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第四编 等离子电视制造设备第一章 第一节 湿洗装置 1.序言最近等离子电视在各地常能看到，机场、展示会等大型显示器全部用等离子电视。其屏幕大视角广、精度高特点很显著，而且逐步处理了质量轻、耗电量低、价格低课题。清洗装置也被要求含有高处理能力、高能清洗时要求节省空间、等离子电视向生产低成本化发展也在不停研究。2.相关清洗装置想法2.1高吞吐率 伴随基板向大型化发展，高吞吐率是降低运行成本最关键项目。为实现高吞吐能力就以下项目讲述。去除粒径大微粒（10um以上）使用刷子及洗涤剂，怎样提升效率是关键。相关洗涤剂选择，要看微粒性质是有机质还是无机质、附着物是化学还是物理、是否和电气相结合，这些方面也要判别选择。比如使用由无机碱系界面活性剂和溶剂组成洗涤剂时,假如是清洗只是由有机质和无机质组成微粒,其洗涤剂能够以前者为主体。即使是有机质微粒,假如是树脂系（含粘接剂）微粒,也要选择溶剂含有量多。而且需要设定合适浓度温度条件。去除物理附着微粒时刷子最适合，尤其是线径为0.150.2mm尼龙刷子很好。快速排掉大型基板上清洗水，实现高处理率。各槽使用过清洗水/洗涤水怎样不会被带入下一工序，怎样保持含微粒洗涤水清洁性是很关键。为此采取使用高压缩空气液体切割（liquid cutter）。我企业作为别处理方案，采取新开发出Air jet shower(A/J)。图1所表示。此方法即纯净水纯净水+空气（2个水流）间歇高压缩空气工序在数秒内反复、纯净水挨着基板部分不会形成多出水膜，而且有预防带入下一工序作用。2个水流喷头还含有气穴现象。该法有利于提升清洗度、增加排水效果、缩短清洗装置长度,从而实现高处理效率。22 替换UV改质等离子改质（常压）清洗装置表面改质是关键项目、是在层压或电阻涂敷中必需进行。以往依靠UV照射进行改质,以后以等离子照射(常压)主流。本企业从开始开发销售常压等离子装置。其理由是运行成本低。为进行表面改质,用空气引发等离子也能够,通常需要N2、Ar、O2等气体。即使使用价格高气体，估计运行成本能够削减50%70%。现在已经在LCD前工序、后工序、模块工序、彩色过滤及OLED制造工序或ITO、Cr喷镀前工序开始研究采取，我认为接着将用于等离子电视工序中。 23 空气切割刀干燥干燥以气割刀为主体，气割基板60英寸以上时空气消耗量也大。工厂需要配置大容量压缩机，增加运行成本。所以气割刀设置上下一对，空气消耗量为3000Nl/min。不过也有用高压环状鼓风机进行气割。需要更干燥状态工序中，也有在装置中加入热空气。图3是清洗装置外观图。3 清洗装置分类等离子电视制造工序中清洗装置分前、后基板装置，前基板装置种类有接纳、厚膜印刷前、喷镀前、漏网印刷前；后基板有接纳、漏网印刷前、层压前、喷砂、感光浆料涂敷前装置。根据工序不一样选择清洗装置和使用洗涤剂，增加和含改质玻璃粘结力，同时提升清洗能力，而且在层压时能够去掉异物突起。清洗机规格大致分为使用洗涤剂时、只用纯净水、或干燥工序（干燥、表面改质）所需规格。任何情况全部能够将滚刷、气喷、高压水枪、等离子改质、等离子清洗、IR、CP等组合。相关清洗漏网罩用装置另外说明，有除去网眼堵塞物甘油清洗剂、进行浸渍、US、涮洗、干燥装置。4结束语 本章对等离子电视清洗装置高吞吐率、装置省空间化、新等离子改质、等离子清洗器进行了介绍。这些全部是以后有利于环境保护、安全、能够降低运行成本提案。第二章第一节 喷镀装置1序言FPD 28英寸左右电视称a-siTFT(LCD),36英寸以上大型FPD称为等离子面板（等离子电视），作为民用量产体制现在已就绪，现在各生产厂家全部在主动地增加对大型高清楚度壁挂电视设计。相关面板尺寸，不停有5060英寸大型面板达成实用化阶段公布发表，怎样提升发光效率、达成高清楚度、低成本，成为制造大型面板技术关键开发课题。等离子电视制造工序中，在设备及其成膜成本中，薄膜成膜装置占有很地位。大型化基板对于喷镀装置要求越来越高，下面对喷镀装置有代表性要求列举以下：能够高速形成均匀膜质、能够安稳搬运60英寸以上大型基板、装置占有面积小。