JJG 525-2002（代替JJG 525-1988） 斜块式测微仪检定器检定规程.pdf

中华人民共和国国家计量检定规程J J G 5 2 5 - 2 0 0 2斜块式测微仪检定器We d g e - f e e t C a l i b r a t o r f o r Mi c r o m e t e r s2 0 0 2 一0 4 一1 5发布2 0 0 2一0 7 一0 1实施国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发 布.T J G 5 2 5 - 2 0 0 2飞。.。.令.心.勺.今.勺. 斜块式测微仪检定器 检定规程V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f We d g e - f e e t Ca l i b r a t o r f o r M i c r o me t e r s J J G 5 2 5 - 2 0 0 2代替 J J G 5 2 5 -1 9 8 8尹.。.。.。.心.今-令.今.卜 本规程经国家质量监督检验检疫总局于2 0 0 2 年0 4 月 1 5日 批准， 并自2 0 0 2 年0 7 月0 1日 起施行。归 口 单 位 : 全国几何量工程参量计量技术委员会主要起草单位 : 河南省计量测试研究所参加起草单位 : 三门峡 中原量仪股份有限公司本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释J J G 5 2 5 - 2 0 0 2本规程主要起草人 : 任方平 贾晓杰 黄玉珠 参加起草人: 聂建勤 赵建新( 河南省计量测试研究所)( 河南省计量测试研究所)( 河南省计量测试研究所)( 三门峡中原量仪股份有限公司)( 河南省计量测试研究所)J J G 5 2 5 - 2 0 0 2目录1 范围 ( 1 )2 引用文献 ， ， ， ( 1 )3 概述 ， ， 一( 1 )4 计量性能要求 ( 2 )4 . 1 工作面的表面粗糙度 ， ， ， ， ， ， ， ， ( 2 )4 . 2 上斜块工作面的平面度 ， ( 2)4 . 3 刻度尺刻线面棱边到读数鼓轮外圆的距离 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 )4 . 4 杠杆测头的 测力 。 ， ， 一( 2 )4 . 5 示值 误差 ， ， ( 2 )4 . 6 回程误差 ， ， ， ， ， ， 】 ， ， ， ， 一 ( 2)4 . 7 示值变动性 ( 2 )5 通用技术要求 ， ， ， ， ， 一( 3 )5 . 1 外观 ， 一( 3)5 . 2 各 部 分的 相 互 作用 ( 3 )6 计量器具控制 ， ， ， ， 一( 4 )6 . 1 检定条件 ( 4 )6 . 2 检定项目和主要检定器具 。 ， ， ， ， ， ， ， ( 4)6 . 3 检定方法 ， ， ( 4)6 . 4 检定结果的处理 ( 1 0 )6 . 5 检定周期 ， ， ( 1 0 )J J G 5 2 5 - 2 0 0 2斜块式测微仪检定器检定规程范围本规程适用于斜块式测微仪检定器的首次检定和后续检定。2引用文献J J F 1 0 0 1 -1 9 9 8 通用计量术语及定义J B / G Q 5 0 1 9 -1 9 8 6 微动测量台架使用本规程时，应注意使用上述引用文件的现行有效版本。3 概 述 斜块式测微仪检定器 ( 以下简称检定器)是一种通过螺旋副、斜块和杠杆的作用原理，给出准确长度位移量的计量标准装置，主要适用于相应准确度的电动测微仪、气动测微仪和扭簧比较仪等量仪的检定。图 1 为斜块螺旋副式检定器;图2为杠杆斜块螺旋副式检定器。装夹支架装夹支架斜 块刻度尺读数鼓轮微 分 螺 杆底 座图 1 斜块螺旋副式检定器J J G 5 2 5 - 2 0 0 2微 调 螺 杆装 夹 支 架斜 块扣杆支点刻度尺读数鼓轮图2 杠杆斜块螺旋副式检定器4 计It性能要求4 . 1 工作面的表面粗糙度4 . 1 . 1 上斜块工作面的 表面 粗糙度R 。 值应不大于0 . 0 2 5 p m a4 . 1 . 2 测砧的表面粗糙度 R 。 值应不大于0 . 0 5 Fc m o4 . 2 上斜块工作面的平面度 上斜块工作面的平面度应不超过0 . 3 tL m ，不允许凹陷 ( 距离边缘 1 m m的范围内允许塌边) 。