1、蚀刻工艺简介n n目錄n n一、金屬蝕刻定義及分類、n n二、化學蝕刻材料厚度與精度n n三、行业用途n n四、金屬蝕刻工藝簡介n n一、金屬蝕刻定義及分類、一、金屬蝕刻定義及分類、n n 金属金属蚀蚀刻就是先在基板上用絲印或網印得方式把基板上刻就是先在基板上用絲印或網印得方式把基板上需要保護得部位遮住需要保護得部位遮住,然後用化學或電化學方式侵蝕掉不需然後用化學或電化學方式侵蝕掉不需要得部位要得部位,最後退去保護膜最後退去保護膜,得到制品得一種加工方式。是得到制品得一種加工方式。是生生产标产标牌、牌、电电路板、金属工路板、金属工艺艺品、金属版画等品、金属版画等过过程中得关程中得关键键步步骤骤
2、。最初得技朮工業生。最初得技朮工業生產產應用是在印刷絲路版應用是在印刷絲路版,因絲路因絲路板得絲線細而密板得絲線細而密,機械加工很難完成。不同得金属材料機械加工很難完成。不同得金属材料,性性质质各不相同各不相同,蚀蚀刻刻图图型得精度不同型得精度不同,蚀蚀刻深度不同刻深度不同,所采用得所采用得蚀蚀刻方法、工刻方法、工艺艺以及所用以及所用蚀蚀刻液得配方大不一刻液得配方大不一样样,所采用得所采用得感光抗感光抗蚀蚀材料也各不相同。材料也各不相同。n n工工艺艺流程流程:n n 前前处处理理 涂油涂油 烘烤烘烤 曝光曝光 显显影影 蚀蚀刻刻 剥漆剥漆n n1、化学化学蚀蚀刻法刻法用用强强酸或酸或强强碱溶
3、液直接對工件未被保碱溶液直接對工件未被保n n护护部位部位进进行化学腐行化学腐蚀蚀,这这也是目前使用最多得一种方法也是目前使用最多得一种方法,n n优优点是点是蚀蚀刻深度可深可浅刻深度可深可浅,蚀蚀刻速度很快刻速度很快,缺点是腐缺点是腐蚀蚀液液n n对环对环境有很大得境有很大得污污染染,特別是特別是蚀蚀刻液不易回收。並且在生刻液不易回收。並且在生n n產產過程中過程中对对操作工人得身体健康有害操作工人得身体健康有害。n n2 2、电电化学化学蚀蚀刻刻这这是一种把工件做阳极使用是一种把工件做阳极使用电电解解质质通通电电,阳极溶解阳极溶解,从而达到从而达到蚀蚀刻目得得方法刻目得得方法,其其优优点在
4、于点在于环环保方保方面面,对环对环境境污污染很小染很小,对对操作工人得身体健康无害操作工人得身体健康无害,缺点是缺点是蚀蚀刻深度刻深度较较小小,大面大面积蚀积蚀刻刻时时,电电流分布不均匀流分布不均匀,深度不易深度不易控制。控制。n n3 3、激光激光蚀蚀刻法刻法优优点是点是线线性性边边沿整沿整齐齐无无侧蚀现侧蚀现象象,但成但成本很高本很高,约为约为化学化学蚀蚀刻法得一倍。印刷刻法得一倍。印刷电电路板行路板行业业印刷印刷锡锡膏膏时时,所用得不所用得不锈钢丝锈钢丝网大多是用激光网大多是用激光蚀蚀刻法制作得。刻法制作得。n n金属金属蚀蚀刻具有很高得复制性。在加工工刻具有很高得复制性。在加工工艺艺制
5、品上制品上,只要提只要提n n供工供工艺艺品得母版底片品得母版底片,就能很精確得復制出幾乎相同得就能很精確得復制出幾乎相同得产产n n品。其次品。其次对对於尺寸要求於尺寸要求严严格而又很微小格而又很微小,且机械加工很且机械加工很难难n n加工得零件加工得零件,提供了提供了较较方便得加工方法。方便得加工方法。n n化学蚀刻材料材料 不不锈钢锈钢、铁镍铁镍合金、合金、铜铜、铝铝以及其它合金材料厚度以及其它合金材料厚度(单单位位:mm):mm)规规格格 0 0、05 005 0、1 01 0、2 02 0、5 5 1 1厚度公差厚度公差 0 0、005 0005 0、008 0008 0、020 0
