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激光器简史及光纤激光器简介.ppt

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RadiationLASER,),E,1,E,2,hv,=E,2,-E,1,E,1,E,2,hv,=E,2,-E,1,E,1,E,2,hv,=E,2,-E,1,hv,hv,Niels Bohr,激光发展简史,激光与诺贝尔奖,1947,年,兰姆(,Lamb,)在氢原子光谱中发现了明显的受激辐射,这是受激辐射第一次被实验验证,因此兰姆获得了,1955,年诺贝尔物理学奖:,for his discoveries concerning the fine structure of the hydrogen spectrum.,1950,年,法国物理学家,Kastler,提出了光学泵浦的方法,两年后该方法被实现。他因为提出了这种利用光学手段研究微波谐振的方法而获得,1966,年年诺贝尔物理学奖:,for the discovery and development of optical methods for studying,Hertzian,resonances in atoms.,Alfred Kastler,Willis Eugene Lamb,激光发展简史,激光与诺贝尔奖,1951,年,,Townes,提出受激辐射微波放大,即,MASTER,的概念。,1954,年,第一台氨分子,Master,建成,首次实现了粒子数反转,其主要作用是放大无线电信号,以便研究宇宙背景辐射。,TOWNES,由于在受激辐射放大方面的成就而获得,1964,年诺贝尔物理学奖:,for fundamental work in the field of quantum electronics,which has led to the construction of oscillators and amplifiers based on the maser-laser principle.,Charles Hard Townes,1952,年,韦伯(,F.Weber,)在受激辐射讨论会上得到启示,产生了利用受激辐射诱发原子或分子,从而放大电磁波的想法。他提出了微波激射器的原理。,激光发展简史,史上最牛激光器,1958,年,,Schawlow,和,Townes,在,Physics review letter,上面发表论文,“Infrared and Optical Master”,标志着激光作为一全新事物登上了历史舞台。,1960,年,休斯实验室的梅曼(,Maiman,)和兰姆(,Lamb,)共同研制的红宝石激光器发出了,694.3nm,的红色激光,标志着世上第一台激光器的诞生。,激光器发展简史,60s,1960,年,,BELL,实验室制成了第一台氦氖激光器;,1961,年,,第一台光纤激光器;,1962,年,第一台,GaAs,半导体激光器;,1963,年,液体激光器;,1964,年,,CO2,气体激光器;,1964,年,离子激光器;,1964,年,,Nd:YAG,固体激光器;,1965,年,,HCL,化学激光器;,1966,年,生物染料激光器。,中国第一台激光器(,1961,),激光器的第一台,研制成功时间,研 制 人,He-Ne,激光器,1963,年,7,月,邓锡铭等,掺钕玻璃激光器,1963,年,6,月,干福熹,GaAs,同质结半导体激光器,1963,年,12,月,王守武,CO,2,分子激光器,1965,年,9,月,王润文等,国内激光技术发展简史,激光技术发展简史之二,各种激光器的开发,工作物质:固体,气体,染料,化学,离子,原子,半导体,,X,射线,输出功率:大功率,低功率,工作方式:短脉冲,脉冲,超短脉冲,连续,输出稳定性:稳频率,稳功率,稳方向,激光模式:多波长,单一模式,激光技术发展简史之三,激光器在各个方面的应用,信息技术:激光通讯,检测技术:激光测距,激光加工:激光打孔、激光切割、激光焊接,医学应用:矫正近视、激光整容,科学研究:激光核聚变,激光技术发展简史之三,1969,年:激光用于遥感勘测,激光被射向阿波罗,11,号放在月球表面的反射器,测得的地月距离误差在几米范围内。,1971,年,:,激光进入艺术世界,用于舞台光影效果,以及激光全息摄像。英国籍匈牙利裔物理学家,Dennis Gabor,凭借对全息摄像的研究获得诺贝尔奖。,1974,年,:,第一个超市条形码扫描器出现。,1975,年,:IBM,投放第一台商用机光打印机。,1978,年,:,飞利浦制造出第一台激光盘,(LD),播放机,不过价格很高。,1982,年,:,第一台紧凑碟片,(CD),播放机出现,第一部,CD,盘是美国歌手,Billy Joel,在,1978,年的专辑,52nd Street,。,1983,年,:,里根总统发表了“星球大战”的演讲,描绘了基于太空的激光武器。,1988,年,:,北美和欧洲间架设了第一根光纤,用光脉冲来传输数据。,1990,年:激光用于制造业,包括集成电路和汽车制造。,1991,年,:,第一次用激光治疗近视,海湾战争中第一次用激光制导导弹。,1996,年,:,东芝推出数字多用途光盘,(DVD),播放器。,2008,年,:,法国神经外科学家使用广导纤维激光和微创手术技术治疗了脑瘤。,2010,年,:,美国国家核安全管理局,(NNSA),表示,通过使用,192,束激光来束缚核聚变的反应原料、氢的同位素氘,(,质量数,2),和氚,(,质量数,3),,解决了核聚变的一个关键困难。