锅炉房宜布置在厂区全年最小频率风向的上风侧。GB50187-934.3.7SJ30002-922.3.132.8污水处理站应布置在厂区边缘地带，位于厂区全年最小频率风向的上风侧。应靠近污染源，远离水源构筑物及空调空气入口，四周留有必要的卫生防护距离。SJ30002-922.3.16GB50187-933.4.22.9火灾危险性属于甲、乙、丙类液体燃料罐区的布置，应远离明火或散发火花地点。与耐火等级为2、3级厂房距离分别为20m、25m，与厂内主干道距离15m，与次干道距离10m。GB50187-934.6.5GB50074-20024.0.8油罐区距锅炉房西侧外墙15.2m，距厂内道路6m。2.10化学危险品库，应布置在厂区最小频率风向的上风侧及边缘地区，应远离火源，并符合国家现行有关防火规范的规定，防火间距不应少于30m。SJ30002-922.3.12基本符合有关规定。2.11工厂主要建筑物宜呈南北向布置，建筑物的方位应保证室内有良好的朝向、采光和自然通风条件。SJ30002-922.3.3GB50187-932.0.1条件良好。2.12厂区出入口数量不宜少于2个。人流出入口与货流出入口分开设置。GB50187-934.7.4三个出入口，人、物分流。2.13厂区应进行绿化，应在道路及围墙沿线植树，空地上种植灌木，乔木和草皮，厂前区布置花坛，水池以及厂标、雕型等建筑小品。SJ30002-922.3.203厂区道路3.1运输线路，满足生产要求，物流顺畅，线路短捷，人流、货流组织合理。GB50187-934.1.8人流、货流组织合理。3.2道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产厂、仓库区、动力区的道路应呈环形布置。厂区尽头端式道路应有足够的消防车回转场地。SJ30002-922.3.17GB50187-935.3.1呈环形布置。有回转场地。3.3厂区主干线双向行驶路宽5m，单向行驶路宽3.5m；并有单向行驶标记，且能形成环形通道；人行道0.75m；沿主干线人行道1.5m。GB50187-935.3.55.3.6厂区道路21m、15m、12m、7m。有人行道。3.4职工上下班时间内，人流密集的出入口和路段，应停止行驶货运和机动车辆。GB4387-945.1.83.5易燃易爆区、储存库区将道路划分为限制车辆通行或禁止车辆通行的路段，并设标志。GB4387-945.1.4油罐区、化学品库道路未划分限行路段。无标志。3.6厂区道路在弯道交叉路口的横净距范围内，不得有妨碍驾驶员视线的障碍物。GB4387-945.1.103.7厂区道路应设置交通标志。GB4387-945.1.3无交通标志。3.8路面平整、路基稳固、边坡整齐、排水良好。GB4387-945.1.1良好。3.9有完好的照明设施。GB4387-945.1.1完好。4常规安全防护设施4.1架空平台、走道、钢梯应符合国家现行固定式工业平台、工业防护栏杆、钢直梯、钢斜梯等标准的规定。凡采用直梯的场所，应采取防护措施，相邻两层的直梯宜错开设置。SJ30002-922.6.72.6.8厂区平台、钢梯基本符合要求。4.2厂区各种井、沟应有盖板。SJ30002-922.6.10有盖板。4.3道路上部管架和栈桥等障碍物，在干道上的净高不得小于5m。SJ30002-922.3.184.4凡容易发生事故危及安全的场所，应设置安全标志。必要处尚应设置声光、色或声光结合的紧急警告信号。SJ30002-922.9.1安全标志不齐全，不醒目。4.5各种输送气体、液体及其它物料的管道，均应按国家及电子工业有关规定涂色。SJ30002-922.9.2未按规定涂色。4.6厂房、动力站房的安全出口及疏散通道、应设置明显的标志。SJ30002-922.9.3不齐全。4.7安全标志的涂色，应符合国家现行安全标志及安全色标准的规定。SJ30002-922.9.4不规范。5.1.2综合评价分析1）危险危害辨识厂区建（构）筑物如间距小，道路狭窄，路面不平整、不畅通，若人流、物流不能有效分流，车辆无回车场地或车辆刹车、音响、灯光等出现问题，易引发车辆伤害事故。厂区内丙烷站、化学品库（室），油罐区、110KV变电站等易燃、易爆、易中毒，及要害部位无安全标志，无限行、禁行等交通标志。易造成误入及违章等，引发中毒、燃爆、触电等伤害。厂区内若坑、孔、井及走台、平台无防护围栏或盖板，直梯、斜梯不符合有关规定都可引发碰、磕、摔伤和坠落伤害。厂区内若道路无路标无交通标志，过路工业管路无限高标志，可造成各种车辆随意超速，任其闯越工业管路架设较低区域，易造成车辆交通事故或设备损害事故。