6、020 0、030 030 00、050050最小公差最小公差 0 0、010 0010 0、025 0025 0、050 0050 0、12012000、015 015 最小孔径最小孔径 0 0、05 005 0、1 01 0、2 02 0、3 3 1 1最小最小线线径径 0 0、02 002 0、08 008 0、12 012 0、4 04 0、8 8材料厚度范材料厚度范围围2mm2mm及以下得薄板及以下得薄板,特特别别适合适合0 0、5mm5mm以下薄板以下薄板,化学化学蚀蚀刻精度与料厚成反比刻精度与料厚成反比(2D(2D蚀蚀刻刻 穿孔穿孔 孔径要大于板材得厚孔径要大于板材得厚度度)n
7、n三、行业用途:n n四、化学四、化学蚀蚀刻适用范刻适用范围围:n n 1 1、可加工得金属种、可加工得金属种类类:各种金属、合金及不各种金属、合金及不锈钢锈钢板材、板材、带带材材;2;2、板材厚度范、板材厚度范围围:2mm:2mm及以下薄板及以下薄板,特特别别适用适用0 0、5mm5mm以下以下薄板薄板;n n3 3、行、行业业用途用途:n n(1)(1)石油、化工、食品、制石油、化工、食品、制药药用精密用精密过滤过滤网、网、过滤过滤板、板、过滤过滤筒、筒、过滤过滤器器;n n(2)(2)电电子行子行业业用金属漏板、盖板、平面引脚、引用金属漏板、盖板、平面引脚、引线线框架、金框架、金属基片属
8、基片;n n(3)(3)精密光学及机械平面零件、精密光学及机械平面零件、弹弹簧零件簧零件;n n(4)(4)摩擦片及其它凹凸型平面零件摩擦片及其它凹凸型平面零件;n n(5)(5)金属金属标标牌及牌及图图案复案复杂杂得金属装得金属装饰饰板和精美工板和精美工艺艺品。品。n n不锈钢网如:果汁机网罩果汁机网罩网片网片轮船模型汽车模型n n2D工艺品n n2 2、2)2)电电电电子行子行子行子行业业业业用用用用栅栅栅栅网、网、网、网、阵阵阵阵列、金属漏板、盖板、列、金属漏板、盖板、列、金属漏板、盖板、列、金属漏板、盖板、引引引引线线线线框架等。框架等。框架等。框架等。如如如如:格格格格栅栅栅栅片、模
9、片、盖板、引片、模片、盖板、引片、模片、盖板、引片、模片、盖板、引线线线线框框框框 架、架、架、架、阵阵阵阵列引脚、列引脚、列引脚、列引脚、栅栅栅栅网网网网 。n n精密光学及机械平面零件、精密光学及机械平面零件、精密光学及机械平面零件、精密光学及机械平面零件、弹弹弹弹簧零件。簧零件。簧零件。簧零件。n n2D電子片(码盘)大家有疑问的,可以询问和交流大家有疑问的,可以询问和交流可以互相讨论下,但要小声点可以互相讨论下,但要小声点可以互相讨论下,但要小声点可以互相讨论下,但要小声点n n格格栅栅片片模片模片引引线线框架框架阵阵列引脚列引脚n n2D铭牌祝寿金贺卡 葡萄镂空花边VIP贵宾金卡 黄
10、铜标牌 汽车标牌及饰条 n n2、4)工工艺艺品品:适用于各种适用于各种图图案加工。案加工。如如:n n蝕刻鍵盤MotoV3金屬蝕刻鍵盤n n工藝品:n n四、金屬蝕刻工藝簡介工藝流程工藝流程 基板得清洗与表面基板得清洗与表面基板得清洗与表面基板得清洗与表面处处处处理理理理 涂布涂布涂布涂布(丝丝丝丝印印印印 压压压压膜膜膜膜 喷喷喷喷油油油油)热风预热风预热风预热风预烘干烘干烘干烘干(烘烤烘烤烘烤烘烤)曝光曝光曝光曝光 顯影顯影顯影顯影 補光固化補光固化補光固化補光固化(高温固化高温固化高温固化高温固化)干燥干燥干燥干燥 蚀蚀蚀蚀刻刻刻刻 脱墨脱墨脱墨脱墨 後制作後制作後制作後制作對於較小得
11、平面對於較小得平面對於較小得平面對於較小得平面工件工件工件工件,可直接采用可直接采用可直接采用可直接采用絲印得方式完成絲印得方式完成絲印得方式完成絲印得方式完成塗布得工序塗布得工序塗布得工序塗布得工序,但對但對但對但對於大面積於大面積於大面積於大面積,絲印無絲印無絲印無絲印無法進行得法進行得法進行得法進行得產產產產品只品只品只品只能采用直接在工能采用直接在工能采用直接在工能采用直接在工件表面塗布顯影。件表面塗布顯影。件表面塗布顯影。件表面塗布顯影。4 4、1 1、基板得清洗与表面、基板得清洗与表面、基板得清洗与表面、基板得清洗与表面处处处处理理理理目得目得:除去工件表面得防銹油、潤滑油、乳化液