,激光技术发展简史之三,发明了近百种不同类型的激光器件,其发明者都有完全不同的专业背景,各种学科和技术应用激光并形成了许多重要的交叉学科:如光电子学、激光光谱学、激光化学、非线性光学、激光全息术、激光生物医学、激光计量、超快光电子学、激光加工处理.,形成了一系列重要技术应用领域,光电子产业方兴未艾,激光器应用,Stent manufacture,Marking,Micro-welding,Cutting,Welding,Print/gravure,Micro-bending,Spot welding,激光器应用,激光器应用案例,打印机,激光器应用案例,打印机,激光器应用案例,视力矫正,E,1,E,2,hv,=E,2,-E,1,E,1,E,2,hv,=E,2,-E,1,E,1,E,2,hv,=E,2,-E,1,hv,hv,激光器工作基本原理,激光的特性及分类,激光的特性,一般通称激光的四大特性为:,方向性好,亮度高,相干性好,单色性好,激光器的分类,激光器的分类,:,按照工作方式分类,连续光激光器,;,脉冲激光器,(,调,Q,,锁模,,脉冲调制,),按照波长范围分类,紫外光;紫光;蓝光;绿光;红光;红外;中红外,远红外,.,193nm,244nm,248nm,355nm,488nm,632nm,1064nm,1310nm,1550nm,2um,10.3um,按照工作物质分类,气体激光器;固体激光器;液体激光器;半导体激光器;,光纤激光器,CO2,激光器;,Nd:YAG,激光器;红宝石;,HeNe,激光器;光纤激光器;氩离子激光器,按照泵浦工作方式,电泵浦;,光泵浦;,灯泵,半导体泵浦(侧泵,&,端泵),几类特殊激光器,准分子激光器;,光纤激光器发展史,1960-,E.,Snitzer,首次通过试验研究了掺稀土元素光纤激光器,Snitzer,E.Proposed fiber cavities for optical lasers.J.Appl.Phys.32:3639,1961.,1962-,首次报道的掺镱光纤激光器,H.W.,Etzel,et al.,“Stimulated emission of infrared radiation from ytterbium-activated silicate glass,”Appl.Opt.,vol.1,1962.,1974-,Stone,J,报道了第一台半导体激光器泵浦光纤激光器,Stone,J.,et al.,Neodymium fiber lasers:room-temperature,cw,operation with an injection laser pump.Appl.Opt.13:1256(1974).,1985-,英国南安普顿大学,ORC,采用改进的化学气相沉积(,MCVD,)的方法成功地研制出单模掺稀土光纤,1988-,E.,Snitzer,提出双包层光纤概念,E.,Snitzer,et al.,“Double-clad,offset core Nd fiber laser,”Proc.Conf.Optical Fiber Sensors,Postdeadline,paper PD5,1988.,2003-,英国南安普顿大学,ORC,研制出第一个超过一千瓦单模输出的高功率光纤激光器,2007-,IPG,研发出超过,3,千瓦单模输出的光纤激光器,2010-JPT,研发出基于,MOPA,结构的,10W,脉冲光纤激光器,光纤激光器,输出功率剧增,1.4 kW single-mode(ORC),0.4 kW SF,SM,SP Yb MOPA,30,W,Nd,10,W,Yb,SF,110,Yb,SM(SDL),150,W,Nd/Yb,135,W,Yb,SM,272,W,Yb(ORC),352,W,Yb,SM(ORC),485W,Nd/Yb,SM,1 kW,Nd,MM,2 kW,Yb,MM,10 kW,Yb,MM,20,W,Yb,SF,120,W,Yb,SF,87 W,Er/Yb,SF,MOPA(ORC),1.2mJ,380fs,Yb,7.7mJ,10W,Yb(ORC),2.8mJ,50/100W,Yb,8.4mJ,120W,Yb(ORC),1.2 kW single-mode(ORC),366 W JAC Yb(ORC),280 W,JAC Yb PCF,1 kW,Yb,MM(ORC),0.8 kW,Yb,SM,(Dual-end output),610W,Yb SM(ORC),1.3 kW,M,2,3(Jena),MM,SF/,Pulsed,SM to 10 kW?,1.5 kW(Jena),2 kW single-mode(IPG),0.6 kW,SM,polarized(ORC),160 W Er/Yb,80 W Tm.2,m,m,150 W SF,SM,Er:Yb MOPA,0.32 kW,20 ps,Yb MOPA,264 W SF,SM,SP Yb MOPA,17 kW,Yb,MM,The 3,rd,generation,全球商用激光器销售额以及比例分配,2008,年全球非半导体激光器销售量,IPG Photonics,光纤激光器,IPG,销售按应用细分,IPG,销售按市场区域细分,激光器,基本构成,关键构成要素:,增益介质,泵浦能量注入,激光腔,光纤激光器和普通激光器的比较,项目,光纤激光器,普通激光器,注释,热性能,优良,差,光纤激光器可消除热透镜效应,光束质量,优良,一般,纤细的光纤芯径决定了其优良的光斑特性,健壮性 