本节针对大型面板制造技术薄膜成型工序中喷镀装置进行介绍。2 等离子电视用并列式喷镀装置这里讲述本企业并列喷镀装置是怎样适应上述要求。21 大型基板均一高速镀膜技术在以往并列喷镀装置中，采取基板装在称作托架台车上，在喷镀阴极前面以一定速度使其经过，形成光膜动态成膜法（旁路成膜法）。在基板经过高度方向对膜质进行调整话、基板长度方面能够镀膜均匀，这种方法最适合大型基板镀膜。和本企业并列式喷镀搭载阴极（cathode），靶使用效率达成百分之40以上。本企业准备了能够使用ITO低电压喷镀法（本企业已取得专利）和Cu靶板厚30mm长久型两种，能够配合等离子电视用大型基板。这一次装载了新开发ITO用阴极，提升了以往靶使用效率、镀膜速度也提升了2倍。这么能够降低了装载阴极台数、降低了运行成本。本企业装置中装载新开发阴极特征以下：镀膜速度是本企业原来阴极2倍、因为装载阴极台数降低，装置长度也缩短、使托架台.数降低成为可能。提升了靶使用效率、靶寿命延长1.8倍、镀膜速度是原来2倍、靶交换周期和现在使用阴极相同。和以往低电压型阴极一样，能够得到相同程度低电阻ITO膜。22 大型基板均匀加热技术并列式喷镀装置中通常采取成膜前基板预先加热、降低排出气体操作。以往并列喷镀装置中，在喷镀室前加热室中进行预先加热，插入喷镀室后由托架一边进行搬运，最终进行再次加热，来调整基板内温度分布。新型并列式喷镀装置中，以更均匀基板温度分布和降低排放气体为目标，装载了能够在加热室内保持均匀温度、而且能够快速升温新型加热器，在喷镀室以保温为主加热方法。23大型基板安稳搬运技术在以往并列喷镀装置中，在台车两边基板托架上，基板被垂直装载。所以基板卸取时基板托架必需水平展开，使基板光膜面朝下进行卸货。不过这种方法对超出60英寸大型基板存在下列问题。对于超出60英寸大型基板，在卸货时水平支持基板会损伤基板。基板在设备上保持垂直，基板加热或成膜时基板会引发变形或翘起，相对于基板托架变形，基板失去自由度，有损伤基板危险。本企业新型并列喷镀装置是使基板托架整体倾斜、基板预先倾斜方法，含有以下特征。基板卸下时，基板托架不需要水平展开、基板就能卸货。同时、基板托架展开所需要设备立即间能够免去，加紧生产节奏。对于基板托架上基板不需要主动保护，对于加热中/成膜中、或基板托架变形全部能适应。另外不需要基板垂直设备、也省去了零件清洗。24 占有面积小装置 以往并列喷镀装置组成：真空槽（装入室、加热室、喷镀室、取出室）纵向排列，托架在前后巡回、升降机（转盘）和这些相连组成空气搬运系统、并设有卸去基板位置。所以设备较长，60英寸等级等离子电视电极镀膜装置全长约达成35米。本企业发挥前述托架整体倾斜方法特征基板卸下时位置优势（能够缩短卸下时间），缩短了设备间歇时间。而且，和以往两面同时镀膜不一样，采取单面镀膜，即在镀膜室中途折回往返镀膜结构，这么即使是大型基板镀膜设备不过占用面积小。3. 等离子电视用并列式喷镀装置未来展望现在作为等离子电视用并列镀膜装置，几乎全部需要透明电极膜ITO和SiO2+ITO成膜装置，和Cr/Cu/Cr电极膜和Cr/ Al/Cr成膜装置。不过，考虑到喷镀方法优点即镀膜均匀性（易控制型）和修理维护方面，现在用热蒸法镀氧化镁未来有可能用喷镀法镀膜。本企业正在主动开发用喷镀法来镀氧化镁技术。相关Cr/Cu/Cr代表电极膜、以后要使用高使用效率阴极。为了实现等离子电视1英寸=1万日元目标，需要深入降低电力消耗、节省设备空间。第二章第一（二）节 喷镀装置ATX-7001.序言在99年时等离子电视生产数量达成10万台，当初估计，按这么增加速度，到年产量会达成100万台。市场情况尽管没有预期那么好，不过对等离子电视潜在需求应该是十分旺盛。在降低销售价格和含有魅力节目内容出现后，市场急速增加是确定无疑。现在很多等离子电视厂家全部瞄准未来市场，开始建造新一代产品生产工厂。在提升生产设备规模时，怎样降低成原来生产高性能面板，将成为关键点。本节我们对用于PDP薄膜材料和其成膜装置进行介绍。2.ITO 透明电极作为显示器前面板第一层透明导电膜,很多等离子电视厂家全部使用ITO。而且作为追加碱性势垒层是否有必需使用SiO2等，依据使用玻璃基板种类而改变。