12、除去工件表面得防銹油、潤滑油、乳化液及工作人員分泌得汗漬油脂等。及工作人員分泌得汗漬油脂等。成份組成成份組成:氫氫氧化鈉、碳酸鈉等鹼性物質及十二氧化鈉、碳酸鈉等鹼性物質及十二烷烷基苯磺酸鈉等。基苯磺酸鈉等。脫脫脂不完全會影響後面塗布工序中保護膜與工件脂不完全會影響後面塗布工序中保護膜與工件得接合力得接合力,以致在蝕刻過程中保護膜以致在蝕刻過程中保護膜脫脫落造成工落造成工件得損壞。件得損壞。n n4、2涂布n n涂布感光油墨。可以采用滿版印刷、刷塗、滾塗或噴塗得方式,對油墨塗層得均一性要求不是很高,只要能保證塗層能夠在蝕刻時對產品需保護部位得到充分得保護。此工序和制作網板中得塗布工序差不多,只是
13、制作網板是在網砂上塗感光油墨,而金屬蝕刻是直接在工件表面塗布。n n4、3热风预烘干n n热风预烘干烘干(30-40,10-15分)目得只是防止曝光時感光油墨粘住菲霖。目得只是防止曝光時感光油墨粘住菲霖。要在暗室中進行操作。要在暗室中進行操作。n n4、4曝光n n曝光曝光 高压汞灯、碘镓灯、金属卤素灯。時間:二十秒左右,抽真空;根據工件得精度要求適當調整曝光時間。精度要求越高,曝光時間要適當縮短。进行检测曝光得能量尺:8-11格n n4、5顯影n n显影影 對於水性感光油墨對於水性感光油墨,可采用可采用1%碳酸碳酸钠水溶水溶液或直接用清水液或直接用清水,温度温度25-30,手工手工显影或影或
14、喷射射显影。影。對於油性感光油墨對於油性感光油墨,可采用有機溶劑進行手可采用有機溶劑進行手工工显影或影或喷射射显影。影。n n4、6 補光固化補光固化增加固化膜对底材得结合力,提高耐蚀刻性能。采用高压汞灯照射 或用紫外光照射,照射時間得長短要根據各自油墨得不同特性來決定,時間太長,油墨老化,結合力不好導致不能很好保護工件,時間太短,固化效果不好,結合力也不好,也不能很好保護工件。n n4、7干燥n n干燥干燥90-110/5-10分,增加固化膜对底材得结合力,提高耐腐蚀或耐电镀性能。n n若要永久保留固化膜,可进行140-160/30分钟以上热烘烤n n4、8蚀刻n n蚀蚀刻刻刻刻 1 1、化
15、学、化学蚀蚀刻刻 蝕刻液一般都是強酸或強碱。盡可能使反應快蝕刻液一般都是強酸或強碱。盡可能使反應快速完成速完成,一般蝕刻速度為一般蝕刻速度為0 0、04mm/04mm/分鐘分鐘,蝕刻速蝕刻速度越快度越快,側蝕得程度就越小側蝕得程度就越小,所得到得工件精密度就所得到得工件精密度就越高。越高。2 2、电电化學化學蚀蚀刻刻 把工件做陽極把工件做陽極,在電解液中通電在電解液中通電,工件上未被保護工件上未被保護部位因作陽極而溶解部位因作陽極而溶解,從而達到蝕刻得目得。從而達到蝕刻得目得。电电化化學學蚀蚀刻得蝕刻速率一般由工件表面得電流密度來刻得蝕刻速率一般由工件表面得電流密度來控制。控制。對於蝕刻完成既為成品得對於蝕刻完成既為成品得產品品,直接退直接退去保護油墨。要根據所采用得油墨性質來去保護油墨。要根據所采用得油墨性質來選用選用脫墨液墨液:1、對於水性油墨,可采用20%氢氧化钠水溶液/5060浸泡約十分鐘,然後擦拭,去除油墨。2、對於油性油墨,要用有機溶劑進行浸泡約十分鐘,然後進行擦洗去除。n n4、9脱墨n4、10 後制作 对於蚀刻得成品,进行手工填漆、电泳涂装或者电镀,从而形成同一平面两种颜色甚至多种颜色得外观效果。如这个标牌,就是先蚀刻出中间得字,然後进行填漆,达到得效果。n n3D精密蚀刻图片蚀刻+ED蚀刻+ED