mems-su8-LIGA-UV-LIGA工艺技术教学内容.ppt

Click to edit Master title style,Click to edit Master text styles,Second level,Third level,Fourth level,Fifth level,微机械加工技术,秦明,硅微机械加工技术,SU-8,负胶在,MEMS,中的应用,SU-8,的特点,低成本负胶可用于,MEMS,相对简单的制作工艺,厚度变化范围大,7500,A-450um,电镀金属等可以形成各种结构,坚膜后的胶可以作为阻挡层用于90,C,的,KOH、FeCl,3,溶液中的腐蚀,可以作为,DRIE,的阻挡膜,Shell Chemical,销售,粘度可控制,-,EPON,Resin SU-8,加入丁内脂（,GBL,gamma-,butyrolacton）,SU-8,胶应用工艺,旋转涂胶，1000,RPM,前烘。对100,um,厚的胶，95,C,热板烘15分钟,暴光。对波长365,nm,剂量300400,mJ/cm,2,后烘。95,C,15min,显影。在,PGMEA,中15,min,用异丙醇漂洗,用等离子去胶，或热,NMP(1 methyl 2 pyrodidon),坚膜。200,C,30min,SU-8,涂胶厚度与转速的关系,GBL,（,gamma-butyrolacton,）-,丁内脂,机械特性,磨擦系数=0.19,10,RPM with a load of 10g,弹性模量=,4.02 Gpa,高纵横比 14.5,举例（1）,SU-8,胶齿轮，厚450,um 200um,厚测试结构,举例（2）,之字形深槽结构 齿轮模,