通常见于LCD碱石灰玻璃基板，使需要SiO2层。通常，膜厚度是100300,此层使用RF喷镀方法制成。ITO膜通常使用DC喷镀。膜电阻值和透光率物理特征是最关键特征。1.1mm厚基板上镀成电阻值10/sq膜时,透光率为89%。图1显示通常ITO膜透光率和膜厚度关系。ITO膜厚约为1500时，体(bulk)电阻平均为150cm。决定体电阻关键要素是ITO膜结晶性和化学计量。而且这些特征越是均匀，膜老化性也越均匀，现在多种溶液中，花费多少时间和每秒多少老化率，从数到数百单位能够正确地进行估计。ITO成膜工艺中，靶使用效率是很关键原因，现在多数镀膜设备达成40%以上效率。而且经过提升靶寿命，除去球粒附着也很关键。不使球粒产生，能够发生击穿及使其激减，其结果，成膜后胶片上附着异物及钉状物变少，能够得到很光滑膜表面。3.总线电极及旋转阴极喷镀镀膜设备能制造另一个PDP零件是总线电极材料。该零件采取CrCuCr或CrAlCr,数m厚Cu或Al导电层夹在1000铬层中。这个多层电阻率约为0.2/sq。这些金属薄膜要求特征是膜厚均匀性、电阻值、密封性、预防交叉污染、孔径、老化特征、低膜应力。这些各要求特征必需经过成膜设备机械设计、工艺最好设置来处理。尤其是作为中间膜Cu及Al镀膜时，膜厚12m，要求高速成膜率和靶较长使用寿命，本企业引进旋转靶能够作为有效处理策略。（图2）在以后面向低价格研发中，要对于电极形成工艺采取喷镀真空工艺方法、由银浆代表非真空工艺进行对比研究。通常认为非真空方法含有廉价优点，假如重视性能方面则使用真空镀膜方法很好。镀膜方法问题上，早期投资金额大、设备大小、靶寿命等问题，以后等离子电视精度不停提升，需要在考虑总成本基础上，对2种方法展开研究。4镀膜设备ATX-700业界全体PDP TV镀模年目标是镀膜面积达成100万平米,考虑到镀膜成本、吞吐率,采取并列式镀膜设备有期望达成。通常并列喷镀装置30天以42型面板换算能够制造2以上面板。本企业开发并列喷镀装置ATX-700以42型面板换算，能够每个月镀膜24000片。ATX-700是为了提供全部成本、最适合等离子电视用而开发出来设备。此设备是以轻易操作和维护为目标进行设计。因为并列装置被设计为由往返操作分割，在基板投入和镀膜后呈真空状态下使基板翻转、搬出和投入从同一侧进行。托架根据倾斜7度设置，基板不仅安装轻易，自动化操作（机器人）也变得轻易。托架驱动由磁力联轴器进行，链条等不需要放在真空气氛内，也能够完全预防从最轻易产生异物驱动系统进来污染。为了使各操作室、靶交换和维护轻易进行，采取向阴极及屏蔽存放轻易设计。而且此装置是模块式，能够在短时间内设置。5搬运系统改善等离子电视使用标准型高弯曲玻璃不经撞击，即使是小裂纹也会造成基板破裂，拿放时要很慎重。所以为了预防破损，在这种玻璃取放设备中必需引进新搬运系统。展望未来批量生产前景，将会不可避免地要使用完全自动搬运系统，需要由机器人等对基板进行装卸、并在成膜装置内采取预防破损对策。尤其是在成膜工序中，基板前加热处理温度是ITO膜300摄氏度前后、氧化镁膜在200摄氏度以上、电极在150摄氏度以上高温，施加在基板上加热压力太大。ATX-700最大特点是基板托架呈7度角。这么基板玻璃装卸轻易进行，不用像以往那样基板上留出夹子位置。这么能够缓解对玻璃压力、搬运时能够预防玻璃基板破损。而且也方便机器人搬进搬出基板。（图4）前述磁力驱动搬运装置能够进行无振动平稳搬运，降低对玻璃基板损伤。6结束语为了使等离子电视降低价格，成膜装置全部成本必需深入下降。所以需要组建完全自动生产线、开发免维护系统。而且需要深入发挥真空系统优点，对非真空系统不含有方面提出处理方案。比如对于不停向大型化发展等离子电视,喷溅成膜技术是比较轻易应付。新阴极设计能够说在节省连续运转时间、轻易维护方面比印刷手法优异。不过在早期投资金额、设备占有面积等方面还需要改善。ITO成膜要求靶使用效率比现实状况效率提升40%以上。而且在高温处理时要求电阻值不改变、膜不变色、和介质层亲和性好。相关总线电极，多年用户对环境问题很关心，要求削减工序数，电极期望使用无Cr层物质。