刻蚀工艺介绍.ppt

刻刻蚀工工艺介介绍 辛小辛小刚刻刻蚀原理介原理介绍刻刻蚀主要工主要工艺参数参数刻刻蚀液更液更换频率的管控率的管控刻刻蚀不良原因分析不良原因分析刻刻蚀蚀原理介原理介绍绍刻刻蚀是用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保是用一定比例的酸液把玻璃上未受光刻胶保护的的 Metal/ITOMetal/ITO膜通膜通过化学反化学反应去除掉，最去除掉，最终形成制程所需形成制程所需要的要的图形。形。刻刻蚀蚀种种类类目前我司的刻蚀种类主要分两种：1、Metal刻蚀 刻蚀液主要成分：磷酸、硝酸、醋酸、水。Metal：合金金属 2、ITO刻蚀 刻蚀液主要成分：盐酸、硝酸、水。ITO：氧化铟锡（混合物）Metal刻蚀前后：ITO刻蚀前后：刻刻蚀蚀前后前后对对比照片比照片主要工主要工艺艺参数参数12345刻蚀液浓度刻蚀温度刻蚀速度喷淋流量过刻量刻蚀液的浓度对刻蚀效果影响较大，所以我们主要通过：来料检验、首片确认、定期更换的方法来保证。温度越高刻蚀效率越高，但是温度过高工艺方面波动较大，只要通过设备自带温控器和点检确认。刻蚀流片的速度与刻蚀速率密切相关喷淋流量的大小决定了基板表面药液置换速度的快慢，流量控制可保证基板表面药液浓度均匀。过刻量即测蚀量，适当增加测试量可有效控制刻蚀中的点状不良刻刻蚀蚀液更液更换频换频率的管控率的管控作作业数量管控：数量管控：每天对生产数量及时记录，达到规定作业片数及时更换。作作业时间管控：管控：由于药液的挥发，所以如果在规定更换时间未达到相应的生产片数药液也需更换。首片和抽首片和抽检管控：管控：作业时需先进行首片确认，且在作业过程中每批次进行抽检（时间间隔约25min）。刻刻蚀不良的不良的产生原因生原因1、大面积刻蚀不干净：-刻蚀液浓度下降、刻蚀温度变化。2、刻蚀不均匀：-喷淋流量异常、药液未及时冲洗干净等。3、过刻蚀：-刻蚀速度异常、刻蚀温度异常等。追求卓越、持追求卓越、持续创新新