1、2017
半导体制造行业研究报告
1对半导体制造设备行业的整体研究
通过对参加这次展会厂商的总体范围的了解，对半导体制造产业链的总体情况有了基本
的认识，半导体制造涉及以下几个相关的细分行业。
1.1 晶圆加工设备
在半导体制造中专为晶圆加工的工序提供设备及相关服务的供应商，包括光刻设备、
□ □□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□□ (CMP) □□□□□□□□□□□□
离子注入设备等。
1.2 厂房设备
包括工厂自动化、工厂设施、电子气体和化学品输送系统、大宗气体输送系统等。
1.3 晶圆加工材料
在半导体制造中提供原材料和相关服务的供应商，包括多晶硅、硅晶片
2、光掩膜、电
子气体及化学、光阻材料和附属材料、 CMP 料浆、低 K 材料等。
1.4 测试封装设备
在半导体测试和封装过程中提供设备及其他相关服务的供应商。主要涉及晶圆制程的
后道工序， 就是将制成的薄片 “成品” 加工为独立完整的集成电路。 包括切割工具及材料、
自动测试设备、 探针卡、 封装材料、 引线键合、 倒装片封装、 烧焊测试、 晶圆封装材料等。
1.5 测试封装材料
在半导体测试和封装过程中提供材料和相关服务的供应商，包括悍线、层压基板、引
线框架、塑封料、贴片胶、上料板等。
1.6 子系统、零部件和间接耗材
为设备和系统制造提供子系统、零部件、间接材料及相
3、关服务的厂商，包括质量流量
控制、分流系统、石英、石墨和炭化硅等。
2对电子气体和化学品输送系统行业的详细研究
电子气体和化学品输送系统涉及上游的电子气体产品提供商，半导体行业用阀门管件提
供商，常规阀门管件提供商，气体供应设备提供商，气体输送系统设计、施工单位以及下
游的后处理设备厂商。
2.1电子气体
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电子气体在半导体器件的生产过程中起着非常重要的作用，几乎每一步、每一个生产
环节都离不开电子气体，并且电子气体的质量在很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。
电子气体的纯度是一个非常重要的指标，其纯度每提高一个数量级 ,都会极大地推动
半导体器件质的
4、飞跃。同时，电子气体纯度也是区分气体厂商技术水平和生产能力的一个
重要考量指标。
目前主要的气体产品公司多为欧美公司在中国的分公司，主要有法国液化空气公司，美国
普莱克斯，德国林德公司，美国空气产品公司等。国内的品牌有苏州金宏气体，广东华特
气体等。
2.2 半导体阀门管件
半导体阀门管件是气体输送系统和设备中重要的原材料，阀门管件的性能和质量水平
也直接影响着气体输送系统的送气能力和运行稳定性，也会影响半导体产品的质量和性能。
严重的情况下，一个阀门出现质量问题可能造成严重的生产事故。
半导体阀门管件的重要性也体现在其成本上，目前阀门管件等原材料的成本占据了气
体输送系统
5、和设备的大部分成本，但是，目前绝大部分供应要依赖进口品牌，并且是供不
应求（货期较长） ，这造成了目前系统和设备厂商的运营成本居高不下。
□ □□□□□□□□ APTECH,TESCOM,PARKER,SWAGELOK,KITZ, Valex 等，但都为进口
品牌，价格贵，交货期长（目前一般要 2个月以上） 。国产品牌目前主要的问题是半导体
阀门管件产品种类少，并且产品并不成熟。通过和杰瑞，赛洛克等厂商的交流，了解到目
前这些国内厂家公司规模多在一百人左右，新产品的研发能力和研发投入都十分有限，很
难在短期内保质保量的供应市场上需求的半导体阀门管件。这也预示着电子气体输送系统
和
6、设备厂商在很长一段时间内还是要依赖进口品牌提供相应的材料，这种现状就要求系统
和设备厂商有更好的成本和交货周期的管控能力，甚至在承接项目时做好提高其成本预算
和延长交货期的准备。
2.3 电子气体和化学品输送系统和设备
从展会上了解到的基本的情况是，在这个细分的行业的主要的厂商有以下几类：
11电子工程设计和施工单位，如 xx设计院，中电 xx公司，这类公司可以提供电子厂房
及厂务系统的多种设备，其技术能力和竞争力都很强。
2）专门的气体和化学品输送系统和设备厂商，如上海至纯科技，上海正帆科技，这两家
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公司是目前国内知名度较高，实力较强的公司。这类公司也是竞争力很强的公司。
3）上游产品厂商，这类厂商包括气体产品厂商，阀门管件厂商，这类公司有一定的原材 料资源并且有原材料成本优势，而且能了解到行业需求，所以越来越多的公司开始介 入到这个行业。但是这类公司的主业并不是提供输送系统和设备，所以其专业设计和 施工能力都有限，不是主要的竞争对手，其竞争力不强。
2.4后处理设备
这类设备主要是尾气处理设备，电子废气多为有毒有害气体，需要经过严格的处理工 序才能都排放。这类设备也是厂务设备种非常重要的设备。
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