第三章第一节 氧化镁成膜装置C-3600S系列1 序言最近市场上出现薄型、含有震撼效果等离子电视很引人注目。作为等离子电视保护膜使用氧化镁膜，一直广泛使用电子热蒸（EB）法。不过为了提升生产率和氧化镁膜质，提出了新成膜方法。氧化镁膜是吸湿性很高材料，量产装置中确保稳定成膜环境很关键。C-3600S系列（照片1）是融合了稳定成膜环境TOSS（transfer only substrate system）技术和中外炉工业企业离子电镀技术SUPLaDUO氧化镁成膜装置。利用SUPLaDUO技术实现了更高成膜速度，利用TOSS技术能够形成稳定膜。已经有几家大型工厂量产生产线上，以后为了深入普及等离子电视，必需提升生产率、提升膜质。本节介绍本设备特征及提升生产率所作研发情况。2SUPLaDUO概要21 组成和原理SUPLaDUO是使用压力倾斜型等离子离子电镀成膜系统。图1是离子枪结构和系统基础组成。阴极射线管部分产生高密度电子光束是低电压、大电流，高效率地激励氩气和蒸发氧化镁，形成离子化，阴极射线管和成膜室之间设置压力倾斜，预防从成膜室出来气体和离子逆流对阴极射线管损伤。电子光束是薄板化磁铁被压大成薄板状，以此为坩埚下阳极磁铁实现广范围蒸发。而且为得到基板上所定模厚度及膜质分布，入射光束能够用阳极磁铁等进行调整。22 成膜特征通常见EB热蒸法增加投入功率话就轻易发生溅水现象，难以增加成膜速度。和此相对，SUPLaDUO离子生成电压为100V，和EB方法比较，是低电压，光束薄片化使得能量分散，能够高效率地组成稳定氧化镁膜。图2是氧化镁成膜时等离子枪放电电力和成膜速度关系。成膜速度达成14nm/s，和EB热蒸法比较，无溅水现象发生、能够得到稳定膜。氧化镁膜耐喷镀性是决定等离子电视寿命关键原因之一，有汇报说结晶配向性根据（220）（200）（111）次序很好。SUPLaDUO因为变更步骤条件，能够分别独立控制含有（111）、（200）、（220）结晶配向性氧化镁膜形成。而且即使是形成一样(111)配向膜，用SUPLaDUO比用EB热蒸法形成膜密度大，而且能够形成耐喷镀性大膜。这么能够推断使用SUPLaDUO方法，蒸发粒子激励、离子化效率高。而且从面板特征上有汇报说，和（111）配向面比较，工作函数较小（220）配向面2次电子放出系数大、放电压力小。在实际应用上还有很多应该研究，期待着利用（220）配向膜，降低面板成本。3C-3600S系列设备特征C-3600S系列分为大规模生产用G类型、小规模生产用E型、研究试作用B型3种。这里介绍大规模生产用G型、成膜室1室组成C-3601SG概要。3 1基础组成C-3601SG是玻璃基板一片一片地连续水平搬运移动进行成膜并列式经过式成膜方法。对于氧化镁膜吸湿性方面，为了尽可能排除成膜时水分影响，采取本企业独自开发TOSS基板搬运方法。32 TOSS基板搬运方法图3是TOSS概念。从LL室来基板经过预备加热后、装在CR室罩托架上，进行镀膜。成膜后基板在CR室被托架分离，向空气侧排出。这种方法是带着氧化镁膜托架在设备内循环，不暴露在空气中、阻挡水分进入设备内，从而确保膜质稳定性。而且托架在真空中保持加热、温度稳定、能够有效地预防微粒产生。4 结束语为了要提升生产率，需要提升成膜率、基板向大型化发展。本设备中，等离子枪并列几组，能够应付这种发展需求。图4是50英寸基板并列2片成膜时测定成膜率和膜厚均匀数据，其中成膜速度约为12nm/s，膜厚度均匀在6%以内。本设备能够装载基板尺寸一直到65英寸。本企业以后还要使蒸起源组成和成膜条件达成最好配合，深入适应基板大型化发展、并提升生产率。第三章第二节 氧化镁成膜装置ECH系列1 序言关键以业务用途为主开始生产等离子电视，历经了对彩色等离子电视证实阶段，开始以民用为目标，进入成本竞争时代。面板价格这十二个月从1英寸=2.02.5万日元降低到1.5万日元，估计将降到1英寸=1.0万日元。对于成膜装置要求高吞吐率和合理价格、能够达成各个面板厂家需要膜质。现在成为主流AC型等离子电视，其保护膜使用2次电子放出系数高、耐喷镀性好氧化镁膜。氧化镁成膜方法有电子光束蒸干、反应性孔阴极蒸（HCD）干、等离子枪蒸干和反应性喷镀方法等。