1、10万级干净区环境监测规定
监测项目
技术规定
监测措施
监测频次
温度
18~28 OC(十万级、三十万级)
JGJ71-90
1次/班
湿度
45~65%(十万级、三十万级)
JGJ71-90
1次/班
换气次数
十万级≥15次/小时
JGJ71-90
1次/月
静压差
≥5Pa(不同干净级别干净室(区)之间)
JGJ71-90
1次/月
≥10Pa(干净室(区)与室外)
≥5Pa(干净室(区)之间与非干净室(区))
尘埃粒子
≥0.5μm
≥5μm
GB/T16292-1996
1次/季
十万级≤3500000个/m3
2、
≤0个/m3
浮游菌
十万级≤500个/m3
GB/T16293-1996
1次/季
沉降菌
十万级≤10个/皿
GB/T16294-1996
1次/周
100级和10000级干净区环境监测规定
监测项目
监测仪器
技术规定
测 量 位 置
监测频次
100级
10000级
温度(℃)
温湿度计
18-28
18-28
干净区各室
1次/班
湿度( %)
温湿度计
45-65
45-65
干净区各室
1次/班
风速(m/s)
风速仪
水平层流≥04
——
送风口
1次/月
垂直层流≥0.3
换气次数(次/h)
——
≥20
静压差(Pa)
微压差计
≥5
≥5
不同干净区之间
1 1次/月
≥10
≥10
干净区与室外
尘埃粒子数
(个/M3 )
尘埃粒子
计数器
≥0.5um
≤3500
≥0.5um
≤35000
干净区内核心操作点及100级超净工作台
1次/季
≥5um
0
≥5um
≤
沉降菌落数(个/皿)
培养皿
≤1
≤3
干净区内核心操作点
1次/周
浮游菌落数(个/㎥)
浮游菌采集器
≤5
≤100
干净区内核心操作点及100级超净工作台
1次/季