rena制绒清洗培训.ppt

Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,多晶生产培训,Overview /,概述,第一部分：,RENA,清洗机设备概况,第二部分：,RENA,的开机前检查,第三部分：操作系统（操作系统界面、RENA开关机、补加更换溶液）,第一部分,RENA,清洗机的组件,1 InTex./InTex 1,台,2 intermediate transports(input station/output station)./,进料台、出料台各,1,个,1 chiller./,冷却器,1,个,1 electrical cabinet./,电器柜,1,个,1 InOxSide./InOxSide 1,台,2 intermediate transports(input station/output station)./,进料台、出料台各,1,个,1 chiller./,冷却器,1,个,1 electrical cabinet./,电器柜,1,个,设备概况,冷却器,Electrical,Cabinet,（电器柜）,电控柜内部,化学品输送及排风管道,气、水输送管道,CDA,DI water,Cooling water,City,water,CDA,热风系统,设备概况,InTex,目 的,：,去除硅片表面的污染物；在硅片表面腐蚀出绒面；络合硅片表面沾污的金属离子。,InOxSid,e,目 的,：,去除硅片表面的磷硅玻璃；去掉硅片背面及周边,p-n,结。,工作流程,制绒槽,上料台,下料台,干 燥,漂洗,3#,酸 洗,漂洗,2#,碱 洗,吹 干,漂洗,1#,InOxSide,刻蚀,槽,上料台,下料台,干 燥,漂洗,3#,酸 洗,漂洗,2#,漂洗,1#,碱 洗,Intex,第二部分 开机前检查,1,、,压缩空气,:,RENA,清洗,机的,Air Knifes,工作压力规定,46bar,的气压。,Air Knifes,进气压力规定,6bar,0.05 bar,检查气路有无泄露,开机前检查,2,、,纯水（,DI,水）,纯水压力应在,4Bar,，温度在,20,摄氏度,检查管路有无泄露,开机前检查,3,、冷却水：,进水温度应在,20,摄氏度以下，进水回水压力差应在,3Bar,以上,冷却水,生产中检查,风刀：,硅片上是否带液是否吹干，各槽风刀是否打开或堵塞。各槽风刀分别是：,一次：,（,制绒槽，漂洗,1,，碱槽，,漂洗,2,，酸洗槽，漂洗,3,后干燥区）,二次：,（,刻蚀槽，漂洗,1,，碱槽，,漂洗,2,，酸洗槽，漂洗,3,后干燥区）,第三部分 操作系统,制绒槽,HF+HNO3+DI,CDA,DI water,DI water,DI water,HF+HCI,KOH,CDA,操,作,系,统,操作系统（二次）,蚀刻槽,HF+HNO3+H2SO4+DI,DI water,DI water,DI water,HF,KOH,CDA,操,作,系,统,设备的开关机：,开机的操作过程,合上总电源，电脑主机开机。点击,Login,进入登陆界面，输入用户名及密码，点击,ok,进入,确认界面各模块单元上方显示黄色,“,Manual,”状态，且滚轮显示蓝色即滚动状态,.,注：建议根据不同用户建立不同访问权限的用户名及密码,操,作,系,统,操,作,系,统,操,作,系,统,.2,确认监测屏幕上显示各模块溶液均满槽,（即,Full DI,、,Full Chem),和设备门窗均关闭。