从生产设备膜质及连续运转时稳定性考虑，使用皮尔斯式电子枪电子光束蒸干方法是主流。本节对量产使用本企业氧化镁成膜用并列式蒸干设备概要和未来展望进行讲述。2 氧化镁蒸干设备21等离子电视用氧化镁蒸干设备概念等离子电视用氧化镁蒸干设备是基板放在托架上、在蒸起源上一边经过一边镀膜并列式设备。采取并列式经过镀膜方法能够和搬运方向垂直方向配置多个蒸起源，对于60英寸、70英寸大面积基板也能够比较轻易地均匀镀膜（图1）。在和搬运方向平行方向配置蒸起源，能够轻易地实现高吞吐率。（图2）下面是本企业等离子电视用氧化镁蒸干设备ECH系列特征。 对大型基板均匀镀膜 高速成膜、高吞吐量 能够长时间连续稳定运转 能够配合成批批量生产 缩短维护时间及待机时间本设备对于最大基板70英寸、膜厚度700nm标准，能够连续运转2周左右。22 蒸起源概要氧化镁蒸干是由皮尔斯电子枪进行。电子枪独立设置在蒸干室，因为设置了专用排气系统，电子枪本身压力一直比成膜周围空气约低2位数，这么降低了灯丝氧化消耗，能够长时间地连续运转。为了能够长时间连续运转中保持稳定蒸发速度，蒸发面常常要保持一定状态。氧化镁是升华性物质，固定式电子光束集中在一点，蒸发材料局部降低，不能得到均匀厚度膜。为了预防这种现象发生，采取旋转式环状装置和颗粒进料器。成膜过程中环状物旋转，抑制蒸发面局部改变。而且由颗粒进料器按量供给蒸发材料，由刮板刮平保持一定蒸发面，这么形成了能够得到稳定蒸发速度结构。3氧化镁成膜设备未来展望现在生产装置是从量产试作生产线发展起来，含有高吞吐能力，是成本低、性能优异生产装置。下一代设备将可能深入配合改善面板特征、提升生产率、提升制造步骤控制性、和是节省能源、节省空间、能够连续步骤操作设备。现在、前面板经氧化镁镀膜后，基板被一度那到空气中和后面板调整后，投入密封/排气装置。因为氧化镁是吸湿性高膜，成膜后拿到空气中前面板在吸湿密封/排气工序不仅需要排气时间，也会对面板带来不利影响。本企业和神港精机共同开发出氧化镁成膜和密封/排气步骤在真空中或和大气分离环境下能够连续自动处理设备，是生产率高连贯处理设备。设备组成图3。4结束语为了确立作为家庭用等离子电视地位，面板价格必需降到一英寸0.5万日元以下。本企业作为设备厂家将为实现此目标主动进取。第四章第一节 漏网(丝网)印刷装置LZ-1800HTVA / SG-1600(1800)1序言漏网印刷装置因为其印刷特征，在本行业使用是含有代表性厚膜形成装置。等离子面板结构是在厚膜形成工序上积累，所以漏网印刷机被多用，用在电极、介质体、障壁（拱）、黑条、荧光体等制造工序中。从80年代后半期开始单色发光1213英寸等离子电视电视、到现在超出60英寸高清楚度全彩成为薄型大屏幕代表电视、本企业漏网印刷机适应各个时代要求，成为制造等离子电视不可缺装置一直被使用。本节讲述漏网印刷机基础、最新等离子电视漏网印刷机(LZ-1800HTVA)（照片1、表1）、滑动台研磨装置SG-1600(1800)。虽说是等离子电视用，但不是什么特殊漏网印刷机。作为最大尺寸精密漏版印刷机，为了在1700mm以上玻璃基板上进行高精度印刷，我们提升了印刷机强度和可操作性，还附加了多种补充构件、增加了此印刷设备功效。另外荧光体印刷采取了特殊方法，将和必备构件一起说明。 表1关键设计和规格适应基板尺寸1,7101,710mm漏网边框（最大）2,5002,500mm设备尺寸(W)5,135(D)3,775(H)1,710mm关键用于等离子电视装置2阶段版离开结构除去渗出物装置浆料供给装置滑动台头旋转结构滑动台自动平行结构滑动台摆动结构2 漏网印刷机基础漏网印刷是借助于漏版进行印刷，版通常是聚酯纤维或是不锈细丝网成。称作滑动台橡胶片经过网将墨压出，印刷到被印刷物上。称作版框框状铝管施加张力使其粘接，漏网两面涂上感光乳剂、预防印刷部负片被曝光。曝光后、冲洗印刷乳剂制成版。版从它结构上，含有伸缩性、网线粗细和密度、感光乳化剂厚度大致决定印刷膜厚度。使用含有此种特征版进行良好印刷，印刷机需要含有以下基础性能。 滑动台无震动能够平稳运作 印刷台和滑动台平行度好 含调整定位和反复精度高为了满足这些基础性能要求，预防因印刷机向大型化发展而不易操作，等离子电视制造工序必需使用达成要求印刷机。