4 . 3 刻度尺刻线面棱边到读数鼓轮外圆的距离 刻度尺刻线面棱边到读数鼓轮外圆的距离应不大于 0 . 4 m m.4 . 4 杠杆测头的测力 杠杆测头的测力应为 ( 0 . 7 士 0 . 1 ) N o4 . 5 示值误差 示值误差应不超过表 1 所列允许值。4 . 6 回程误差 回程误差应不超过表 1 的要求。4 . 7 示值变动性 示值变动性应不超过表 1 的要求。 2.I J G 5 2 5 - 2 0 0 2表 1 计f性能要求结构形式斜块斜度杠杆比分度值测量范围示值误差回程误差不值变动性受 检 段允许值斜 块螺旋副式1 : 1 010一 2 0 0 0任意5 00. 50 . 2“” 一1 0 0 01 . 20一 2 0 0 02 . 01 : 5 00 . 20一 4 0 0任意1 00. 1 50 . 10. 0 50一 4 0 00. 8杠杆斜块螺旋副式1 : 5 01 : 20 . 10一 2 0 0任意50. 1 00. 0 30 . 0 35 00. 30一 2 0 00. 61: 1 00 . 0 20 一 4 0任意1 00. 0 60一 4 00. 15通用技术要 求5 . 1 外观5 . 1 . 1 检定器的各工作面上应无锈迹、碰伤、显著划痕及影响准确度的其它缺陷;在非工作面上应无脱漆和镀层脱落现象。5 . 1 . 2 刻度尺和读数鼓轮的刻线应平直 、清晰，不应有断线、线结和长短粗细不一的现象，数字应均匀清晰。5 . 1 . 3 检定器上应标有制造厂名 ( 或厂标) 、型号、出厂编号、制造许可证标志。5 . 1 . 4 周期检定中和修理后的检定器 ，允许有不影响准确度的缺陷。5 . 2 各部分的相互作用5 . 2 . 1 微分筒的转动应平稳，不应有卡滞、配合松弛、松紧不一和轴向窜动等现象。5 . 2 . 2 刻度尺棱边应平直，并与读数鼓轮上的刻线平行。5 . 2 . 3 F 斜块移动应灵活.始终保持与微分筒杆上的钢球接触。上斜块在全行程中间J J G 5 2 5 - 2 0 0 2位置时 ， 微分筒测杆中心应位于测砧中心。5 . 2 . 4 支架在立柱上升降应灵活可靠，装夹轴心线无明显的倾斜，紧固螺钉作用应可靠6计.器具控 制计量器具控制包括:首次检定、后续检定。检定条件检定条件见表 2 0 表 2 检定条件结 构 形 式室温/ 室温的变化量/C C - h )斜块螺旋副式2 0士 50. 5杠杆斜块螺旋副式2 0士 10. 3 检定斜块检定器时，检定器在检定室内平衡温度的时间应不少 2 4 h ;标准器具在检定室内平衡温度的时间应不少于6 h o6 . 2 检定项目和主要检定器具 检定项目和主要检定器具列于表 3 06 . 3 检定方法6 . 3 . 1 外观 目力观察。6 . 3 . 2 各部分的相互作用 目力观察和试验。6 . 3 . 3 工作面的表面粗糙度 用表面粗糙度比较样块比较检定。6 . 3 . 4 上斜块工作面的平面度 用 D6 0 m m的2级平面平晶以技术光波干涉法检定。6 . 3 . 5 刻度尺刻线面棱边到读数鼓轮外圆的距离 用2级塞尺在全测量范围内的任意位置上比较检定。6 . 3 . 6 杠杆测头的测力 用分度值不大于 0 . 0 5 N的测力计，沿杠杆测头轴线方向检定。6 . 3 . 7 示值误差6 . 3 . 7 . 1 检定斜块式测微仪检定器示值误差的受检点数及所用量块的尺寸见表 4 。各受检点应均匀分布。 aJ J G 5 2 5 -2 0 0 2衰3 检定项目和主要检定器其序号检 定项 目主要检定器具检定类型首次后续周期修理后1外观+十+2各部分的相互作用+3工作面的表面粗糙度表面粗糙度比较样块十十4上斜块工作面的平面度D6 0 mm 2 级平晶+十十5刻度尺刻线面棱边到读数鼓轮外圆的距离2级 塞尺+十6杠杆测头的测力分度值不大于0 . 0 5 N的测力计十7示值误差3 等量块、 0 . 1 p m电 感测微仪2 等量块、 0 . 0 1 p m电 感测微仪+十8回程误差0 . 0 1 J A M电 感测微仪+9示值 变动性0 . 0 1 j a m电 感测微仪+注:表中 “ +”表示检定;“ 一 ”表示可不检定。6 . 3 . 7 . 2 检定器的示值误差，以单行程各受检点中最大与最小误差的差值确定，取最大差值作为检定结果。6 . 3 . 7 . 3 分度值为1 p m的 斜块螺旋副式检定器， 用分辨力为0 . 1 p m, 0 . 