2）问题与建议厂区总平面布置根据生产、工艺特点按功能分区布置，能够满足生产加工过程流程要求，建（构）筑物安全距离基本符合有关规定要求，厂区道路与主要建筑物轴线平行或垂直，主要生产区、库区、动力区的道路呈环形布置，能满足消防车畅通和回转的要求，厂区各种井、沟有盖板、平台、走台、钢梯基本符合有关标准要求。但仍有一些问题应引起注意。需采取相应措施以消除可能导致事故发生的隐患。油罐区与锅炉房和厂区道路的间距未达到GB50074石油库设计规范的要求。应按油罐区评价单元的建议完善其防火防爆措施并控制储油量。凡容易发生事故危及安全的场所，安全出入口，应设置齐全醒目的安全警示标志。安全标志的涂色应符合国家现行的安全标志及安全色标准的规定。厂区工业管路应按GB7231-87工业管路的基本识别色和识别符号规定，基本识别色应涂刷在管路全长上或在管路上涂刷宽150mm的色环或在管路上用基本识别色胶带缠绕宽150mm的色环。 基本识别色色环应涂刷在所有管路交叉、阀门和穿孔西侧等的管路上以及其他需要识别的部位。在管路上用识别符号标识管内流体性质、名称和流向。厂区道路应设置显示道路名称、方向、车辆限速的交通标志。在易燃易爆的生产区域应根据需要可将部分道路划分出限制或禁止车辆通行的路段，并设置标志。5.1.3评价结论厂区总平面布置综合考虑有利生产，方便工作的要求，各建（构）筑物按功能分区，生产工艺流程短捷便利，整体布局合理、厂区道路呈环形布置，消防通道畅通、照明完好，人、物分流，并为企业发展留有余地和空间，基本符合GB50187工业企业总平面设计规范的要求，只要按照检查表和建议的内容给予补充完善，可为实现安全生产创造更为有利的条件。5.2生产工艺及危险化学品使用安全评价单元1）支援车间危险化学品使用、储存、安全措施情况如表5.2.1-3所示：表5.2.1-3 危险化学品使用、储存及安全措施表序号储存场所名称储存危险化学品名称气柜数量（个）安全设施1毒性气体室砷化氢混合气（AsH3/H2）110%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜、双套管输送，内套管为真空，设侦测器，介质泄漏时，报警。1.5%锗烷/氢气（GeH4/H2）11%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2）15%磷化氢/氮气混合气（PH3/N2）22易燃气体室氨气（NH3）810%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、氨、氟环境监测报警、消防水喷淋、排风（酸碱性排风系统分开）、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。一氧化碳（CO）3二氯硅烷（SiH2Cl2）1二氟甲烷（CH2F2）150ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2）1氟甲烷（CH3F）2100ppmB2H6/N215% B2H6/N22100ppm乙硼烷/氢气（B2H6/H2）210%氨气/氮气1C4F613腐蚀性气体室Cl2210%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋(ClF3无)、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。ClF32HBr2HCl11SiF414氧化气体室NF3910%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、酸性排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。N2O730%O2/He65惰性气体室1.2%He+N2110%氦气/氮气工艺吹扫、TGM报警、消防水喷淋、排风、火灾声光报警、shut down 按钮、劳动防护用品专柜。C4F82CHF31C2F61CO21CF42CHF32SF62He14%H2/N216酸室HCl CDM1设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置。BOE CDM1HF CDM2NOE CDM1HNO3 CDM1H3PO4 CDM1H2SO4 CDM2HF100:1 CDM17Base Room（碱室）NH4OH1设排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送内设泄漏报警侦测器，PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。