而且印刷机还必需能够应付新制造工艺改变。3作为等离子电视规格设备31 版离开结构（离开结构）漏网印刷通常版和印刷品之间留出几毫米间隙，含有伸缩性版由滑动台压下，使印刷品和网线一边接触、滑动台在漏网上一边摆动，由此印刷和版离开(和印刷物接触版本身张力使印刷物离开现象)同时进行。不过在遍涂（全部涂满）印刷或浆料粘性高情况下，印刷结束后即使滑动台上升、但也有版不会离开时候。这种版框一边抬起、使版离开装置称作版离开结构。这是漏网印刷机通常结构，在用于等离子电视2500mm角尺寸版时，采取遍涂印刷，为了得到均匀膜，有时必需做到极细微版离开动作。本企业版离开动作能够经过2阶段来控制，能够依据漏网和浆料状态改变，改变版离开动作。32荧光体印刷和取出渗出物装置（照片2）漏网印刷渗出是漏网里面带有浆料造成。关键原因是从漏网版压出浆料没有全部被印刷上、清理时取得太多、印压（对滑动台压入力）施加过大等。其中等离子电视荧光体印刷时是特殊渗出。荧光体印刷光3原色redgreenblue浆料在障壁之间每一个颜色分三次进行漏网印刷方法，障壁和障壁之间设置有版开口部，用滑动台将浆料从障壁谷间压出。障壁谷被填充了浆料、和障壁接触漏网里面粘有浆料。这么接下来印刷中，障壁被弄脏，需要对版进行清洁，取出版里面渗出物。取出方法有胶带卷成磙子状安装在版边框，版里面向着粘一面，从卷中拉出胶带，使粘结部分和版里面滑动台粘紧，这么胶带将版里面墨临摹、进行清洁。取出渗出物结构不是仅限于等离子电视印刷，因为漏网太大、人工进行清洁困难等原因，这成为荧光体印刷必备构件。本企业此装置取得很多实际成效、受到用户好评。33 浆料供给设备等离子电视印刷工序因为版大、全涂满印刷多，使用浆料也多，版面需要足够浆料。不过假如向版供给过多浆，其重量会使版松懈，影响印刷。这里为了确保合适浆料量，需要供给装置。此供给装置是由密闭压力容器（罐）和喷嘴组成，浆料放入罐，从上部对其加压，由喷嘴前端供给。喷嘴是透明柔软树脂，是前端由汽缸夹板结构。根据供给、停止要求，夹板打开、关闭。浆料供给量能够由压力、时间、印刷撞击次数控制。34 滑动台头等离子电视印刷尺寸大，为了减轻操作者负担，研究了种种结构，下面介绍几例。3.4.1滑动台头旋转结构（照片3）漏网印刷机滑动台、刮板是在各支架由下向上安装固定。根据这种方法安装超出1000mm滑动台、刮板时，要一只手支撑十几千克重物操作，操作者负担大。这是滑动台、刮板横向或斜着能从上部安装、轻易两手操作旋转结构。3.4.2 滑动台自动平行调整结构滑动台和桌面是否平行地移动是得到均匀厚度膜前提条件。所以操作者要对滑动台相对于桌面平行进行调整。此装置在桌上设置有传感器监视滑动台左右两端间隙、自动调整其平行。3.4.3 滑动台摆动装置得到均匀印刷膜前提是浆料涂层无斑点。斑点是在用刮板涂浆料时，粘到滑动台上浆料滴到版面而形成。这是使滑动台摆动，预防粘在滑动台上浆料直接滴到版面上滑动台摆动装置。35 滑动台研磨装置滑动台和版面接触部分称作边刃，这个部分在版面上一边摆动一边压出浆料进行印刷。边刃形状影响印刷结果，边刃常常和版面摩擦产生磨损。所以边刃部因为损耗在超出印刷改变许可范围前就要使其再生。作为大型等离子电视用滑动台边刃自动再生装置，本企业准备了滑动台研磨装置SG-1600、1800TA（照片4）。二者全部能够对横状边刃、各对1600mm、1800mm长滑动台进行研磨。此装置能够调整研磨石旋转数和送出速度，研磨石角度能够在045度设定，这么能够依据最合适研磨条件、印刷情况来调整角度。4结束语这几年等离子电视快速普及，作为少数需求成长型产品引人注目。能够普及关键原因是画质提升、同时价格被降低。几年前1英寸=3万日元，现在降低到1英寸=2万日元，实际销售价格比这还低。实现这一步是因为厂家技术力量增加、生产设备得到改善。在生产设备中，集中了厚膜技术等离子电视生产用漏网印刷机发挥作用较大。为了深入普及等离子电视，需要继续提升品质、降低价格，以后本企业将努力提供符合这种要求漏网印刷机。第二节 漏网印刷机1序言和销售早期相比较，这一两年来，等离子电视电视因为其价格降低而备受关注，立即实现普及目标价格（每英寸1万日元），然而大型等离子电视电视制造成本被严格制约，看不到降低迹象，面板厂家正在进行苦战。