MOCVD原理及设备简介演示幻灯片.ppt

,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,光伏制造工艺和设备介绍,MOCVD,(,Metal Organic Chemical Vapor Deposition,）,金属有机化学气相沉积,2025/8/5,1,1.什么是,MOCVD？,一种利用有机金属热分解反应进行气相外延生长薄膜的化学气相沉积技术。,优点：沉积温度低、不采用卤化物原料，因此,在沉积中不存在刻蚀反应;适合大批量生产。,可直接生长出绒面结构的,ZnO,薄膜，能有效增加入射光的光程，对太阳光谱起到良好的陷光作用。,缺点:许多有机金属化合物蒸气有毒、易燃;反应温度低，因此有时在气相中就发生反应。,2025/8/5,2,2.太阳能电池的制备工艺,以玻璃为基底,pin,型太阳能电池,i layer(350nm),玻璃,SnO2（900nm),P layer(10nm),n layer(30nm),ZnO(80nm),Metal(250 nm),封装玻璃,引线盒,ZnO,2025/8/5,3,ZnO,的作用,增加反射光在太阳电池中的光程,，提高太阳光的收集效率。,2.减薄本征吸收层，抑制光致衰退，改善电池的稳定性；,3.阻挡金属背电极元素如,Ag,或,Al,向,n,层的扩散，改善界面及电池性能。,2025/8/5,4,ZnO,性能,结构：六方晶体，每个,Zn(,锌,),原子与四个,O(,氧,),原子按四面体排布，,ZnO,薄膜是由不规则晶粒组成的多晶薄膜。,半导体特性：,N,型宽带隙半导体，,E,g,=3.36eV,导带,禁带,价带,电子能量,导带底,Ec,价带顶,Ev,Eg,(,禁带宽度),2025/8/5,5,ZnO,性能,方块电阻：35%,2025/8/5,6,MOCVD,原理,将金属有机物气化后，利用载气通入反应室，在反应室内发生化学反应，生成物沉积到衬底上形成薄膜。,金属有机物：,DEZ,载气：,Ar,ZnO,的制备,2025/8/5,7,ZnO,的制备,DEZH,2,O ZnO,(,C,2,H,5,),2,Zn+2H,2,OZn(OH)+2C,2,H,6,基 底,Zn(OH),2,ZnO,H,2,O,基底温度：180 200,2025/8/5,8,气源,泵组,热阱,沉积室,MOCVD,系统,温度：250300,2025/8/5,9,MOCVD,系统原理图,反应气体,：,1.,DEZ(Ar,载气）,2.,H2O(Ar,载气）,3.,B,2,H,6,尾气：,Ar、H,2,O、C,2,H,6,、B,2,H,6,、H,2,、（C,2,H,5,),2,Zn,2025/8/5,10,沉积室,参数：,温度：室温300,压力：0.55,Torr,传输腔：1个,沉积室：3个,进/出样室：2个,2025/8/5,11,2025/8/5,12,DEZ,和,H,2,O,气路管布局图,2025/8/5,13,MOCVD,设备外观图,2025/8/5,14,2025/8/5,15,2025/8/5,16,DEZ,性质,无色液体、与水、空气可发生剧烈反应，易燃易爆，对皮肤及眼睛有伤害。,2025/8/5,17,2025/8/5,18,对厂房设计、安全要放在首位。一般厂房分为两层，2楼主要放氮气管、氨气管、空调、排风。1楼放,DEZ,2025/8/5,19,DEZ,房,2025/8/5,20,漏液燃烧室,2025/8/5,21,2025/8/5,22,2025/8/5,23,2025/8/5,24,DEZ,房要求：,1.防爆,2.房间内有空调口、排风口、氮气口,3.房间内有火警检测器、烟雾检测器,4.自动充填系统下面有通孔及下水道，可以使泄漏的化学品流到漏液燃烧装置,5.,燃烧装置不能有水,6.燃烧装置配备排气管、氮气输出管,7.,DEZ,放配避雷针,2025/8/5,25,2025/8/5,26,DEZ,气罐更换,卸气罐,1.确认罐内残余,DEZ,量,2.关闭气罐所有阀门,3.管道清洗,4.拆除分离气罐与管路,确认所有阀门处于关闭状态,将气罐放入柜内，连接管路,检漏,4.清洗光路,打开气罐阀,装气罐,2025/8/5,27,2025/8/5,28,2025/8/5,29,