0 1 re m的电感测微仪和 3等量块、2 等量块检定。 检定前，将电感测微仪传感器装夹在支架装夹孔中，调整支架使传感器测头对准工作台中间。 采用分段法检定检定器全范围的示值误差时，使受检检定器对准零位后，把 1 m m量块放在电感测微仪测头下面，调整电感测微仪示值为零，然后转动检定器微分筒使读数鼓轮至受检点，并按0 . 2 mm间隔置换量块，在电感测微仪上读数。逐点检定完第一J J G 5 2 5 - 2 0 0 2受检段后，以第一受检段正行程的终点作为起始点，检定反行程。检定过程中，不应改变微分筒的旋转方向，也不应对仪器作任何调整。再以第一受检段正行程的终点，作为第二受检段的起始点，重复上述检定方法 ，检定完第二受检段的各受检点。第二受检段各受检点上读取的数经修正后加上第一受检段终点的误差，即得到第二受检段各受检点的累积误 差。表4 检定示值误差受检点数及所用量块尺寸分度值乍m10. 20. 10. 0 2量块 等别3等2等3等2等3等2等3等受检段/ gy m全范围任意读数鼓轮全范围读数鼓轮全范围任意读数鼓轮全范围任意2 0 0 01 0 0 05 04 0 01 02 0 05 054 01 0检定方法直接法直接法配对 法直接法直接法配 对 法配 对数5对5对受检点数/ 个858285285量块标称长度/ m m1 . 0 01 . 2 01 . 4 01 . 6 01 . 8 02. 0 01 . 0 01 . 0 11 . 0 21 . 0 31 . 0 41 . 0 51 . 0 01 . 0 51 . 1 01 . 1 51 . 2 01. 2 51 . 3 01. 3 51. 4 00 . 9 9 10 . 9 9 30. 9 9 50. 9 9 70. 9 9 91. 0 0 11 . 0 01 . 0 11 . 0 21 . 0 31 . 0 41 . 0 51 . 0 01 . 0 51. 1 01 . 1 51 . 2 01 . 2 51 . 3 01 . 3 51 . 4 00. 9 9 10. 9 9 30. 9 9 50. 9 9 70 . 9 9 91 . 0 0 11 . 0 01 . 0 11 . 0 21 . 0 31. 0 41 . 0 51. 0 01. 0 51 . 1 01 . 1 51 . 2 01 . 2 51. 3 01 . 3 51 . 4 0检定器全范围的示值误差检定示例见表 5; 读数鼓轮的示值误差检定示例见表 6 0.T J G 5 2 5 - 2 0 0 2表5 全范围示值误差检定示例( 0 一2)n 门 1 飞门范围内正行程最大误差 =1 . 2-反行程最大误差 =1 . 2 ( 一 0 . 2 )=1 . 4 p m0=1 . 2 , m仪器示值误差 8 =1 . 4 p m任 意 1mr口范围内正行程最大误差= 0 . 7 - 0 = 0 . 7 p m 反行程最大误差= 0 . 7 一 0 = 0 . 7 k m仪 器示值误差5 = 0 . 7 m 回程误差= 0 . 2 di mJ J G 5 2 5 - 2 0 0 26 . 3 . 7 . 4 分度值为0 . 2 p m的斜块螺旋副式检定器示值误差的检定 ( 1 )分度值为0 . 2 p m的斜块螺旋副 式检定器的读数鼓轮的示值误差， 用2 等量块以配 对法检定。 装夹分辨力为0 . 0 1 p m的电 感测微仪， 装夹和调整方法同6 . 3 . 7 . 3 所述。每个受检点用 6 块量块配成 5 对进行检定。 受检点的示值误差 S为艺O r ， 一 ( A L 。 一 L o )式中: A L 最后一块量块的 偏差值; A L o 最初用来对零的 量块的偏差值; : ， 各对量块所测读数。 表 6读数鼓轮示值误差检定示例正行程示值误差= 0 . 1 一( - 0 . 2 ) = 0 . 3 1 , m反行程示值误差= 0 . 1 一 ( 一 0 . 1 ) =0 . 2 k m示 值误差5 = 0 . 3 p m回程误差= 0 . 1 k m 读数鼓轮上2 p m受检点示值误差检定示例: 用0 . 9 9 1 m m量块对零，以0 . 9 9 3 m m量块检定，得读数 r , =+ 0 . 1 0 Ji m ;用0 . 9 9 3 m m量块对零，以0 . 9 9 5 m m量块检定， 得读数 r 2 = 山 用0 . 9 9 5 m m量块对零，以0 . 9 9 7 m m量块检定，得读数 r 3 = + 0 . 