其次，因为漏网罩、浆料、印刷装置飞跃进步，在等离子电视开发早期制造面板时采取漏网印刷技术也有很大改善。在环境保护成为焦点今天,对废弃物少、无多出工艺步骤再次设置成为重大课题。本节讲述漏网印刷可能性，及本企业所提倡印刷条件合理化方法、应付70英寸等离子电视本企业印刷装置技术规格。2 漏网印刷实力聚酯漏网印刷技术是这十年经过很多改善新技术。本企业称为ASPT(Advanced screen printing technology)。这种技法使用高张力高解析度漏网罩、和粘性稳定高精度浆料和高精度印刷机组合而成。应用这种技法并配合印刷条件，立即实现L/S=10m。而且经确定，玻璃基板尺寸为15001290mm(印刷面积1410810mm)上面、全部涂满印刷膜厚度偏差在1m以内，对这种技法实力和以后改善报以很大期待。3 合适印刷条件伴随印刷机改善，为最大发挥版/浆性能，正在使印刷机达成高精度、能够简单地设定适宜印刷条件、可操作性强程度。合适印刷条件是：清除率、印压、滑动台角度和滑动速度合适，经过浆料和漏网规格配合，实现高精度印刷。4 70英寸等离子电视用漏网印刷机70英寸等离子电视用漏网印刷机特征以下： 使用25002500mm漏网版框，印刷70英寸玻璃基板 硬性高铸铁制底座，4根柱（铝铸造）支撑、印刷机框保持平衡结构。这是为了最小程度降低多年使用印刷机对印刷精度影响而设计、能够长久维持印刷精度结构。 作为滑动台驱动方法，不使用印刷时轻易引发震动动态带和球状螺钉，而是采取表面平滑钢带超低震动驱动方法。这种结构在介质层形成时不会有印刷斑点、能够形成均匀厚度膜。 版框部分支架采取向操作者前面滑动方法，版清扫、浆料补充轻易进行。 以往难以进行滑动台调整采取远隔离操作，使调整简单、缩短装置时间。 采取低印刷压力方法（垂直浮标型气平衡方法），能够合适地设定印压。这么，不会在过分印刷压力下印刷，能够抑制渗出、稳定印刷后尺寸精度、延长漏网罩寿命、降低滑动台磨损。 使用本企业独创微型DB滑动台(角度为5刻度、滑动台本身角度能够研磨)。这么可轻易地按浆料和漏网罩规格设定滑动角度,控制印刷时浆料吐出量。5 结束语以上讲述了ASPT概况，各浆料厂家、漏网厂家开发烧情很高，我们坚信能够应付更高规格标准。本企业不满足于现有技术，挑战新技术。为了符合以后相关废弃物排放要求，用全添加法制造方法将会越来越引人注目。第五章 第一节 浆料涂料机 台上涂料机1序言中外炉工业96年4月开始销售台上涂料机I（定盘型狭孔台式涂料机），以纯平显示器（FPD:flat panel display）为首，在印刷基板、照片框架、统计信息用纸等广泛领域内，销售业绩达成40多台，设备完成程度也从当初研究开发用到并列式试做试验用、发展到量产使用设备。尤其是最近家电商店引人注目标等离子显示器面板，几乎全部是由这种涂料机处理制造出来。（平板显示器）等离子显示器例子能够列举以下：等离子电视面板；液晶显示器；有机EL显示器；电场放电型显示器本节说明本企业含有现有功效试做/量产用浆料涂料器和台式涂料器。而且介绍为对亚维细粒程度膜进行稳定涂敷而开发台上涂料器（商品名FLOLIA）。2台上涂料机特征和基础产品说明多年来，在以很多电子产品为首多种领域，涂料机全部引人注目。理由是伴伴随环境保护问题和猛烈价格竞争、适应涂敷材料和涂敷液体技术革新、和新产品开发需求，本涂料机含有以下特征，而且能够对以往涂敷设备不能做到涂敷规格进行涂敷。21设备特征能够进行和旋转涂敷机相比拟高精度涂敷。涂敷范围广，从低黏度到高黏度均可。从薄膜到厚膜全部可适用。因为是全量涂敷，能够最小程度地降低涂敷液体损耗。由封闭回路液体供给系统将涂敷液体时间改变控制到最小。 从玻璃板、金属板到胶片、金属箔、纸，对广泛材料全部能够涂敷。22设备基础规格涂敷精度：5%以内 涂膜厚度：1500m湿） 液体黏度：110000mPas 涂敷速度：最高 50mm/s 机械速度：最高100mm/s 涂敷幅度：最大1600mm 基板尺寸：最大16001600mm作为能够涂敷幅度宽例子，图1是1400mm宽幅高黏度浆料涂敷结果。