清洗机原理及设备结构介绍.ppt

单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,2,#,单击此处编辑母版标题样式,成都中光电科技有限公司,#,清洗机原理及设备结构介绍,清洗目的及环境要求,目的：基板经过切割裂片后，在玻璃表面容易残留玻璃碎屑，清洗的主要目的是在短时间内将玻璃碎屑冲掉，避免玻璃屑重新附着在基板上，造成玻璃异物，不容易去除。,环境要求：环境温度：,22,+,2,，相对湿度：,45%,+,10%,；洁净等级：,5000,级，与相邻加工区保持微正压，与相邻检查区保持,5Pa,微负压。,2,2025/4/9 周三,清洗工艺流程,WDT,：预湿机,CLE1,：输入传送带,CLE2,：盘刷清洗,CLE3,：超声波清洗,CLE4,：二流体清洗,1,CLE5,：滚刷清洗,CLE6,：二流体清洗,2,CLE7,：最终喷淋,CLE8,：风刀干燥,CLE9,：输出传送带,3,2025/4/9 周三,WDT,预湿机,预湿机的作用：对玻璃进行预湿；对研磨后的玻璃进行抽检；投入玻璃进行二次清洗。,预湿机的结构：机架、传送滚轮、喷淋装置、护罩、水槽、升降机构。,水平传送滚轮（小滚轮）：直径,60mm,。,抽检传送滚轮（大滚轮）：直径,150mm,。,小滚轮材质：,UPE,。,大滚轮材质：,POM,。,升降机构是由气缸带动机架升降，旁边有,4,个导向轴，上面是大滚轮。,喷淋管上面,7,排，下面,2,排水管，由,1#,水箱供水。,共有,4,个传感器：入口、出口、中间两侧。,超高分子链聚乙烯,聚甲醛,4,2025/4/9 周三,DWT,抽检,（,1,）水平传送部分：通过电机减速机带动大滚轮转动，水平传送与预湿机连接处设有小滚轮过渡。,（,2,）翻转部分：通过左右端,2,个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动，从而带动机架翻转,73,，（翻转架子上装有,2,个光电传感器检测玻璃），架子下部设有,2,个缓冲器。,研磨机,WDT,清洗机,DWT,5,2025/4/9 周三,预湿机及,DWT,抽检示意图,进入传感器,抽检传感器,二次投入传感器,大滚轮,输出传感器,过渡小滚轮,翻转架,对射光电传感器,玻璃输入,玻璃输出,抽检玻璃输出投入,6,2025/4/9 周三,预湿机抽检传送流程,预湿机抽检传送动作流程：,玻璃通过预湿机需要抽检时，经过入口磁性传感器传送带开始减速，当玻璃经过中间一侧的磁性传感器时，传送滚轮停止，同时气缸带动机架上升,20mm,停止，垂直传送滚轮开始运行，此传感器检测到玻璃离开后，机架开始下降，回到原位，水平传送带又开始水平输送玻璃。,7,2025/4/9 周三,输入 传送带（,CLE1,）,（,1,）传送带设有定位装置，两侧各,1,个汽缸定位玻璃。,（,2,）滚轮的材质是尼龙，挡边轮材质是,UPE,。,（,3,）设有,2,组滚刷，上下各,2,排，滚刷转动方向与玻璃前进方向相反。,（,4,）传送带出口处设有,1,组海绵滚筒，抹干玻璃上的水份。,（,5,）喷淋用的是,6#,水箱的水，水经,10m,过滤器进行过滤。,工作原理：,玻璃进入输送传送带，上下各,7,排喷淋系统对玻璃进行初始清洗，三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带，当磁性传感器检查到玻璃通过时，两侧的汽缸驱动定位块对玻璃定位，来矫正玻璃的位置,。,8,2025/4/9 周三,输入传送带结构示意图,其结构示意图如下：,磁性传感器,Substrate,9,2025/4/9 周三,盘刷清洗（,CLE2,）,设备结构,：,盘刷区共有,4,组盘刷，盘刷的间距和转速都可以调节。