,Etch Bath,显示,Not ReadyDryer1,Dryer2,显示,ready.,操,作,系,统,操,作,系,统,操,作,系,统,点击,Manual,按钮,随后点,F4,（三次），进入,rives,菜单，点击,All Conveyor,点击,Stop,停止滚轮，,点,F10,退回主界面,点击,Mode Auto,按钮，设备进入自动模式，在界面上所有操作单元下方从黄色“,Manual,”转变成绿色“,Auto,”,设备将自动开始从,Tank,中向,Etch bath,添加腐蚀液，界面上,Etch bath,单元下方显示为黄色“,Filling,chemie,”和黄色,not ready,等待,Etch bath,添加完成，,点击,Manual,按钮,随后点,F4,（三次），,点击,Manual,按钮,随后点,F4,（三次），,进入,rives,菜单,进入,rives,菜单,进入,rives,菜单,点击,All Conveyor,点击,Stop,停止滚轮，,点,F10,退回主界面,点击,All Conveyor,点击,Stop,停止滚轮，,点,F10,退回主界面,点击,Mode Auto,按钮，设备进入自动模式，,黄色“,Manual,”转变成绿色“,Auto,”,黄色“,Manual,”转变成绿色“,Auto,”,操,作,系,统,等待碱槽和酸槽温度显示稳定，下方显示为绿色“,Full chemie,”和绿色“,Ready,”。随后点击“,start”,按钮各模块自动运行,界面显示各模块均为绿色“,Ready,”和绿色,in process,即设备进入正常生产状态。,绿色“,Full chemie,”和绿色“,Ready,”。,绿色“,Full chemie,”和绿色“,Ready,”。,点击“,start”,按钮各模块自动运行界面显示各模块均为绿色“,Ready,”和绿色,in process,即设备进入正常生产状态。,点击“,start”,按钮各模块自动运行界面显示各模块均为绿色“,Ready,”和绿色,in process,即设备进入正常生产状态。,操,作,系,统,关机的操作过程,1,点击界面下方的“,Stop,”按钮。,2,确认各模块均停止工作，点击“,Mode manual,按钮进入手动模式，点击,manual,进入,rives,菜单，点击,All Conveyor,点击,Start,启动滚轮，点击,F10,退回主界面,3,进入“,Manual,”选单中“,Etch bath,”，点击,Drain Bath,即把,Etch bath,中的反应液排到,Tank,内。,4 点击,F10,退回主菜单，确认,Etch Bath,模块显示黄色,not ready,和黄色,draining,5,等待,Etch bath,排液完成，在,Etch bath,模块上只显示为黄色“,not ready,”。表明液体排完,操,作,系,统,6,用水枪冲洗,KOH,的喷淋管和槽体，并清洁设备表面。,7,检查各门的位置，正确地调整好它们。,8,点击右上角的“,Log off,”，跳出一个对话框。点击对话框中“,Log off,”，门将被密封。,注意：,若门未正确地调整好位置，,Alert,警报会出现。再次登录，调整好门的位置，按,F1,消除警报，再退出。（如有按,F1,无法的消除警报，通知工艺人员、设备人员）,9,关掉设备的显示，关闭电源。,点击界面下方的“,Stop,”按钮,。,点击界面下方的“,Stop,”按钮,。,点击“,Mode manual,按钮进入手动模式,点击“,Mode manual,按钮进入手动模式,点击,manual,进入,rives,菜单，点击,All Conveyor,点击,Start,启动滚轮，点击,F10,退回主界面,点击,manual,进入,rives,菜单，点击,All Conveyor,点击,Start,启动滚轮，点击,F10,退回主界面,进入“,Manual,”选单中“,Etch bath,”，点击,Drain Bath,即把,Etch bath,中的反应液排到,Tank,内。,进入“,Manual,”选单中“,Etch bath,”，点击,Drain Bath,即把,Etch bath,中的反应液排到,Tank,内。,点击,F10,退回主菜单，确认,Etch Bath,模块显示黄色,not ready,和黄色,draining,点击,F10,退回主菜单，确认,Etch Bath,模块显示黄色,not ready,和黄色,draining,等待,Etch bath,排液完成，在,Etch bath,模块上只显示为黄色“,not ready,”。