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单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,Designing of microscope,主讲人:徐春云,目录,1.ZEMAX用户界面简要说明,2.25显微物镜的设计要求及初始结构,3.显微物镜的手动校正,4.显微物镜的自动优化,5.ZEMAX中像差曲线分析,6.显微物镜的像质评价,视场设定,根据系统要求设定角视场或线视场,波长设定,设计波长,波长权重 默认为1.0,主波长可设定其他权重,设计要求,放大倍率 =-25,数值孔径 NA=0.4,共轭距 L=195mm,物方线视场 y=1,物距 165.358mm,工作距离大于1mm,设计原则,为有效控制物像共轭距离,显微镜物镜需倒追光线。,若正追光线,改变系统间隔及透镜厚度不易控制像面位置,对共轭距的控制不利,因此设计时需采用倒追光线的方法。,参数设定,数值孔径输入:,NA=0.4=-25,对应的像方数值孔径NA=0.016,如果物距默认为无穷的话,此时输入数值孔径,系统将提示错误信息,因此需首先给定物距,视场输入:,物在有限距离,输入线视场(mm),物像 颠倒,故y=y=12.5,波段输入:,D、F、C光,即普通白光入射,设计理念,系统总偏角为0.416,消色差双胶合物镜负担最大偏角为0.15,单透镜负担最大偏角为0.2,因此系统中采用2个双胶合和1个单透镜。为校正场曲并负担一定的正偏角,单透镜采用一定正光焦度的弯月形厚透镜。同时,为适当增大后工作距,将双胶合分为正负透镜形式,负透镜置后。,二维结构图,初始数据,MTF曲线,点列图,显微物镜的手动校正,看Analysis:,aberration coefficients,seidel coefficients,aberration coefficients,seidel diagram,从seidel diagram中可以直观的看到系统各像差情况,找出对赛得和数影响大的面,首先调整这些面的曲率半径,再改变其他半径,最后改变空气间隔及玻璃厚度。,一点点做微调整,在调整过程中看MTF曲线及点列图的变化趋势。,显微物镜优化注意事项,1.输入距离不能为负值,优化过程中也应注意此项。负值的d只能出现在反射式系统中,2.在进行系统优化时,不要选择盖玻片半径、厚度、后工作距离和光阑半径作为变量,显微物镜的自动校正,光学设计时的优化顺序,1.找出对赛得和数影响大的面,并将这些面的曲率半径设为变量,优先优化。,2.将剩余面的曲率半径设为变量进行优化。,3.将STOP光阑面的位置设为变量进行优化,4.将透镜间距设为变量进行优化。,5.将玻璃厚度设为变量进行优化。,经过以上5步优化后,如果像质还达不到要求:,1.尝试将特殊位置的薄透镜换成弯月透镜,鼓形透镜等厚透镜。,2.换玻璃。如果单透镜的弯曲过于强烈,则换成折射率高的玻璃。如果胶合透镜胶合面的弯曲过大,则增加两个玻璃的阿贝数之差。,(设计双胶合透镜时,透镜要有相近的热膨胀系数。),3.将系统复杂化。分裂玻璃,或者在特殊位置加入场镜。,光学设计优化小技巧,1.光学系统某个视场MTFT,MTFS不好,则在Field中增大这个视场的权重。,2.光学系统某个视场的MTFT,MTFS不好,则在优化函数中用MTFT,MTFS进行优化。,3.光学系统某个视场的MTFT,MTFS不好,则在系统中针对这个视场设定渐晕。,4.增大视场或者增大口径时,要一点一点地增大,。,5.减掉某个透镜时,要一点一点地减小透镜的厚度,6.增加透镜厚度时,要一点一点地增加。,7.优化畸变时,要一点一点地改变畸变的大小。,8.有时系统优化到局部最小值,稍微改变一点厚度或者间距,使其能够跳出局部最小值,继续优化,。,选择工具栏Editors,Merit Function,Tools,Default Merit Function,在该选项框中选择RMS,Spot Radius,Centroid,其它项默认即可,选择OK。,显微物镜优化设置,为避免焦距变化过大,将其确定为初始值,即设定有效焦距EFFL为6.93(选择第2波长),球差,位置色差,二级光谱:,Analysis,miscellaneous,longitudinal aberration,横坐标是球差,纵坐标是孔径,像差曲线分析,象散,场曲,:,Analysis,miscellaneous,field curv/distortion,(Fcd),不同颜色表示不同色光,T和S分别表示子午和弧矢量,同色的T和S间的距离表示像散的大小,纵坐标为视场,横坐标是场曲,轴外细光束像差曲线,畸变:,Analysis,miscellaneous,field curv/distortion,纵坐标为视场,横坐标是畸变的百分比值。,还可以通过,Analysis,miscellaneous,Grid Distortion 从图形中可以直接观看出畸变类型(枕型/桶形),Analysis,Fans,Ray Aberration(Ray),横坐标表示光束孔径高度,纵坐标表示垂轴像差,每组曲线中左图为子午光束垂轴像差,右图为弧矢光束垂轴像差。,图中曲线的形状由轴外像差如场曲、轴外球差、彗差决定,曲线形状与像差数量的对应关系经常在校正像差过程中使用,因此又称为像差特征曲线,它全面地反映了系统的像差情况,。,子午光束与弧矢光束垂轴像差曲线,垂轴色差(倍率色差),Analysis,miscellaneous,Lateral Color,横坐标表示不同色光与参考色光像高的像差,纵坐标表示视场。,图中两条AIRY表示的曲线为艾里斑 范围,从图中可以看出系统的垂轴色差小于艾里斑范围,垂轴色差得到很好的校正。,焦点色位移,Analysis,miscellaneous,Chromatic Focal Shift,图曲线表示的是系统工作波长范围内不同波长的色光近焦距位移。横坐标表示焦点位移,纵坐标为不同色光的波长,整个图形以主波长的近轴焦点为参考基准。,光程差,Analysis,Fans,Optical Path(Opd),横坐标表示光束孔径大小,纵坐标表示光程差,图中数据表明纵坐标(光程差)的最大值,0.5个波长,波像差,Analysis,Wavefront,Wavefront map,如果光学系统的波像差小于瑞利准则1/4波长,则光学系统满足像质要求,而瑞利准则没有考虑缺陷的面积,仅适用于小像差系统,PEAK TO VALLEY,Zemax中常用的优化操作数,EFFL 透镜单元的有效焦距,TOTR 透镜单元的总长,SPHA 在规定面出的波球差分布,COMA 透过面彗差,ASTI 透过面像散,FCUR透过面场曲,DIST透过面波畸变,注意:限制越少越好,显微物镜的像质评价,1.显微物镜分辨率,从等式中可以看出,增加数值孔径NA或减小波长可以提高显微物镜的分辨率,2.计算MTF特征频率,MTF特征频率为,人眼对比度阈为,0.020.03,,各视场MTF值在特征频率处均大于,0.03,即可,点击快捷方式Pre 显示系统相关参数,谢谢!,
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