,盘刷区还有喷淋装置，喷淋装置上的喷嘴方向可以调节上有压力表和调节阀门，还有观测流量计。,盘刷清洗水需,加入清洗剂,，由,2,，,3#,水箱（一用一备）提供，由于加入了清洗剂废水不能被其他区域利用，只能自身循环利用，且水需要加热到,4045,。清洗剂：,PK-LCG211,，水的,PH,值为,1214,。,10,2025/4/9 周三,盘刷清洗,刷毛：,=0.1mm,，尼龙材质。,上下盘刷：交叉,12mm,。,升降调节方式：锥齿轮,+,螺旋升降,+,前后同步。,驱动方式：交流变频电机（滚轮驱动），盘刷轴驱动为直流电机。,盘刷：直径,85mm,。,转速：,200,300r/min,（可调）。,11,2025/4/9 周三,盘刷传送带示意图,盘刷,盘刷,盘刷,12,2025/4/9 周三,盘刷清洗水箱示意图（,CLE3,）,高液位传感器,低液位传感器,浓度测量仪,温度传感器,加热管,取样管,13,2025/4/9 周三,超声波清洗（,CLE4,）,超声波介绍：,（,1,）,有,7,个振板，每个振板共有,16,个振子,每个振子功率,50W,。,（,2,）,超声波发生的频率为,40-90KHZ,。频率、功率可调。,（,3,）水箱有两个一用一备（,4#,、,5#,水箱）。,（,4,）水箱有加热装置、浓度、温度传感器。,（,5,）水箱中,有,4,个浮球式传感器检测液位。,（,6,）强碱性清洗剂，,PH,值,12-14,。,（,7,）,1,个清洗剂箱。,注：玻璃是浸泡在水中进行传送和清洗的。,14,2025/4/9 周三,超声波传送带示意图,由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介质,清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万计的直径为,50m-500m,的微小气泡，这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生长，而在正压区迅速闭合，在这种被称之为空穴作用的过程中，气泡闭合可形成几百度的高温和超过,1000,个气压的瞬间高压，连续不断产生瞬间高压就像一连串小“爆炸”不断地冲击物体表面，使物体的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的。,超声波水槽,注：水槽内有两个液位器，以保证水的液面超过玻璃的表面，玻璃浸泡在水中清洗,B,面。,15,2025/4/9 周三,二流体一清洗（,CLE5,）,二流体清洗介绍：,（,1,）二流体组成,:,洁净压缩空气（,CDA,）和纯水（,DI Water,）的混合体。,（,2,）,CDA,过滤器,0.01um,、,DI Water,过滤器,1.2um,。,（,3,）上下各,1,个二流体喷淋体，长度,830mm,，二流体喷体上进入处有,5,个孔，分别通入,CDA,和,DI Water,，喷口处为,0.1mm,液刀口。,（,4,）玻璃通过二流体清洗后，有喷淋管对玻璃进行清洗，上面有,4,排喷水管，下面有,3,排喷水管，每排,6,个喷嘴。,（,5,）二流体,1,清洗用水利用的滚刷使用后的废水，,7,号,水箱供水；二流体,2,利用的是最终喷淋使用后的废水，,9,号,水箱供水,。,16,2025/4/9 周三,通气,通水,170mm,二流体一喷淋体结构示意图,倾斜约,10,，倾斜角度可调。,17,2025/4/9 周三,滚刷清洗（,CLE6,）,滚刷段介绍：,一共设有,3,组滚刷，,上下有各,7,排喷淋嘴。,滚刷上、下间距可调。,设有一个水箱，供水管安装有,0.45m,过滤器，装有,4,个光电液位传感器。,清洗水是利用二流体,2,使用后的废水，,8,号,水箱供水。