H2O22SD-118溶剂室ACT940 CDM1设溶剂排风系统、收集井、吸收棉、双套管输送、内设泄漏报警侦测器、PEH在线型火灾声光报警装置，自动水喷淋装置、消防器材。EG-011EBR10A11PA-01CDM12）危险危害辨识与分析火灾、爆炸各类易燃液体、易燃气体在生产、储存、输送过程中，一旦因设备材质缺陷、制造质量差、机械损伤等原因致使设备密封效果不好、包装容器破损以及人员误操作，造成物料泄漏，如作业现场通风不良，与空气混和达到爆炸极限，遇有火源可能发生火灾、爆炸；腐蚀、中毒、化学灼伤清洗、扩散、光刻、蚀刻等生产区、酸室、Base room、碱室、溶剂室等腐蚀性化学品生产、储存、使用场所内，盛装酸、碱性腐蚀品磷酸、盐酸等设备、容器以及输送管路因材质缺陷，制造质量差，搬运、使用过程机械损坏、倾翻，造成物料泄漏，如人体接触泄露的酸、碱性物质将会引起严重的化学灼伤；同时各类腐蚀性气体、毒性气体因盛装气瓶、输送管路、使用设备腐蚀、制造缺陷等原因造成泄漏，人接触或吸入有毒、腐蚀性气体，均会造成人员中毒。物理爆炸各类压力容器（包括气瓶）、管道，如果设备、管道因材质缺陷、设计不合理、制造焊接质量差、腐蚀等使其强度降低以及安全阀、压力表等附件失灵等，可能发生容器、管道不能承受设计压力而发生爆炸，造成人员伤亡，设备损坏。高温灼伤高温设备、蒸气管路等表面，保温、隔热效果不好，易形成烫伤事故。激光、红外线辐射灼伤在各类使用激光源、红外线光源的设备、机台上，如因光源密闭性不好或损坏或操作不当，致使光源直射观察者眼睛，将会造成眼灼伤。高频、噪声伤害在离子植入区，使用离子植入机等高频设备；清洗、光刻、蚀刻区使用各类清洗机、蚀刻机、微影机等产生噪声的设备，如上述各类设备高频、噪声防护措施不当或损坏都会对人员造成物理因素伤害。高处坠落当去废溶剂储罐等相对基准面标高超过2m设备进行检查、操作或维修设备时，若未按标准设置钢梯、护栏、平台或设置不完善，作业人员去检查、操作或检修时，稍不慎会发生高处坠落事故。触电各类用电设备、照明、配电系统线路保护接零未接或失效，线路绝缘损坏、线路短路等均可能发生触电事故。电气火灾电气设备、配电系统未按规定装设漏电保护器、过电压保护等装置或失效，线路绝缘损坏、短路，以及防爆场所电气设备、线路、照明不符合防爆要求等均会发生电气火灾。雷电危害建筑物防雷设计不合理、施工不规范、接地电阻值不符合规范要求，当雷击建筑物、电力设备、线路等时，会产生雷电过电压，在雷电波及的范围内会导致严重损坏建筑物、设备并可能危及人身安全。雷电火花还可能引发易燃易爆物质的火灾、爆炸，造成严重的生命、财产损失。静电危害如火灾、爆炸危险环境内（如：光刻、清洗区、扩散区、可燃气体储藏间等）设备、管路防静电设计或施工不规范，在使用、输送、贮存易燃易爆物质时所产生的静电电荷，不能及时消除，随着时间延续，静电荷将越聚越多，静电电压逐渐升高，当达到一定程度时，发生放电火花；或使用有火花工具、穿用不防静电的鞋、服装而产生静电火花等，均可能引燃易燃易爆物质，造成火灾、爆炸。3）安全检查表依据GBJ16-87建筑设计防火规范（2001版）、GB50187工厂企业总平面设计规范、SJ30002-92电子工业职业安全卫生设计规定、GBJ19-87采暖通风与空气调节设计规范（2001年版）、GB50073-2001洁净厂房设计规范、GB5083-99生产设备安全卫生设计总则、GB12801-91生产过程安全卫生要求总则、GB2893-2001安全色、GB2894-96安全标志、GB15603-95常用化学危险品贮存通则、国务院令第344号危险化学品安全管理条例等法规、标准、规范编制安全检查表，查验结果详见表5.2.3-1。表5.2.3-1 生产工艺及危险化学品使用单元安全检查表序号检查项目及内容依据法规检查结果备注1建筑结构及平面布置1.1生产厂房耐火等级不应低于二级。GBJ16-873.2.1均为二级。1.2若多层生产厂房耐火等级为二级，其防火分区最大允许占地面积为4000m2。（因有自动水喷淋系统，防火分区最大允许占地面积增加一倍）GBJ16-873.2.1占地面积4000m2。1.3有爆炸危险的生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）宜独立设置。GBJ16-873.4.1单独设置。