表明液体排完,等待,Etch bath,排液完成，在,Etch bath,模块上只显示为黄色“,not ready,”。表明液体排完,点击右上角的“,Log off,”，跳出一个对话框。点击对话框中“,Log off,”，门将被密封。,点击右上角的“,Log off,”，跳出一个对话框。点击对话框中“,Log off,”，门将被密封。,补加更换溶液,3.,槽的清洗及药液更换,3.1,旧药液槽的处理,3.1.1,蚀刻槽（,Etch bath,）,1.,选择菜单,Manual etch bath,2.“mode man.”,，点击此按钮选择手动模式。,3.,按下,system draining”,蚀刻槽和储液灌内 的化学品将被排掉,4.,等化学品排放过程完成，图中蚀刻槽和储液罐将显示,Empty(,黄色,),，此时可以准备下一道程序,选择菜单,Manual etch bath“mode man.”,，点击此按钮选择手动模式,选择菜单,Manual etch bath“mode man.”,，点击此按钮选择手动模式,按下,system draining”,蚀刻槽和储液灌内 的化学品将被排掉,等化学品排放过程完成，图中蚀刻槽和储液罐将显示,Empty(,黄色,),按下,system draining”,蚀刻槽和储液灌内 的化学品将被排掉,等化学品排放过程完成，图中蚀刻槽和储液罐将显示,Empty(,黄色,),补加更换溶液,5.,蚀刻槽以及储液罐 冲洗，按下,“system rinsing”,冲洗,(,屏幕的左边,),。蚀刻槽以及储液罐将充满水和开始循环。程序可设定冲洗次数,6.清洗完成之后，系统自动将水排掉，此时蚀刻槽以及储液罐的状态为,Empty,（黄色）。,按下,“system rinsing”,冲洗,(,屏幕的左边,),。蚀刻槽以及储液罐将充满水和开始循环,按下,“system rinsing”,冲洗,(,屏幕的左边,),。蚀刻槽以及储液罐将充满水和开始循环,程序可设定冲洗参数,补加更换溶液,3.1.2,碱洗槽（,Alkaline bath,）,1.,选择菜单至,“manual alkaline”,2.“mode man.”,，点击此按钮选择手动模式。,3.,按下,draining”,碱槽的化学品将被排掉,4.,等待直到图表显示为,“Empty”(,黄色,),5.,碱槽的冲洗，按下,“rinsing”,冲洗,(,屏幕的左边,),。碱槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗次数。,6.清洗完成之后，系统自动将水排掉，碱槽内状态保持空的。,选择手动模式,.“mode man.”,按下,draining”,碱槽的化学品将被排掉,补加更换溶液,补加更换溶液,3.1.3,酸洗槽,Acidic bath,1.,选择菜单至,“manual acidic”,2.,按,“mode man”,选择手动模式,manual mode,3.,按,“draining”,排水,4.,等待，直到图表显示,“empty”(,黄色,),5.,开始清洁酸洗槽。按下,“rinsing,冲洗,(,屏幕的左边,),。酸洗槽将充满水并开始循环。程序可设定冲洗次数。,6.完成之后，自动将水排掉，直到图表显示,“empty”(,黄色,),。,补加更换溶液,补加更换溶液,程序可设定冲洗参数,程序可设定冲洗参数,补加更换溶液,3.2.1,更换,HF/HNO 3,蚀刻槽的化学品（三步）,1.,选择菜单至,manual etch bath”,2.,按,“mode man”,选择手控模式,manual mode,3.,按,“,bath change,”,更换,HF/HNO 3,（不建议使用）,“bath change”功能：,Bath,和,Tank,将会排干化学品。之后，,Bath,和,Tank,将会充满水并开始清洗。清洗完成后水将自动被排干,接着化学品充填开始，填充的数量和比例由相应的程序（,Recipe,）决定。,补加更换溶液,“bath change”,添加药液过程：,设备首先添加的是,DI water,，然后才是化学品。