可靠性,好,差,全光纤结构保证了其健壮性和可靠性,价格潜力,较高,一般,光纤激光器结构简单、用料少,非线性,差,好,非线性是光纤激光器中最大的一个限制因素,反射镜,反射镜,激光增益介质,激光束输出,光纤光栅,激光束输出,Pump,LD,有源光纤,各类激光器中的光束质量对比,掺稀土光纤激光器激射波长比较,波长范围,(nm),掺杂粒子,能级跃迁,跃迁类型*,550,Er,3+,4,S,3/2,4,I,15/2,3L,850,Er,3+,4,S,3/2,4,I,13/2,4L,9801000,Er,3+,4,I,11/2,4,I,15/2,3L,15001600,Er,3+,4,I,13/2,4,I,15/2,3L,1660,Er,3+,2,H,11/2,4,I,9/2,4L,1720,Er,3+,4,S,3/2,4,I,9/2,4L,900950,Nd,3+,4,F,3/2,4,I,9/2,3L,10201150,Nd,3+,4,F,3/2,4,I,11/2,4L,13201400,Nd,3+,4,F,3/2,4,I,13/2,4L,9701150,Yb,3+,5,F,5/2,5,F,7/2,3L,*:3L:,三能级,;4L:,四能级,Yb,有源光纤能级结构和吸收激射特性,Ytterbium Electronic structure:4f,14,5d,0,6s,2,2,F,5/2,g 11630,f 11000,e 10260,cm,-1,d 1490,c 1060,b 600,a 0,2,F,7/2,Cross Section data from Nufern(,),A,B,D,C,光纤激光器和光纤放大器,有源光纤,泵浦源,耦合器,高反,FBG,低反,FBG,隔离器,输出尾纤,有源光纤,泵浦源,耦合器,隔离器,输出尾纤,半导体激光器做种子源,环形腔光纤激光器,1480nm Pump diode,EDF,Apodized FBG,Circulator,90%,10%,1480/1550 nm WDM,3,2,1,Output,Experimental Setup,Optical spectra with different scanning span,5 minutes interval,2 hours stability,Stability over 2 hours,有源双包层光纤技术,折射率,涂覆层,外包层,内包层,有源纤芯,泵浦光输入,双包层有源光纤,激光输出,偏心内包层,D,型内包层,矩形内包层,八边形内包层,Cladding radius:400um,双包层光纤激光器,-,模式转换,小,NA,大模场面积光纤设计,小,NA,大模场面积光纤设计,增加光纤中能量存储能力,;,降低非线性效应,;,提高输出功率,利用低数值孔径,(NA),结构减少光纤中模式数目,;,有源掺杂区集中在纤芯中间,对低阶高斯模具有较大增益,限制高阶模式获得增益,;,折射率外环设计降低弯曲损耗。,H.L.Offerhaus,N.G.Broderick,and D.J.Richardson,“High energy single-transverse-mode Q-switched fiber laser based on a multimode large-mode-area erbium-doped fiber,”Optics Letters,Vol.23,No.21,1998.,一种窄线宽单频光纤激光器,1480nm Pump diode,EDF,Apodized FBG,Circulator,High finesse FBG FP,90%,10%,1480/1550 nm WDM,3,2,1,Output,Experimental Setup,Optical Spectra of the FBGs used in the fiber ring laser,Optical spectra with different scanning span,Delayed self-heterodyne RF beat spectrum,Linewidth:,2.5 kHz,5 minutes interval,2 hours stability,Stability over 2 hours,基于调,Q,激光器种子源的,MOPA,WDM,Pump LD,YDF,HR FBG,LR FBG,AOM,LMA YDF,10 W 976 nm Pump,Fiber Bundler,Pump Stripper&Output Isolator,Pump LD,YDF,FBG,Circulator,90%,WDM,Output Coupler,AOM,LMA YDF,10 W 976 nm Pump,Fiber Bundler,Pump Stripper&Output Isolator,脉冲高功率光纤激光器,种子源,&,多级放大结构,关键技术,种子源脉冲调制,高功率放大中的非线性抑制和,ASE,自激抑制,电控系统的健壮性和智能保护,热处理和系统可靠性,关键光学器件,半导体激光器,有源光纤,隔离器,合束器,光纤光栅,脉冲高功率光纤激光器,种子源,&,多级放大结构,激光安全,激光安全标签,人眼结构,400-1400 nm,1400 nm,1400 nm,视网膜灼伤,人眼伤害,脉冲激光器对人眼产生的伤害,激光对人眼的伤害的途径,激光对皮肤造成的伤害,安全防护措施,定期安全培训,提高安全防护意识,养成安全防护习惯,佩戴安全防护眼镜,超过,200 mW,的光路必须采用隔离措施,
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