1.4有爆炸危险的生产厂房（生产车间、易燃气体室、硅烷室等）应设置必要的泄压设施，泄压设施宜采用轻质屋顶作为泄压面积。GBJ16-873.4.2硅烷室屋顶泄爆、生产车间、易燃气体室无泄压。1.5硅烷室泄压面积与厂房的体积比值（m2/m3）宜采用0.050.22，体积超过1000m3的建筑，不宜小于0.03。GBJ16-873.4.3约0.3。1.6生产车间、易燃气体室、硅烷室等可能散发可燃气体、可燃蒸气的厂房应采用不发火地面。GBJ16-873.4.6环氧地面。1.7有爆炸危险的该甲乙类厂房不应设置办公室、休息室如必须贴邻布置，应采用一、二级耐火等级建筑物并应采用耐火极限不低于3h的非燃烧体防护墙隔开并设置直通室外或疏散楼梯的安全出口。GBJ16-873.4.81.8厂房结构应满足地震烈度7度设防要求，框架抗震等级二级要求。GB50187-932.0.47度设防。1.9芯片光刻等对洁净度要求较高的主要生产厂房，宜布置在厂区最小频率风向的下风侧，并在四周留有绿化场地。SJ30002-922.3.61.10易燃易爆工作间宜设置在单层厂房内，或设在多层厂房的顶层端部。SJ30002-923.6.12除硅烷室单独设置外，均设在多层厂房一、二层内。2洁净厂房2.1洁净室应设置人员净化、物料净化室和设施。GB50073-20014.3.1分别设置人员、物料净化室。2.2洁净室内噪声值不应大于70db（A）。GB50073-20014.4.165dB。2.3洁净实验室耐火等级不应低于二级。GB50073-20015.2.1二级。2.4洁净室的顶棚和壁板应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料。GB50073-20015.2.42.5洁净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断措施。GB50073-20015.2.5用防火墙和防火门分隔。2.6洁净区与非洁净区、洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启，并加闭门器。GB50073-20015.2.92.7洁净厂区应设置事故排风，洁净室事故排风换气次数应采用1020次/h，事故排风宜由常用排风系统与事故排风系统共同保证，事故排风装置的开关应分别设在洁净室内和室外便于操作的地点，事故排风应与报警装置联锁。SJ30002-927.0.10设置排风系统，常开；特殊气体室室外设手动开关，设自动联锁报警。3作业环境及工艺、设备安全装置3.1作业环境3.1.1车间内人工运输通道宽度必须1.0m。SJ30002-923.1.32.5m3.1.2设备设施之间应留有相应的操作空间、检修空间、巡回检查及安全通道。SJ30002-923.1.43.1.3洁净厂房应设置供人员疏散用的应急照明，并应设置指明应急安全出口的疏散标志。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。SJ30002-927.0.14设应急照明、疏散标志。3.1.4易燃易爆厂房的人员疏散，通道应保持畅通，并应设置应急照明，疏散指示标志及排烟措施。SJ30002-923.6.133.1.5钢梯、平台所设置的护栏的设计应符合有关标准。GB4053.13-93GB4053.4-83第2.5.2条废液收集罐处平台护栏不符要求。3.2电子、化学工艺安全3.2.1高能离子注入机应设在人流最少的区域内，并应有符合国家标准要求的接地及相应的电磁波、X射线防护措施。SJ30002-923.2.3设置于人流最少的东侧，采取隔离防护措施。3.2.2联动生产线应有紧急制动装置或联锁装置，危险部位应设置醒目的警告标志；散发毒气的工序应设置排风；带电作业的工序需装设自动保护装置。SJ30002-923.2.5设置紧急制动，设置警告标志及排风系统，带电作业设置接地故障、短路故障保护装置。3.2.3使用酸、碱或有机溶剂进行清洗的设备，必须装设局部排风系统，使用有毒溶剂进行清洗的设备应采取密闭措施；凡使用电气的化学清洗设备，应有良好的接地。SJ30002-923.3.1均设置。3.2.4生产车间内应设置紧急冲淋装置及洗眼器。SJ30002-923.3.6设置洗眼、淋浴器。3.2.5对于存在激光辐射设备，应采取屏蔽等防护措施。SJ30002-929.1屏蔽光源保护措施。3.3防火、防爆、防中毒3.3.1输送易燃易爆介质的管道、管件、阀门、泵的连接处必须严密，管道系统应采取接地措施。SJ30002-923.6.8管道系统通过管架接地。