3涂料机概要31 设备基础组成基板测定槽模平移涂敷方向槽模架间隙传感器间隙槽模升降涂敷液固定台涂敷液罐待机位置基板吸附PP槽模头清洗自动归零膜厚图2是涂料机大约组成。本设备是由带有吸附功效固定台（固定盘）吸附基板、槽模前端和基板表面保持合适间隙、涂料一边定量供给槽模，由槽模移动进行涂敷设备。 图2 涂料机大约组成下面说明设备组成和功效：槽模本企业经过对流体分析，为使槽模横方向吐出量均匀，对槽模形状进行了最好化设计。这么，槽模本身不附带尤其槽调整配件。所以结构简单，轻易分解/清洗/组装。而且槽模安装在模座上，能够简单装卸。间隙传感器图2所表示，槽模座横方向安装了2台间隙传感器，用来测量涂敷前基板表面和模前端距离。根据其测量结果控制涂敷间隙。涂敷后，传感器测量涂膜表面和槽模距离，演算和基板测定值差，得到涂敷厚度。基板吸附构件操作台上安装有真空吸附构件，能够预防基板翘起、能够在最好状态下进行涂敷。槽模涂敷是使模前端靠近基板进行。所以为了得到均匀厚度涂敷表面，需要精度高台紧紧吸附基板、不能翘起是很关键。吸附结构依据涂敷材料不一样有多种操作，能够伴随基板尺寸自动调整吸附区域。 模移动/升降构件涂敷时由模平移构件控制已设定涂敷速度；前面叙述以间隙传感器测定数据为基础设定间隙由模升降构件来控制槽模。 槽模头清洗构件涂敷刚完了时槽模头残留微量涂液，此残留涂料会影响后面涂敷再现性，不管使用何种方法必需除去。本涂料机采取使用刀片（blade）去除，除去液体由真空泵回收到吸引罐中方法。而且这个构件自动反复运转，也能够用于在待机过程中预防槽模头液体干燥。涂敷液供给泵/罐槽模涂敷属于涂敷前事先计量涂液，以后使基板移动前计量系统。所以湿膜厚度稳定性受涂料液体供给精度影响很大。台式涂料机不是压送方法，使用计量精度高定量泵，只设定目标厚度就能够得到稳定厚度膜。自动归零构件本构件中定盘表面和槽模头距离自动恢复到零，能够作为涂敷前首次设定使用。槽模横方向两端设置了归零传感器，使槽模升降构件自动下降，为使槽模头高度达成目标高度，由归零传感器测定高度、自动调整升降构件。32 设备动作前面讲述了各构件功效。这里说明自动运转时各构件动作。基板安装从上面工序送来基板，由列入固定盘升降pin或运输滚轴接收后、下降、基板置于台上，由定位装置定位。其后、基板吸附构件吸附基板、矫正基板起翘。基板厚度变动测定待机状态下槽模在基板上面移动、下降到基板测定位置。槽模平移，由模座上安装间隙传感器测定基板厚度变动。涂敷基板测定结束后，槽模移到涂敷开始位置，涂敷间隙下降。由泵供给涂料，槽模平移进行涂敷。涂敷方法有平均间隙方法、追从间隙方法和固定间隙方法三种。依据基板表面状态和精度、涂料物理性质（黏度、表面张力）、涂敷速度、膜厚度来决定。模头清洗涂敷结束后模返回待机位置，头残留液体由清洗构件拨去。湿膜厚度测定/厚度调整对于涂敷厚度在50m以下、常温下干燥速度慢涂料，和涂敷后立即测定基板表面厚度变动一样，能够用间隙传感器测定膜表面。此测定值和基板表面测定值差，能够自动输出膜厚度。图3显示自动厚度测定数据输出例子。此厚度数据能够用来评价涂敷，也能够用于涂敷微调整。其一是使用以膜厚度为准厚度反馈功效、自动调整泵供给量以达成目标厚度。使用厚度反馈功效，经过2次左右试涂敷能够轻易地得到目标湿厚度。另一个是使用一直端厚度侧面（profile）调整功效，能够得到所期望涂敷开始和终了profile。33 涂敷方法分类比较通常涂敷方法大致分为平坦化涂敷（leveling coater）和轮廓涂敷（contour coater）（图4）。平坦化涂敷是和材料无关、涂敷表面呈平滑面涂敷方法。不过涂敷膜厚度受材料表面形状影响，不能均匀。这就意味着涂敷材料厚度精度、涂料机计量部件机械精度直接决定膜厚度精度。轮廓涂敷是在材料表面形状显露于涂敷表面，涂敷膜厚度均匀涂敷方法。另外根据计量系统区分，大致分为前计量涂敷方法和后计量涂敷方法。前计量涂敷方法是事先根据涂敷幅度方向均匀计量所期望涂料量，其后涂敷在材料上方法。后计量涂敷方法是将比期望量多涂料直接涂敷在材料上，在涂敷同时按涂敷幅度方向计量。涂敷面形状分类平坦化涂敷（leveling coater）轮廓涂