1 5 p m ;用 0 . 9 9 7 m m 量块对零，以0 . 9 9 9 m m量块检定， 得读数 r 4 =+ 0 . 0 5 p m ; 用0 . 9 9 9 m m量块对零，以1 . 0 0 1 m m量块检定， 得读数 r s 二十 0 . 0 5 p m oJ J G 5 2 5 - 2 0 0 20 . 9 9 1 m m量块的实际偏差 L o = O , 1 . 0 0 1 m m量块的实际偏差 L =十 。 . 0 5 p m ,( : ; +O r e +A r 3 +O r 4 +A r 5 ) 一 A L ， 一 L o )+0 . 0 5 ) 一( 0 . 0 5一0 )05-5( 0 . 1+0+0. 1 5+0 . =0 . 0 6 ti m按上述方法，用尺寸相差 l o r a n的6 块量块检定读数鼓轮的第二个受检点。( 2 )全范围内的示值误差检定，以尺寸间隔相差 0 . 0 5 m m的 3等量块逐点进行检也可使用 同等准确度的其它方 法进 行检定。6 . 3 检 定7 . 5 分度值为0 . 1 r i m , 0 . 0 2 ja m的杠杆斜块螺旋副式测微仪检定器的示值误差的 将分辨力为0 . 0 1 Ji m的电感测微仪的传感器装夹在与杠杆比 相对应的支架孔中，调整好仪器，按受检点示值乘以杠杆放大倍数之积，选用相应尺寸的量块，逐点进行示值误差的检定。 分 度值为0 . 1 A m检定器的全范围内 示值误差的 检定用3 等量块采用直接法; 读数鼓轮的示值误差采用配对法，用 2 等量块 6 块配5对进行检定。方法同6 . 3 . 7 . 4 0 分度值为0 . 0 2 p m的检定器示值误差的检定用3 等量块采用直接法。 以 分度值为0 . 0 2 t e m检定器的 示值误差的检定示例: 分度值为0 . 0 2 t m检定器的杠杆比 为 1 : 1 0 ，测量范围为 ( 0 - 4 0 ) fi m ， 受检点的间隔为5 jA m 。转动微分 筒使读数鼓轮对准零位， 将 1 m m量块置于杠杆测头下面， 调整电 感测微仪指示值为 零， 正行程转动微分筒至5 f m受检点，置1 . 0 5 m m量块检定受检点，逐点检定完正行程 ，按量块实际偏差的 1 / 1 0 修正受检点的读数，得到各受检点的实际误差 。检定示例 的检 定结果见表 7 0表7 ( 0 - 4 0 ) u m测A范围的示值误差检定示例J J G 5 2 5 - 2 0 0 2表 7 ( 续 )受检点/ c m051 01 52 02 53 03 54 0量块/ mm11 . 0 51. 1 01 . 1 51 . 2 01 . 2 51. 3 01 . 3 51. 4 0量块偏差今M00+0. 1 0000000检 定范围检定结果扣m反行程读数000一0. 0 20+ 0 . 0 2000实际误差00一 0 . 0 1一0. 0 20+ 0 . 0 2000回程误差0000. 0 300. 0 3000( 0 - 4 0 ) p m范围内 正行程示 值误差= 0 . 0 5 - ( - 0 . 0 1 ) = 0 . 0 6 p m 正行程示值误差= 0 . 0 2 一( 一 0 . 0 2 ) = 0 . 0 4 p m 示值误差S 二0 . 0 6 p m任意1 0 p m范围内 正行程示值误差= 0 . 0 5 一 。 = 0 . 0 5 p m 反行程示 值误差= 0 . 0 2 一 ( - 0 . 0 2 ) = 0 . 0 4 p m 示 值误差8 = 0 . 0 5 p m 回程误差= 0 . 0 3 p m6 . 3 . 8 回程误差 在示值误差的检定数据中，取各受检点在正、反行程上的读数差值的最大值作为回程误差 。 按上述方法所得回 程误差超过表1 要求时， 应使用分辨力0 . 0 1 J i m的电 感测微仪对该点重新检定。正向转动微分筒，对准受检点，取得读数 ，然后继续正向转动微分筒半圈左右，再返回原受检点，取得读数，以两次读数之差作为回程误差。6 . 3 . 9 示值变动性 正向转动微分筒，对读数鼓轮某一刻线重复检定 1 0 次，以其最大与最小读数之差作为检定结果。6 . 4 检定结果的处理 经检定符合本规程要求的检定器，发给检定证书，检定证书上应注明检定条件和检定结果;不符合本规程要求的发给检定结果通知书，并注明不合格项 目。6 . 5 检定周期 检定周期可根据具体使用情况确定，一般不超过 1 年。