3.3.2易燃工作间的设备、电气线路，开关、灯具等，均应采用相应等级的防爆型产品。SJ30002-923.6.113.3.3电气设备金属外壳应与PE线可靠连接。GB50169-922.1.113.3.4氢气、CO和天然气管道不能通过烟道、通风管、配电室和易燃易爆物仓库。GB50028-937.2.103.3.5管道应标志介质及流向。SJ30002-922.9.23.3.6对有害气体、易燃气体的作业区，应采取切实有效的防护措施，提高自动化，采取密闭、隔离生产。SJ30002-922.4.5隔离操作、密闭生产。3.3.7车间空气中有害物质的浓度，必须符合工业企业设计卫生标准的规定。SJ30002-922.1.5已做监测，数据暂不能提供。3.3.8输送有毒、有害、易燃、易爆及有腐蚀性气体或液体的管道、管件、阀门，其材质、连接方法，必须具有密封、耐压、防腐蚀、防静电等相应措施。SJ30002-922.4.11双套管输送，防腐内涂层。3.3.9危险相同的生产，宜集中或相邻布置SJ30002-922.5.33.3.10对于产生有害、有毒物质的厂房，厂房内部应采取便于清扫、刷洗以及防止毒物附着和积蓄的措施。SJ30002-922.6.5防泄漏收集采用二次容器，1.1倍容积。3.3.11车间内各种明沟，应加设盖板。SJ30002-922.6.103.3.12生产过程中工作服易污染、沾染，易经皮肤吸收的剧毒物质，洁净度要求严格的厂房和车间应设置洗衣房。SJ30002-922.7.2设洗衣房。3.3.13凡使用酸、碱或有机溶剂进行化学清洗的设备，必须装设局部排风联锁。SJ30002-926.3.123.3.14有下列情况之一时，排风不应合为一个系统：混合后能引起燃烧或爆炸时； （1）混合后能引起燃烧、爆炸时； （2）易燃易爆工作间排风与一般工作间排风。SJ30002-923.6.9均设置独立排风。3.3.15氢气、煤气管道，在末端、最高点等处应设置放散管，放散管应高出屋顶；放散管上应设阻火器。SJ30002-924.1.63.3.16洁净厂房内用于硅烷等容易自燃气体的风管宜采用不锈钢管、排放含酸、碱性气体的风管应采用不燃或经过防火处理的专用塑料风管或不锈钢风管。SJ30002-927.0.18双层不锈钢、酸碱风管采用ATC玻璃钢涂层。4危险化学品的使用、输送与管理4.1危险化学品应按其类别、性质分类、分堆、分间储存、输送。性质相抵触的化学危险品，严禁混放在一起。SJ30002-923.8.3分酸、 碱有毒气体室、硅烷室、易燃气体室等。支援车间分功能区。4.2输送危险化学品的设备、附属仪表、器材等，应根据危险介质，采用必要的防泄漏、防腐蚀措施。输送腐蚀性较强的液体管道，不应敷设在其它管道的上方，并不宜连接埋地敷设。SJ30002-923.8.7双层套管内设泄漏检测。4.3储存有较强腐蚀性液体的设备应设置必要的防溢出、防渗漏紧急处理设施。其基础及周围地面应采取防腐蚀处理。SJ30002-923.8.8全封闭输送机组，多种报警联锁装置；周围设置围堰。4.4对于输送具有较强腐蚀性液体的化学药剂泵、在其填料函或机械密封圈、法兰、阀门易喷射泄漏处，应设置适当的安全防护。SJ30002-923.8.9全封闭PLC程控泵组无泄漏。泵为全封闭型4.5输送有毒介质的设备、管道放空时，应加以收集或处理，不得任意排放。SJ30002-923.8.10收集并加以洗涤。4.6易燃、易爆的车间，应采用易于清洗、撞击或磨擦时不产生火花的地面。SJ30002-923.8.11硅烷室、易燃室符合要求。4.7有爆炸危险的房间（如硅烷室、易燃气体室、生产车间等），应设置泄压措施，安全出口不应少于2个。其中一个直接对外，不超过100m2的房间可设一个出口。GBJ16-873.5.1硅烷室设泄压其余无，安全出口均不少于2个。4.8危险化学品使用场所应设置通讯、报警装置，并保证在任何情况下均处于正常使用状态。危险化学品安全管理条例第18条设置应急通讯、自动、手动报警装置。4.9应在危险化学品作业场所设置急救设施，并提供应急处理的方法。工作场所安全使用化学品规定第17条设置应急用品柜，提供处理方法。4.10使用单位应对盛装、贮存危险化学品的设备，采用颜色、标牌、标签等形式，标明其危险性。工作场所安全使用化学品规定第19条储存柜上均有标识。4.11丙酮、双氧水等氧化剂不得在操作岗位附近混合贮存，氧化剂应单独存放。GB15603-19956.7单独存放。4.12废弃、过期的化学危险品及使用过的包装容器必须妥善保管，不得随意抛弃，依据危险废弃物的处置标准进行处置。