当新药液全部加入储液罐之后，蚀刻槽（,Etch bath,）将被自动充满，循环泵开始工作将储液罐内药液送入蚀刻槽，当刻蚀槽体充满药液后，等待温度到达指定温度，蚀刻槽的指示灯将转换为绿色读值,“ready”,以及,“full chem.”,。,补加更换溶液,补加更换溶液,补加更换溶液,手动添加药液（建议使用）：,1,.,在,刻蚀槽已经被清洗完并且空着的情况下，选择想要的,recipe,从,menu“Parameter Parameter Administration”.,2,.,检查化学品的比例和第一次充填的体积在,menu“Parameter Parameter2”,3.,确认首次配液时各化学品的浓度配比，在,“Manual Etch Bath”named“Setvolume firstfill”,4.,检查化学供应，特别是药房各化学品的余量,5.,在选单,menu“manual etch bath”,点击,“mode man.”,将槽更改为手动模式,补加更换溶液,PLC,参数写入,补加更换溶液,补加更换溶液,6.,点击按钮,“PT filling chemie”.DI water,首先被充满到储液罐，然后是,HF/HNO3,。已经加入的化学制品的数量，可以在在屏幕下边的图表,Actual firstfill volume,中显示。,7.,整个配液时间大约是在,5,分钟（根据参数设定），如果化学制品没有在设定时间内添加完成，将有错误,“filling timeout”,，,配液会自动中断。化学制品的剩下数量会在屏幕下边显示,“Remaining Volume”.,界面里显示。当外围的供液系统更换了新的化学制品以后，可以继续添加药液，按,“PT filling chemie”,剩下数量的药液将被添加入刻蚀槽。,补加更换溶液,8.,在准备过程中的蚀刻液的温度由于酸和,DI,水混合时放热，可能会升高至,40,度以上。,9.,等待直到药液添加完毕,10.,点击按钮,fill bath,，药液将从储液罐被送入蚀刻槽，直到蚀刻槽显示为,“full chem.”.,。蚀刻槽被充满后，冷却循环自动开始，化学溶液将透过热交换器降温。,11.,等待到达指定的化学溶液温度范围。蚀刻槽的状态在图表里将转向,“ready(,绿色,),。,12.,返回自动模式在按按钮,“mode auto”.,补加更换溶液,3.2.2,碱槽,1.,选择菜单,“manual alkaline”,2.,点击,“mode man.”,，转换至手动模式,3.,确认碱槽的状态显示为,Empty,开始添加药液，点击,“fill chemie”,DI-water,将被首先添加，以后,KOH,将被添加。,4.,在添加过程中，碱槽会自动开始内部循环。,5.,等待碱槽的液位到达相应液位感应器和状态栏显示为,“full chem.”(,绿色,),6.,切换至自动模式,“mode auto.”,补加更换溶液,3.2.3,漂洗槽,1,，,2,和,3,1.,选择菜单,“manual rinse1”“manual rinse2”,或者,“manual rinse3”,2.,点击,“mode man.”,，转换至手动模式,3.,添加纯水，按键,“fill DI”,，由于漂洗槽的设计采用阶梯式溢流，漂洗,3,将首先被添加满，然后是漂洗,2,洗,1.,4.,在添加过程中，漂洗槽会自动开始内部循环。,5.,等待,bath,的水位到达相应感应器和图表读值为,“full DI.”(,绿色,),6.,切换至自动模式,“mode auto.”,补加更换溶液,3.2.4,酸洗槽,Acidic bath,1.,选择菜单,“manual acidic”,2.,点击,“mode man.”,，转换至手动模式,3.,确认酸洗槽的状态显示为,Empty,，然后开始添加药液。点击,“fill chemie”,DI-water,将被首先,添加，然后是,HF/HCL,4.,在添加过程中，漂洗槽会自动开始内部循环,5.,等待酸洗槽的液位到达相应液位感应器和状态栏显示为,“full chem.”(,绿色,),6.,切换至自动模式,“mode auto.”,再 见,