,滚刷转速：,400500r/min,。,1,18,2025/4/9 周三,二流体二清洗（,CLE6,）,二流体二清洗介绍：,二流体清洗大于,2m,的污染物,二流体组成,:,洁净压缩空气（,CDA,）和纯水（,DI Water,）的混合体，上下二流体喷嘴间距,80mm,左右。,二流体二上面,4,排下面,3,排喷淋管。,上下各,1,个二流体喷淋体，二流体喷体上进入处有,5,个孔，分别通入,CDA,和,DI Water,，喷口处为,0.1mm,液刀口。,二流体二利用的是最终喷淋使用后的水，,9,号水箱,供水。,二流体喷体,CDA,DI Water,19,2025/4/9 周三,最终喷淋（,CLE7,）,最终喷淋介绍：,（,1,）液刀的作用是把玻璃表面上多余的水切出，液刀在喷淋的末端。,（,2,）喷淋装置上面,6,排喷嘴，下面有,5,排喷嘴。,（,3,）,10#,水箱供水，供水管道安装有,0.2m,过滤器，水箱安装有加热装置，有温度传感器，装有,4,个光电液位传感器。,（,4,）清洗是,18M,超纯水，温度要求,40-45,。,（,5,）用过的超纯水经过滤后供二流体,2,使用。,20,2025/4/9 周三,风刀干燥（,CLE8,）,风刀干燥介绍：,（,1,）有两组风刀，风刀结构类似于液刀，上下各有一把风刀，刀风口,0.1mm,；,（,2,）风刀角可调，每片上都有四个进风口，风刀与水平面的夹角,20,。,（,3,）为了避免风刀吹出的高速气流在该区产生涡流，在区域上安装了,EFU,高 效空气过滤器，向下面吹过滤空气，防止该区产生涡流。,21,2025/4/9 周三,EFU,结构,EFU,结构示意图：,风刀,风扇,HEPA,过滤器,22,2025/4/9 周三,风刀干燥结构示意图,由于两组风刀对滚轮轴有一定的阻隔，所以滚轮传输需要两根驱动轴,回风管,23,2025/4/9 周三,输出传送带（,CLE9,）,该区和输入传送带一样设有气缸定位装置，另一个功能是设有离子风棒去除玻璃表面的静电，离子风泵采用的是放电针放电，正负两种电荷交替使用在玻璃表面中和静电离子，达到去静电的目的。离子风泵采用洁净压缩空气供气。,24,2025/4/9 周三清洗机供水及抽雾示意图,25,2025/4/9 周三,循环水系统,纯水循环利用：,10#,水箱供给,最终喷淋,最终喷淋,回水,9#,水箱,9#,水箱供给,二流体二 二流体二,回水,8#,水箱,8#,水箱供给,滚刷 滚刷回水回水,7#,水箱,7#,水箱供给,二流体一 二流体一回水,6#,水箱,6#,水箱供给,输入传送带 输入传送带回水,1#,水箱,1#,水箱供给,预湿机,4#5#,水箱供给,超声波,2#3#,水箱供给,水箱供给,盘刷 超声波 盘刷各有一个清洗剂补给箱,水箱液位计：最高报警位、停止补水位、低位补水位、最低报警位,。,26,2025/4/9 周三,抽雾系统示意图,压差表,阀门,过滤器,27,2025/4/9 周三,各清洗制程比较,清洗过程,目的,特征,毛刷,除去有机物,利用界面活性剂产生亲水性及亲油性除去油脂,除去,5um,以上,particle,基板便面直接摩擦,二流体,除去,1um5umparticle,利用空气与水混合后，在基板表面产生气体爆炸,超声波,除去,1umparticle,利用液体在基板上产生共振效果,风刀,玻璃基板干燥,除去表面液体,28,2025/4/9 周三,清洗能动性能指标,用水要求：,18M,（电导率）超纯水；,TOC,（有机碳总和）：,100PPb,（十亿分之一）；,SiO,2,：,50PPb,。,CDA,：温度：,25,+,5,，,露点：,-50,不凝水，,Particle,：,0.3um,，,30ea/cm,2,。,29,2025/4/9 周三,谢谢观赏！,30,2025/4/9 周三,